JP2502875B2

JP2502875B2 - 配線パタ―ン検査装置

Info

Publication number: JP2502875B2
Application number: JP4014600A
Authority: JP
Inventors: 秀昭川村; 祐二丸山; 淳晴山本; 秀彦川上
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1992-01-30
Filing date: 1992-01-30
Publication date: 1996-05-29
Anticipated expiration: 2011-05-29
Also published as: JPH05209844A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はプリント基板やホトマス
ク等における配線パターンの不良を検査するための配線
パターン検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、プリント基板等の不良の検査は人
間による目視検査に頼っていた。ところが、製品の小型
化や軽量化が進むにつれ、プリント基板の配線パターン
細密化や複雑化がより一層進んでいる。このような状況
の中で、人間が高い検査精度を保ちつつ非常に細密な配
線パターンを、しかも長時間続けることが難しくなって
きており、検査の自動化が強く望まれている。

【０００３】配線パターンの欠陥検出装置として、例え
ば、特開平０３−２５２５４５号公報に記載の内容があ
る。この欠陥検出方式は、デザインルール法に基づいた
特徴抽出方式で、２値画像を用いて配線パターンの背景
側から１画素ずつ削る処理をｎ回繰り返してスケルトン
画像を得ると共に、削れた対象画素に背景側からの距離
値を付与し距離変換画像を出力し、両者から配線パター
ンの接続関係を検出すると共に線幅異常の欠陥検出を行
うものである。

【０００４】図１１は従来例の配線パターン検査装置の
実施例を示すブロック図である。図１１において、２０
１はプリント基板、２０３はリング状のライトガイドな
どの拡散照明装置２０４とＣＣＤカメラのような撮影装
置２０２を備えた画像入力手段、２０５は濃淡画像を２
値画像に変換する２値化手段、２０６は２値画像を用い
て背景から１画素ずつ削り取る細線化処理手段、２０７
は背景からの最短距離値に変換する距離画像変換手段、
２０８は距離変換画像を用いて距離値とある任意の設定
閾値と比較し配線パターン幅の欠陥を検出する欠陥検出
手段を示す。

【０００５】図１１に基づき、以下にその動作を説明す
る。プリント基板２０１上に形成された配線パターンを
リング状のライトガイドなどの拡散照明装置２０４で照
明し、ＣＣＤカメラ（１次元または２次元）などの撮影
装置２０２を備えた画像入力手段２０３で濃淡画像とし
入力する。本実施例では、ラスタスキャンのイメージで
以後説明するので撮影装置は１次元のＣＣＤカメラを用
いた例を示す。画像入力手段２０３で得られた濃淡画像
から背景と配線パターンとを分離するために、２値化手
段２０５である任意閾値と比較し２値画像に変換する。
細線化処理手段２０６は、２値化手段２０５からの２値
画像を用いて、配線パターンを背景側から１画素ずつあ
る条件に基づいて削る細線化処理を全画素に対して定め
た回数実施し、削られた対象画素の繰り返し回数とスケ
ルトン画像を出力する。距離画像変換手段２０７は、細
線化処理手段２０６からの削られた対象画素の繰り返し
回数を配線パターンの背景からの距離値として付与した
距離変換画像を出力する。欠陥検出手段２０８は、細線
化処理手段２０６からのスケルトン画像と距離画像変換
手段２０７からの距離変換画像から、スケルトン画像に
沿って距離変換画像の距離値と１つ以上の任意の設定閾
値（最小値または最大値）と比較し、配線パターンの線
幅違反の欠陥を検出するものである。

【０００６】同時に、スケルトン画像を３×３の走査窓
で走査し、ＬＵＴで評価することにより終端およびＴ分
岐等の配線パターンの接続関係の特徴を検出するもので
ある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、２値化
画像をデザインルール法に基づき配線パターンの欠陥を
検出する方式について説明した。この方法は、確実に欠
陥が検出でき有望な方法と言えよう。

