JP2505393B2 - クリ―ン収納庫 - Google Patents
クリ―ン収納庫Info
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- JP2505393B2 JP2505393B2 JP4118022A JP11802292A JP2505393B2 JP 2505393 B2 JP2505393 B2 JP 2505393B2 JP 4118022 A JP4118022 A JP 4118022A JP 11802292 A JP11802292 A JP 11802292A JP 2505393 B2 JP2505393 B2 JP 2505393B2
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- Japan
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- shelf
- air
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- outlet
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- Ventilation (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウエハその他塵埃を極
度に嫌う品物を収納するためのクリーン収納庫に関す
る。
度に嫌う品物を収納するためのクリーン収納庫に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来のクリーン収納庫の概略を図１０に
示す。
示す。
【０００３】このクリーン収納庫はウエハカセット１を
収納するためのもので、棚２の背面下方に設けられた吹
き出し口３から吹き出されたクリーンエアａが棚２の背
面側に形成された風路４を通じて庫内５に供給されるよ
うになっている。
収納するためのもので、棚２の背面下方に設けられた吹
き出し口３から吹き出されたクリーンエアａが棚２の背
面側に形成された風路４を通じて庫内５に供給されるよ
うになっている。
【０００４】６はクリーンファンであり、クリーンエア
の供給源をなしている。７は棚２の背面全面に設けられ
たＵＬＰＡフィルターであり、このＵＬＰＡフィルター
７を通過することにより、クリーンエアａに僅かに含ま
れている塵埃がさらに濾過される。８はプレフィルター
であり、クリーンファン６に入るエアを１次濾過する。
１２は棚２にウエハカセット１を収納したり、棚２から
ウエハカセット１を取り出したりするためのスタッカー
クレーンである。
の供給源をなしている。７は棚２の背面全面に設けられ
たＵＬＰＡフィルターであり、このＵＬＰＡフィルター
７を通過することにより、クリーンエアａに僅かに含ま
れている塵埃がさらに濾過される。８はプレフィルター
であり、クリーンファン６に入るエアを１次濾過する。
１２は棚２にウエハカセット１を収納したり、棚２から
ウエハカセット１を取り出したりするためのスタッカー
クレーンである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述したようなクリー
ン収納庫によれば、庫内５には、塵埃の極めて少ないク
リーンエアが供給されるが、風路４からＵＬＰＡフィル
ター７を介して庫内５に流入するエアの流速については
何等の考察もなされていなかったため、棚２の背面側か
ら庫内に流入するエアの流速に大きなばらつきがあると
いう問題があった。特に、概して言えば、理由は不明で
あるが、吹き出し口３の近くにおいて庫内に流入するエ
アの流速は、吹き出し口から離れた位置のそれに比べて
小さくなる傾向があった。
ン収納庫によれば、庫内５には、塵埃の極めて少ないク
リーンエアが供給されるが、風路４からＵＬＰＡフィル
ター７を介して庫内５に流入するエアの流速については
何等の考察もなされていなかったため、棚２の背面側か
ら庫内に流入するエアの流速に大きなばらつきがあると
いう問題があった。特に、概して言えば、理由は不明で
あるが、吹き出し口３の近くにおいて庫内に流入するエ
