JPH02216633A - スピンコーティング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、例えば光ディスクのディスク基板に形成され
た情報記録層を保護するために該情報記録層上にコーテ
ィング剤を塗布して保護層を形成するスピンコーティン
グ装置に関する。

背景技術 第７図に従来のスピンコーティング装置を示す。

図示したように、当該スピンコーティング装置は、作業
対象としての光ディスクのディスク基板１を担持する回
転テーブル２と、該回転テーブル２を回転駆動するスピ
ンドルモータ３とを有している。

ディスク基板１は樹脂を素材としてインジェクション成
形により得られ、その表面には情報記録層（図示せず）
が形成されている。回転テーブル２の周辺の作業域を囲
むべく椀状のスピンナボウル４が設けられており、該ス
ピンナボウルの上方には案内管５が配設されている。案
内管５は、供給源（図示せず）から供給される液状のコ
ーティング剤を回転テーブル１上に載置されたディスク
基板１上に案内するものであり、回転テーブル２の上方
にて開口した先端部からコーティング剤をノズル６を介
して流下せしめる。・なお、案内管５からのコーティン
グ剤の吐出及びその停止は、コック７を所定のタイミン
グにて自動的に開閉することによりなされる。また、案
内管５からのコーティング剤の吐出は回転テーブル２を
回転させつつ行なわれ、案内管５はコーティング剤の吐
出に伴なって回転テーブル２の半径方向に移動せしめら
れる。

上記した構成のスピンコーティング装置においては、案
内管５からディスク基板１上に流下せしめられたコーテ
ィング剤の一部が回転テーブル２の回転に伴なう遠心力
によって跳ね飛ばされ、これが図示の如く囲繞部材とし
てのスピンナボウル４の側内壁に付着して堆積する。こ
の堆積したものをそのままにしておくと、これが回転テ
ーブル２の回転を阻害したり、堆積物の一部がディスク
基板１に塊として付着するなどの懸念が生ずる。

故に、適宜この堆積物を溶剤を以て清掃する必要がある
が、この清掃には多大な時間と人手を費し、また、清掃
中はスピンコーティング装置を停止しなければならず、
コーティング作業の能率向上を図る上で解決さるべき問
題となっていた。

発明の概要 本発明は上記した点に鑑みてなされたものであって、そ
の目的とするところはコーティング作業域を囲繞する囲
繞部材内壁面の清掃を行なう必要のないスピンコーティ
ング装置を提供することである。

本発明によるスピンコーティング装置は、回転担持手段
をｔの担持した作業対象と共に囲繞してコーティング用
流体の飛散を防止する囲繞部材の側内壁に沿ってコーテ
ィング剤洗浄用溶剤を流下せしめる溶剤流下手段を有し
、以て該側内壁へのコーティング剤の付着を防止したこ
とを第１の特徴としている。

また、本発明によるスピンコーティング装置は、上記溶
剤流下手段に代えて、コーティング用流体を吸着する吸
着材を上記囲繞部材の内壁面に沿って着脱自在に設け、
作業対象の回転により飛び散るコーティング用流体をこ
の吸着材にて受けて該吸着材の交換をなす構成とした“
ことを第２の特徴としている。

実施例 以下、本発明の実施例としてのスピンコーティング装置
を添付図面を参照しつつ説明する。

第１図及び第２図に本発明の第１実施例としてのスピン
コーティング装置を示す。

第１図に示す如く、当該スピンコーティング装置は、作
業対象であるディスク基板１１を同心的に担持する回転
担持手段としての円板状の回転テーブル１２を有してい
る。回転テーブル１２は、ベース１３に取り付けられた
スピンドルモータ１４によって直接回転せしめられる。

なお、ディスク基板１１は透明な樹脂を素材としてこれ
をインジェクション成形して得られ、その表面には情報
記録層（図示せず）が形成されている。また、ディスク
基板１１は、当該スピンコーティング装置により該情報
記録層上にこれを保護する保護層を形成した後、更に後
工程に送られて種々の加工を施され、これにより光ディ
スクが完成する。