【０００８】しかし、特に線幅異常の場合、欠陥が画素
単位で連続して発生する事になるために発生頻度が多く
なり欠陥検出手段の負担が大きくなるという課題があ
る。

【０００９】本発明は上記従来技術の課題を解決するも
ので、２次元の画像データ上で欠陥画素に対して連結判
定を行い、近接する欠陥画素間の距離がある設定画素数
以下の画素は全て統合することによって通知される欠陥
の数を最小限に抑えるとともに、各グループの代表座標
を演算して通知することによって、欠陥の正確な位置を
通知する配線パターン検査装置を提供することを目的と
する。

【００１０】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、第１に、プリント基板上に形成された配線
パターンを光学的に検知し、光電変換する画像入力手段
と、前記画像入力手段からの濃淡画像を２値画像に変換
する２値化手段と、前記２値化手段からの２値画像から
配線パターンの欠陥を抽出する欠陥抽出手段と、前記欠
陥抽出手段から得られた欠陥画素で、近接する欠陥画素
間の距離が所定のｍ画素以下の欠陥画素を１つのグルー
プとし、１つの欠陥要因で発生したと思われる欠陥画素
は１つにまとめ、代表座標を演算して１つの代表点のみ
を通知する欠陥画素統合手段とから構成したものであ
る。

【００１１】第２に、前記欠陥抽出手段から得られた欠
陥画素で主走査方向に隣接した欠陥画素は１つにまとめ
てランデータにするラン変換手段を備え、欠陥画素統合
手段において前記ラン変換手段からのランデータで、近
接するランデータの距離が所定のｍ画素以下のランデー
タは１つのグループにして代表座標を演算して通知する
構成にしたものである。

【００１２】第３に、欠陥画素統合手段において前記ラ
ン変換手段から出力されるランデータを１つ連結する毎
に、新しいランデータと該当するグループのそれまでの
代表座標および総画素数から代表座標を計算し直し、該
当グループに新しいランデータを加えた総画素数をメモ
リに記憶するとともに連結の判定に不要になったランデ
ータはメモリから削除し、１つのグループが閉じると同
時に欠陥の代表座標を通知する構成にしたものである。

【００１３】

【作用】本発明は上記構成により、第１に、欠陥抽出さ
れた各欠陥画素で近接する欠陥画素間の距離が、所定の
ｍ画素以下の欠陥画素を１つのグループにまとめて、同
一の欠陥に起因すると思われる欠陥画素は全て統合し、
代表座標を演算して通知することによって通知する欠陥
の総数を少なくする。

【００１４】第２に、欠陥抽出された欠陥画素で主走査
方向に隣接した欠陥画素は１つにまとめてランデータに
変換し、副走査方向については近接するランデータの距
離が所定のｍ画素以下のランデータを１つに統合し、代
表座標を演算して通知する。

【００１５】第３に、１つのランデータを統合する毎
に、新しいランデータと該当するグループのそれまでの
代表座標および総画素数から代表座標を計算し直し、該
当グループに新しいランデータを加えた総画素数をメモ
リに記憶するとともに連結の判定に不要になったランデ
ータはメモリから削除し、１つのグループが閉じると同
時に欠陥の代表座標を通知することにより、登録して記
憶すべきランデータの数およびグループ数を少なくする
とともに、演算処理を分散する。

【００１６】

【実施例】

（実施例１）以下、本発明の第１の実施例について、図
面を参照しながら説明する。

【００１７】図１は、本発明の第１の実施例における配
線パターン検査装置のブロック構成図である。図１にお
いて、１０１はリング状ライトガイドなどの拡散照明装
置とＣＣＤラインセンサカメラなどの撮像装置を備えた
画像入力手段、１０２は前記画像入力手段からの濃淡画
像を２値化する２値化手段、１０３は前記２値化手段か
らの２値画像から配線パターンの欠陥を抽出する欠陥抽
出手段、１０４は前記欠陥抽出手段から得られた欠陥画
素で、近接する欠陥画素間の距離が所定のｍ画素以下の
欠陥画素を１つのグループに統合し代表座標を演算して
通知する欠陥画素統合手段を示す。なお画素間の距離と
は、画素同士が隣接する場合を１とし間に１画素入る場
合を２とし、以下同様に考える。従ってｍは１以上の整
数とし、任意に設定できるものとする。１０５は、通知
された欠陥を目視などにより確認する確認装置である。

