JPS5979824U - 光偏向素子 - Google Patents

光偏向素子

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JPS5979824U
JPS5979824U JP17402182U JP17402182U JPS5979824U JP S5979824 U JPS5979824 U JP S5979824U JP 17402182 U JP17402182 U JP 17402182U JP 17402182 U JP17402182 U JP 17402182U JP S5979824 U JPS5979824 U JP S5979824U
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JP
Japan
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deflection element
light deflection
movable part
cantilever beam
optical deflection
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Granted
Application number
JP17402182U
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JPH0219784Y2 (ja
Inventor
敏嗣 植田
幸坂　扶佐夫
吉信 杉原
Original Assignee
横河電機株式会社
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Publication date
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  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本願考案者らが先に提案した光偏向素子の一例
を示す構成斜視図、第２図はその問題点を説明するため
の動作状態における構成説明図、第３図および第４図は
本考案に係る光偏向素子の正面図である。 ２・・・可動部、３１．３２・・・バネ部、４・・・反
射鏡、５・・・コイルパターン。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 ひとつの絶縁基板によって少くともバネ部と、。 このバネ部を介して固定端に支持される可動部とを構成
    するとともに、前記可動部に反射鏡とコイルパターンと
    を設けた光偏向素子において、前記反射鏡の一端を可動
    部の他の部分に固定して片持ちばりを形成するようにし
    たことを特徴とする光偏向素子。
JP17402182U 1982-11-17 1982-11-17 光偏向素子 Granted JPS5979824U (ja)

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JP17402182U JPS5979824U (ja) 1982-11-17 1982-11-17 光偏向素子

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JP17402182U JPS5979824U (ja) 1982-11-17 1982-11-17 光偏向素子

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Publication Number Publication Date
JPS5979824U true JPS5979824U (ja) 1984-05-30
JPH0219784Y2 JPH0219784Y2 (ja) 1990-05-31

Family

ID=30378952

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JP17402182U Granted JPS5979824U (ja) 1982-11-17 1982-11-17 光偏向素子

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002035275A1 (fr) * 2000-10-25 2002-05-02 The Nippon Signal Co., Ltd Actionneur

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5486146U (ja) * 1977-11-29 1979-06-18
JPS55113509U (ja) * 1979-02-05 1980-08-09
JPS5734462A (en) * 1980-08-11 1982-02-24 Yokogawa Hokushin Electric Corp Deflecting element of light

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JPH0219784Y2 (ja) 1990-05-31

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