アの流速は、吹き出し口から離れた位置のそれに比べて
小さくなる傾向があった。
【０００６】庫内に流入するエアの流速に大きなばらつ
きがあると、庫内における乱流の原因となり、エアに僅
かではあるが混入している塵埃の、庫内における偏在を
来し、ウエハの品質管理上好ましくない。
きがあると、庫内における乱流の原因となり、エアに僅
かではあるが混入している塵埃の、庫内における偏在を
来し、ウエハの品質管理上好ましくない。
【０００７】本発明の目的は、以上のような問題点を解
決し、庫内に流入するエアの流速をできるだけ均一にす
ることにある。
決し、庫内に流入するエアの流速をできるだけ均一にす
ることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、棚の背面下方に設けられた吹き出し口から
上方に向けて吹き出されたクリーンエアが棚の背面側に
形成された風路を通じて庫内に供給されるクリーン収納
庫において、前記吹き出し口に、多孔板からなる断面山
形の１次整流板をその頂部が上向きとなるように且つ長
手方向が棚の幅方向と平行となるように設けるととも
に、前記棚の背面にメッシュ状部材からなる２次整流板
を設けたことを特徴とする。
に本発明は、棚の背面下方に設けられた吹き出し口から
上方に向けて吹き出されたクリーンエアが棚の背面側に
形成された風路を通じて庫内に供給されるクリーン収納
庫において、前記吹き出し口に、多孔板からなる断面山
形の１次整流板をその頂部が上向きとなるように且つ長
手方向が棚の幅方向と平行となるように設けるととも
に、前記棚の背面にメッシュ状部材からなる２次整流板
を設けたことを特徴とする。
【０００９】
【作用効果】本発明は上記の構成としたので、次のよう
な作用効果を奏する。
な作用効果を奏する。
【００１０】すなわち、吹き出し口には、多孔板からな
る断面山形の１次整流板が設けられているので、吹き出
し口からの吹き出し風速の動圧が制御され、エアの一部
は１次整流板の山形をなす傾斜面を通じて横方向への指
向性を持った流れとして吹き出し口近くにおいて風路に
流出される。このため、吹き出し口の近くにおいて風路
から庫内に流入するエアの流速は、従来に比べれば概し
て大きなものとなり、全体としてのばらつきは小さなも
のとなる。
る断面山形の１次整流板が設けられているので、吹き出
し口からの吹き出し風速の動圧が制御され、エアの一部
は１次整流板の山形をなす傾斜面を通じて横方向への指
向性を持った流れとして吹き出し口近くにおいて風路に
流出される。このため、吹き出し口の近くにおいて風路
から庫内に流入するエアの流速は、従来に比べれば概し
て大きなものとなり、全体としてのばらつきは小さなも
のとなる。
【００１１】また、棚の背面にはメッシュ状部材からな
る２次整流板が設けられているので、風路を通じて庫内
に流入するエアは、この２次整流板によってより精密に
整流されることとなり、全体としての流速の均一化が図
られることとなる。
る２次整流板が設けられているので、風路を通じて庫内
に流入するエアは、この２次整流板によってより精密に
整流されることとなり、全体としての流速の均一化が図
られることとなる。
【００１２】このように、本発明のクリーン収納庫によ
れば、庫内に流入するエアの流速の均一化が図られるの
で、庫内に収納されているウエハ等の品質管理の向上を
図ることができるという効果がある。
れば、庫内に流入するエアの流速の均一化が図られるの
で、庫内に収納されているウエハ等の品質管理の向上を
図ることができるという効果がある。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１４】図１〜図５は、本発明に係るクリーン収納
庫の一実施例を示すものであり、従来ものと同じ部分に
は同じ符号を付してある。
庫の一実施例を示すものであり、従来ものと同じ部分に
は同じ符号を付してある。
【００１５】同図に示すように、本実施例のクリーン収
納庫は、吹き出し口３に１次整流板２０を設けるととも
に、棚２の背面に２次整流板３０を設けてある。
納庫は、吹き出し口３に１次整流板２０を設けるととも
に、棚２の背面に２次整流板３０を設けてある。
【００１６】１次整流板２０は、図４に示すように多数
