JP2024508628A - 電子アセンブリを接続するシステムおよび方法 - Google Patents

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Abstract

本発明による電子アセンブリを接続するため、および／またはワークを製造するためのシステムは、少なくとも１つのモジュールがローディングステーションとして設計され、１つのモジュールがアンローディングステーションとして設計され、または１つのモジュールがローディングステーションおよびアンローディングステーションとして設計され、少なくとも１つのさらなるモジュールが製造ステーションとして設計され、かつ、ローディングステーションから製造ステーションを経由してアンローディングステーションまで、搬送ユニットによって自動化された方法で移動可能で、電子アセンブリおよび／またはワークを収容する製造ワーク搬送器が設けられており、少なくとも２つの電子アセンブリおよび／またはワークを製造ワーク搬送器の上に同時に配置可能なマルチグリッパが設けられている。【選択図】図４

Description

本発明は、電子アセンブリを接続するため、および／またはワークを製造するためのシステム、特に焼結システムまたははんだ付けシステムに関する。本発明はまた、システムにおいてワークを被覆するためのカバー用箔／フィルムを供給する箔／フィルム移送ユニット、箔／フィルム剥離ユニット、および製造ワーク搬送器に関する。
本発明はさらに、電子アセンブリを接続するための方法、および／またはワークを製造するための方法、特に焼結システムまたははんだ付けシステム、特に真空焼結システムまたは真空はんだ付けシステム、好ましくは拡散はんだ付けシステムのための方法に関する。
電子アセンブリを接続するためのシステムおよび方法、特にプロセス雰囲気、特に真空またはガス雰囲気を用いたはんだ付けおよび焼結システムは、先行技術から知られているが、これらは個々のシステムとして設計されており、連続生産向けではない。この場合、個々の方法ステップまたは個々のシステムの位置の間に好ましくないアイドル時間が生じ、このアイドル時間の間に、搬送ユニットへのワークの搬送やプロセスカバーによるワークの被覆などの個々の製造作業を手動で行わなければならない。したがって、完全自動方式では動作しない電子アセンブリを接続するためのシステムが従来技術から知られている。このような既知のシステムまたは方法は、個々の作業ステップが手動で行われ、手動介入を必要とする。このような状況では、ワークの製造中にエラーが発生し得る。
各ステップの中断や各位置間の中断は、クリーンルーム、特にＩＳＯ５クリーンルームの提供を常には保証できないことを意味する。
クリーンルームやウルトラクリーンルームとは、空気中の微粒子濃度を非常に低く保った部屋のことである。クリーンルームやウルトラクリーンルームは、主に半導体製造において、マイクロメートルの数分の一の範囲の集積回路のパターニングを通常の大気中に存在する粒子が妨害するような特定の製造プロセスで必要とされる。クリーンルームやウルトラクリーンルーム技術のさらなる応用は、光学やレーザー技術、そしてここで検討している焼結や拡散はんだ付けの場合において見られる。
国際規格は、管理された環境の運用に関する特定の清浄度要件を定義している。規格やガイドラインは、粒子濃度（例えばＥＮ ＩＳＯ １４６４４や２０１９年からのＶＤＩ ２０８３）や、さらに環境の微生物負荷（例えば２０１９年からのＥＵ－ＧＰＭＰガイドライン）を規制している。
マイクロエレクトロニクスで使用するようなウルトラクリーンルームには、対応するクリーンルームクラスを持ついくつかの階層的なゾーンがある。そのため、基板を扱う作業を行うウルトラクリーンルーム（ＩＳＯクラス４以上）を、コーティングやパターニングに必要なシステムと一緒に分離したゾーンによって囲んでいる。
独国実用新案第２０１２２５７９号明細書は、自動装着機と自動はんだ付け機とを示す。結果的に、少なくとも２つのモジュールを形成し、自動装着機のコンベアベルト上にスライダによって回路搬送器を供給している。自動装着機では、グリッパアームを使用して、マガジンコンテナからのさらなる回路部品を回路搬送器に取り付ける。コンベアベルトは、自動装着機の内部で、回路搬送器を自動はんだ付け機に導くコンベアベルトに合流する。自動はんだ付け装置によって製造ステーションを形成している。
独国特許発明第１０２０１６１２３３６２号明細書は、マルチ装着ヘッドを示す。これは、一定の格子状にチップ保持装置を配置することを意味する。従って、複数のチップの取り外しまたはローディングを同時にすることができる。
独国特許出願公開第１０２０１９１３４４１０号明細書は、箔／フィルム移送ユニットを備えたシステムを示す。
米国特許出願公開第２００８／０１２７４８６号明細書は、基板上の複数のチップについて一方を他方の上に配置したものを示す。
独国特許出願公開第１０２０１８００４０８６号明細書は、プロセスモジュールと真空ゲートバルブとを含む、基板をコーティングするためのスループットシステムを示す。したがって、製造ワーク搬送器の自動化した移動を示している。それは、基板を取り外し後にさらに使用するため、基板搬送器を戻すためのリターンユニットを含んでいてもよい。
米国特許出願公開第２０１３／０１０８４０６号明細書は、マトリクス状に配置した複数のワークを同時にピックアップできるグリッパを示す。
特開２０１３－２１９０９６号公報は、ワークを有するワーク搬送器を示し、ワーク間にパッドを配置している。
本発明の目的は、自動化された、特に完全自動化されたシーケンスを可能にするシステムまたは方法を提案することであり、それにより特にＩＳＯ５クリーンルームの提供を保証することである。
本発明のさらなる目的は、個々の位置または個々の方法ステップの手動チェックを省略できるシステムまたは方法を提案することである。
さらに、特に焼結システムのための箔／フィルム移送ユニットを提案しており、このユニットは、カバー用箔／フィルムについて、焼結すべきワークの上に完全自動で配置するとともに、ワークから取り外すことができる。その目的は、箔／フィルムの自動ピックアップおよび配置を可能にすることであり、箔／フィルムの相互の付着および／または箔／フィルムの汚染を防止することである。はんだ付けシステムでは、好ましくは、箔／フィルム移送ユニットを省略できる。
この目的を、独立請求項によるシステム、方法および箔／フィルム移送ユニットによって達成する。本発明の有利なさらなる展開が従属請求項の対象を構成する。
本発明の対象は、電子アセンブリを接続するため、および／またはワークを製造するためのシステム、特に焼結システムまたははんだ付けシステムであり、電子アセンブリを接続するため、および／またはワークを製造するための複数のモジュールを含む。はんだ付けまたは焼結システムについて、特にプロセス雰囲気形成向け、特に真空動作向けに設計している。真空はんだ付けシステムとしての実施形態では、後者を、好ましくは拡散はんだ付けシステムとして構成することができる。
少なくとも１つのモジュールがローディングステーションとして設計され、１つのモジュールがアンローディングステーションとして設計され、または１つのモジュールがローディングおよびアンローディングステーションとして設計されることを提案する。いずれの場合も、少なくとも１つのさらなるモジュールが製造ステーションとして設計され、電子アセンブリおよび／またはワークを収容するための製造ワーク搬送器が設けられ、この製造ワーク搬送器は、搬送ユニットによって、ローディングステーションから製造ステーションを経由してアンローディングステーションまで自動化された方法で移動可能であり、システムは、特にフロー生産のために設計され、マルチグリッパ（複数のグリッパからなる）が設けられ、このマルチグリッパは、少なくとも２つの電子アセンブリおよび／またはワークを製造ワーク搬送器の上に同時に配置可能である。
自動化された、特に完全自動化された手順が可能なこのようなシステムにより、例えばフロー生産を保証する。様々なモジュールの様々なステップの実行が特に中断されないので、例えばクリーンルーム、特にＩＳＯ５に準拠したクリーンルームを設けることができる。したがって、本システムは、特にマイクロエレクトロニクスに適しており、電子アセンブリおよび／またはワークは、マイクロエレクトロニクスのアセンブリまたはワークを形成することができる。本システムは、主に大電力エレクトロニクスの製造や、例えば独国特許発明第１０２００９０２２６６０号明細書に記載されているようなボンドバッファを有する電力半導体コンタクト構造の形成に使用することができる。ワークは、特に、周波数変換器で使用されるような高エネルギー半導体スイッチ、関連する回路担体および／またはヒートシンクを含むことができ、すなわち、個々のパーツをはんだ付け、焼結または同様の方法によって相互に接続する必要のあるマルチパーツとすることができる。好ましい用途は、半導体部品と関連する冷熱伝達媒体との接続であり、本発明の意味におけるワークとして、これらを理解する必要がある。
システムは特に、焼結システムまたははんだ付けシステムであってよい。この目的には、例えば独国特許出願公開第３４１４０６５号明細書、独国特許発明第１０２０１４１１４０９３号明細書、独国特許発明第１０２００４０１９５６７号明細書に記載されているような低圧焼結が適している。この脈絡において、焼結とは、一方では、高圧および、特に溶融温度より低い高温下での材料の製造または改質に関係し得る。材料は特にセラミックまたは金属材料であってよい。他方、焼結とは、例えば電子ユニットやヒートシンク、または電子部品およびプリント回路基板（ＰＣＢ）などのワークの複数の要素の接続を意味すると理解することができる。このようにして、耐熱性を有する焼結接合部を製造することができる。このような焼結接合は、従来のはんだ接合に代わるものであり、特に電力エレクトロニクス分野で使用することができる。低圧接続法（ＮＴＶ）は、この目的に適しており、ＩＧＢＴモジュールなどのワークを接続するための大面積部品の製造の利用にすでに成功している。ＮＴＶは、銀粉の層を加圧焼結して接続部を形成する。走査型電子顕微鏡で観察すると、ＮＴＶに適した粉末は、大気圧下、２００℃の温度の大気中で自然焼結することが明らかにされている。同時に２０ＭＰａ以上の圧力をかけると、粉末層が圧縮され、高いせん断応力を吸収できる強固な銀層となる。液相の凝固に基づく従来の接続方法と比較して、ＮＴＶでは、接続された配置が機械的応力を受けない温度を、接続プロセス中の適切な圧力と温度カーブとによって広い範囲で調整することができる。特に、例えば銅ベースの焼結ペーストを用いた銅焼結は、どのような形態でも、フロー生産焼結システムに適している。
