JPS62128125A - ウエハ洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野１ 本発明は、２つの洗浄槽を上下２段に配設したウェハ洗
浄装置に関するものであり、各洗浄槽で異なった種類の
洗浄液を使用可能にしたものである。

［従来の技術］ 従来のこの種の洗浄装置は、第２図に示すように洗浄槽
１の底部に回転真空チャック２が配設され、このチャッ
ク２の上方に洗浄用ブラシ３およびジェット水流洗浄用
ノズル４等が配設されている。

このように構成された洗浄装置はウェハ搬送ライン５の
下方に配設され、ライン５によって搬送されてくるウェ
ハ６をチャック２で保持して回転させながら、ノズル４
から噴射する洗浄液および洗浄用ブラシ３によってウェ
ハ６を洗浄するものである。

［発明が解決しようとする問題点］ 従来の洗浄装置は上述の如く構成されているが、この洗
浄装置には次のような問題点が指摘されている。すなわ
ち、洗浄槽１が搬送ライン５の下方に配設される関係上
、洗浄槽１内の洗浄用ブラシ３や洗浄用ノズル４等のメ
インテナンスが困難であり、またこのため使用可能な洗
浄液が槽１やブラシ３やノズル４の清掃等メインテナン
スの頻度が少なくて済むもの例えば純水等に限定される
。

［問題点を解決するための手段］ 本発明は、上述のような問題点を解決するために検討し
て到達したものであって、ウェハ搬送うインを挾んでそ
の上方に上部洗浄槽を、下方に下部洗浄槽をそれぞれ配
設し、上記上部洗浄槽内に洗浄用器具を配設するととも
に、上記上部洗浄槽から下部洗浄槽にウェハを移動させ
る移動手段を配設したウェハ洗浄装置に関する。

［作　用］ 上述のように構成された本発明のウェハ洗浄装置におい
ては、上部洗浄槽がウェハ搬送ラインの上方に配設され
ている関係上、上部洗浄槽内の洗浄用器具のメインテナ
ンスを容易に行なうことができる。このため、上部洗浄
槽と下部洗浄槽で純水に限らずその他の各種洗浄液の自
由な使用が可能となり、理想的なウェハの洗浄を行なう
ことができる。しかも、洗浄槽を上下２段に構成してい
るので、洗浄装置の設置スペースは従来と変わらず、工
場床面積の有効利用を図ることができる。

［実施例］ 以下、具体的に図面を用いて実施例を説明する。

第１図は本発明に従って構成したウェハ洗浄装置を示し
たものであって、同図において５はつエバ搬送ラインで
あり、この搬送ライン５を挾んでライン５上方に上部洗
浄槽１０が、またライン５下方に下部洗浄槽１１がそれ
ぞれ配設されている。上部および下部洗浄槽１０は有底
四角柱形状、１１は有底円筒形状に形成されており、そ
れぞれの底部中央には円形の開口部１２．１３が形成さ
れている。

上部洗浄槽１０内には、洗浄用ブラシ３およびジェット
水流洗浄用ノズル４が配設されている。また開口部１２
の真上位置に洗浄液を滴下する２本のノズル１４．１５
が配設されている。

一方、下部洗浄槽１１内には回転真空チャック２が配設
され、このチャック２の回転軸１６は間口部１３を通っ
て下方へ延び、モータ１７に連結されている。なお、チ
ャック２とモータ１７はエアシリンダ１８によって一体
的に昇降駆動できるようになっている。

上部洗浄槽１０と下部洗浄槽１１との間には、円筒状の
接続管２１が配設されている。この接続管２１の下端は
、下部洗浄槽１１の上開口部２２に摺動自在に嵌合され
ている。接続管２１はエアシリンダ２３によって昇降駆
動できるようになっており、接続管２１を上昇させた場
合、その上端が上部洗浄槽１０の開口部１２に嵌合して
上部洗浄槽１０と下部洗浄槽１１とが相互に接続される
ようになっている。

以上のような構成を有する本発明のウェハ洗浄装置にお
いて、ウェハ搬送ライン５によって搬送されてきたウェ
ハ６は、第１図で矢印方向に上昇してくるチャック２に
よって真空吸着され、そのまま第１の洗浄槽１０内に移
動し、所定の位置で停止する。

次に、接続管２１が上昇して上部および下部洗浄槽１０
．１１が相互に連結され、１つの洗浄槽が構成される。

この状態で、上部洗浄槽１０内においてあらかじめ設定
された順序に従いブラシ洗浄およびジェット洗浄が行な
われる。なお、このときの洗浄は例えば純水等の溶剤以
外の洗浄液が使用される。洗浄液は例えばノズル１４か
ら滴下される。

上部洗浄槽１０での洗浄が終了したウェハ６は、チャッ
ク２に保持されたまま下降して下部洗浄槽１１へと送ら
れる。下部洗浄槽１１においては例えばノズル１５から
滴下される有機溶剤等の洗浄液が使用され、洗浄された
、ウェハ６は回転による遠心乾燥がなされ、これで全て
の洗浄工程が終了する。

なお、洗浄を終えたウェハ６はチャック２に保持された
まま上昇し、同時に接続管２１がもとの位置まで下降し
、ウェハ搬送ライン５へと送られる。

なお、上記実施例において上部洗浄槽１０を透明な部材
で構成すれば、ブラシ洗浄中のアラ９３毛先とウェハ６
との接触状況を目視確認することができる等、洗浄工程
の管理を充実することができて便利である。

［発明の効果］ 本発明のウェハ洗浄装置は、上部洗浄槽をウェハ搬送ラ
インの上方に配設している関係上、上部洗浄槽内の洗浄
用器具のメインテナンスが容易である。また、下部洗浄
槽では純水以外の例えば各種溶剤等による洗浄が可能で
あるので、理想的なウェハの洗浄ができる。しかも、洗
浄槽は上下２段で構成しているので設置スペースが少な
くてすみ、工場床面積の有効利用が図れる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に従って構成したウェハ洗浄装置の概略
側面図、第２図は従来のウェハ洗浄装置の概略側面図で
ある。 ２・・・回転真空チャック、３・・・洗浄用ブラシ、４
・・・ジェット水流洗浄用ノズル、５・・・ウェハ搬送
ライン、６・・・ウェハ、１０・・・上部洗浄槽、１１
・・・下部洗浄槽、１８・・・エアシリンダ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ウェハ搬送ラインを挾んでその上方に上部洗浄槽を、下
   方に下部洗浄槽をそれぞれ配設し、上記上部洗浄槽内に
   洗浄用器具を配設するとともに、上記上部洗浄槽から下
   部洗浄槽にウェハを移動させる移動手段を配設したこと
   を特徴とする洗浄装置。