の小孔２１が全面に設けられたパンチングメタルからな
り、断面山形に形成されている。パンチングメタルとし
ては、例えば直径５ｍｍでピッチ８ｍｍ〜直径１０ｍｍ
でピッチ１５ｍｍ程度の小孔を設けたものを使用するこ
とができる。なお、本実施例では、長さＬ１＝６４０ｍ
ｍ，底部の幅Ｌ２＝１３０ｍｍ，頂部２２の幅Ｌ３＝５
０ｍｍ，高さＨ＝約１７０ｍｍ，傾斜面２３の角度θ＝
１０度の１次整流板２０を、全体の左右幅Ｗ（図３参
照）＝１２８０ｍｍであって、吹き出し口３を有する水
平板に対して２つ並べて設けた。このような構成によっ
て、１次整流板２０の長手方向が棚２の幅方向と平行と
なるようになされる。また、本実施例では、エア流速の
均一化を一層図るために、吹き出し口３全面にメッシュ
部材４０を設けた。１次整流板２０とメッシュ部材４０
は、図５に示すようにフレームＦに対してボルトナット
で固定した。
の小孔２１が全面に設けられたパンチングメタルからな
り、断面山形に形成されている。パンチングメタルとし
ては、例えば直径５ｍｍでピッチ８ｍｍ〜直径１０ｍｍ
でピッチ１５ｍｍ程度の小孔を設けたものを使用するこ
とができる。なお、本実施例では、長さＬ１＝６４０ｍ
ｍ，底部の幅Ｌ２＝１３０ｍｍ，頂部２２の幅Ｌ３＝５
０ｍｍ，高さＨ＝約１７０ｍｍ，傾斜面２３の角度θ＝
１０度の１次整流板２０を、全体の左右幅Ｗ（図３参
照）＝１２８０ｍｍであって、吹き出し口３を有する水
平板に対して２つ並べて設けた。このような構成によっ
て、１次整流板２０の長手方向が棚２の幅方向と平行と
なるようになされる。また、本実施例では、エア流速の
均一化を一層図るために、吹き出し口３全面にメッシュ
部材４０を設けた。１次整流板２０とメッシュ部材４０
は、図５に示すようにフレームＦに対してボルトナット
で固定した。
【００１７】２次整流板３０は、メッシュ構造をなす精
密整流部材によって構成されており、棚２の背面全面に
設けられている。
密整流部材によって構成されており、棚２の背面全面に
設けられている。
【００１８】５０はＵＬＰＡフィルターであり、吹き出
し口３とクリーンファン６との間に設けられていて、ク
リーンファン６の空気吹出口から吹き出されるエアをク
リーンエアにするためのものである。５１はプレフィル
ター、５２はクリーンファン６の駆動モータ６ａを制御
するインバータである。
し口３とクリーンファン６との間に設けられていて、ク
リーンファン６の空気吹出口から吹き出されるエアをク
リーンエアにするためのものである。５１はプレフィル
ター、５２はクリーンファン６の駆動モータ６ａを制御
するインバータである。
【００１９】以上のようなクリーン収納庫によると、吹
き出し口３には、パンチングメタルからなる断面山形の
１次整流板２０が設けられているので、吹き出し口３か
らの吹き出し風速の動圧が制御される。そして、エアの
一部は図１矢印ａ１で示すように、１次整流板の山形を
なす傾斜面２３を通じて横方向への指向性を持った流れ
として吹き出し口近くにおいて風路４に流出される。こ
のため、吹き出し口３の近くにおいて風路４から庫内５
に流入するエアの流速は、従来に比べれば概して大きな
ものとなり、全体としてのばらつきは小さなものとな
る。
き出し口３には、パンチングメタルからなる断面山形の
１次整流板２０が設けられているので、吹き出し口３か
らの吹き出し風速の動圧が制御される。そして、エアの
一部は図１矢印ａ１で示すように、１次整流板の山形を
なす傾斜面２３を通じて横方向への指向性を持った流れ
として吹き出し口近くにおいて風路４に流出される。こ
のため、吹き出し口３の近くにおいて風路４から庫内５
に流入するエアの流速は、従来に比べれば概して大きな
ものとなり、全体としてのばらつきは小さなものとな
る。
【００２０】また、棚２の背面にはメッシュ状部材から
なる２次整流板３０が設けられているので、風路４を通
じて庫内５に流入するエアは、この２次整流板３０によ
ってより精密に整流されることとなり、全体としての流
速の均一化が図られる。
なる２次整流板３０が設けられているので、風路４を通
じて庫内５に流入するエアは、この２次整流板３０によ
ってより精密に整流されることとなり、全体としての流
速の均一化が図られる。