他方、システムは、はんだ付けシステム、特に真空はんだ付けシステムとして設計することもできる。はんだ付け方式としては、例えば、リフローはんだ付け方式や拡散はんだ付け方式を用いることができる。リフローはんだ付けは、電気工学において電子部品のはんだ付けに一般的に使用されるソフトなはんだ付け方法を示す。はんだプリフォームのようなあらかじめ塗布されるはんだを、はんだ付けするワーク間に配置し、溶融させてはんだ接合部を形成する。
拡散はんだ付けプロセスでは、はんだを完全に合金化し、中間相を形成する。その結果生じる相の融点は、活性部品の動作温度よりも著しく高くなる。また、はんだの融点よりも大幅に上昇する。さらに、中間相は著しく高い弾性率を持つ。このプロセスは、電力モジュールに使用する銅／錫系と、プリント回路基板のはんだ付けに使用する金／錫系との両方について説明されている。チップの積極的なオン・オフを伴う負荷サイクル試験により、この接続技術を用いた部品は、桁外れに高いサイクル数を達成することが明らかになっている。
焼結システムまたははんだ付けシステムにクリーンルームを提供するために、ローディングステーションおよびアンローディングステーション、またはローディングステーションおよびアンローディングステーションとして設計された１モジュールを、好ましくはシステムの内部に配置する。したがって、クリーンルームは、ローディングステーションから製造ステーションを経由してアンローディングステーションまで延びている。自動化された方法で移動可能な少なくとも１つの製造ワーク搬送器を、この閉鎖システムにおいて配置することができる。
フロー生産を提供するために、好ましくは同一設計の１つ以上の製造ワーク搬送器をシステムの内部に配置する。製造ワーク搬送器は、例えば、複数の同一の電子アセンブリおよび／またはワークを収容することができる。製造ワーク搬送器または複数の製造ワーク搬送器の自動移動を、搬送ユニットを用いて実現する。１つのモジュールがローディングステーションおよびアンローディングステーションとして設計されている場合、搬送ユニットは、好ましくは、少なくともローディングステーションから製造ステーションまで走行してから再び戻る。ローディングステーションおよびアンローディングステーションが分離されたモジュールとして設計され、製造ステーションがこれら２つのモジュール間に配置される場合、搬送ユニットは、好ましくは、ローディングステーションから製造ステーションを経由してアンローディングステーションまで走行する。この実施形態では、好ましくはフロー生産を提供するために、アンローディングステーションからローディングステーションに戻るように製造ワーク搬送器を案内する。これを、例えば、別の搬送方法または別のタイプの搬送によって達成することができる。このようにして、製造ワーク搬送器は、システムの外部からの介入、特に手動介入を必要とすることなく、システムを完全に通過することができる。
自動化された方法とは、特に、手動介入なしに移動が可能であることを意味する。この目的のために、搬送ユニットを、例えば、少なくとも部分的にベルトコンベヤの一種として、および／または昇降ユニットとして設計することができる。自動化された、特に完全に自動化されたシステムのさらなる利点は、クリーンルーム、特にＩＳＯ５クリーンルームを、各モジュールについて個別に、かつシステム全体に提供できることである。従って、システムを、例えば、それ自体が閉鎖および／または気密となるように設計することができる。システムの内部の個々のプロセスチャンバも、閉鎖および／または気密設計とすることができる。
マルチグリッパは、焼結システムやはんだ付けシステムに使用することができる。マルチグリッパは、少なくとも２つの電子アセンブリまたは少なくとも２つのワークを同時にピックアップし、ある場所から別の場所へ搬送することができるピックアップ要素として理解する必要がある。マルチグリッパは、ローディングステーションおよび／またはアンローディングステーションで使用することができる。特に、マルチグリッパは焼結システムやはんだ付けシステムで使用することができる。特に、マルチグリッパを使用して、少なくとも２つのワークを同時に把持し、移送することができる。これにより、ワーク搬送器のローディングおよびアンローディングをより迅速に行うことができる。
好ましい実施形態では、マルチグリッパは少なくとも２つ、特に４つのグリッパアームを有することができ、これらのアームはそれぞれ１つの電子アセンブリおよび／または１つのワークをピックアップするように設計されている。これにより、特に同一の複数のワークを同時に移動させることができる。各グリッパアームは、伸縮可能および／または回動可能な部分と、ワークまたはアセンブリをピックアップするための部分とを含んでよい。受容部は、１つのワークまたは１つのアセンブリを２つの側からクランプ可能に固定できる２つの把持要素から構成されてもよい。伸縮可能および／または回動可能な部分は、マルチグリッパの基本要素の上に伸縮可能および／または回動可能に配置することができる。これにより、グリッパアームは相互に対して、かつ基本要素に対して移動できる。
好ましくは、グリッパアームは相互に独立して移動可能および／または制御可能である。特に、相互に隣接して配置したワークおよび／またはアセンブリをピックアップできるように、全てのグリッパアームを一列に配置している。換言すれば、好ましくはマルチグリッパの長手方向軸上で相互に隣接して、グリッパアームを配置している。
好ましい実施形態では、少なくとも１つのグリッパアームは、少なくとも１つのさらなるグリッパアームに対して移動可能および／または回動可能であるように、空気圧で制御することができる。複数のグリッパアームを空気圧制御する場合、空気圧制御を、グリッパアームが相互に独立して移動できるように、好ましくは各グリッパアームに対して独立に行う。
好ましい実施形態において、マルチグリッパは、線に沿って相互に平行に配置した４つのグリッパアームを有することができ、２つの外側グリッパアームは、２つの内側グリッパアームに対して相対的に移動可能であるように、線に沿って移動可能である。線による案内は、マルチグリッパが例えば線形基本要素を有する、マルチグリッパの形態によって達成することができる。グリッパアームは、例えば伸縮可能な要素および／またはレール要素を用いて、好ましくは線形基本要素に沿って移動させることができる。ここで、空気圧制御による一種のスライド要素を提供することができ、特に２つの外側グリッパアームを相互に遠ざかるように移動させることができる。マルチグリッパが少なくとも３つ、特に４つのグリッパアームを有する設計とする場合、２つの外側グリッパアームの間に配置する少なくとも１つのグリッパアームを固定する設計とすることができる。固定とは特に、２つの外側グリッパアームが少なくとも１つの中間グリッパアームに対して相対的に移動できることを意味する。さらに、固定とは、特に、少なくとも１つの中間グリッパアームがマルチグリッパの基本要素に対していかなる移動もできないことを意味する。マルチグリッパが合計４つのグリッパアームを有する設計とし、したがって２つの中間グリッパアームを有する設計とする場合、２つの中間グリッパアームを固定した設計とすることができる。
好ましい実施形態では、製造ステーションは、はんだ付けモジュールおよび／または焼結モジュールとして、少なくとも１つのさらなるモジュールを含んでもよい。製造ステーションは、好ましくは、複数のさらなるモジュール、特に予熱モジュール、プラズマモジュール、はんだ付けモジュールおよび／または焼結モジュールおよび／または冷却モジュールを含んでもよい。予熱モジュールは、接続するワークを予熱する機能を果たす。プラズマモジュールは、例えば、被加工物を洗浄するために使用することができる。はんだ付けモジュールおよび／または焼結モジュールは、特にプロセス雰囲気下での熱接合方法において、ワークの接続を行うことができる。冷却モジュールは、インライン製造、すなわちフロー生産において高フローサイクルを達成することができるように、ワークの画定した冷却のために機能する。気密エアロックによって接続可能な１つまたは複数の連続モジュールは、ワークの接続のためのプロセス雰囲気として、特に負圧または真空を提供することができる。
さらなるモジュールは、好ましくは、ローディングステーションとアンローディングステーションとの間に配置される。ローディングステーションおよびアンローディングステーションが１つの共通モジュールに統合されている場合、さらなるモジュールは、好ましくは、ローディングステーションまたはアンローディングステーションに対して少なくとも一方の側に配置される。システムは、例えば、細長いスループットシステムとして設計することができる。製造ワーク搬送器は、好ましくは、自動化された方法でシステムのすべてのモジュールを通過することができる。製造ワーク搬送器は、回路を形成しながら、システムを両方向に、すなわち往復して通過できることが考えられ得る。それにより、自動化された方法で達成するアセンブリライン製造を特に有利に提供することができる。システムの内部の種々のレベルで往復運動を行うことができる。
好ましい実施形態では、１つのモジュールをローディングステーションとして、１つのモジュールをアンローディングステーションとして設計することができ、ローディングステーションは製造ステーションの上流に配置され、アンローディングステーションは製造ステーションの下流に配置され、搬送ユニットは、アンローディングステーションからローディングステーションに、特に製造ステーションをバイパスして電子アセンブリおよび／またはワークを搬送して戻す。製造ステーションのバイパスについて、特に、空間的なバイパスではなく、機能的なバイパスとして理解されたい。製造ステーションは、例えば、特に少なくとも１つの閉鎖および／または気密とされたプロセスチャンバを含む機能的な作業ステーションであってもよい。製造ステーションをバイパスする場合、製造ワーク搬送器の戻り移動中に、この閉鎖プロセスチャンバをバイパスすることができる。搬送ユニットは、例えば、プロセスチャンバの外側であって製造ステーションを取り囲む外側ハウジングの内側に、戻り移動のために配置することができる。製造ワーク搬送器を、例えば、製造ステーションの少なくとも１つの作業ステーションまたはプロセスチャンバの下方または隣接に戻す場合がある。特に、戻り動作はシステムの内部で行われ、製造ワーク搬送器は、好ましくは、全製造プロセス、特にフロー生産の間にシステムから離れることがない。搬送ユニットは、コンベアベルトの原理またはチェーンガイドの原理に従って構成することができる。作業ステーションの下方に配置した戻り搬送ユニットの垂直搬送のために、ワーク搬送器をリフト原理に従って移動させる昇降手段を設けてもよい。
