JPS5979826U - 光偏向器 - Google Patents

光偏向器

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JPS5979826U
JPS5979826U JP17538382U JP17538382U JPS5979826U JP S5979826 U JPS5979826 U JP S5979826U JP 17538382 U JP17538382 U JP 17538382U JP 17538382 U JP17538382 U JP 17538382U JP S5979826 U JPS5979826 U JP S5979826U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thin film
optical waveguide
optical deflector
film optical
deforming
Prior art date
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Pending
Application number
JP17538382U
Other languages
English (en)
Inventor
和彦 森
直久 井上
俣野 正治
山下 牧
Original Assignee
オムロン株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by オムロン株式会社 filed Critical オムロン株式会社
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Publication of JPS5979826U publication Critical patent/JPS5979826U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図はこの考案の一実施例に係る光偏向器を示す概略
側面断面図、第2図は作用を説明する図である。 1・・・・・・薄膜光導波路、3・・・・・・片持梁、
4・・・・・・基板、5・・・・・・電気発熱体(変形
手段)、6・・・・・・入射光、Ha、  Bb・・・
・・・出射光、θ・・・・・・偏向角。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 表面に薄膜光導波路を有し、片持梁構造に群成された基
    板と、光出射端であ・る上記片持梁の先端側夕上記薄膜
    光導波路とともに傾斜変形させる変形手段とを備え、上
    記変形手段により上記傾斜角を制御することによって上
    記薄膜光導波路からの出射光の偏向角を変化させるよう
    にしたことを特徴とする光偏向器。
JP17538382U 1982-11-19 1982-11-19 光偏向器 Pending JPS5979826U (ja)

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JP17538382U JPS5979826U (ja) 1982-11-19 1982-11-19 光偏向器

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JP17538382U JPS5979826U (ja) 1982-11-19 1982-11-19 光偏向器

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JPS5979826U true JPS5979826U (ja) 1984-05-30

Family

ID=30381579

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JP17538382U Pending JPS5979826U (ja) 1982-11-19 1982-11-19 光偏向器

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018011868A1 (ja) * 2016-07-11 2018-01-18 三菱電機株式会社 光回路、光走査器、光合分波器、波長モニタ、光合分波器モジュール、および波長モニタモジュール

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018011868A1 (ja) * 2016-07-11 2018-01-18 三菱電機株式会社 光回路、光走査器、光合分波器、波長モニタ、光合分波器モジュール、および波長モニタモジュール
JPWO2018011868A1 (ja) * 2016-07-11 2018-10-18 三菱電機株式会社 光回路、光走査器、光合分波器、波長モニタ、光合分波器モジュール、および波長モニタモジュール

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