JPH0219784Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0219784Y2 JPH0219784Y2 JP1982174021U JP17402182U JPH0219784Y2 JP H0219784 Y2 JPH0219784 Y2 JP H0219784Y2 JP 1982174021 U JP1982174021 U JP 1982174021U JP 17402182 U JP17402182 U JP 17402182U JP H0219784 Y2 JPH0219784 Y2 JP H0219784Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable part
- reflecting mirror
- optical deflection
- deflection element
- supported
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、電磁オツシログラフ等に用いて有効な
光偏向素子に関するものである。
光偏向素子に関するものである。
第１図は本願考案者らが先に特願昭55−44383
号で提案したこの種の光偏向素子の一例を示す構
成斜視図である。
号で提案したこの種の光偏向素子の一例を示す構
成斜視図である。
この光偏向素子は、フレーム１に可動部２を細
くなつたバネ部３１，３２を介して支持するとと
もに、可動部２に、反射鏡４とコイルパターン５
とを形成したものである。フレーム１，可動部２
およびバネ部３１，３２は、例えば厚さが５×
10l-5ｍ程度のひとつの水晶基板で構成され、こ
れらの形状、反射鏡やコイルパターンの作成はホ
トリソグラフイ（写真食刻）の技術とエツチング
の技術とを利用して行なわれる。
くなつたバネ部３１，３２を介して支持するとと
もに、可動部２に、反射鏡４とコイルパターン５
とを形成したものである。フレーム１，可動部２
およびバネ部３１，３２は、例えば厚さが５×
10l-5ｍ程度のひとつの水晶基板で構成され、こ
れらの形状、反射鏡やコイルパターンの作成はホ
トリソグラフイ（写真食刻）の技術とエツチング
の技術とを利用して行なわれる。
このように構成した光偏向素子は、コイルパタ
ーン５を図示する矢印方向の磁界（基板の平面方
向と同一方向の磁界）中に配置させ、コイルパタ
ーンに電流を流すことによつて、可動部２をバネ
部３１，３２を軸として偏位させ、反射鏡４に入
射する光ビームを偏向することができる。
ーン５を図示する矢印方向の磁界（基板の平面方
向と同一方向の磁界）中に配置させ、コイルパタ
ーンに電流を流すことによつて、可動部２をバネ
部３１，３２を軸として偏位させ、反射鏡４に入
射する光ビームを偏向することができる。
ところで、このような構成の光偏向素子は、高
性能で品質の揃つた素子を一度に多数生産するこ
とができるという特長がある反面、反射鏡４をそ
の上下端で支持しているため、可動部２が回転し
た場合に反射鏡４にトルクが作用し、バネ部３１
と反射鏡４のねじり剛性比に対応して反射鏡４が
第２図に示すようにねじれるという問題があつ
た。反射鏡４が第２図に示すようにねじれると、
反射光のビームは横に拡がつてしまい、スポツト
をしぼることができなくなつてしまう。
性能で品質の揃つた素子を一度に多数生産するこ
とができるという特長がある反面、反射鏡４をそ
の上下端で支持しているため、可動部２が回転し
た場合に反射鏡４にトルクが作用し、バネ部３１
と反射鏡４のねじり剛性比に対応して反射鏡４が
第２図に示すようにねじれるという問題があつ
た。反射鏡４が第２図に示すようにねじれると、
反射光のビームは横に拡がつてしまい、スポツト
をしぼることができなくなつてしまう。
本考案はこのような、可動部が回転した場合の
反射鏡のねじれによる問題点を解決することを目
的としてなされたものである。
反射鏡のねじれによる問題点を解決することを目
的としてなされたものである。
本考案は一つの絶縁基板にホトリソグラフイ技
術とエツチング技術を用いてバネ部とこのバネ部
を介してその上下端が固定端に支持される可動部
とを形成するとともに前記可動部に反射鏡とコイ
ルパターンとを形成した光偏向素子に係るもの
で、その特徴とするところは前記反射鏡はその一
端のみが可動部の他の部分に接続して片持ちばり
を構成した点にある。
術とエツチング技術を用いてバネ部とこのバネ部
を介してその上下端が固定端に支持される可動部
とを形成するとともに前記可動部に反射鏡とコイ
ルパターンとを形成した光偏向素子に係るもの
で、その特徴とするところは前記反射鏡はその一
端のみが可動部の他の部分に接続して片持ちばり
を構成した点にある。
以下図面にもとずいて本考案を説明する。
第３図および第４図は、本考案に係る光偏向素
子の正面図である。
子の正面図である。
第３図の実施例は、光偏向素子の可動部２内の
反射鏡４の周囲にスリツト６を設けることにより
反射鏡４を片持ちばりとして支持させるような構
造にしたものである。可動部２はバネ３１，３２
を介して固定端７で支持されている。
反射鏡４の周囲にスリツト６を設けることにより
反射鏡４を片持ちばりとして支持させるような構
造にしたものである。可動部２はバネ３１，３２
を介して固定端７で支持されている。
第４図の実施例は、２つの反射鏡４のそれぞれ
の一端を可動部２内のコイル部（コイル５のある
部分）に接続した構造のもので、２つの反射鏡を
前記同様片持ちばりとして支持させるようにした
ものである。
の一端を可動部２内のコイル部（コイル５のある