【００２１】＜実験例＞ 以上のようなクリーン収納庫を作成するに先立って作成
した試作品によって行なった実験の結果について説明す
る。
した試作品によって行なった実験の結果について説明す
る。
【００２２】測定条件 ＵＬＰＡフィルター：幅６１０ｍｍ，長さ６１０ｍｍ，
厚さ１５０ｍｍのものを２つ使用した。 クリーンファン：４８ｍ3／ｍｉｎ×２６−Ａｑ×１．
１Ｋｗのものを１台、 ６０Ｈｚで
使用した。 吹き出し口構造：前述した実施例と同様１次整流板（２
０）とメッシュ部材（４０）とを設けた。 測定位置：図６に示すように、試作品の２次整流板３１
の正面視で「＋」印の位置において、２次整流板から庫
内方向へ３０ｍｍ入った位置における風速を測定した。
なお、中心線に対して左右対称であるとの前提に基づ
き、右半分のみ測定した。
厚さ１５０ｍｍのものを２つ使用した。 クリーンファン：４８ｍ3／ｍｉｎ×２６−Ａｑ×１．
１Ｋｗのものを１台、 ６０Ｈｚで
使用した。 吹き出し口構造：前述した実施例と同様１次整流板（２
０）とメッシュ部材（４０）とを設けた。 測定位置：図６に示すように、試作品の２次整流板３１
の正面視で「＋」印の位置において、２次整流板から庫
内方向へ３０ｍｍ入った位置における風速を測定した。
なお、中心線に対して左右対称であるとの前提に基づ
き、右半分のみ測定した。
【００２３】測定結果 測定結果を、図６の括弧内の数字で示す。単位は「ｍ／
ｓ」である。これから分るように、最も大きな風速は、
右側上端部３１ａで測定され、０．４７ｍ／ｓ、最も小
さな風速は、中央下端部３１ｂで測定され、０．２５ｍ
／ｓ、したがって両者の差は、０．２２ｍ／ｓであっ
た。
ｓ」である。これから分るように、最も大きな風速は、
右側上端部３１ａで測定され、０．４７ｍ／ｓ、最も小
さな風速は、中央下端部３１ｂで測定され、０．２５ｍ
／ｓ、したがって両者の差は、０．２２ｍ／ｓであっ
た。
【００２４】＜比較例１＞ 測定条件 ＵＬＰＡフィルター：実験例と同じ。 クリーンファン：実験例と同じ。 吹き出し口構造：１次整流板（２０）は設けず、メッシ
ュ部材（４０）のみを設けた。 測定位置：実験例と同じ。
ュ部材（４０）のみを設けた。 測定位置：実験例と同じ。
【００２５】測定結果 測定結果を、図７の括弧内の数字で示す。単位は「ｍ／
ｓ」である。これから分るように、最も大きな風速は、
右側下端部３１ｃで測定され、０．５１ｍ／ｓ、最も小
さな風速は、中央下端部３１ｂで測定され、０．１３ｍ
／ｓ、したがって両者の差は、０．３８ｍ／ｓであっ
た。
ｓ」である。これから分るように、最も大きな風速は、
右側下端部３１ｃで測定され、０．５１ｍ／ｓ、最も小
さな風速は、中央下端部３１ｂで測定され、０．１３ｍ
／ｓ、したがって両者の差は、０．３８ｍ／ｓであっ
た。
【００２６】＜比較例２＞ 測定条件 ＵＬＰＡフィルター：実験例と同じ。 クリーンファン：実験例と同じ。 吹き出し口構造：１次整流板（２０）に代えて、図８に
示すように、通常の鉄板からなる断面「く」の字形の整
流板２５を設け、またメッシュ部材（４０）も設けた。 測定位置：実験例と同じ。
示すように、通常の鉄板からなる断面「く」の字形の整
流板２５を設け、またメッシュ部材（４０）も設けた。 測定位置：実験例と同じ。
【００２７】測定結果 測定結果を、図９の括弧内の数字で示す。単位は「ｍ／
ｓ」である。これから分るように、最も大きな風速は、
右側下端部３１ｃで測定され、０．８１ｍ／ｓ、最も小
さな風速は、中央下から３番目の位置３１ｄで測定さ
れ、０．１６ｍ／ｓ、したがって両者の差は、０．６５
ｍ／ｓであった。
ｓ」である。これから分るように、最も大きな風速は、
右側下端部３１ｃで測定され、０．８１ｍ／ｓ、最も小
さな風速は、中央下から３番目の位置３１ｄで測定さ
れ、０．１６ｍ／ｓ、したがって両者の差は、０．６５
ｍ／ｓであった。
【００２８】以上の実験例、および比較例１，２から分
るように、本実施例のクリーン収納庫によれば、庫内に
流入するエアの流速の均一化が図られる。
るように、本実施例のクリーン収納庫によれば、庫内に
流入するエアの流速の均一化が図られる。