回転テーブル１２の上方には先端部が略直角に屈曲せし
められた案内管１５が設けられている。

この案内管１５は、供給源（図示せず）から圧送される
液状のコーティング剤を回転テーブル１２上に載置され
たディスク基板１１上に案内するものであり、回転テー
ブル１２の上方にて開口した先端部からノズル１６を介
してコーティング剤を流下せしめる。案内管１５の中間
部にはコック１７が設けられており、案内管１５からの
コーティング剤の流下及びその停止はこのコック１７を
所定のタイミングで自動的に開閉することによりなされ
る。また、ノズル１６からのコーティング剤の吐出は回
転テーブル１２を回転せしめつつ行なわれ、ノズル１６
は案内管１５と共にコーティング剤の吐出に伴なって回
転テーブル１２の半径方向に移動せられる。

回転テーブル１２をその担持したディスク基板１１と共
に囲んで回転テーブル１２の回転に伴なうコーティング
剤の飛散を防ぐ囲繞部材としての椀状のスピンナボウル
１９が設けられている。スピンナボウル１９の上端開口
縁部の内側面に沿って円環状の流下管２０が配置されて
いる。流下管２０は供給管２１を介してポンプ２２の吐
出口と連通せしめられており、ポンプ２２の吸入口は中
継管２３を介して貯蔵タンク２４の内部空間と連通され
ている。貯蔵タンク２４は回収管２５を介してスピンナ
ボウル１９の底部空間に連通せしめられている。貯蔵タ
ンク２４には上記したコーティング剤を洗浄するための
溶剤２６が貯えられている。また、ポンプ２２と貯蔵タ
ンク２４の間に介装された中継管２３は、保給管２７及
びコック２８を介して保給タンク３０の内部空間と連通
されている。この保給タンク３０にも溶剤２６が貯えら
れている。

第２図にも示す如く、環状に形成された流下管２０には
複数の小孔２０ａが互いに所定の間隔を隔てて形成され
ている。これら小孔２０ａは、夫々がスピンナボウル１
９の側内壁に向うべく且つ該側内壁に対して傾斜するよ
うに形成されている。

上記した構成のスピンコーティング装置においては、回
転テーブル１２の回転に同期してノズル１６からディス
ク基板１１上にコーティング剤が流下せしめられ、これ
に伴ってポンプ２２が作動して貯蔵タンク２４内の溶剤
が流下管２０に圧送される。流下管２０に圧送された溶
剤は、流下管２０の小孔２０ａを通じてスピンナボウル
１９の側内壁に沿って流下せしめられる。従って、回転
テーブル１２の回転によりスピンナボウル１９の側内壁
に向けて飛散するコーティング剤はこの流下する溶剤に
よって洗浄され、該側内壁に付着して堆積することはな
く、稼動中のスピンコーティング装置を頻繁に停止せし
めて清掃する必要はない。

なお、貯蔵タンク２４内の溶剤が減少したときには、コ
ック２８を適宜間いて保給タンク３０内の溶剤を保給す
る。また、当該スピンコーティング装置においては、ス
ピンナボウル１９の側内壁に沿って流下した溶剤は回収
管２５を経て再び貯蔵タンク２４内に回収されて循環し
て使用される。

従って、貯蔵タンク２４への溶剤の補填回数が少なくな
るのみならず、溶剤の使用量が少なくて済み、経済的観
点からも好ましい。

第３図及び第４図に本発明の第２実施例としてのスピン
コーティング装置を示す。なお、以下の説明において第
１図及び第２図に示した第１実施例のスピンコーティン
グ装置と同−又は対応する部分については同じ参照符号
を用いている。また、これは、後述する他の実施例の説
明においても同様である。