原則として、搬送ワーク搬送器を製造ワーク搬送器として使用することができ、その場合、様々なワーク搬送器タイプ間の部品の移動は不要であり、製造ワーク搬送器の戻り搬送を省略することができる。
好ましい実施形態では、マルチグリッパを案内するための少なくとも１つの自動化ロボットをローディングステーションに設けてもよく、このロボットによって、少なくとも２つの電子アセンブリおよび／またはワークを、自動化された方法で、ローディングステーションの製造ワーク搬送器の上に、搬送ワーク搬送器から同時に移送可能であり、場合によっては配置可能である。電子アセンブリおよび／またはワークをアンローディングするためのアンローディングステーションにも、自動化ロボットを設けることができる。電子アセンブリおよび／またはワークを、搬送ワーク搬送器によってシステムに供給してもよい。搬送ワーク搬送器から製造ワーク搬送器への移送を、好ましくはローディングステーションの内部で行う。好ましくはローディングステーションの内部に配置した自動化ロボットによってこれを行う。一実施形態では、例えば、ローディングステーションで製造ワーク搬送器をローディングし、アンローディングステーションで製造ワーク搬送器をアンローディングするように設計された自動化ロボットを設けることができる。これにより、通常は製造業者固有の搬送ワーク搬送器からシステム固有の製造ワーク搬送器に、アセンブリを移送できる。製造ワーク搬送器は、ここで例えば、多数のアセンブリを収容でき、搬送ワーク搬送器は、たった１つまたは数個のアセンブリを搬送する。そのため、複数の搬送ワーク搬送器からのアセンブリを１つの製造ワーク搬送器に収容できる。したがって、少なくともローディングステーションにおいて、好ましくはマルチグリッパを用いて、移送を行う。複数の搬送ワーク搬送器の上に相互に隣接して配置した複数のワークを、例えば、相互に対して移動可能なグリッパアームによって、同時に持ち上げまたは把持し、それからまた製造ワーク搬送器の上に同時にセットする。グリッパアームは、特に空気圧で相互に対して移動可能であるため、搬送ワーク搬送器の上のワークがすべて１つの線上で相互に隣接して配置されている場合でも、製造ワーク搬送器の上で要求されるあらゆる空間的配置を行うことができる。マルチグリッパを、特にロボットアームによって制御する。製造ワーク搬送器から搬送ワーク搬送器の上への、電子アセンブリまたはワークの移送は、アンローディングステーションでもマルチグリッパによって行うことができる。
原則として、３Ｄまたは２Ｄハンドリングロボットとして、自動化ロボットを設計する。自動化ロボットを、有利には単軸ハンドリングロボットとして設計することができる。例えば線形駆動として、一次元ドライブを設計し、低コストで高速なピックアンドプレース動作を達成することができる。
好ましい実施形態において、少なくとも１つの、特に収容した全ての電子アセンブリの、および／または少なくとも１つの、特に収容した全てのワークのアライメントは、グリッパアームによって、マルチグリッパに対して横方向または長手方向軸で達成することができ、該軸は、特に水平にアライメントされている。長手方向軸は、好ましくは、グリッパアームが配置されている線の方向にアライメントされている。横方向はこれに直交し、特に両軸は１つの水平面内にある。これにより、ワークまたはアセンブリをグリッパアームによってピックアップするときに、少なくとも１つの水平空間方向におけるアライメントが可能となる。このアライメントにより、ワークまたはアセンブリを既にアライメントした状態で製造ワーク搬送器に配置できるようにすることを意図している。
好ましい実施形態では、少なくとも１つのグリッパアーム、特にすべてのグリッパアームは、電子アセンブリおよび／またはワークをピックアップするための少なくとも２つの把持要素を有することができ、この把持要素は、電子アセンブリおよび／またはワークのある軸におけるアライメントをもたらし、該軸は、特に両方の把持要素を通過する。把持要素は、部品またはワークの特に側縁に接触できるクランプ要素として理解する必要がある。グリッパアームの上に２つの把持要素を対向して配置している場合、ワークまたはアセンブリをそれらの間にクランプ方式で保持することができる。好ましくは、アセンブリ／ワークを保持または解放するために、把持要素を相互に対して移動させることができる。
把持要素を、好ましくはアライメントのために設計する。そのために、把持要素のそれぞれについて、好ましくは、ワークを一方向にアライメントできるように、ワークの一方の側縁と面接触させる。一実施形態では、マルチグリッパの全てのグリッパアームについて、全てのワークを同一にアライメントできるように、一つの軸上に相互に平行または隣接して配置する。特に、対向する把持要素についても、それぞれの隣接する把持要素に対して平行または一つの軸上に配置する。別の実施形態では、グリッパアームの把持要素を、把持要素の後面と隣接するグリッパアームの把持要素の後面とがそれぞれの場合に相互にアライメントされるように、相互に隣接して配置している。
好ましい実施形態では、マルチグリッパによってピックアップした電子アセンブリおよび／またはワークのアライメントについて、マルチグリッパに平行な軸および／または横方向の軸において実現するアライメントユニットが含まれてもよい。一実施形態では、マルチグリッパの軸に対して横方向の軸において、マルチグリッパのグリッパアームによって第１のアライメントを達成してもよい。アライメントユニットを、一種のストップとして設計することができ、それに向かって、把持要素の接触しない、ワークの自由な側縁がアライメントユニットに接触するまでマルチグリッパを移動させる。アライメントユニットを縁部として設計している場合、その縁との接触によってすべて均等に、ワーク／アセンブリをアライメントする。
好ましい実施形態では、アライメントユニットは、把持要素によるアライメントに対して横方向の軸において、電子アセンブリおよび／またはワークのアライメントをもたらすことができる。アライメントユニットを、好ましくはマルチグリッパと同様に設計する。つまり、アライメントユニットもまた、ワークをピックアップまたは接触させるように設計した把持要素を有する。アライメントユニットの把持要素は、ここで、マルチグリッパによって既に保持しているワークに対して下から上に移動し、対向する２つの自由な側縁でワークを把持し、それらをアライメントできる。それゆえ、ワークをアライメントできるように、把持要素はワークの４つの側縁すべてに同時に接触する。したがって、好ましくは水平面内で相互に直交して延びる２つの方向で、アライメントを行うことができる。その後、アライメントユニットを、好ましくは、ワーク／アセンブリから再び遠ざける。その後、製造ワーク搬送器の上に、アライメントしたアセンブリを既にアライメント済みの状態で配置することができる。
好ましい実施形態では、製造ワーク搬送器のアライメントおよび／またはセンタリングのために、センタリング装置をローディングステーションに設けてもよく、前記装置は、電子アセンブリおよび／またはワークを収容する前に、製造ワーク搬送器の水平および／または垂直アライメントおよび／またはセンタリングを行う。好ましくは、製造ワーク搬送器は、搬送フレームと、その中に収容するベースプレートとを含むことができ、ワークをベースプレートに配置する。これにより、製造ワーク搬送器の搬送フレームに対して正確に、製造ワーク搬送器またはベースプレートをアライメントし、マルチグリッパでアライメントしたワーク／アセンブリを正確に嵌合させながら収容することができる。
センタリング装置は、搬送ユニットに対する製造ワーク搬送器のセンタリングまたはアライメントを行うことができる。いわゆるベースプレートがワークまたは電子アセンブリを収容するための領域を提供し、ベースプレートを収容するための一種のフレーム要素として、搬送フレームが設計される。これにより、ベースプレートを搬送フレームに対してアライメントして固定する。ベースプレートは、多数のワーク／アセンブリの受容部を含むことから、以下において製造ワーク搬送器の本質的要素であり、またはフレーム要素とともに、製造ワーク搬送器を全体として若しくはその本質的特徴において提供することができる。ベースプレートは、ここで好ましくは、搬送フレームに対して移動、昇降させることができる。さらに、ベースプレートと搬送フレームとは、相互に対して回転させることができる。これにより、ワーク／アセンブリのための受容部のアライメントが可能になる。好ましくは、加圧プロセスのための製造ステーションの内部の圧力プランジャに対するワークのアライメントに、これを使用できる。
好ましい実施形態では、センタリング装置は、センタリングプレートおよび／または昇降ユニットを含んでいてもよく、制御は特に空気圧式である。製造ワーク搬送器または搬送フレームに対してセンタリングプレートが移動可能なように、センタリングプレートの上に製造ワーク搬送器またはベースプレートを配置する。好ましくは、センタリングプレートと製造ワーク搬送器またはベースプレートとは、少なくとも２つ、特に３つの支持体を用いて変位可能に接触する。支持体はボールベアリングタイプの支持体とすることができる。センタリングプレートは、昇降ユニットを用いて昇降させることができる。
