JP2512137Y2 - ガスレ−ザ発振器 - Google Patents

ガスレ−ザ発振器

Info

Publication number
JP2512137Y2
JP2512137Y2 JP1986047008U JP4700886U JP2512137Y2 JP 2512137 Y2 JP2512137 Y2 JP 2512137Y2 JP 1986047008 U JP1986047008 U JP 1986047008U JP 4700886 U JP4700886 U JP 4700886U JP 2512137 Y2 JP2512137 Y2 JP 2512137Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mirror holder
mirror
gas laser
resonator
fixing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP1986047008U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS62158855U (ja
Inventor
文雄 関
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP1986047008U priority Critical patent/JP2512137Y2/ja
Priority to US07/028,763 priority patent/US4769824A/en
Priority to DE3710525A priority patent/DE3710525C2/de
Publication of JPS62158855U publication Critical patent/JPS62158855U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2512137Y2 publication Critical patent/JP2512137Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/08Construction or shape of optical resonators or components thereof
    • H01S3/086One or more reflectors having variable properties or positions for initial adjustment of the resonator

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、ガスレーザ発振器に関し、特にミラーホル
ダの取り付構造に関する。
〔従来の技術〕
ガスレーザ発振器は第2図にその一部分が示されてい
るようにガスレーザ管1とこのレーザ管1のまわりに複
数本のインバー等でできたロッド2を配置し、これらロ
ッド2を所定の間隔を保つようにプレート3で固定し形
成した共振器枠とこの共振器枠のロッド2の両端部に皿
バネ8を介して取り付けられたミラーホルダ5と、ミラ
ーホルダ5に固着されたレーザ共振器を構成するミラー
6とを含んでいる。ミラー6のアライメント、すなわち
ミラーホルダのアライメントは第2図からわかるように
共振器枠のロッド2の共端部に設けられた皿バネ8の弾
性力とナット9の押圧力とによって行なっている。なお
4はプレート3をロッド2に固定するナット7は皿バネ
8を保持するためのナットである。
〔考案が解決しようとする問題点〕
このような従来のミラーホルダの共振器枠への取り付
け方法は第2図のとおりミラーホルダのアライメントを
容易にするための皿バネ8を介して行なっているので堅
固な保持とはならずレーザ管1に対して軸に垂直な方向
に振動又は衝撃が加わった場合レーザ管1に対してミラ
ーホルダ5即ち光共振器用ミラー6が位置ズレを起しミ
ラーのアライメントがズレてレーザ出力が低下するとい
う欠点が有った。
又、この対策として第3図のとおりロッド2を固定し
ているプレート3とミラーホルダ5を板バネ10で固定す
る方法も考えられるが、この場合上下方向の振動・衝撃
には強くなるが左右方向の振動・衝撃に弱いという欠点
が有った。
本考案の目的は上述の欠点を除去し、耐振動・耐衝撃
性にすぐれた安定に動作するガスレーザ発振器を提供す
ることである。
〔問題点を解決するための手段〕
本考案のガスレーザ発振器は、ガスレーザ管と、この
レーザ管のまわりに配置された複数本のロッドとこれら
ロッドを少なくともその端部において固定するプレート
とからなる共振器枠と、この共振器枠の両端に設けられ
た光共振器用ミラーを保持するためのミラーホルダと、
このミラーホルダに取り付けられたミラーとを有するガ
スレーザ発振器において、前記ミラーホルダと共振器枠
固定用プレートを多角形の板バネにて固定したものであ
り、前記固定された板バネの隣り合う固定部の間には中
心に向かう切り欠き部が形成されていると共にその固定
部は互い違いに前記ミラーホルダと前記共振器枠固定用
プレートとに固定されていることを特徴とする。
〔実施例〕
次に図面を用いて本考案を説明する。第1図は本考案
の6角板バネを使用した一実施例の概略図で(a)に正
面図、(b)に側面図、(c)に一部切欠を斜視図を示
す。
本図において10はプレート3とミラーホルダ5に取り
付けられた6角形の板バネでプレート3およびミラーホ
ルダ5へはAl等でできた固定台11および12を介して固定
ネジ13で交互に固定されている。6角形の板バネ10は図
示のごとく固定された板バネの隣り合う固定部の間には
中心に向かう切り欠き部が形成されているためレーザ管
の軸方向の力に対しては自由に変形できるのでこれを追
加してもミラーホルダ5のアライメントに対しては何ら
影響を与えない。一方板バネ10はプレート3とミラーホ
ルダ5に固定台11および12を介して固定ネジ13で固定さ
れており特に六角形の形状のためレーザ管軸に垂直な上
下、左右の力はもとよりあらゆる力に対してもプレート
3とミラーホルダ5の相対位置は変らない。従がって振
動・衝撃に対してミラーホルダすなわち光共振器用のミ
ラーの変位は起らずレーザ出力の変動が押えられるとい
う利点を有する。なお、第1図(b)において14は共振
器組立を固定するベース、15はレーザ管1をプレート3
に保持固定するための保持部品である。
〔考案の効果〕
以上説明したように本考案はミラーホルダと共振器枠
固定用プレートの相互位置を6角の板バネにより固定し
ているのでミラーのアライメントには支障を与えず振動
および衝撃による光共振器用ミラーのレーザ管軸に垂直
なあらゆる方向の変位を防止出来耐振性・耐衝撃性に優
れたガスレーザ発振器を得ることが出来る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例の概略図を示し(a)に正面
図(b)に側面図(c)に斜視図を示す。又第2図、第
3図は従来構造のガスレーザ発振器のミラーホルダ部の
構造の一例を示す概略図であり、それぞれ(a)に正面
図、(b)に側面図を示す。 1……レーザ管、2……ロッド、3……プレート、4…
…ナット、5……ミラーホルダ、6……ミラー、7……
ナット、8……皿バネ、9……アライメント用ナット、
10……多角形板バネ、11,12……板バネの固定台、13…
…固定ネジ、14……ベース、15……保持部品。