第３図及び第４図に示すように、当該スピンコーティン
グ装置は、作業対象としての光ディスクのディスク基板
１１を担持する回転テーブル１２と、該回転テーブルを
回転駆動するスピンドルモータ１４とを有している。回
転テーブル１４の上方には、供給源（図示せず）から供
給される液状のコーティング剤を該回転テーブル上に載
置されたディスク基板１１上に案内する案内管１５が設
けられており、該案内管はコック１７が開かれることに
よってその先端に取り付けられたノズル１６を通じてコ
ーティング剤を流下せしめる。

回転テーブル１２の周囲の作業域を囲繞する椀状のスピ
ンナボウル１９が設けられている。スピンナボウル１９
の外部には一対のリール２９及び３０が回転自在に設け
られている。両リール２９及び３０は帯状に形成された
吸着材３１を巻回せしめるためのものであり、一方のリ
ール３０はモータ３２によって回転駆動される。このリ
ール３０はモータ３２のスピンドルシャフト３２ａに対
して着脱自在であり、且つ、他方のリール２９と共にス
ピンナボウル１９若しくは該スピンナボウルを支持する
支持ベース（図示せず）に対して着脱自在となっている
。

スピンナボウル１９の側壁部にはこの吸着材の幅寸法よ
りも大なる長さを有するスリット１９ａが形成されてい
る。帯状の吸着材３１は上記の両リール２９及び３０に
巻回せられ、且つ、このスリット１９ａを通じてスピン
ナボウル１９内にづき込まれて該スピンナボウルの側内
壁に沿って延在せしめられている。スピンナボウル１９
内には吸着材３１を案内する例えば３つの案内リング３
３が等ピッチにて設けられている。また、第３図に示す
ように、スリット１９ｇの縁部には、吸着材３１と円滑
に摺接する円柱状の案内部材３４が設けられている。但
し、第４図にはこの円柱状の案内部材３４は図示しては
いない。

第３図及び第４図に示したスピンコーティング装置にお
いては、回転テーブル１２の回転によってスピンナボウ
ル１９の側内壁に向って飛び散るコーティング剤は、ス
ピンナボウル１９の側内壁に沿って延在した吸着剤３１
に付着して吸着される。スピンナボウル１９内にあって
コーティング剤を充分吸着した吸着材３１はモータ３２
の回転によりリール３０に巻き取られ、同時にリール２
９より未だコーティング剤を吸着していない吸着材３１
がスピンナボウル１９内に引き込まれる。

これを繰り返すことによりリール２９に巻装されていた
吸着材３１がリール３０に全て巻き取られた後、リール
３０を取り外して該リールから吸着材を抜き出してこれ
を廃棄する。そして、吸着材３１を全て巻き取られて空
となったリール２９をモータ３２のスピンドルシャフト
３２ａに装着しなおしてこれを新たな巻き取り側のリー
ル３０とする。そして、未使用の吸着材が巻装された新
たなリール２９を装着し、この新しいリール２９の吸着
材３１をスリット１９ａを通じてスピンナボウル１９の
側内壁に沿って延在せしめ、その先端部をスリット１９
ａを経てスピンナボウル１９外に引き出して新たな巻き
取り側のリール３０に巻着する。

上記した如く、当該スピンコーティング装置においては
、回転テーブル１２の回転によりスピンナボウル１９の
側内壁に向かって飛散するコーティング剤を帯状吸着材
３１にて受けて該吸着材の交換をなす構成の故、スピン
コーティング装置を稼動中に頻繁に停止させて清掃する
必要がなく、又、吸着材の交換作業の間隔も長時間とな
るのでコーティング作業の能率が向上しているのである
。

第５図及び第６図に本発明の第３実施例としてのスピン
コーティング装置を示す。当該スピンコーティング装置
は以下に説明する部分以外は第３図及び第４図に示した
第２実施例のスピンコーティング装置と同様に構成され
ており、詳述はしない。