【００１８】上記構成において、以下その動作について
説明する。プリント基板上に形成された配線パターンを
リング状のライトガイドなどの拡散照明装置で照明し、
ＣＣＤカメラ（１次元または２次元）などの撮像装置を
備えた画像入力手段１０１で得られた濃淡画像から背景
と配線パターンとを分離するために、２値化手段１０２
であらかじめ濃度ヒストグラムなどで得られた任意の閾
値と比較し配線パターン部を１、基材部を０とする２値
画像に変換する。欠陥抽出手段１０３では２値化手段で
得られた２値画像を標準パターンと比較することなどに
より配線パターンの欠陥を抽出し、欠陥部分の画素だけ
を残した欠陥抽出画像を出力する。欠陥画素統合手段１
０４では、注目画素が欠陥画素であるとき周囲の欠陥画
素との連結性を判定し、連結している場合は１つのグル
ープとして扱いその座標を登録し、連結していない場合
は新たなグループを作成してその座標を登録する。ここ
で連結する画素とは、所定のｍ画素以下の距離にある画
素同士のことをいう。欠陥抽出画像の走査が全て終了す
ると各グループの代表座標を計算して通知する。１０５
は、本発明とは直接関与しないが通知された欠陥が真の
欠陥かどうかを目視確認し、修正可能な欠陥に対しては
修正を行うものである。

【００１９】次に、図２、図３を用いて１０４の欠陥画
素統合手段についてさらに詳細に説明する。図２は欠陥
画素統合手段をソフトウェアで実現する例を示すＣＰＵ
システムの構成図で、１０６は欠陥抽出手段の出力画像
を１０７のＣＰＵに通知するためのインターフェイス、
１０７のＣＰＵでは欠陥画素の連結判定を行うととも
に、各グループの代表座標を演算し通知する処理を行
う。１０８は各グループの座標を一時的に記憶しておく
メモリで、１０９は演算により求めた代表座標を通知す
るためのインターフェイスを表す。図３は欠陥画素統合
手段における処理フローを表し、３０１でグループ別に
欠陥座標を登録しておくためのメモリを初期化し、３０
２で欠陥抽出画像のラスタ走査を開始する。３０３では
注目画素が欠陥画素かどうかを判定し、欠陥画素の場合
は３０４で既存のグループ内の欠陥画素と連結している
かを判定する。連結している場合は３０５で該当グルー
プに欠陥画素の座標を登録し、連結していない場合は３
０６で新たなグループを作成して欠陥画素の座標を登録
する。以上の処理を欠陥抽出画像全体を走査し終わるま
で繰り返し、走査が終了したら、３０７で各グループの
代表座標を計算して３０８で通知する。尚、代表座標の
演算および通知のタイミングは、欠陥抽出画像の走査が
全て終了してから行っても良いが、欠陥座標はラスタ走
査によってＹ座標の小さい方から順に入って来るので、
注目画素のＹ座標とグループに登録されている座標の内
で最新のＹ座標の差がｍより大きいときは、もはや連結
される可能性がないので、その時点で該当グループを閉
じて代表座標を演算により求め、通知を行うこともでき
る。また、代表座標の演算は１つのグループにおいて最
初と最後に登録された座標の平均でも良いし、どちらか
片方を代表させることでも良い。あるいは、１つのグル
ープに含まれる全ての画素の座標の平均、すなわち重心
で表す演算方法でも良い。以下の処理例では代表座標を
重心で表す演算方法を用いている。