【００２９】以上、本発明の一実施例について説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨の範囲内において適宜変形実施可能である。
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨の範囲内において適宜変形実施可能である。
【図１】本発明に係るクリーン収納庫の一実施例を示す
要部の縦断面図。
要部の縦断面図。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線断面図。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図。
【図４】実施例における１次整流板の斜視図。
【図５】同じく１次整流板の取り付け状態を示す部分拡
大図。
大図。
【図６】実験結果を示す図。
【図７】比較例１の結果を示す図。
【図８】比較例２の吹き出し口構造を示す部分縦断面
図。
図。
【図９】比較例２の結果を示す図。
【図１０】従来技術を示す側断面図。
２ 棚 ３ 吹き出し口 ４ 風路 ５ 庫内 ２０ １次整流板 ３０ ２次整流板
Claims (1)
- 【請求項１】 棚の背面下方に設けられた吹き出し口か
ら上方に向けて吹き出されたクリーンエアが棚の背面側
に形成された風路を通じて庫内に供給されるクリーン収
納庫において、前記吹き出し口に、多孔板からなる断面
山形の１次整流板をその頂部が上向きとなるように且つ
長手方向が棚の幅方向と平行となるように設けるととも
に、前記棚の背面にメッシュ状部材からなる２次整流板
を設けたことを特徴とするクリーン収納庫。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4118022A JP2505393B2 (ja) | 1992-04-09 | 1992-04-09 | クリ―ン収納庫 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4118022A JP2505393B2 (ja) | 1992-04-09 | 1992-04-09 | クリ―ン収納庫 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0624509A JPH0624509A (ja) | 1994-02-01 |
| JP2505393B2 true JP2505393B2 (ja) | 1996-06-05 |
Family
ID=14726134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4118022A Expired - Fee Related JP2505393B2 (ja) | 1992-04-09 | 1992-04-09 | クリ―ン収納庫 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2505393B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4696394B2 (ja) * | 2001-05-18 | 2011-06-08 | ムラテックオートメーション株式会社 | ストッカ |
| JP6037550B2 (ja) * | 2012-08-21 | 2016-12-07 | 株式会社ゲンダイプラント | 吸引テーブル |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62217036A (ja) * | 1986-03-18 | 1987-09-24 | Mitsubishi Electric Corp | ストツカ |
| JPH055391Y2 (ja) * | 1988-10-12 | 1993-02-12 |
-
1992
- 1992-04-09 JP JP4118022A patent/JP2505393B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0624509A (ja) | 1994-02-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |