JP2504549B2 - 流体供給処理装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は流体を作業対象物に供給してこれを処理する
流体供給処理装置に関する。

背景技術 流体供給処理装置としては、例えば、ディスク原盤製
造工程において、ディスク基板上にフォトレジストパタ
ーンを形成する工程、又はフォトレジスト除去工程等に
用いられるいわゆるスピンナが挙げられる。

第５図は従来の流体供給処理装置を示している。

この装置においては、ディスク基板等の作業対象１を
担持してこれを回転駆動させるターンテーブル２と、タ
ーンテーブル２の周辺の作業域を覆うスピンナボウル３
とを有している。スピンナボウル３の上方には３本の流
体案内管4,5及び６が配置されている。これら各流体案
内管は夫々流体供給源（図示せず）から供給される例え
ば現像液、定着液及び洗浄液の３種類の液体を作業対象
１上に案内するものであり、ターンテーブル２の上方に
て開口した先端部から各液体を吐出する。なお、各流体
案内管４ないし６からの液体の吐出及びその停止は、コ
ック７ないし９を所定のタイミングにて自動的に開閉す
ることによりなされる。また、各流体案内管４ないし６
からの液体の吐出はターンテーブル２を回転させつつ行
なわれ、２本の流体案内管４及び５はその液体の吐出に
伴ってターンテーブル２の半径方向に沿って移動せしめ
られる。

上記した構成の装置においては、例えば流体案内管４
が吐出する液体が凝固する性質のものである場合、吐出
の度に該流体の一部が流体案内管４の先端部に残留して
図示の如く堆積する。また、流体案内管４から作業対象
１上に吐出された液体の一部がターンテーブル２の回転
によって跳ね飛ばされ、これが更にスピンナボウル３の
内壁面にて弾けてその飛沫が流体案内管４ないし６の先
端部近傍に付着して堆積する。そして、この堆積したも
のが完全に固化するまでには至らずに作業対象１上に滴
下することがあり、これにより作業対象１が汚染され、
歩留りが低下するという問題があった。また、かかる汚
染を防止するために、流体案内管４が液体を吐出する毎
に逐一各流体案内管４ないし６の先端部を拭う装置やあ
るいは堆積物を洗浄するための液体を吐出する洗浄液吐
出装置を特別に設けることも考えられるが、これらを設
けることによって作業が煩雑となり能率の低下を来すの
みならずコストの増大を招来するという不都合がある。

発明の概要 本発明は上記した点に鑑みてなされたものであって、
その目的とするところはコストの増大をもたらすことな
く作業対象の汚染等を防止した流体供給処理装置を提供
することである。

本発明による流体供給処理装置は、作業対象を担持す
る担持手段と、複数の流体供給源と、前記担持手段の上
方にて各々開口する端部を有する複数の流体案内管と、
前記流体供給源に前記流体案内管を選択的に連通せしめ
る連通手段と、前記流体案内管を開閉する案内管開閉手
段とを含む流体供給処理装置であって、 前記複数の流体案内管のうち少なくとも１つの流体案
内管の端部は、他の流体手案内管の端部に挿入されて開
口し、 前記複数の流体供給源のうち１つの流体供給源は洗浄
液を供給し、 前記連通手段は、前記１つの流体供給源を前記１つの
流体案内管及び前記他の流体案内管に連通せしめる手段
を有する、ことを特徴としている。

実 施 例 以下、本発明の実施例としての流体供給処理装置を添
付図面を参照しつつ説明する。なお、該流体供給処理装
置は、光学式情報記録ディスクをインジェクション成形
するためのスタンパたる光ディスク原盤を得るために、
ガラス盤に塗布した感光性樹脂に例えば紫外光を照射し
た後、光を照射しなかった部分につき溶解除去して記録
トラックを形成するものである。

第１図に示すように、この装置は、作業対象としての
ガラス盤11を担持する担持手段たるターンテーブル12を
有している。ガラス盤11は、その表面に感光性樹脂を塗
布した後、該感光性樹脂に例えば紫外光を照射（露光）
することにより記録トラックとなる必要部分を高分子化
して溶解度を低減せしめて成る（ポジ型フォトレジスト
の場合）。また、ターンテーブル12は図示せぬ回転駆動
機構によって回転せしめられる。なお、ガラス盤11はタ
ーンテーブル12に対して真空チャック（図示せず）など
により固着される。