【００２０】以下に、第１の実施例における処理を図４
を用いて詳しく説明する。図４（ａ）は欠陥抽出画像、
同図（ｂ）はｍ＝１のときのグループ別欠陥座標登録テ
ーブル、同図（ｃ）はｍ＝２のときのグループ別欠陥座
標登録テーブルを示している。４０１〜４０６は欠陥抽
出画像の中の欠陥画素を示しており、それぞれ座標は
(Ｘ1,Ｙ1)、(Ｘ2,Ｙ2)、(Ｘ3,Ｙ3)、(Ｘ4,Ｙ4)、(Ｘ5,
Ｙ5)、(Ｘ6,Ｙ6) とする。まずｍ＝１のときに、６つの
欠陥画素が３つのグループに分けられる過程を順を追っ
て説明する。欠陥抽出画像をラスタ走査することによ
り、まず４０１の座標(Ｘ1,Ｙ1) が通知されてくるが、
この段階では連結する画素がないので同図（ｂ）のグル
ープＡの欄にその座標が登録される。尚、連結する画素
がなく新しいグループを作成することを、グループを開
くと言うことにする。次に、４０２の座標(Ｘ2,Ｙ2) が
通知されてくるが、すでに１つだけ開かれているグルー
プＡに登録されている座標とは連結しないため、また新
しくグループＢを開いて、その座標を登録する。次に、
４０３の座標(Ｘ3,Ｙ3) が通知されてくるが、開かれた
２つのグループＡ、Ｂに登録された座標と連結性を判定
すると、グループＡに登録されている画素と連結するこ
とがわかり、４０３の座標をグループＡに追加登録す
る。もしここで４０３の画素がグループＢに登録されて
いる画素とも連結していれば、この２つのグループＡ、
Ｂを統合して新たなグループを開いて２つのグループに
登録されていた座標および４０３の座標を登録し、元の
２つのグループを削除する。以下、４０４〜４０６の画
素に対しても同様な処理を繰り返せば、同図（ｂ）に示
すようなグループ別の欠陥座標登録テーブルが完成す
る。欠陥抽出画像のラスタ走査が終了した後、開かれて
いた全てのグループを閉じ、各グループ毎に代表座標を
演算して出力する。ここでグループＡの重心座標を (Ｘ
a,Ｙa)とすると演算式は（数１）で示される。尚、上で
も述べたが代表座標の演算および通知のタイミングは、
ラスタ走査が全て終了してから行っても良いが、欠陥座
標はラスタ走査によってＹ座標の小さい方から順に入っ
て来るので、例えば４０４の座標が通知されたとき、そ
のＹ座標から判断して４０４以降の画素はグループＡ、
Ｂに登録されている画素のいずれとも連結されることは
ないので、その時点でグループＡ、Ｂを閉じて代表座標
を求め通知を行っても良い。これによって連結を判定す
る座標データの数が減って処理時間が短くなるのと同時
に、開かれたグループを記憶しておくメモリの量も少な
くてすむ。

【００２１】

【数１】

【００２２】次にｍ＝２のときに、６つの欠陥画素が２
つのグループに分けられる過程を順を追って説明する。
欠陥抽出画像をラスタ走査することにより、まず４０１
の座標(Ｘ1,Ｙ1) が通知されてくるが、この段階では連
結する画素がないので同図（ｃ）のグループＡ’の欄に
その座標が登録される。次に、４０２の座標(Ｘ2,Ｙ2)
が通知されてくるが、すでに１つだけ開かれているグル
ープＡ’に登録されている画素との距離は２画素より大
きいため、また新しくグループＢ’を開いて、その座標
を登録する。次の４０３の座標(Ｘ3,Ｙ3) はグループ
Ａ’に追加登録する。次に、４０４の座標(Ｘ4,Ｙ4) が
通知されてくるが、開かれた２つのグループＡ’、Ｂ’
に登録された座標と連結性を判定すると、グループＡ’
に登録されている画素との距離が２以下なので連結して
いると判定し、４０４の座標をグループＡ’に追加登録
する。以下、４０５および４０６の画素に対しても同様
な処理を繰り返せば同図（ｃ）に示すようなグループ別
のランデータ登録テーブルが完成する。欠陥抽出画像の
ラスタ走査が終了した後、開かれていた全てのグループ
を閉じ、各グループ毎に代表座標を演算して出力する。
代表座標の演算についてはｍ＝１のときと同様なので省
略する。