好ましい実施形態では、製造ワーク搬送器またはベースプレートの上のストップに接触可能な少なくとも１つの突起またはペグをセンタリングプレートの上に設け、センタリングプレートに対する製造ワーク搬送器のアライメントおよび／またはセンタリングを水平クランプ平面内で行うことができる。例えば、製造ワーク搬送器またはベースプレートに対して加圧する圧力要素を使用して、これを達成することができ、突起またはペグがストップに接触する。これにより、製造ワーク搬送器の搬送フレームにおいて、製造ワーク搬送器またはベースプレートをアライメントする。圧力要素を、一種の偏心として設計し、特に電動モーターによってクランプ平面に対して直角に移動させることができる。あるいは、圧力要素を、クランプ面内のプランジャとして設計し、例えば空気圧シリンダによって制御する。
さらなる実施形態では、機械的な把持力を避けながら負圧によってワークを持ち上げることのできる吸引グリッパを移送に使用することができる。さらに、システムの内部に複数の自動化ロボットを設けてもよい。好ましい実施形態では、１台の自動化ロボットをローディングステーションに配置し、さらに１台の自動化ロボットをアンローディングステーションに配置する。このようにして、製造ワーク搬送器の連続的なローディングまたはアンローディングをシステムの内部で行い、これにより、フロー生産を特に有利に達成できる。従って、搬送ワーク搬送器の仕様は、接合プロセス、例えば焼結プロセスまたははんだ付けプロセスに適した製造ワーク搬送器の仕様とは独立である。
正確な製造、特にローディングステーションにおける製造ワーク搬送器の上のアセンブリの位置および配置を、少なくとも１つのカメラによって光学的にチェックし、記録することができる。ローディングステーションおよび／またはアンローディングステーションにおける光学的アライメントのための少なくとも１つのカメラは、自動化ロボット／ハンドリングロボットのグリッパアームのアライメントのためにも設けることができる。カメラは、例えば、ワークまたはワークの内部の接合相手材、例えばＤＣＢ（Ｄｉｒｅｃｔ Ｃｏｐｐｅｒ Ｂｏｎｄｅｄ）の、相互に対する、または製造ワーク搬送器および／またはカバー用箔／フィルムおよび／またはカバー用マスクに対する正確なアライメントを決定し、調整情報を自動化ロボットに伝えることができる。これにより、例えば縁や角の輪郭を検出し、そこからＸ／Ｙオフセットを決定できる。自動化ロボットは、多軸について移動可能なアームを備えた従来の産業向けロボットの形態であり得る。また、ワーク搬送器、箔／フィルム、カバー用マスクなどを搬送するための単軸または多軸搬送システムとして設計することもできる。
製造ワーク搬送器のためのスタックマガジンは、ローディングステーションの内部または前面に設けることができ、これにより、特に製造開始時に、搬送ユニットに一連の製造ワーク搬送器を事前設定できる。従って、最初の製造ワーク搬送器が戻るのを待つ必要がなく、連続プロセスを直ちに開始することができる。従って、特にマルチグリッパを使用して複数のワークを同時にピックアップすることができる場合、製造の立ち上げであっても高いユニットレートを達成することができる。
特に、多数のワーク搬送器を接合すべきバッチランの終了時に、ワークを十分に充填することができない最後の製造ワーク搬送器の場合には、ダミーワークを製造ワーク搬送器の残りの空所に配置することができ、接合プロセスの後、特に焼結または拡散はんだ付けプロセスの後に、製造ワーク搬送器からダミーのための位置に戻すことができる。
好ましい実施形態では、搬送ワーク搬送器を収容するためのさらなる搬送ユニットを設けてもよく、モジュールとは独立に、ローディングステーションからアンローディングステーションまで、特に製造ステーションをバイパスして移動可能とする。このさらなる搬送ユニットを、例えば、ローディングステーションにおいてシステムに案内し、アンローディングステーションでシステムから遠ざけるように案内する。外部製造業者から供給し得るブランクまたは未接続の部品を、特に搬送ワーク搬送器に配置する。製造ステーションのバイパスについて、上記で既に説明したように理解されたい。特に、さらなる搬送ユニットを、自律的に、特にシステムの製造ワーク搬送器の搬送ユニットとは独立に移動可能としてよい。搬送ワーク搬送器の搬送ユニットを、好ましくは、システムのモジュールと平行に移動させることができる。
好ましい実施形態では、ローディングステーションについて、電子アセンブリおよび／またはワークにプロセスカバーを取り付けるように構成してもよく、かつ／またはアンローディングステーションについて、電子アセンブリおよび／またはワークからプロセスカバーを取り外すように、特に自動化ロボットによって取り付けおよび／または取り外すように構成してもよい。プロセスカバーは、特に焼結プロセスのためのマスクまたはカバーのためのマスクであってよく、製造ワーク搬送器に配置した電子アセンブリおよび／またはワークに自動化された方法で配置することができる。自動化装置または自動化ロボットを使用して、それを取り付けることができる。プロセスカバーについて、特にプロセスカバーの中間保管のためのパーク位置と製造ワーク搬送器の上の位置との間を往復移動／変位させることができる。プロセスカバーについて、一種の保管装置に取り付け、レールを使用して適切な位置に移動させることができる。これはコンピュータ制御であってもよい。特に連続製造のためにシステムの内部に複数の製造ワーク搬送器を設けている場合、複数のプロセスカバーをシステムの内部に配置することが好ましい。例えば、先に配置したプロセスカバーを取り外した、または製造ワーク搬送器の上に配置した場合、プロセスカバーをパーク位置に連続的に配置する場合がある。さらに、製造ワーク搬送器ごとにプロセスカバーを設けることもでき、製造ワーク搬送器を戻す際に、プロセスカバーを製造ワーク搬送器とともに戻す。アンローディングステーションからローディングステーションに戻す前に、戻り搬送のための製造ワーク搬送器にプロセスカバーを配置し戻すこともできる。
好ましい実施形態では、ローディングステーションおよび／またはアンローディングステーションは、少なくとも２つの作業位置、特に３つまたは４つの作業位置を含んでいてもよく、製造ワーク搬送器は、自動化された方法で、特に変位ユニットによって、１つの作業位置から隣接する作業位置まで移動可能である。各作業位置は、他の作業位置とは異なる作業ステップを実行することができる。第１の作業位置では、例えば、プロセスカバー、特にカバー用マスクを、電子アセンブリおよび／またはワークを有する製造ワーク搬送器の上に配置できる。あるいは、マスクを省略することもある。最終の作業位置を通過した後、製造ワーク搬送器の上の電子アセンブリおよび／またはワークについて、好ましくは、製造ステーション、特に予熱モジュール、はんだ付けモジュールまたは焼結モジュールおよび冷却モジュールを通過できるように準備する。一種の搬送ユニット、例えばベルトコンベアまたはコンベアベルトとして、変位ユニットを設計できる。変位ユニットは、搬送ユニットと共に、フロー生産を提供するために製造ワーク搬送器を戻すための一種の回路を形成できる。複数の製造ワーク搬送器をシステムに配置している場合、好ましくは、相互に一定の間隔で変位ユニットの上に、それらを配置する。作業ステーションを、他の作業ステーションの後ろに順次線形に配置してもよいし、回転割出テーブルの形態で円形に隣接して配置してもよい。
好ましい実施形態において、ローディングステーションは、変位ユニットによって相互に接続した３つの作業位置を含んでもよい。この目的のために、自動化ロボットによって、電子アセンブリおよび／またはワークを、自動化された方法で第１の作業位置に配置してもよい。自動化ロボットによって、少なくとも１つのマスクを、自動化された方法で第１のプロセスカバーとして電子アセンブリおよび／またはワークの上に配置してもよい。代替的にまたは追加的に、第２の作業位置において、自動化ロボットによって、少なくとも１つの箔／フィルムまたは複数の箔／フィルム片を、自動化された方法でマスクの上の第２のプロセスカバーとして、またはマスクの代わりに配置してもよく、第３の作業位置において、箔／フィルムによる製造ワーク搬送器の閉鎖を、特に保持フレーム、特に保持リングを用いて自動的に行ってもよい。すべての作業位置ですべての作業を行うための単一の自動化ロボットを設けることも考えられる。好ましくは、各作業位置でそれぞれの作業ステップを実行するために、各作業位置に別々の自動化ロボットまたは他のタイプのコンピュータ制御アクチュエータ装置を設ける。
特にシステムが焼結システムである場合に、箔／フィルム移送ユニットを使用する。はんだ付けシステムの場合、箔／フィルム移送ユニットは省略可能であり、それに応じて箔／フィルムの使用は一切、省略可能である。
箔／フィルムは、例えば、２５０℃付近の温度範囲のための耐熱性均等化箔／フィルム、例えば、ＰＴＦＥフィルム、ＦＫＭフィルム、シリコーンフィルム、ポリウレタンエラストマーフィルム、エラデュールフィルム、ＰＦＡフィルム、ＰＩフィルム等、例えば、グラファイトフィルム、アルミニウム箔等であってよい。箔／フィルムは、好ましくは、ＳＭＤ（表面実装デバイス）の保護として機能し得る。ＳＭＤ部品は、極めてコンパクトな設計を有する。このような電子部品はリード線がなく、はんだ付け可能なランドによってプリント回路基板に直接はんだ付けされる。この技術を表面実装と呼ぶこともある。箔／フィルムは、焼結プロセスでゲルパッドが部品表面に付着するという好ましくない事態を防止できる。
好ましい実施形態では、ローディングステーションとアンローディングステーションとを、相互に鏡像として設計できる。その結果、ローディングステーションにおいて、特に有利には、後続の焼結動作またははんだ付け動作のために、電子アセンブリおよび／またはワークを連続的に準備することができる。対照的に、アンローディングステーションでは、焼結またははんだ付けに必要な補助装置、例えばプロセスカバーまたは箔／フィルムを再び連続的に取り外すことができる。特にローディングステーションの作業ステップを、アンローディングステーションにおいて相補的に実行するため、２つのモジュールについて、好ましくは同一構造であるものの、相互に鏡像としてまたは相補的に設計することができる。