ターンテーブル12の周囲の作業域を覆う傘状のスピン
ナボウル13が設けられている。スピンナボウル13の上方
には、複数の管部材15,16,17及び18をＴ字管19及び20に
より連結してなる第１流体案内管21と、複数の管部材2
3,24,及び25をＴ字管26を介して連結してなる第２流体
案内管27とが設けられている。第２流体案内管27は、図
示せぬ流体供給源から供給される現像用の有機溶剤を案
内するものであり、ターンテーブル12上のガラス盤11の
上方にて開口した管部材18の先端部からこの有機溶剤を
吐出する。また、第１流体案内管21は、流体供給源（図
示せず）から供給される洗浄用の脱イオン水を案内し、
ガラス盤11の上方にて開口した管部材25の先端部から該
脱イオン水を吐出する。なお、第１流体案内管21及び第
２流体案内管27からの各液体の吐出及びその停止は、案
内管開閉手段としてのコック29及び30を後述するタイミ
ングにて自動的に開閉せしめることによりなされる。

第２図にも示す如く、第１流体案内管21の内径は第２
流体案内管27の外径よりも大きく、第２流体案内管27の
先端部及びその近傍、この場合、管部材25が第１流体案
内管21を構成する管部材18内に同心的に挿通せしめられ
ている。詳しくは、第１流体案内管21の構成部材である
Ｔ字管20の１つの開口部に中間部材としてのソケット31
が螺合せしめられており、第２流体案内管27の管部材25
はこのソケット31を通じて第１流体案内管21の管部材18
内に挿通せしめられている。

一方、第１流体案内管21を構成するＴ字管19と第２流
体案内管27の構成部材であるＴ字管26は、２本の管部材
33及び34をコック35を介して連結して成る連通管36によ
って連通せしめられている。Ｔ字管19は第１流体案内管
21を開閉するためのコック29の上流に配置されており、
第２流体案内管27のＴ字管26は該第２流体案内管の開閉
をなすコック30の下流に設けられている。

なお、上記した構成から明らかな如く、第１流体案内
管21、第２流体案内管27及び連通管36は互いに一体的に
組み付けられており、例えば第２流体案内管27から有機
溶剤が吐出されるときにはこれら各流体案内管及び連通
管はターンテーブル12の半径方向に沿って移動せしめら
れる。また、第１流体案内管21及び第２流体案内管27か
らの各液体の吐出は、ターンテーブル12を回転させなが
ら行なわれる。

次に、上記した構成の流体供給処理装置の動作につい
て説明する。

まず、ガラス盤11をターンテーブル12上に載置する
と、ガラス盤11は真空チャックなどの固定手段によりタ
ーンテーブル12に対して固定せられる。そして、ターン
テーブル12が所定の回転速度にて回転せしめられる。こ
の後、第１流体案内管21及び第２流体案内管27がターン
テーブル12の半径方向に移動せられ、各流体案内管の先
端部すなわち流体吐出口がターンテーブル12の回転中心
近傍に対応すべく位置決めされる。次いで、コック30が
開かれて第２流体案内管27からの現像用の有機溶剤の吐
出が開始され、この吐出状態を続けながら第２流体案内
管27が第１流体案内管21と共にその先端部がターンテー
ブル12上のガラス盤11の外周部に対応して位置するまで
徐々に移動せしめられる。かくしてガラス盤11の全面に
亘って現像用有機溶剤が供給され、ガラス盤11の表面に
塗布された感光性樹脂の不必要部分が溶解除去され、露
光により形成された記録トラックがレジストパターンと
して得られ、現像が完了する。

この直後、例えばタイマーにより発せられる一定時間
経過検出信号、若しくは、回折光を利用した現像モニタ
ー装置から発せられる現像終了検知信号に基づき、コッ
ク30が閉じられ、現像用有機溶剤の供給が断たれる。こ
れと同時に、コック29が開かれ、第１流体案内管21を通
じて洗浄用の脱イオン水がガラス盤11上に吐出されガラ
ス盤11の表面に残留した有機溶剤が洗い流される。ま
た、同時にコック35も開かれ、連通管36を経て第２流体
案内管27の管部材25内にも脱イオン水が供給される。

一方、第２流体案内管27を経て供給される現像用の有
機溶剤は凝固性を有しており、吐出のたびにこの有機溶
剤の一部が第２流体案内管27の先端部に付着する。しか
しながら、上記の如く、この付着した有機溶剤はこれが
凝固し始める前に第１流体案内管21から吐出される脱イ
オン水によって洗い流される。従って、有機溶剤が第２
流体案内管27の先端部及びその近傍にて凝固して堆積す
ることはなく、堆積物がガラス盤11上に落下することに
よるガラス盤11の汚染等が防止されている。