【００２３】（実施例２）以下、本発明の第２の実施例
について、図面を参照しながら説明する。

【００２４】図５は、本発明の第２の実施例における配
線パターン検査装置のブロック構成図である。図５にお
いて、５０１の画像入力手段、５０２の２値化手段、お
よび５０３の欠陥抽出手段は、第１の実施例と同じであ
るので省略する。５０４は前記欠陥抽出手段からの２値
画像から主走査方向に隣接した欠陥画素は１つにまとめ
てランデータにするラン変換手段、５０５は前記ラン変
換手段からのランデータの連結性を判定し、連結したラ
ンデータは１つのグループにして代表座標を演算して通
知する欠陥画素統合手段を示す。５０６は、通知された
欠陥を目視などにより確認する確認装置である。

【００２５】次に、図６を用いてラン変換手段５０４に
ついて説明する。図６はラン変換手段のハードウェア構
成図で６０１は配線パターンの欠陥を抽出する欠陥抽出
手段、６０２のシフトレジスタおよび６０３のエッジ検
出では欠陥抽出画像を主走査方向に１画素づつ走査して
欠陥のエッジを検出し、エッジの立ち上がりを検出した
ときには６０６に、立ち下がりを検出したときには６０
７に信号を出力する。６０４はＸアドレスカウンタ、６
０５はＹアドレスカウンタ、６０８はＸのスタートアド
レスを記憶するＦＩＦＯメモリ、６０９はＸのエンドア
ドレスを記憶するＦＩＦＯメモリ、６１０はＹのアドレ
スを記憶するＦＩＦＯメモリを示し、エッジ検出信号６
０６および６０７によって６０８〜６１０にはそれぞれ
のアドレス（座標）が書き込まれる。このようにして主
走査方向に連続した欠陥画素は、Ｘのスタートアドレ
ス、Ｘのエンドアドレス、およびＹアドレスからなる１
組のランデータに変換される。なおランデータは、Ｘの
スタートアドレス、Ｙアドレスおよびラン長（画素数）
で表すこともできる。

【００２６】次に、図７を用いて欠陥画素統合手段５０
５について説明する。図７は欠陥画素統合手段をソフト
ウェアで実現する例を示すＣＰＵシステムの構成図で、
７０１〜７０３はそれぞれ６０８〜６１０のＦＩＦＯの
出力データ、７０４はランデータの連結性を判定して代
表座標を演算し通知するＣＰＵ、７０５は各グループの
ランデータを一時的に記憶しておくメモリ、７０６は演
算により求めた代表座標を通知するためのインターフェ
イスを表す。図８は欠陥画素統合手段における処理フロ
ーを表し、８０１でグループ別に欠陥座標を登録してお
くためのメモリを初期化し、８０２でＦＩＦＯにランデ
ータがあるかどうかを調べ、８０３で既存のグループに
登録されているランデータと連結しているかを判定す
る。連結している場合は８０４で該当グループにランデ
ータを登録し、連結していない場合は８０５で新たなグ
ループを作成してそのランデータを登録する。以上の処
理を５０４のラン変換手段で欠陥抽出画像全体を走査し
終わるまで繰り返し、走査が終了したら、８０６で各グ
ループの代表座標を計算して８０７で通知する。尚、代
表座標の演算および通知のタイミングは、第１の実施例
と同じく、欠陥抽出画像の走査が全て終了してから行っ
ても良いが、ランデータはラスタ走査によってＹ座標の
小さい方から順に入って来るので、注目ランデータのＹ
座標とグループに登録されている最新のランデータのＹ
座標の差がｍより大きいときは、もはや連結される可能
性がないので、その時点で該当グループを閉じて代表座
標を演算により求め通知を行うこともできる。