好ましい実施形態では、製造ワーク搬送器を搬送するための搬送ユニットは、昇降ユニットと床下搬送ユニットとを含んでいてもよく、床下搬送ユニットの移動経路は、特に製造ステーション、特に気密プロセスチャンバをバイパスして、システムの内部に配置され、特に、製造ワーク搬送器のローディングおよび／またはアンローディング並びに製造ステーションを通る製造ワーク搬送器の搬送を行うレベルの下に延びている。製造ステーションのバイパスについて、上記で既に説明したように理解されたい。製造ワーク搬送器は、床下搬送ユニットによって、ローディングステーションまたはアンローディングステーションの作業位置に平行に移動することができる。これにより、構造スペースを節約することができる。したがって、製造ワーク搬送器は、特に有利にローディングステーションからアンローディングステーションに移動することができる。アンローディングステーションでは、製造ワーク搬送器をローディングステーションに戻す前に、さらなる搬送ユニットが電子アセンブリおよび／またはワークを製造ワーク搬送器からピックアップすることができる。
好ましい実施形態では、少なくとも１つの検査カメラを含む光学検査ユニットを設けることができる。少なくとも１つの検査カメラは、ローディングステーションの内部および／またはアンローディングステーションの内部にあってよく、少なくとも、製造ワーク搬送器におけるアセンブリおよび／またはワークの正しい位置アライメントを検出し、記録することができる。検査カメラは、製造ワーク搬送器の上のワークの回転位置およびＸ－Ｙオフセットを確認することができる。好ましくは、検査カメラまたは第２の検査カメラは、さらに、搬送ワーク搬送器の上のワークの回転位置およびＸ－Ｙオフセット、またはワークの接合相手部品（ＤＣＢ－Ｄｉｒｅｃｔ Ｃｏｐｐｅｒ Ｂｏｎｄｅｄ）の相対位置を検出することができる。検査カメラは、照明ユニットを備えていてもよい。有利なことに、少なくとも１つの検査カメラは、自動化ロボットのグリッパアームの上に配置することができ、搬送ワーク搬送器から製造ワーク搬送器の上へのワークの移送を保証する。このような光学検査カメラは、ローディングステーションとアンローディングステーションとの両方に設置することができる。検査ユニットは、ワークの接続前後の位置と外観とを記録し得る。さらに、検査ユニットは、Ｘ－Ｙオフセットの検出によって自動化ロボットを制御し得る。例えば、自動化ロボットによってワークを把持すると、自動化ロボットの位置補正を第１の検査カメラによって決定する。第２の検査カメラにより、製造ワーク搬送器の正確な位置を決定し、製造ワーク搬送器において位置ずれなく、正確なアライメントでワークを配置できる。これにより、搬送ワーク搬送器におけるワークの誤った位置決めを修正でき、製造ワーク搬送器における正確な位置決めを保証できる。このため、検査手段による検出を容易にするために、製造ワーク搬送器の上に１つまたは複数の光学的基準マークを設けることができる。この基準マークにより、信頼性の高い正確な位置の特定が可能となり、光学解像度の低い検査カメラや困難な光条件下での検査カメラ、あるいは簡単な補助照明を伴う検査カメラを使用することができる。軽量な検査カメラは、例えばグリッパアームにも使用することができ、自動化ロボットの高速移動と軽量化とを実現できる。
好ましい実施形態では、少なくとも１つ、特に２つ以上の箔／フィルム移送手段を有する箔／フィルム移送ユニットが含まれてよく、これらの箔／フィルム移送手段は、ローディングステーションにおいてプロセスカバーとして箔／フィルムを自動的に取り付けるように設計されている。箔／フィルム移送ユニットは、各場合において、電子アセンブリおよび／またはワークを有する製造ワーク搬送器の上に、好ましくはマスクの上に、箔／フィルムを配置するように設計されている。箔／フィルム移送手段は、例えば、グリッパを備えるように設計することができ、空気圧および／または真空によって箔／フィルムをピックアップすることができる。この点で、箔／フィルム移送手段は、予め切断された箔／フィルム片の形態であり得る箔／フィルムをピックアップし、空間的に異なる場所に再び配置することができるハンドリングユニットとみなすことができる。例えば、箔／フィルムは、箔／フィルム移送手段に配置された真空ノズルによってピックアップすることができる。その結果、箔／フィルムの配置は、自動化または完全自動化された方法で行うことができる。手動作業は不要である。このようにして、クリーンルーム、特にＩＳＯ５クリーンルームを提供することができる。
好ましい実施形態では、箔／フィルム移送ユニットは、少なくとも１つ、特に２つの箔／フィルムスタックを含むことができ、これらの箔／フィルムスタックは、箔／フィルムマガジンとして設計され、頂部の箔／フィルムのための取り外し面を頂部に有する。従って、箔／フィルムは、製造ワーク搬送器のワーク収容領域に正確に嵌合するように準備された個々の箔／フィルム要素であってもよい。これらの個々の箔／フィルム要素の箔／フィルムスタックを、それに応じて、既に予め切断された個々の箔／フィルムのスタックから構成してもよく、これらの箔／フィルムを、特にローディングステーションの作業位置において、作業位置を通過する製造ワーク搬送器の上に連続的に配置することができる。この目的のために、頂部または底部の箔／フィルムを、それぞれの場合、取り外し面で、すなわちスタックの頂部または底部の箔／フィルムの配置されている側で取り外すことができる。少なくとも１つの箔／フィルムスタック、特に２つの箔／フィルムスタックを、ローディングステーションの隣またはローディングステーションの内部に配置することができる。２つの箔／フィルムスタックが存在する場合、途切れのないフロー生産を特に有利に提供することができる。この場合、第２の箔／フィルムスタックから箔／フィルムを取り外し続けている間に、第１の箔／フィルムスタックを補充することができる。箔／フィルムスタックおよび箔／フィルム移送手段を有する箔／フィルム移送ユニットを、好ましくは、システムの内部に配置することができる。
予め切断された箔／フィルムを有する箔／フィルムスタックは、箔／フィルムブランクを最適化し、廃棄物を低減し、したがってコストを節約できる。好ましくは、箔／フィルムは、製造ワーク搬送器および保持フレームの形状に適合させることができ、特に、円形、長方形、正方形または六角形に設計することができる。箔／フィルムの交換および２つの箔／フィルムスタック間の交換は自動的に行われるため、サイクルタイムが長く、生産遅延やアイドル時間が実質的に発生しない。箔／フィルムをロールから取り外す場合保証されない、箔／フィルムスタックと周囲温度との間の温度の均一化を達成することができる。種々の厚さおよび種々の箔／フィルムまたは材料タイプの箔／フィルムブランクを、箔／フィルムスタックの上に提供し、順次取り外すことができ、容易に適合させることができる。生産完了時に、箔／フィルムのダミーも、例えばプラスチックまたは金属シートとして箔／フィルムスタックに提供することができ、不必要なスクラップまたは箔／フィルムの無駄が生じないようにされる。箔／フィルムの厚さは、１ｍｍ以下、特に０．２５ｍｍ以下、好ましくは０．１ｍｍ以下、特に０．０５ｍｍ以下とすることができ、箔／フィルムスタックにおける箔／フィルムの数も、処理するアセンブリ／部品の量に正確に合わせることができる。箔／フィルムが相互に静電気的に付着するのを防ぐために、箔／フィルムスタックのローディングおよびアンローディングにＥＳＤ（静電気放電）技術を使用することができる。
原理的には、箔／フィルムスタックから底部または頂部の箔／フィルムを取り外すことが考えられる。好ましい実施形態では、箔／フィルムスタックは、頂部に向かって箔／フィルムスタックを徐々に上昇させることを可能にする箔／フィルム昇降ユニットを有することができる。このようにして、箔／フィルムスタックの頂部の箔／フィルムは、実質的に一定の高さに配置され得る。このようにして、箔／フィルム移送手段は、箔／フィルムスタックの頂部の箔／フィルムを１つの同じ移動経路で、特に連続的に同じ高さで移動させる場合、それぞれの場合において、頂部の箔／フィルムに到達できることを保証することができる。
さらなる実施形態では、個々の箔／フィルムの代わりに、ロールの上の連続の箔／フィルムを使用することができる。個々の箔／フィルム部分または箔／フィルムは、連続の箔／フィルムから分離または切断することができる。連続の箔／フィルムは、例えばロールに巻かれていてもよい。箔／フィルム切込みロールを用いて、連続の箔／フィルムの前端を把持し、箔／フィルム切込みロールの回転によって把持位置に誘導することができる。こうして到達可能な連続の箔／フィルムの端部は、グリッパによって必要な長さまで引き出すことができる。好ましくは、箔／フィルム切り込みロールは、引き抜く際にわずかに持ち上げられる。必要な長さに到達したら、好ましくは、箔／フィルムを所定の位置に固定するために、箔／フィルム切込みロールを箔／フィルムの上に下ろす。その後、箔／フィルムは、グリッパによって必要な長さに引き伸ばされ、分離要素によって必要な位置で切断される。その後、箔／フィルムは、例えば、製造ワーク搬送器に載せる前に洗浄することができる。前述のステップを継続的に繰り返すことにより、複数の製造ワーク搬送器に個々の箔／フィルム部分を提供することができる。装置一式は、ローディングステーションの領域、特に、既に充填された製造ワーク搬送器に箔／フィルムを取り付ける作業位置に配置することができる。
本発明はさらに、箔／フィルム移送ユニットを提供する。箔／フィルム移送ユニットは、特に上述したようなシステムに適している。さらに、箔／フィルム移送ユニットは、上述のシステムとは独立して使用ができ、かつ／または、例えば既存のシステムに後付けができる。
少なくとも１つ、特に２つの箔／フィルム移送手段と、少なくとも１つ、特に２つの箔／フィルムスタックとが含まれることを提案する。上記で説明した特徴および利点は、独立した箔／フィルム移送ユニットにも適用される。
箔／フィルム移送ユニットにより、特に箔／フィルム、例えば２５０℃前後の温度範囲のための耐熱性均等化箔／フィルム、例えばＰＴＦＥフィルム、ＦＫＭフィルム、シリコーンフィルム、ＰＦＡフィルム、ＰＩフィルム、アルミニウム箔、グラファイトフィルムなどをピックアップすることが可能である。このような箔／フィルムの用途はすでに説明したとおりであり、焼結法において、焼結パッドもしくはハードパンチと部品表面との間のプロセスカバーおよび／または部品上のカバー用マスクとして使用することができる。
好ましい実施形態は、電子アセンブリおよび／またはワークの上への移送前に、頂部および／または底部の箔／フィルムを洗浄するための洗浄ユニットを備えることができる。このようにして、任意の箔／フィルムは、例えば、電子アセンブリおよび／またはワークを有する製造ワーク搬送器の上に配置する前に、洗浄ユニットによって洗浄することができる。洗浄ユニットは、例えば、箔／フィルムスタックと製造ワーク搬送器の位置との間に配置することができる。
