JPH02164475A

JPH02164475A - 流体供給処理装置

Info

Publication number: JPH02164475A
Application number: JP63317710A
Authority: JP
Inventors: Kazumi Kuriyama; 栗山　和巳
Original assignee: Pioneer Video Corp; Pioneer Electronic Corp
Current assignee: Pioneer Video Corp; Pioneer Corp
Priority date: 1988-12-15
Filing date: 1988-12-15
Publication date: 1990-06-25
Anticipated expiration: 2011-06-05
Also published as: US5058610A; JP2504549B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】技術分野本発明は流体を作業対象物に供給してこれを処理する流
体供給処理装置に関する。

背景技術流体供給処理装置としては、例えば、ディスク原盤製造
工程において、ディスク基板上にフォトレジストパター
ンを形成する工程、又はフォトレジスト除去工程等に用
いられるいわゆるスピンナが挙げられる。

第５図は従来の流体供給処理装置を示している。

この装置においては、ディスク基板等の作業対象１を担
持してこれを回転駆動させるターンテーブル２と、ター
ンテーブル２の周辺の作業域を覆うスピンナボウル３と
を有している。スピンナボウル３の上方には３本の流体
案内管４，５及び６が配置されている。これら各流体案
内管は夫々流体供給源（図示せず）から供給される例え
ば現像液、定着液及び洗浄液の３種類の液体を作業対象
１上に案内するものであり、ターンテーブル２の上方に
て開口した先端部から各液体を吐出する。

なお、各流体案内管４ないし６からの液体の吐出及びそ
の停止は、コックアないし９を所定のタイミングにて自
動的に開閉することによりなされる。

また、各流体案内管４ないし６からの液体の吐出はター
ンテーブル２を回転させつつ行なわれ、２本の流体案内
管４及び５はその液体の吐出に伴ってターンテーブル２
の半径方向に沿って移動せしめられる。

上記した構成の装置においては、例えば流体案内管４が
吐出する液体が凝固する性質のものである場合、吐出の
度に該流体の一部が流体案内管４の先端部に残留して図
示の如く堆積する。また、流体案内管４から作業対象１
上に吐出された液体の一部がターンテーブル２の回転に
よって跳ね飛ばされ、これが更にスピンナボウル３の内
壁面にて弾けてその飛沫が流体案内管４ないし６の先端
部近傍に付着して堆積する。そして、この堆積したもの
が完全に固化するまでには至らずに作業対象１上に滴下
することがあり、これにより作業対象１が汚染され、歩
留りが低下するという問題があった。また、かかる汚染
を防止するために、流体案内管４が液体を吐出する毎に
逐−各流体案内管４ないし６の先端部を拭う装置やある
いは堆積物を洗浄するための液体を吐出する洗浄液吐出
装置を特別に設けることも考えられるが、これらを設け
ることによって作業が煩雑となり能率の低下を来すのみ
ならずコストの増大を招来するという不都合がある。

発明の概要本発明は上記した点に鑑みてなされたものであって、そ
の目的とするところはコストの増大をもたらすことなく
作業対象の汚染等を防止した流体供給処理装置を提供す
ることである。

本発明による流体供給処理装置は、作業対象を担持する
担持手段と、流体供給源から供給される流体を該担持手
段の上方にて開口した先端部から吐出する複数の流体案
内管の少なくとも１内に他の流体案内管の少なくとも先
端部及びその近傍を挿通せしめ、該他の流体案内管の少
なくとも先端部及びその近傍の外側面をこれを囲繞した
流体案内管を流れる流体によって洗浄することを特徴と
している。

実施例以下、本発明の実施例としての流体供給処理装置を添付
図面を参照しつつ説明する。なお、該流体供給処理装置
は、光学式情報記録ディスクをインジェクション成形す
るためのスタンバたる光デイスク原盤を得るために、ガ
ラス盤に塗布した感光性樹脂に例えば紫外光を照射した
後、光を照射しなかった部分につき溶解除去して記録ト
ラックを形成するものである。

第１図に示すように、この装置は、作業対象としてのガ
ラス盤１１を担持する担持手段たるターンテーブル１２
を有している。ガラス盤１１は、その表面に感光性樹脂
を塗布した後、該感光性樹脂に例えば紫外光を照射（露
光）することにより記録トラックとなる必要部分を高分
子化して溶解度を低減せしめて成る（ポジ型フォトレジ
ストの場合）。また、ターンテーブル１２は図示せぬ回
転駆動機構によって回転せしめられる。なお、ガラス盤
１１はターンテーブル１２に対して真空チャック（図示
せず）などにより固着される。