部分）に接続した構造のもので、２つの反射鏡を
前記同様片持ちばりとして支持させるようにした
ものである。
このように構成される光偏向素子によれば、可
動部２が回転した場合にも反射鏡４にはトルクが
加わらないので、反射鏡がねじれることはない。
この結果反射光ビームが拡がることもなくなり、
スポツトをしぼることが可能となる。
動部２が回転した場合にも反射鏡４にはトルクが
加わらないので、反射鏡がねじれることはない。
この結果反射光ビームが拡がることもなくなり、
スポツトをしぼることが可能となる。
なお、第３図および第４図に示す光偏向素子は
ひとつの絶縁基板から、ホトリソグラフイの技術
とエツチングの技術を利用して、同一工程で形成
できるものなので、第１図の場合に比べて工程が
複雑になるようなことはない。また可動部は上下
端支持構造なので、片持ちばり型の可動部に比べ
て横方向の外部振動等に対して強く、安定性が優
れている。
ひとつの絶縁基板から、ホトリソグラフイの技術
とエツチングの技術を利用して、同一工程で形成
できるものなので、第１図の場合に比べて工程が
複雑になるようなことはない。また可動部は上下
端支持構造なので、片持ちばり型の可動部に比べ
て横方向の外部振動等に対して強く、安定性が優
れている。
以上述べたように本考案によれば、可動部が回
転した場合に反射鏡のねじれの生じない光偏向素
子を簡単な構成で実現できる。
転した場合に反射鏡のねじれの生じない光偏向素
子を簡単な構成で実現できる。
第１図は本願考案者らが先に提案した光偏向素
子の一例を示す構成斜視図、第２図はその問題点
を説明するための動作状態における構成説明図、
第３図および第４図は本考案に係る光偏向素子の
正面図である。 ２……可動部、３１，３２……バネ部、４……
反射鏡、５……コイルパターン。
子の一例を示す構成斜視図、第２図はその問題点
を説明するための動作状態における構成説明図、
第３図および第４図は本考案に係る光偏向素子の
正面図である。 ２……可動部、３１，３２……バネ部、４……
反射鏡、５……コイルパターン。
Claims (1)
- 一つの絶縁基板にホトリソグラフイ技術とエツ
チング技術を用いてバネ部とこのバネ部を介して
その上下端が固定端に支持される可動部とを形成
するとともに前記可動部に反射鏡とコイルパター
ンとを形成した光偏向素子において、前記反射鏡
はその一端のみが可動部の他の部分に接続して片
持ちばりを構成したことを特徴とする光偏向素
子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17402182U JPS5979824U (ja) | 1982-11-17 | 1982-11-17 | 光偏向素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17402182U JPS5979824U (ja) | 1982-11-17 | 1982-11-17 | 光偏向素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5979824U JPS5979824U (ja) | 1984-05-30 |
| JPH0219784Y2 true JPH0219784Y2 (ja) | 1990-05-31 |
Family
ID=30378952
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17402182U Granted JPS5979824U (ja) | 1982-11-17 | 1982-11-17 | 光偏向素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5979824U (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3926552B2 (ja) * | 2000-10-25 | 2007-06-06 | 日本信号株式会社 | アクチュエ−タ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5734462A (en) * | 1980-08-11 | 1982-02-24 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Deflecting element of light |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5486146U (ja) * | 1977-11-29 | 1979-06-18 | ||
| JPS55113509U (ja) * | 1979-02-05 | 1980-08-09 |
-
1982
- 1982-11-17 JP JP17402182U patent/JPS5979824U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5734462A (en) * | 1980-08-11 | 1982-02-24 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Deflecting element of light |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5979824U (ja) | 1984-05-30 |
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