箔／フィルムを箔／フィルムスタックから取り外すとき、箔／フィルムは主に静電気帯電により相互に付着する可能性がある。これを回避し、種々の箔／フィルム材料の使用を可能にするために、箔／フィルムを有利には静電放電させることができる。これは、例えば、キーエンス・ドイツＧｍｂＨ社（ノイ－イーゼンブルク）のイオン化システムを用いて達成することができる。イオナイザーによる自動イオン制御を用いれば、極性に関係なく、静電荷を迅速かつ確実に中和することができる。これについて、イオンを印加するための放電バーは、圧縮空気の有無にかかわらず作動させることができる。
好ましい実施形態において、箔／フィルムスタックの各頂部の箔／フィルムが一定の上方移動によって頂部に向かって移動可能であり、かつ、箔／フィルム移送手段が高さ均等化システムを有するように、箔／フィルム昇降ユニットを有する箔／フィルムマガジンとして箔／フィルムスタックを設計することができる。例えば、ある数の箔／フィルムを箔／フィルムスタックから取り外した後、５ｍｍ～１５ｍｍ、特に１０ｍｍの上方移動を実行させることが、各場合において可能である。箔／フィルム昇降ユニットは、例えば、箔／フィルムスタックから５～１５枚、特に１０枚の箔／フィルムを取り外した後、１０ｍｍ上方に移動させることができる。高さ均等化システムにより、箔／フィルム移送手段は、取り外すべき頂部の箔／フィルムが位置する高さからの偏差を補正することができる。このようにして、箔／フィルム移送手段は、事実上、箔／フィルムを収容する際の公差を提供することができる。特に、箔／フィルムスタックの頂部の箔／フィルムの位置する高さに関する公差を均等化することができる。
好ましい実施形態では、箔／フィルムスタックは、複数の箔／フィルムを含むことができる。特に、箔／フィルムスタックは、例えば２４時間の期間にわたって製造するための箔／フィルムを含むことができる。他の期間を考えることも可能である。
好ましい実施形態において、洗浄ユニットは、線形洗浄ユニットから構成されてもよいし、非接触で動作する表面洗浄システムとして設計されてもよい。線形洗浄ユニットは、各場合において、１つの箔／フィルムを洗浄システムに通すことができる。この場合、箔／フィルムを、例えば、まず、第１の箔／フィルム移送手段で線形洗浄ユニットの上に配置し、そこで移動させて洗浄し、次いで、第２の箔／フィルム移送手段で再び洗浄ユニットから取り出す。
好ましい実施形態では、洗浄ユニットは、非接触で作動する表面洗浄システムとして設計することができる。これにより、三次元またはパターン化された表面の汚染を有利に除去することができる。例えば、脈動する高乱流の空気流によって汚染を除去することができる。特に、圧縮空気および／または真空および／またはイオン化空気の順で使用して、正負の電荷を箔／フィルムに導入して、汚れ粒子がフィルム表面に静電的に付着するのを防止することができる。
好ましい実施形態では、箔／フィルムは、正負の電荷の導入によって洗浄ユニット内で静電放電させることができる。その後、好ましくは、不純物または粒子を除去するために、箔／フィルムに高圧下で空気を吹き付けることができる。その後、特に、粒子を、例えば抽出ユニットによる吸引によって引き抜く。その結果、箔／フィルムは、静電引力により付着できる粒子がないような放電された状態になる。この方法は、特に例えば２５０℃前後の温度範囲に対応する耐熱性均等化箔／フィルム、例えばＰＴＦＥフィルム、ＦＫＭフィルム、シリコーンフィルム、ＰＦＡフィルム、ＰＩフィルム、アルミニウム箔、グラファイトフィルムまたは同様の箔／フィルムタイプに適している。
非接触洗浄は、例えば、回転ノズルまたはフラットジェットノズルから圧縮空気を脈動させることで実現することができる。これは、例えばパターン化された部品に適している。静電気は、イオン化によって除去することができ、静電引力を除去することができる。フラットジェットノズルによる圧縮空気補助のイオン化が特に有利であることが証明されている。特に、抽出ダクトを組み込むことができる。このような洗浄ユニットは、狭い作業幅向けのコンパクトな設計にすることができる。また、既存の生産設備に後付けもできる。
好ましい実施形態では、洗浄ユニットは、ドクターエシャリッヒＧｍｂＨ社（ミュンヘン）のＳＴＡＴＩＫ－ＡＩＲ製品群の形態をとることができる。これは、静電気を除去し、破壊的なほこりや材料粒子を除去する非接触動作の表面洗浄を提供する。クリーンルーム向けには、一体型抽出ダクトが装備されている。
個々の箔／フィルム、特に、例えば２５０℃前後の温度範囲のための耐熱性均等化箔／フィルム、例えばＰＴＦＥフィルム、ＦＫＭフィルム、シリコーンフィルム、ＰＦＡフィルム、ＰＩフィルム、アルミニウム箔、グラファイトフィルムなどは、好ましくは、正負の電荷によって相互に付着しない。このようにして、箔／フィルムを実質的に脱イオン化することができる。これにより、箔／フィルム移送手段によって箔／フィルムスタックから頂部の箔／フィルムのみが取り外されることを保証できる。
好ましい実施形態では、高さ測定および／または厚さ測定は、２つの箔／フィルムがピックアップされたかどうかを決定するために使用することができる。高さ測定または厚さ測定は、例えば、透明度測定の形態をとることができ、ピックアップされた箔／フィルムの光学的透明度を決定することによって、１つの箔／フィルムだけがピックアップされたか否かを決定することができる。あるいは、箔／フィルムの厚さは、箔／フィルムの確実な分離を確認するために、特に洗浄ステーションの下流で、箔／フィルムを製造ワーク搬送器の上またはアセンブリ若しくは複数のアセンブリの上に配置する前に、機械的に測定することができる。これは、例えば、箔／フィルムスタックの表面上の走査チップによって達成することができる。これにより、厚さ測定システムは、あらゆる形状、材質、厚さのカバー用箔／フィルムに使用することができる。特に、不透明な箔／フィルムと透明な箔／フィルムとの両方についてチェックすることができる。このようにして、厚さ均等化箔／フィルム、言い換えれば、シリコンマットや反射箔／フィルムのような高さ均等化のための箔／フィルムでも、分離チェックを実施することができる。
好ましい実施形態では、第１の箔／フィルム移送手段は、箔／フィルムスタックから頂部および／または底部の箔／フィルムを取り出して洗浄ユニットに挿入するように設計されてもよく、第２の箔／フィルム移送手段は、洗浄ユニットから箔／フィルムを取り出して電子アセンブリおよび／またはワークを有する製造ワーク搬送器の上に配置するように設計されている。
本発明の対象はさらに、本発明によるシステムのための、好ましくは箔／フィルム移送ユニットのための、箔／フィルム剥離ユニットである。電子アセンブリおよび／またはワークから少なくとも１つの箔／フィルムを剥離するための剥離ユニットが含まれることを提案する。したがって、箔／フィルム剥離ユニットは、好ましくはアンローディングステーションに挿入または配置される。箔／フィルムは、好ましくは製造ステーションを通過した後、すなわち焼結設備における焼結プロセスの実行後に剥離される。はんだ付けシステムの場合、原則として箔／フィルムは不要である。
好ましい実施形態では、箔／フィルム剥離ユニットは、製造ワーク搬送器に対して移動可能であってよく、剥離要素が箔／フィルムの下、特に個々の箔／フィルム要素の下に配置可能であり、保持要素が箔／フィルムの上、特に個々の箔／フィルム要素の上に配置可能であり、電子アセンブリおよび／またはワークから箔／フィルムを剥離するようになっている。好ましくは、製造ワーク搬送器を、最初に、アンローディングステーションの適切な作業位置に移動する。箔／フィルムは、好ましくは、単一の箔／フィルムとして、すなわち、箔／フィルムスタックに収納可能であり、かつ、製造ワーク搬送器のワーク受容領域の形状に合わせて既にトリミングされた個々の箔／フィルム要素として設計されている。これは再利用可能であり、材料費を節約することができる。次に、箔／フィルム、または個々の箔／フィルム要素は、剥離要素を使用して、基板から、すなわちワークまたは電子アセンブリから、持ち上げて剥離することができる。剥離要素は、例えば、箔／フィルムまたは個々の箔／フィルム要素の全幅を通過する一種のスライダとして設計することができる。箔／フィルムの持ち上げおよび箔／フィルムの下への剥離要素の配置を容易にするために、箔／フィルムを、例えば、前端の同様の吸引要素を用いて持ち上げることができる。剥離要素が箔／フィルムの下に配置される一方で、保持要素は、剥離要素と保持要素との間に箔／フィルムを案内するために、好ましくは箔／フィルムの上に配置される。保持要素は、その幾何学的形状において剥離要素と同一設計にすることができる。したがって、保持要素は、好ましくは、剥離要素と保持要素との間に箔／フィルムを案内できるように、箔／フィルムの全幅にわたって延在する。ここで箔／フィルム剥離ユニットを製造ワーク搬送器に対して相対的に移動させると、箔／フィルムは製造ワーク搬送器の全長にわたってワークまたは電子アセンブリから剥離される。同時に、ワークまたはアセンブリは、剥離要素によって製造ワーク搬送器の上に保持される。剥離要素と保持要素とについて、保持構造を用いてそれぞれの端部領域で定位置に保持してもよく、保持構造を作業位置に沿って移動可能としてもよい。そのために、例えば作業位置において搬送ユニットの外側にレール要素を配置することができ、このレール要素に沿って保持構造を移動可能とすることができる。
好ましい実施形態では、製造ワーク搬送器は、箔／フィルム剥離ユニットに対して相対的に移動可能であってもよく、製造ワーク搬送器が移動可能で、箔／フィルム剥離ユニットが固定されていてもよい。このような実施形態では、好ましくは、製造ワーク搬送器を搬送ユニットの上で移動させ、一方、箔／フィルム剥離ユニットを固定位置に留まらせる。これによっても、箔／フィルムを製造ワーク搬送器から剥離することができる。