ターンテーブル１２の周囲の作業域を覆う傘状のスピン
ナボウル１３が設けられている。スピンナボウル１３の
上方には、複数の管部材１５，１６．１７及び１８をＴ
字管１９及び２０により連結してなる第１流体案内管２
１と、複数の管部材２３．２４及び２５をＴ字管２６を
介して連結してなる第２流体案内管２７とが設けられて
いる。

第２流体案内管２７は、図示せぬ流体供給源から供給さ
れる現像用の有機溶剤を案内するものであり、ターンテ
ーブル１２上のガラス盤１１の上方にて開口した管部材
１８の先端部からこの有機溶剤を吐出する。また、第１
流体案内管２１は、流体供給？Ｒ（図示せず）から供給
される洗浄用の脱イオン水を案内し、ガラス盤１１の上
方にて開口した管部材２５の先端部から該脱イオン水を
吐出する。なお、第１流体案内管２１及び第２流体案内
管２７からの各液体の吐出及びその停止は、案内管開閉
手段としてのコック２９及び３０を後述するタイミング
にて自動的に開閉せしめることによりなされる。

第２図にも示す如く、第１流体案内管２１の内径は第２
流体案内管２７の外径よりも大きく、第２流体案内管２
７の先端部及びその近傍、この場合、管部材２５が第１
流体案内管２１を構成する管部材１８内に同心的に挿通
せしめられている。

詳しくは、第１流体案内管２１の構成部材であるＴ字管
２０の１つの開口部に中間部材としてのソケット３１が
螺合せしめられており、第２流体案内管２７の管部材２
５はこのソケット３１を通じて第１流体案内管２１の管
部材１８内に挿通せしめられている。

一方、第１流体案内管２１を構成するＴ字管１９と第２
流体案内管２７の構成部材であるＴ字管２６は、２本の
管部材３３及び３４をコック３５を介して連結して成る
連通管３６によって連通せしめられている。Ｔ字管１９
は第１流体案内管２１を開閉するためのコック２９の上
流に配置されており、第２流体案内管２７のＴ字管２６
は該第２流体案内管の開閉をなすコック３０の下流に設
けられている。

なお、上記した構成から明らかな如く、第１流体案内管
２１、第２流体案内管２７及び連通管３６は互いに一体
的に組み付けられており、例えば第２流体案内管２７か
ら有機溶剤が吐出されるときにはこれら各流体案内管及
び連通管はターンテーブル１２の半径方向に沿って移動
せしめられる。

また、第１流体案内管２１及び第２流体案内管２７から
の各液体の吐出は、ターンテーブル１２を回転させなが
ら行なわれる。

次に、上記した構成の流体供給処理装置の動作について
説明する。

まず、ガラス盤１１をターンテーブル１２上に載置する
と、ガラス盤１１は真空チャックなどの固定手段により
ターンテーブル１２に対して固定せられる。そして、タ
ーンテーブル１２が所定の回転速度にて回転せしめられ
る。この後、第１流体案内管２１及び第２流体案内管２
７がターンテーブル１２の半径方向４こ移動せられ、各
流体案内管の先端部すなわち流体吐出口がターンテーブ
ル１２の回転中心近傍に対応すべく位置決めされる。

次いで、コック３０が開かれて第２流体案内管２７から
の現像用の有機溶剤の吐出が開始され、この吐出状態を
続けながら第２流体案内管２７が第１流体案内管２１と
共にその先端部がターンテーブル１２上のガラス盤１１
の外周部に対応して位置するまで徐々に移動せしめられ
る。かくしてガラス盤１１の全面に亘って現像用有機溶
剤が供給され、ガラス盤１１の表面に塗布された感光性
樹脂の不必要部分が溶解除去され、露光により形成され
た記録トラックがレジストパターンとして得られ、現像
が完了する。

この直後、例えばタイマーにより発せられる一定時間経
過検出信号、若しくは、回折光を利用した現像モニター
装置から発せられる現像終了検知信号に基づき、コック
３０が閉じられ、現像用有機溶剤の供給が断たれる。こ
れと同時に、コック２９が開かれ、第１流体案内管２１
を通じて洗浄用の脱イオン水がガラス盤１１上に吐出さ
れガラス盤１１の表面に残留した有機溶剤が洗い流され
る。また、同時にコック３５も開かれ、連通管３６を経
て第２流体案内管２７の管部材２５内にも脱イオン水が
供給される。