また、第２流体案内管27が有機溶剤の吐出を停止した
後、該第２流体案内管内であってコック30よりも下流側
に残留した有機溶剤がガラス盤11上に滴下する懸念があ
る。ところが、上記の如く、この部分の有機溶剤はバイ
パス路を形成する連通管36を通じて供給される脱イオン
水によって押し出され、且つ、洗い流される故、ガラス
盤11がかかる残留有機溶剤により汚染される心配もな
い。

上記までの作業によりガラス盤11の表面にレジストパ
ターンとして情報記録トラックが形成され、光学式情報
記録ディスクをインジェクション成形するためのスタン
パたる光ディスク原盤が得られる。この後、更に、図示
せぬ水供給装置から供給される水によって該光ディスク
原盤の水洗いがなされ、次いで、ターンテーブル12を回
転せしめることにより光ディスク原盤の遠心脱水が行な
われ、処理作業を完了する。なお、上記の各動作は通
常、プロセスコントローラ等による自動制御下にてなさ
れる。

尚、上記した実施例においては、光ディスクの原盤の
製造工程においてスピンナを用いる場合について説明し
たが、本願発明による流体供給処理装置は、他の処理工
程にも適用出来ることは言うまでもない。

また、本願発明による流体供給処理装置が扱う流体と
しては上記の実施例におけるが如き液体に限らず、気
体、粒状の固体を含む液体、粒状の固体を含む気体な
ど、管路にて輸送し得る全てのものが適用可能である。

更に、上記した実施例においては、第１流体案内管21
内に第２流体案内管27のみを挿通せしめているが、扱う
流体に応じ、第３図に示す如くこの第２流体案内管27内
に更に他の第３流体案内管38を同心的に設けて３重の管
としてもよい。また、２重及び３重の管に限らず４重以
上の管とすることも可能であると共に、第４図に示す如
く所定の流体案内管内に設けられた各流体案内管を同心
的に配設するのではなく、並設してもよい。また、かか
る同心的配管及び並設配管を混在させた形とすることも
出来る。

発明の効果 以上詳述した如く、本発明による流体供給処理装置に
おいては、流体案内管を流体供給源に対して選択的に連
通させる連通手段を有し、１つの流体案内管（25）の端
部が他の流体案内管（18）の端部に挿入されて開口する
２つの流体案内管（18,25）の両方に対して、上記連通
手段により、共に洗浄液を供給できるようになってい
る。

かかる構成の故、例えば、１つの流体案内管（25）に
現像用有機溶剤を供給した後、他の流体案内管（18）の
みならず１つの流体案内管（25）にも洗浄液を供給する
ことができる。

従って、１つの流体案内管（25）を流れる流体が凝固
性のものであってもこれがかかる案内管の先端部および
その近傍さらには内部に凝固して堆積することはなく、
堆積物が作業対象上に落下することによる作業対象の汚
染等が防止されているのである。また、このように流体
案内管を二重の管若しくは三重の管とする構成は比較的
安価にて達成され、コストの増大も低く抑えられている
のである。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の実施例としての流体供給処理装置の一
部断面を含む正面図、第２図は第１図に関するII−II断
面図、第３図及び第４図は第１図及び第２図に示した流
体供給処理装置の一部の変形を示す図、第５図は従来の
流体供給処理装置の一部断面を含む正面図である。 主要部分の符号の説明 11……ガラス盤 12……ターンテーブル 13……スピンナボウル 21……第１流体案内管 27……第２流体案内管 36……連通管

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】作業対象を担持する担持手段と、複数の流
   体供給源と、前記担持手段の上方にて各々開口する端部
   を有する複数の流体案内管と、前記流体供給源に前記流
   体案内管を選択的に連通せしめる連通手段と、前記流体
   案内管を開閉する案内管開閉手段とを含む流体供給処理
   装置であって、 前記複数の流体案内管のうち少なくとも１つの流体案内
   管の端部は、他の流体案内管の端部に挿入されて開口
   し、 前記複数の流体供給源のうち１つの流体供給源は洗浄液
   を供給し、 前記連通手段は、前記１つの流体供給源を前記１つの流
   体案内管及び前記他の流体案内管に連通せしめる手段を
   有する、 ことを特徴とする流体供給処理装置。