【００２７】以下に、第２の実施例における処理例を図
９を用いて詳しく説明する。図９（ａ）欠陥抽出画像
と、同図（ｂ）グループ別ランデータ登録テーブルを示
している。９０１〜９０５は欠陥抽出画像の中のランデ
ータを示しており、それぞれランデータの内容は(Ｘ1s,
Ｘ1e,Ｙ1)、(Ｘ2s,Ｘ2e,Ｙ2)、(Ｘ3s,Ｘ3e,Ｙ3)、(Ｘ4
s,Ｘ4e,Ｙ4)、(Ｘ5s,Ｘ5e,Ｙ5)、とする。それぞれ第１
項がＸのスタートアドレス、第２項がＸのエンドアドレ
ス、第３項がＹアドレスを表す。この例ではｍ＝１に設
定したとき連結するランデータのグループは３つあるこ
とがわかるが、５つのランデータが３つのグループに分
けられる過程を順を追って説明する。まず最初に９０１
のランデータ(Ｘ1s,Ｘ1e,Ｙ1) が通知されてくるが、こ
の段階では連結するランデータがないので同図（ｂ）の
グループＰの欄にそのランデータが登録される。次に、
９０２のランデータ(Ｘ2s,Ｘ2e,Ｙ2) が通知されてくる
が、すでに１つだけ開かれているグループＰに登録され
ているランデータとは連結しないため、また新しくグル
ープＱを開いて、そのランデータを登録する。次に、９
０３のランデータ(Ｘ3s,Ｘ3e,Ｙ3) が通知されてくる
が、開かれた２つのグループＰ、Ｑに登録されたランデ
ータと連結性を判定すると、グループＰに登録されてい
るランデータと連結することがわかり、９０３のランデ
ータをグループＰに追加登録する。もしここで９０３の
ランデータがグループＱに登録されているランデータと
も連結していれば、この２つのグループＰ、Ｑを統合し
て新たなグループを開いて２つのグループに登録されて
いたランデータおよび９０３のランデータを登録し、元
の２つのグループを削除する。以下、９０４および９０
５のランデータに対しても同様な処理を繰り返せば、同
図（ｂ）に示すようなグループ別の欠陥ランデータ登録
テーブルが完成する。欠陥抽出画像のラスタ走査が終了
した後、開かれていた全てのグループを閉じ、各グルー
プ毎に代表座標を演算して出力する。ここでグループＰ
の重心座標を (Ｘp,Ｙp)とすると演算式は（数２）で示
される。尚、上でも述べたが代表座標の演算および通知
のタイミングは、ラスタ走査が全て終了してから行って
も良いが、ランデータはラスタ走査によってＹ座標の小
さい方から順に入って来るので、例えば９０４のランデ
ータが通知されたとき、そのＹ座標から９０４以降のラ
ンデータはグループＰ、Ｑに登録されているランデータ
のいずれとも連結されることはないので、その時点でグ
ループＰ、Ｑを閉じて代表座標を求め通知を行っても良
い。これによって連結を判定するランデータの数が減っ
て処理時間が短くなるのと同時に、開かれたグループを
記憶しておくメモリの量も少なくてすむ。

【００２８】

【数２】

【００２９】（実施例３）以下、本発明の第３の実施例
について、図面を参照しながら説明する。

【００３０】構成は、本発明の第２の実施例と同じであ
るので省略するが、図７の７０５のＣＰＵでの処理が、
ランデータを１つ連結する毎に、新しいランデータと該
当するグループのそれまでの代表座標および総画素数か
ら代表座標を計算し直し、該当グループに新しいランデ
ータを加えた総画素数をメモリに記憶するとともに連結
の判定に不要になったランデータはメモリから削除し、
１つのグループが閉じると同時に欠陥の代表座標を通知
することを可能にした点で異なるので、フローチャート
を用いて説明する。

【００３１】図１０は欠陥画素統合手段における処理フ
ローで、８１１でグループ別に欠陥座標を登録しておく
ためのメモリを初期化し、８１２でＦＩＦＯにランデー
タがあるかどうかを調べる。８１３では既存のグループ
で、以後通知されるランデータと連結しないグループが
あるかを判定し、あれば８１４で該当するグループを通
知し、８１５でメモリから削除する。８１６では既存の
グループに登録されているランデータと連結しているか
を判定し、連結している場合は８１７で該当グループに
ランデータを登録して８１８で代表座標を計算し直す。
連結していない場合は８１９で新たなグループを作成し
てそのランデータを登録して８２０で代表座標を計算す
る。以上の処理を繰り返し、走査が終了したら、８２１
でまだ通知されていなかった残りの全グループのそれぞ
れの代表座標を通知する。