一方、第２流体案内管２７を経て供給される現像用の有
機溶剤は凝固性を有しており、吐出のたびにこの有機溶
剤の一部が第２流体案内管２７の先端部に付着する。し
かしながら、上記の如く、この付着した有機溶剤はこれ
が凝固し始める前に第１流体案内管２１から吐出される
脱イオン水によって洗い流される。従って、有機溶剤が
第２流体案内管２７の先端部及びその近傍にて凝固して
堆積することはなく、堆積物がガラス盤１１上に落下す
ることによるガラス盤１１の汚染等が防止されている。

また、第２流体案内管２７が有機溶剤の吐出を停止した
後、該第２流体案内管内であってコック３０よりも下流
側に残留した有機溶剤がガラス盤１１上に滴下する懸念
がある。ところが、上記の如く、この部分の有機溶剤は
バイパス路を形成する連通管３６を通じて供給される脱
イオン水によって押し出され、且つ、洗い流される故、
ガラス盤１１がかかる残留有機溶剤により汚染される心
配もない。

上記までの作業によりガラス盤１１の表面にレジストパ
ターンとして情報記録トラックが形成され、光学式情報
記録ディスクをインジェクション成形するためのスタン
バたる光デイスク原盤が得られる。この後、更に、図示
せぬ水供給装置から供給される水によって該光デイスク
原盤の水洗いがなされ、次いで、ターンテーブル１２を
回転せしめることにより光デイスク原盤の遠心脱水が行
なわれ、処理作業を完了する。なお、上記の各動作は通
常、プロセスコントローラ等による自動制御下にてなさ
れる。

尚、上記した実施例においては、光ディスクの原盤の製
造工程においてスピンナを用いる場合について説明した
が、本願発明による流体供給処理装置は、他の処理工程
にも適用出来ることは言うまでもない。

また、本願発明による流体供給処理装置が扱う流体とし
ては上記の実施例におけるが如き液体に限らず、気体、
粒状の固体を含む液体、粒状の固体を含む気体など、管
路にて輸送し得る全てのものが適用可能である。

更に、上記した実施例においては、第１流体案内管２１
内に第２流体案内管２７のみを挿通せしめているが、扱
う流体に応じ、第３図に示す如くこの第２流体案内管２
７内に更に他の第３流体案内管３８を同心的に設けて３
重の管としてもよい。

また、２重及び３重の管に限らず４重以上の管とするこ
とも可能であると共に、第４図に示す如く所定の流体案
内管内に設けられた各流体案内管を同心的に配設するの
ではなく、並設してもよい。

また、かかる同心的配管及び並設配管を混在させた形と
することも出来る。

発明の効果以上詳述した如く、本発明による流体供給処理装置にお
いては、作業対象を担持する担持手段と、流体供給源か
ら供給される流体を該担持手段上方にて開口した先端部
から吐出する複数の流体案内管を含み、該流体案内管の
少なくとも１内に他の流体案内管の少なくとも先端部及
びその近傍が挿通せしめられている。

かかる構成の故、該他の流体案内管の少なくとも先端部
及びその近傍の外側面はこれを囲繞した流体案内管を流
れる流体によって洗浄される。従って、該他の流体案内
管を流れる流体が凝固性のものであってもこれが該他の
流体案内管の先端部及びその近傍に凝固して堆積するこ
とはなく、堆積物が作業対象上に落下することによる作
業対象の汚染等が防止されているのである。また、この
ように流体案内管を二重の管若しくは三重の管とする構
成は比較的安価にて達成され、コストの増大も低く抑え
られているのである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例としての流体供給処理装置の一
部断面を含む正面図、第２図は第１図に関する■−■断
面図、第３図及び第４図は第１図及び第２図に示した流
体供給処理装置の一部の変形例を示す図、第５図は従来
の流体供給処理装置の一部断面を含む正面図である。主要部分の符号の説明１１・・・・・・ガラス盤１２・・・・・・ターンテーブル１３・・・・・・スピンナボウル２１・・・・・・第１流体案内管２７・・・・・・第２流体案内管３６・・・・・・連通管

Claims

【特許請求の範囲】

（１）作業対象を担持する担持手段と、流体供給源から
供給される流体を前記担持手段上方にて開口した先端部
から吐出する複数の流体案内管と、前記流体案内管を開
閉する案内管開閉手段とを含む流体供給処理装置であっ
て、前記流体案内管の少なくとも１内に他の流体案内管
の少なくとも先端部及びその近傍が挿通せしめられてい
ることを特徴とする流体供給処理装置。
（２）前記１の流体案内管と前記他の流体案内管とを選
択的に連通せしめる連通手段を有することを特徴とする
請求項１記載の流体供給処理装置。