第５図及び第６図に示す如く、当該スピンコーティング
装置においては、回転テーブル１２の周辺の作業域を囲
むスピンナボウル１９の内壁面に沿って厚みが比較的大
なる円筒状の吸着材３６が着脱自在に設けられている。

当該スピンコーティング装置においては、回転テーブル
１２の回転によってスピンナボウル１９の側内壁に向っ
て飛散するコーティング剤はこの円筒状の吸着材３６に
より吸着される。吸着材３６は厚みが大である故、多量
のコーティング剤を吸着することが出来る。コーティン
グ剤を充分吸着した吸着材３６は第６図において二点鎖
線で示す如くスピンナボウル１９から抜き取られ、新た
な吸着材が装着される。

前述した第２実施例のスピンコーティング装置と同様に
当該スピンコーティング装置も吸着材の交換をなす構成
の故、稼動中のスピンコーティング装置を頻繁に停止し
て清掃する必要はない。又、吸着材もその厚みを大とす
れば、吸着し得るコーティング剤の量が多大となり、該
吸着材の交換作業の間隔は長くなり、コーティング作業
の能率向上が達成され得る。

発明の効果 以上詳述した如く、本発明によるスピンコーティング装
置においては、回転担持手段をその担持した作業対象と
共に囲繞してコーティング用流体の飛散を防止する囲繞
部材の側内壁に沿ってコーティング剤洗浄用の溶剤を流
下せしめる溶剤流下手段を有しており、囲繞部材の内壁
面に対するコーテイング材の付着を防止している。

また、本発明によるスピンコーティング装置においては
、コーティング用流体を吸着する吸着材を上記囲繞部材
の内壁面に沿って着脱自在に設け、作業対象の回転によ
り飛散するコーティング用流体をこの吸着材にて受けた
後に該吸着材を交換する構成としている。

かかる構成の故、稼動中のスピンコーティング装置を頻
繁に停止せしめて囲繞部材の内壁面を清掃する必要はな
く、コーティング作業の能率の向上が達成されるのであ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例としてのスピンコーティン
グ装置の一部断面を含む正面図、第２図は第１図に示し
たスピンコーティング装置の一部国 の斜視図、第３図及び第４は本発明の第２実施例Δ としてのスピンコーティング装置の各々平面図及び一部
所面を含む正面図、第５図及び第６図は本発明の第３実
施例としてのスピンコーティング装置の各々平面図及び
一部所面を含む正面図、第７図は従来のスピンコーティ
ング装置の一部断面を含む正面図である。 主要部分の符号の説明 １１・・・・・・ディスク基板（作業対象）１２・・・
・・・回転テーブル（回転担持手段）１４・・・・・・
スピンドルモータ １５・・・・・・案内管 １６・・・・・・ノズル １９・・・・・・スピンナボウル（囲繞部材）２０・・
・・・・流下管 ２２・・・・・・ポンプ ２４・・・・・・貯蔵タンク ３１．３６・・・・・・吸着材

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）作業対象を回転させつつ担持する回転担持手段と
   、前記回転担持手段上の作業対象に向けてコーティング
   用流体を流下せしめる流体供給手段と、前記回転担持手
   段を囲繞する囲繞部材とを含むスピンコーティング装置
   であって、前記囲繞部材の側内壁に沿って溶剤を流下せ
   しめる溶剤流下手段を有することを特徴とするスピンコ
   ーティング装置。
2. （２）前記溶剤流下手段は流下した溶剤を回収して循環
   せしめる循環手段を有することを特徴とする請求項１記
   載のスピンコーティング装置。
3. （３）前記溶剤を流下せしめる溶剤流下手段を有するこ
   とに代えて、前記コーティング用流体を吸着する吸着材
   を着脱自在に前記囲繞部材の内壁面に沿って設けたこと
   を特徴とする請求項１記載のスピンコーティング装置。