【００３２】次に、８１８および８２０の代表座標の演
算について重心を演算する場合の処理について詳しく説
明する。新しく連結されるランデータのＸのスタートア
ドレスをＸs、ＸのエンドアドレスをＸe、Ｙアドレスを
Ｙとすると、そのランデータの中心座標は（数３）の演
算式により（Ｘr,Ｙr）、画素数はＮrとなる。また、新
しいランデータを加える前のそのグループの重心座標を
（Ｘold,Ｙold）、総画素数をＮoldとすると、新しいラ
ンデータを加えたそのグループの重心座標（Ｘnew,Ｙne
w）、総画素数Ｎnewは、（数４）の演算によって求める
ことができる。新しい重心座標の演算が終われば、Ｘol
d、ＹoldおよびＮoldは消去し、その替わりにＸnew、Ｙ
newおよびＮnewを記憶する。このように新しい重心座標
だけでなく総画素数も同時に求めて記憶しておくことに
よって、連結の判定に不必要になった古いランデータを
記憶しておかなくても正確な重心を求めることができ
る。また閉じていない各グループの重心座標を常に記憶
しておくことにより、グループが閉じると同時にその重
心座標を通知することができる。

【００３３】

【数３】

【００３４】

【数４】

【００３５】

【発明の効果】以上のように本発明は、第１に、近接す
る欠陥画素間の距離が所定の画素数以下の欠陥画素を１
つのグループとし、同一の欠陥に起因すると思われる欠
陥画素は全て統合し、代表座標を演算して１つの代表点
のみを通知することによって、通知する欠陥の総数を少
なくするため、欠陥確認の作業を効率化できる。

【００３６】第２に、欠陥抽出された２値画像において
主走査方向に隣接した欠陥画素は１つにまとめてハード
ウェアでランデータに変換し、近接するランデータ間の
距離が所定の画素数以下のランデータは、ソフトウェア
で１つに統合し代表座標を演算して通知することによっ
て、ハードウェアとソフトウェアで処理を分担でき、高
速処理が可能になる。

【００３７】第３に、１つのランデータを統合する毎
に、新しいランデータと該当するグループのそれまでの
代表座標および総画素数から代表座標を計算し直し、連
結の判定に不要になったランデータはメモリから削除
し、１つのグループが閉じると同時に欠陥の代表座標を
通知することにより、メモリに格納するランデータの数
およびグループ数を軽減でき、演算処理を最後にまとめ
て行うのではなく分散することで全体の処理時間を短縮
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例における配線パターン検
査装置のブロック結線図

