JPS6041537Y2 - 光偏向素子 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、電磁オシログラフに用いて有効な光偏向器に
関するものである。

第１図は、従来公知の電磁オシログラフに用いられてい
る光偏向素子の一例を示す構成斜視図である。

この光偏向素子は、ねじりスプリングとしての役目をな
すリガメント３上に、反射鏡４とねじりトルクを発生す
るコイル５を接着して構成したものである。

コイル５は矢印Ｂに示す方向の磁界中に配置され、これ
に電流ｉを流すことによってねじりトルクが発生し、反
射鏡４が偏位するもので、反射鏡４に入射する光をコイ
ル５に流す電流によって偏向することができる。

このような構成の光偏向素子は、コイル５の形成、コイ
ルや反射鏡のリガメントへの取付等、手作業によって製
作されており、品質、性能が均一でなく、価格も高価に
なるなどの欠点があった。

このような従来の光偏向素子における欠点をなくするこ
とを目的として、本願考案者は、先に第２図に示すよう
な新しい構造の光偏向素子を提案した。

この新しい構造の光偏向素子は、ひとつの絶縁基板（例
えば水晶基板）１に、バネ部２１．２２によって支持さ
れる可動部３を構成するとともに、この可動部３に反射
鏡４とコイルパターン５とを設け、前記バネ部２１，２
２、可動部３の形状の形成と、反射鏡およびコイルパタ
ーンの形成とをホトリングフライの技術とエツチングの
技術を利用して行なうものである。

このような構造の光偏向素子は、高性能で品質の揃った
素子を一度に多数生産することが可能で、ひとつの素子
の価格を安価にできる利点があるが、反射鏡４とコイル
パターン５とが同一平面上にあるために、光偏向素子を
同時に多数個並べて用いようとすると、各光偏向素子を
同一平面上に並べる必要があり、磁界Ｂを与えるための
磁気回路を各光偏向素子ごとに設けなければならず構造
が複雑となる。

本考案は、同時に多数個並べて用いる場合に便利な光偏
向器を実現しようとするものである。

第３図は本考案にかかわる光偏向器の構成斜視図、第４
図は第３図におけるｘ−ｘ断面図である。

図において、７は全体が円筒状に形成された保護ケース
、８はこの保護ケース７の下部に設けられたコネクタ一
部で、このコネクタ一部８には、図示してない外部回路
と電気的に接続される接続リング８１．８２が設けられ
ている。

１０は第２図に示す構族の光偏向素子で、保護ケース７
に挿入され、フレーム１が保護ケース７に例えば接着剤
等によって固着される。

９はプリズムで、保護ケース７に設けられた窓７１に取
付けられており、プリズム９に入射した光ビームは、プ
リズム９内で直角に反射し、光偏向素子１０の反射鏡４
に導びかれるようになっている。

なお、プリズム９の反射面９１には、入射光および反射
鏡４からの反射光が効率よく反射するように、例えば金
属を蒸着するようにしてもよい。

第５図は本考案にかかわる光偏向器の他の断面図である
。

この実施例においては、第４図のプリズム９に代えて鏡
９０を窓７１に取付けるようにしたものである。

第６図は、このように構成した光偏向器を多数個並べて
用いる場合の全体構成図で、ここでは４個の光偏向器を
用いる場合を例示する。

図において、１１，１２は空隙１３を介して互に平行す
るように配置された一組の磁石で、空隙１３には図示す
る矢印Ｂの方向の磁界が生じており、この空隙１３に多
数個の光偏向器が図示するように配置される。

すなわち、各光偏向器において、光偏向素子１０は互に
平行（反射鏡４、コイルパターン５が形成されている面
が平行）になるように磁石１１．１２間に配置される。

各光偏向器には、光ビームＬ□〜Ｌ４が互に平行して与
えられ、これがプリズム９で反射し、反射鏡４に入射す
る。

各光偏向素子の反射鏡４は各コイルパターン５に流れる
電流に対応して矢印ａ１矢印ｂ（第４図、第５図参照）
方向に偏位し、この反射鏡４に入射した光はここで反射
し、反射光は再びプリズム９で反射して出射する。

従って反射光が出射する一方の側に例えば感光紙を配置
しておけば、複数個の電気信号の波形を光学的に同時に
並行して記録させることができる。

以上説明したように、本考案にかかわる光偏向器によれ
ば、ひとつの基板上に反射鏡とコイルパターンとを形成
した光偏向素子の特長を生かしつつ、簡単な磁気回路で
、これらの素子を多数個並べて使用することができる。

また、従来公知の第１図に示すような光偏向素子との互
換性もある等の特長を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来公知の光偏向素子の一例を示す構成斜視図
、第２図は本考案に用いられる光偏向素子の構成斜視図
、第３図は本考案にかかわる光偏向器の構成斜視図、第
４図および第５図は第３図におけるＸ−Ｘ断面図、第６
図は本考案にかかわる光偏向器を複数個装べて用いる場
合の構成断面図である。 １０・・・・・・光偏向素子、１・・・・・・基板、２
１，２２・・・・・・バネ部、３・・・・・・可動部、
４・・・・・・反射鏡、５・・・・・・コイルパターン
、７・・・・・・保護ケース、８・・・・・・コネクタ
一部、９・・・・・・プリズム、１１，１２・・・・・
・磁石。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ひとつの絶縁基板に少なくともバネ部と、このバネ部に
   よって支持される可動部とを構成し、前記可動部に反射
   鏡とコイルパターンとを形成した光偏向素子、この光偏
   向素子が収容され前記反射鏡に対応する部分に窓が設け
   られた保護ケース、この保護ケースの窓に設けた光の方
   向を変更するためのプリズムまたは鏡を具備する光偏向
   器。