代替的な実施形態では、少なくとも１つの箔／フィルムに接触可能な接触要素を備えることができ、箔／フィルムを、接触要素の前の領域で把持要素によってピックアップでき、把持要素の方向への製造ワーク搬送器の移動によって電子アセンブリおよび／またはワークから取り外しできる。特に、把持要素は、製造ワーク搬送器が移動している間、箔／フィルムを把持する。製造ワーク搬送器は、好ましくは把持要素の方向に移動させられ、箔／フィルムが保持され製造ワーク搬送器から剥離する間に、製造ワーク搬送器が実質的に把持要素の下を通過するようにされる。箔／フィルムの剥離した端部を張った状態に保つために、箔／フィルムが製造ワーク搬送器から剥離する間に、把持要素を遠ざけるように移動させることも考えられる。
好ましい実施形態では、接触要素をローラとして設計でき、箔／フィルムの表面上のローラの転動運動が、箔／フィルムとの接触時に製造ワーク搬送器の移動によって実行可能である。これにより、制御された方法で、ワークまたはアセンブリを有する製造ワーク搬送器から箔／フィルムが剥離されるようになる。同時に、製造ワーク搬送器に対するワークまたはアセンブリの相対的な移動を防止することができる。接触要素またはローラは、好ましくは、箔／フィルムの全幅にわたって、またはワーク／アセンブリが製造ワーク搬送器の上に配置される全領域にわたって延びる。換言すれば、ローラは、箔／フィルムの剥離中に製造ワーク搬送器の上のアセンブリまたはワークの位置決めを保証する一種のドラムまたは圧力ローラとして設計することができる。好ましい実施形態では、ローラは、製造ワーク搬送器の上のワークまたはアセンブリの配置に適合させることができる。ローラは、例えば、凹部と隆起部とを有するネガティブインプレッションを形成することができ、凹部は、ローラが製造ワーク搬送器の上を転動する際にワークまたはアセンブリが位置する箇所に配置される。対照的に、隆起部は、ローラがワークまたはアセンブリと接触しない場所に配置される（箔／フィルムはローラとワークまたはアセンブリとの間に配置されるため、ローラはワークまたはアセンブリと実際には接触しない）。これにより、製造ワーク搬送器の上を転動する際のローラの正確な適合位置を実現することが保証される。
好ましい実施形態では、ローラは、複数のワーク搬送器から複数の箔／フィルムを同時に剥離するために、複数のワーク搬送器の幅にわたって延びることができる。
製造ワーク搬送器からの箔／フィルムの剥離を容易にするために、特に把持要素による箔／フィルムの把持を保証するために、箔／フィルム持上げ器を設けることができる。後者は、搬送ユニットの上の製造ワーク搬送器を移動させる際に、箔／フィルムを移動させないようにするストップを形成できる。その結果、箔／フィルム持上げ器に接触する箔／フィルムのその端部がわずかに持ち上げられ、箔／フィルム持上げ器の後方の把持要素によってより容易にピックアップすることができる。
好ましい実施形態では、箔／フィルム剥離ユニットは、アンローディングステーションに配置することができる。好ましくは、箔／フィルム剥離ユニットは、箔／フィルムを製造ワーク搬送器から剥離する作業位置に一体化される。この場合、接触要素、箔／フィルム持上げ器および把持要素は、この作業位置に配置することができる。
本発明の対象は、さらに、本発明によるシステム、特に本発明による箔／フィルム移送ユニットで使用するための、少なくとも２つのワークを有する製造ワーク搬送器である。少なくとも２つのワークについて、製造ワーク搬送器の上でワークの一方を他方の上に配置することを提案する。そのような実施形態では、少なくとも２つのワークについて、好ましくは一方を他方の上に直接配置し、１つの箔／フィルムによってのみ相互に分離する。一方を他方の上に配置したワークは、好ましくは、少なくともそれらのワークの幾何学的形状および周方向サイズの点で同一設計のものである。換言すれば、これは、特に等しい大きさの２つのワークについて一方を他方の上に配置することを意味する。焼結法において、このことにより、一方が他方の上に配置された２つのワークを焼結動作で製造することが可能となり、その際、それらは、少なくとも１つの箔／フィルムによって相互に分離するので相互に付着しない。従って、分離した２つのワークは、スペースと時間との両方を節約する方法で製造することができる。
好ましい実施形態では、少なくとも２つのワークの間に箔／フィルムを配置することができる。箔／フィルムを、特に、焼結プロセス中の２つのワークを分離するために使用する。箔／フィルムは、個々の箔／フィルムとして設計することができる。ワークの間に複数の箔／フィルムを配置することも可能であり、これらを保護箔／フィルムおよび／または圧力均等化箔／フィルムとして設計することができる。
好ましい実施形態では、少なくとも３つのワークについて、製造ワーク搬送器の上でワークの一方を他方の上に配置してもよい。このような実施形態では、一方が他方の上に配置された３つのワークを同時に焼結することができる。これを行うために、特に、それらのワークを相互に分離するために、少なくとも１つの箔／フィルムを各ワークの間に配置する。
好ましい実施形態では、箔／フィルムを底部のワークの下に配置することができる。これにより、製造ワーク搬送器から、焼結したワークを選択的に分離することができる。
好ましい実施形態では、複数の第１のワークを、製造ワーク搬送器の上に相互に隣接して配置し、複数の第２のワークを、製造ワーク搬送器の上の第１のワークの上に配置する。好ましくは、第１のワークと第２のワークとは、それぞれの場合において一方を他方の上に直接配置し、それぞれの第１のワークは、その幾何学的形状、特にその周方向形状において、それぞれの第２のワークと一致する。焼結プロセスの間およびその結果として各ワークに圧力がかかっている間、それぞれの第１のワークおよびそれぞれの第２のワークは、相互に支持することができる。これにより、各製造ワーク搬送器についての焼結プロセスを最適化することができる。
本発明による製造ワーク搬送器は、焼結システムの内部の種々の位置で使用することができる。少なくとも２つのワークの一方を他方の上に配置した製造ワーク搬送器のローディングおよびアンローディングは、手動または自動で行うことができる。例えば、ローディングとアンローディングとにマルチグリッパを使用することができる。また、個々の把持要素を備えたロボットアームにより、特に吸引要素と組み合わせて、ワークを１つずつ把持することも可能である。
本発明はさらに、電子アセンブリの接続方法、および／またはワークの製造方法、特にフロー製造方法に関する。
電子アセンブリおよび／またはワークのプレファブリケーションについて、ローディングステーションの製造ワーク搬送器の上に、少なくとも２つの電子アセンブリおよび／またはワークを同時に配置するマルチグリッパによって実行することを提案する。特に予熱モジュール、接合モジュールとしてのはんだ付けモジュールまたは焼結モジュール、および／または冷却モジュールを含む製造ステーションにおける処理、特に接合の準備としてこれを行う。
製造ワーク搬送器について、自動化された方法で、ローディングステーションから少なくとも製造ステーションに移動させることを提案する。更なるステップでは、製造ワーク搬送器を、自動化された方法でローディングステーションに戻し、特に製造ステーションをバイパスさせる。製造ステーションのバイパスについて、特に、空間的なバイパスではなく、機能的なバイパスとして理解されたい。これについて、システムに関して既に説明したように理解されたい。さらに、製造ステーションを通過させた後、ローディングステーションではなく、アンローディングステーションに製造ワーク搬送器を案内することも考えられる。
あるいは、搬送ワーク搬送器を製造ワーク搬送器として使用してもよい。この場合、様々なワーク搬送器タイプの間での構成部品の移送が不要となり、かつ製造ワーク搬送器の戻り搬送が省略可能である。
本発明によるシステムを参照して説明したのと同じ特徴および利点は、本発明による方法にも適用される。本発明による方法は、電子アセンブリの接続および／またはワークの製造のための自動化された、特に完全自動化された手順を可能にする。さらに、個々の方法ステップの手動チェックが省略可能である。このようにして、クリーンルーム、好ましくはＩＳＯ５クリーンルームを提供することができる。
本方法は、例えば、電子アセンブリおよび／またはワークの間のはんだ接合または焼結接合を形成するために使用することができる。このような焼結接合は、従来のはんだ接合に代わるものであり、特に電力エレクトロニクスにおいて使用することができる。焼結接合に関しては、システムに関する説明を参照されたい。
フロー生産を提供するために、提示した方法を連続的かつ繰り返し実行することができる。このようにして、複数の電子アセンブリおよび／またはワークを本方法に供することができる。特に、ローディングステーションにおいて、好ましくは同一の時間間隔で、複数の製造ワーク搬送器をプレファブリケーションまたはローディングすることができる。
原則として、搬送ワーク搬送器を、製造ワーク搬送器として使用することができ、この場合、製造ワーク搬送器をシステムの始点に戻すための別個の搬送システムが省略可能である。
本方法の好ましい実施形態では、電子アセンブリおよび／またはワークは、ローディングステーションでのプレファブリケーション中に、自動化された方法のマルチグリッパによって、部品固有の搬送ワーク搬送器からシステム固有の製造ワーク搬送器の上に移送することができる。そのために、好ましくはローディングステーションの内部に、搬送ワーク搬送器を移動させ、制御可能な条件のローディングステーションの内部で移送を行わせるようにする。その後、同じ搬送ワーク搬送器を、製造ステーションを通過させた後に、電子アセンブリおよび／またはワークを再びピックアップするために使用することができる。製造ワーク搬送器から搬送ワーク搬送器への電子アセンブリおよび／またはワークの移送は、アンローディングステーションで行うことができる。製造ワーク搬送器は、複数の搬送ワーク搬送器からの部品を収容できる。
本方法の好ましい実施形態では、電子アセンブリおよび／またはワークは、製造ステーションを通過後、特に、製造ワーク搬送器がローディングステーションからアンローディングステーションに自動で戻る前に、アンローディングステーションでマルチグリッパによって製造ワーク搬送器から搬送ワーク搬送器の上にアンローディングすることができる。好ましくは、特に同一の時間間隔で、製造ワーク搬送器をアンローディングステーションに到着させ、その都度アンローディングする。電子アセンブリおよび／またはワークを、製造ワーク搬送器から１つの搬送ワーク搬送器の上または複数の搬送ワーク搬送器の上に、アンローディングすることができる。