【図２】同実施例における配線パターン検査装置の要部
である欠陥画素統合手段をソフトウェアで実現する場合
のＣＰＵシステムのブロック結線図

【図３】同実施例における欠陥画素統合処理の動作フロ
ーチャート

【図４】同実施例の処理例を示す概念図

【図５】本発明の第２の実施例における配線パターン検
査装置のブロック結線図

【図６】同実施例における配線パターン検査装置の要部
であるラン変換手段のハードウェアのブロック結線図

【図７】同実施例における配線パターン検査装置の要部
である欠陥画素統合手段をソフトウェアで実現する場合
のＣＰＵシステムのブロック結線図

【図８】同実施例における欠陥画素統合処理を説明する
動作フローチャート

【図９】同実施例の処理例を示す概念図

【図１０】本発明の第３の実施例における欠陥画素統合
処理を説明する動作フローチャート

【図１１】従来の配線パターン検査装置のブロック結線
図

【符号の説明】

１０１画像入力手段１０２２値化手段１０３欠陥抽出手段１０４欠陥画素統合手段１０５欠陥確認装置１０６、１０９インターフェイス１０７ＣＰＵ１０８メモリ２０１プリント基板２０２ＣＣＤカメラ２０３画像入力手段２０４照明手段２０５２値化手段２０６細線化手段２０７距離画像変換手段２０８欠陥検出手段３０１メモリ初期化処理３０２走査開始処理３０３注目画素が欠陥画素かどうかの判定処理３０４既存グループ内の欠陥画素と連結するかどうか
の判定処理３０５該当グループに座標を登録する処理３０６新たなグループを作成し座標を登録する処理３０７各グループの代表座標を演算する処理３０８代表座標を通知する処理４０１〜４０６欠陥画素５０１画像入力手段５０２２値化手段５０３欠陥抽出手段５０４ラン変換手段５０５欠陥画素統合手段５０６欠陥確認装置６０１欠陥抽出手段６０２シフトレジスタ６０３エッジ検出６０４Ｘアドレスカウンタ６０５Ｙアドレスカウンタ６０６エッジ立ち上がり検出信号６０７エッジ立ち下がり検出信号６０８Ｘスタートアドレスを記憶するＦＩＦＯメモリ６０９Ｘエンドアドレスを記憶するＦＩＦＯメモリ６１０Ｙアドレスを記憶するＦＩＦＯメモリ７０１Ｘスタートアドレスを記憶するＦＩＦＯメモリ
の出力データ７０２Ｘエンドアドレスを記憶するＦＩＦＯメモリの
出力データ７０３Ｙアドレスを記憶するＦＩＦＯメモリの出力デ
ータ７０４ＣＰＵ７０５メモリ７０６インターフェイス８０１メモリ初期化処理８０２ＦＩＦＯにランデータがあるかどうかの判定処
理８０３既存グループに登録されているランデータと連
結するかどうかの判定処理８０４該当グループにランデータを登録する処理８０５新たなグループを作成しランデータを登録する
処理８０６各グループの代表座標を演算する処理８０７代表座標を通知する処理８１１メモリ初期化処理８１２ＦＩＦＯにランデータがあるかどうかの判定処
理８１３閉じるグループがあるかどうかの判定処理８１４該当グループを通知する処理８１５該当グループをメモリから削除する処理８１６既存グループに登録されているランデータと連
結するかどうかの判定処理８１７該当グループにランデータを登録する処理８１８、８２０代表座標を演算する処理８１９新たなグループを作成しランデータを登録する
処理８２１未通知の全グループのそれぞれの代表座標を通
知する処理９０１〜９０５ランデータ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者川上秀彦神奈川県川崎市多摩区東三田３丁目10番１号松下技研株式会社内 (56)参考文献特開平６−10815（ＪＰ，Ａ) 特公平７−50037（ＪＰ，Ｂ２)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】プリント基板上に形成された配線パター
ンを光学的に検知し、光電変換する画像入力手段と、前
記画像入力手段からの濃淡画像を２値画像に変換する２
値化手段と、前記２値化手段からの２値画像から配線パ
ターンの欠陥を抽出する欠陥抽出手段と、前記欠陥抽出
手段から得られた欠陥画素で、近接する欠陥画素間の距
離が所定のｍ画素以下の欠陥画素を１つのグループと
し、１つの欠陥要因で発生したと思われる欠陥画素は１
つにまとめ、代表座標を演算して１つの代表点のみを通
知する欠陥画素統合手段とを具備した配線パターン検査
装置。
【請求項２】欠陥抽出手段から得られた欠陥画素で主
走査方向に隣接した欠陥画素は１つにまとめてランデー
タにするラン変換手段を備え、当該欠陥画素統合手段に
おいて前記ラン変換手段からのランデータで、近接する
ランデータの距離が所定のｍ画素以下のランデータは１
つのグループにして代表座標を演算して通知することを
特徴とする請求項１記載の配線パターン検査装置。
【請求項３】欠陥画素統合手段において、請求項２記
載のラン変換手段から出力されるランデータを１つ連結
する毎に、新しいランデータと該当するグループのそれ
までの代表座標および総画素数から代表座標を計算し直
し、該当グループに新しいランデータを加えた総画素数
をメモリに記憶するとともに連結の判定に不要になった
ランデータはメモリから削除し、１つのグループが閉じ
ると同時に欠陥の代表座標を通知することを特徴とする
請求項２記載の配線パターン検査装置。