Claims (1)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】ガスレーザ管と、このレーザ管のまわりに
    配置された複数本のロッドとこれらロッドを少なくとも
    その端部において固定するプレートとからなる共振器枠
    と、この共振器枠の両端に設けられた光共振器用ミラー
    を保持するためのミラーホルダと、このミラーホルダに
    取り付けられたミラーとを有するガスレーザ発振器にお
    いて、前記ミラーホルダと共振器枠固定用プレートを多
    角形の板バネにて固定したものであり、前記固定された
    板バネの隣り合う固定部の間には中心に向かう切り欠き
    部が形成されていると共にその固定部は互い違いに前記
    ミラーホルダと前記共振器枠固定用プレートとに固定さ
    れていることを特徴とするガスレーザ発振器。
JP1986047008U 1986-03-28 1986-03-28 ガスレ−ザ発振器 Expired - Lifetime JP2512137Y2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1986047008U JP2512137Y2 (ja) 1986-03-28 1986-03-28 ガスレ−ザ発振器
US07/028,763 US4769824A (en) 1986-03-28 1987-03-23 Mirror holding structure of gas laser system
DE3710525A DE3710525C2 (de) 1986-03-28 1987-03-30 Spiegelhalterung für eine Gaslaseranordnung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1986047008U JP2512137Y2 (ja) 1986-03-28 1986-03-28 ガスレ−ザ発振器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS62158855U JPS62158855U (ja) 1987-10-08
JP2512137Y2 true JP2512137Y2 (ja) 1996-09-25

Family

ID=12763138

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1986047008U Expired - Lifetime JP2512137Y2 (ja) 1986-03-28 1986-03-28 ガスレ−ザ発振器

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4769824A (ja)
JP (1) JP2512137Y2 (ja)
DE (1) DE3710525C2 (ja)

Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5000557A (en) * 1987-04-24 1991-03-19 Coherent, Inc. Kinematic resonator support
DE3826979A1 (de) * 1988-08-09 1990-02-15 Messer Griesheim Gmbh Resonator-struktur fuer gaslaser
US4989217A (en) * 1990-02-12 1991-01-29 Ion Laser Technology Laser resonator
US5351263A (en) * 1993-07-01 1994-09-27 Von Borstel Michael Apparatus for a power laser including solid optical bench
US5381438A (en) * 1993-08-26 1995-01-10 Industrial Technology Research Institute Laser diode unit including an adjusting member provided with a through hole
US5590149A (en) * 1995-09-13 1996-12-31 Spectra-Physics Lasers, Inc. Mirror mount
JP2836566B2 (ja) * 1995-12-08 1998-12-14 日本電気株式会社 波長安定化狭帯域エキシマレーザ装置
US5596590A (en) * 1996-01-25 1997-01-21 Cymer Laser Technologies Beam diverting shutter for a laser beam
US6008264A (en) 1997-04-30 1999-12-28 Laser Med, Inc. Method for curing polymeric materials, such as those used in dentistry, and for tailoring the post-cure properties of polymeric materials through the use of light source power modulation
US6282013B1 (en) 1997-04-30 2001-08-28 Lasermed, Inc. System for curing polymeric materials, such as those used in dentistry, and for tailoring the post-cure properties of polymeric materials through the use of light source power modulation
DE29715466U1 (de) * 1997-08-28 1997-10-23 Tui Laser Gmbh Resonatoranordnung für einen Laser
US6602074B1 (en) 1997-10-29 2003-08-05 Bisco, Inc. Dental composite light curing system
US6116900A (en) * 1997-11-17 2000-09-12 Lumachem, Inc. Binary energizer and peroxide delivery system for dental bleaching
US6200134B1 (en) 1998-01-20 2001-03-13 Kerr Corporation Apparatus and method for curing materials with radiation
US6157661A (en) * 1999-05-12 2000-12-05 Laserphysics, Inc. System for producing a pulsed, varied and modulated laser output
US6859482B1 (en) 2000-02-22 2005-02-22 Tuilaser Ag Modular gas laser discharge unit
US6782029B1 (en) 2000-02-22 2004-08-24 Tuilaser Ag Dedusting unit for a laser optical element of a gas laser and method for assembling
US6522679B1 (en) 2000-02-22 2003-02-18 Tuilaser Gas laser discharge unit
US6603790B1 (en) 2000-02-22 2003-08-05 Hans Kodeda Gas laser and a dedusting unit thereof
US6493375B1 (en) 2000-02-22 2002-12-10 Tuilaser Ag Adjustable mounting unit for an optical element of a gas laser
US6480517B1 (en) 2000-02-22 2002-11-12 Tuilaser Ag Shadow device for a gas laser
US6804284B1 (en) 2000-02-22 2004-10-12 Tuilaser Ag Optical element holding and extraction device
US20040101018A1 (en) * 2002-08-28 2004-05-27 Syb Leijenaar Suspension system for laser discharge unit
DE602004027429D1 (de) * 2003-02-12 2010-07-15 Coherent Gmbh Elementensatz zur chirurgischen Ablation von Augengewebe
US20050271110A1 (en) * 2003-08-22 2005-12-08 Rainer Paetzel Excimer laser system with stable beam output
US7487958B2 (en) * 2005-05-10 2009-02-10 Shu-Lung Wang Anti-vibration mechanism for dental impression material mixer
US9066777B2 (en) 2009-04-02 2015-06-30 Kerr Corporation Curing light device
US9072572B2 (en) 2009-04-02 2015-07-07 Kerr Corporation Dental light device
US9263845B2 (en) * 2014-02-24 2016-02-16 Universal Laser Systems, Inc. Air-cooled gas lasers with heat transfer resonator optics and associated systems and methods
US11670490B2 (en) 2017-09-29 2023-06-06 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Integrated circuit fabrication system with adjustable gas injector

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3400597A (en) * 1966-09-15 1968-09-10 Laser Image Systems Inc Optical adjustment means
DE1614601C3 (de) * 1967-09-14 1975-03-13 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Justiervorrichtung für optische Sender oder Verstärker (Laser)
DE2103006A1 (de) * 1971-01-22 1972-08-03 Siemens Ag Verfahren und Vorrichtung zum Justieren integrierter Gaslaser
US3814507A (en) * 1972-12-04 1974-06-04 Gte Sylvania Inc Adjustable mirror mount
JPS5457993A (en) * 1977-10-18 1979-05-10 Nec Corp Gas laser tube
US4201951A (en) * 1978-04-03 1980-05-06 Lexel Corporation Cascaded plasma tube ion laser having single resonator structure
JPS5653375U (ja) * 1979-10-01 1981-05-11
JPS5910250Y2 (ja) * 1980-09-12 1984-03-31 株式会社 牧野建装 空胴コンクリ−トブロツク
JPS6028152B2 (ja) * 1980-10-08 1985-07-03 株式会社日立製作所 ガスレ−ザ発振装置
US4442524A (en) * 1982-06-03 1984-04-10 Spectra-Physics, Inc. Multiple lever apparatus for positioning an optical element
US4644554A (en) * 1983-12-12 1987-02-17 Spectra-Physics, Inc. Capillary bore suspension
US4613972A (en) * 1984-05-09 1986-09-23 Spectra-Physics, Inc. Resonant cavity structure for ion laser with floating plate for mirror adjustment
GB2158991B (en) * 1984-05-14 1988-06-02 Hughes Technology Pty Ltd A hand-held laser beam system
EP0166028A3 (de) * 1984-06-25 1987-04-22 Siemens Aktiengesellschaft Justiereinrichtung für einen Reflektorspiegel eines Laserresonators
US4646336A (en) * 1986-01-08 1987-02-24 Amada Engineering Service Co., Inc. Laser generator

Also Published As

Publication number Publication date
DE3710525A1 (de) 1987-10-08
DE3710525C2 (de) 1994-07-07
JPS62158855U (ja) 1987-10-08
US4769824A (en) 1988-09-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2512137Y2 (ja) ガスレ−ザ発振器
JPS6168393U (ja)
US4025203A (en) Mirror-type beam steerer having a virtual pivot
JPH05501313A (ja) 光素子取付け
JP2885632B2 (ja) カーテンウォール用ガラス壁連結固定具
HU186836B (en) Amortizing spacer
JPS6181684A (ja) ガスレ−ザ発振器
JPH035120U (ja)
JPH0629417A (ja) センサーボード
JP2581901B2 (ja) 圧電形加速度ピックアップ
JPH0723689Y2 (ja) 圧電ジャイロ振動子
JPH0326411Y2 (ja)
JPH0646319U (ja) 振動ジャイロ
JPH06118330A (ja) ミラー駆動機構
JPS6041537Y2 (ja) 光偏向素子
JPH07111352A (ja) レーザー発振器
JPH0319202Y2 (ja)
JPS5843289Y2 (ja) 厚み振動圧電振動子
JPH0441462Y2 (ja)
SU1495162A1 (ru) Сиденье водител транспортного средства
JPH0714613Y2 (ja) 出窓の縦枠組体
JPS6022665Y2 (ja) メカニカルフイルタ
JPH0350609U (ja)
JPS63269332A (ja) 対物レンズ駆動装置の弾性支持体の取付構造
JPS62153539U (ja)