さらなる好ましい実施形態では、電子アセンブリおよび／またはワークの上への、少なくとも１つのプロセスカバーの少なくとも１つの自動化された取り付け、特に少なくとも１つのマスクおよび／または少なくとも１つの箔／フィルムの配置をプレファブリケーション中に行うことができる。プロセスカバーは、製造ワーク搬送器の上に配置した電子アセンブリおよび／またはワークの上に自動化された方法で配置することができるマスクまたはカバー用マスクであってよい。自動化装置または自動化ロボットを使用して、それを取り付けることができる。プロセスカバーは、好ましくは、特にプロセスカバーの中間保管のためのパーク位置と製造ワーク搬送器の上の位置との間を往復移動または変位させることができる。さらに、システムに関して述べた特徴も適用される。
本方法の好ましい実施形態では、ローディングステーションの第１の作業位置において、製造ワーク搬送器の上に配置した電子アセンブリおよび／またはワークの上に、第１のプロセスカバーとしてマスクを自動化された方法で配置することができる。さらに、ローディングステーションの第２の作業位置において、特に焼結プロセスのための第２のプロセスカバーとして、マスクの上に、耐熱箔／フィルムを自動化された方法で配置することができる。マスクを省略することも考えられる。オプションとして、さらなる均等化箔／フィルムを追加的に配置してよい。その後、特に第３の作業位置において、自動化された方法で、好ましくは保持フレーム、特に保持リングを用いて、マスクおよび製造ワーク搬送器とともに所定の位置に箔／フィルムを固定することが可能である。利点とさらなる特徴とに関しては、システムに関する説明を参照されたい。
好ましい実施形態では、作業位置について、アンローディングステーションにおいて逆の順序で配置し、逆の順序で実行することができる。ローディングステーションにおいても実行した同じステップをアンローディングステーションにおいて特に相補的に実行するため、２つのモジュールは、好ましくは同一の設計であってもよいが、相互の鏡像であってもよい。ローディングステーションは、製造部品搬送器がシステムを通過した後に部品と一緒にシステムの入り口に戻される場合、同時にアンローディングステーションとして機能することもできる。
好ましい実施形態では、製造ワーク搬送器の戻しについて、ローディング中および／またはアンローディング中の製造ワーク搬送器、および製造ステーションを配置する水平面の下方、上方、または隣接に配置する平面内で行うことができる。好ましくは、戻しについて、床下搬送手段を備えた昇降ユニットを用いて達成し、製造ワーク搬送器を、昇降ユニットによって垂直方向に一段下方または上方に移動させ、その後、床下搬送手段によってアンローディングステーションの方向に搬送させる。
好ましい実施形態では、製造ワーク搬送器を、第１の搬送ユニットによって戻してもよく、搬送ワーク搬送器を、特に自動化された方法で移動させる更なる搬送ユニットの上に配置してもよく、第１の搬送ユニットと更なる搬送ユニットとは、特に製造ステーションをバイパスして、相互に独立して移動可能である。製造ステーションのバイパスについて、システムに関して既に説明したようなバイパスを意味すると理解されたい。さらに、システムに関して既に説明したのと同じ利点が適用される。
好ましい実施形態では、搬送ワーク搬送器は、１つの電子アセンブリおよび／または１つのワークを収容することができ、製造ワーク搬送器は、２つ以上、好ましくは５つ以上、特に７つ以上、具体的には２４つ以上の電子アセンブリおよび／またはワークを収容することができる。したがって、搬送ユニットが製造ワーク搬送器に電子アセンブリおよび／またはワークを完全にローディングするまで、製造ワーク搬送器は、ローディングおよび／またはアンローディングの間、ローディングステーションの位置で一時停止することができる。
プロセス雰囲気下での接合プロセス、例えば、プロセス雰囲気下での真空焼結または真空はんだ付けまたは拡散はんだ付けでは、必要とされる真空またはプロセス雰囲気の構築および緩和のために、フロー生産にタイムラグをもたらすプロセス時間が要求される。このタイムラグは、気密エアロックの開閉、プロセスチャンバにおけるプロセス雰囲気の構築および緩和、並びに加熱および冷却動作によって発生する。残りのフロー生産での高速スループットについて、１つのワーク搬送器が多数のワークを収集可能であること、さらにこれと並行して、プロセス雰囲気下での比較的時間のかかるはんだ付けまたは焼結法が多数のワークを同時に接続可能であることによって一層達成することができる。さらに、搬送ワーク搬送器は、複数の電子アセンブリおよび／または複数のワークを収容することが可能である。こうして、特にフロー生産の場合、製造サイクルタイムを増加させることができる。特に、製造ワーク搬送器が複数の搬送ワーク搬送器からのアセンブリを収容する場合、さらなる搬送ユニットは、製造ワーク搬送器の第１の搬送ユニットよりも、搬送ワーク搬送器を搬送する搬送速度を大きくすることができる。
好ましい実施形態では、箔／フィルムを、ローディングステーションにおいて、プロセスカバーとして電子アセンブリおよび／またはワークを有する製造ワーク搬送器の上に配置してもよく、箔／フィルムは、新しい箔／フィルムであっても、本方法の以前の動作において既に使用した箔／フィルムであってもよい。これにより、既に使用した箔／フィルムを再度使用して材料を節約できる。箔／フィルムは、アンローディングステーションからローディングステーションに再使用のために戻し、特に製造ワーク搬送器と一緒にローディングステーションに搬送して戻し、そこで再び使用することができる。箔／フィルムはまた、取り外し後直接に箔／フィルムスタックの上に配置し、所定の数の箔／フィルムを収容したら、完全な箔／フィルムスタックをローディングステーションに戻すこともできる。これについて、好ましくは、ローディングステーション、製造ステーション、および特にアンローディングステーションの間の製造ワーク搬送器の移動経路と平行に走る変位ユニットを用いて行うことができる。既に使用した箔／フィルムは、好ましくは、次に使用する前に、洗浄ユニットによって洗浄することができる。
製造ワーク搬送器の上に配置するのは単一の箔／フィルムではなく、製造ワーク搬送器の上のワークまたはワーク群ごとの１つの箔／フィルム片、すなわち複数の分離された箔／フィルム片であることも考えられる。箔／フィルム片は、複数のワークの上に１つずつ、または同時に配置し、アンローディングステーションで再び取り外すことができる。
好ましい実施形態では、箔／フィルムを、箔／フィルム移送手段を用いて箔／フィルムスタックから取り外し、電子アセンブリおよび／またはワークの上に配置してもよく、この場合、箔／フィルムスタックについて、箔／フィルム移送手段を用いてそれぞれの頂部の箔／フィルムに到達可能であるように、箔／フィルムスタックの頂部の方向に徐々に上方に移動させる。本発明によるシステムおよび箔／フィルム移送ユニットに関して既に説明した特徴および利点は、箔／フィルム移送手段にも準用される。好ましくは、１つの箔／フィルムのみ、または所定数の箔／フィルムのみを取り外したことを、取り外しの過程で自動的にチェックする。これは、例えば、取り外した箔／フィルムまたは取り外した箔／フィルムスタックの透明度を測定し、基準透明度値と比較することによって光学的に達成することができる。代替的にまたは追加的に、取り外した箔／フィルムまたは取り外した箔／フィルムスタックの厚さを決定してもよい。このようにして、一方では正しい箔／フィルムを取り外し、他方ではただ１つまたは必要な数の箔／フィルムを取り外すことが保証される。あらゆる種類の箔／フィルムの厚さは、高精度のデジタル検知プローブを使用して、確実かつ迅速に測定することができる。これは、色に関係なく、透明または不透明の箔／フィルムに使用することができ、また、波形または平面の箔／フィルムの場合にも使用することができる。例えば、このようにして測定位置を周縁部で決定し、取り外し前後の箔／フィルムスタックの高さ、または基準面上の箔／フィルムの厚さを決定することができる。このようにして、例えばキーエンスＧＴ２デジタルセンシングプローブのような、１μｍ精度のセンシングプローブを使用することができる。センシングプローブを使用する場合、高精度または高繰り返し精度が前提となる場合がある。測定対象物に絶対に傷を付けてはならない場合は、柔らかいモデルや異なるスピンドルチップを使用することができる。常時使用で２，０００万回以上の長寿命、複数のセンシングプローブによる自動計算が可能である。
好ましい実施形態では、箔／フィルムスタックは、所定の数の箔／フィルムを取り外した後に、５ｍｍ～１５ｍｍ、特に１０ｍｍの移動距離だけ上方に移動させることができ、箔／フィルムスタックは、特に５～１０枚の箔／フィルムを取り外した後に上方に移動する。このようにして、箔／フィルム移送手段は、箔／フィルムスタックが一定期間にわたって種々の数の箔／フィルムを有する場合であっても、箔／フィルムスタックのそれぞれの頂部の箔／フィルムを選択的に把持することができる。
好ましい実施形態では、洗浄ユニットによる箔／フィルムの自動洗浄は、電子アセンブリおよび／またはワークを有する製造ワーク搬送器の上に箔／フィルムを配置する前に行うことができる。好ましくは、各箔／フィルムを、電子アセンブリおよび／またはワークを有する製造ワーク搬送器の上に配置する前に、洗浄ユニットに供給できる。そのために、洗浄ユニットを、好ましくは、本方法を実施する閉鎖空間、特にクリーンルームの内部に配置する。
好ましい実施形態では、箔／フィルムは、洗浄ユニットにおいて静電放電させ、次いで、圧縮空気および／または負圧を用いて吹き飛ばすことによって汚染物質を除去することができる。洗浄ユニットは、例えば、非接触表面洗浄を行うことができる。これにより、三次元またはパターン化された表面の汚染を有利に除去することができる。例えば、脈動する高乱流の空気流によって汚染を除去することができる。特に、圧縮空気および／または真空までの負圧、および／またはイオン化された空気を用いて、正電荷および負電荷を特にこの順序で箔／フィルムに導入することができる。これは、個々の箔／フィルムが相互に付着するのを防止するのをさらに有利に支援し得る。
好ましい実施形態では、少なくとも２つまたは複数の箔／フィルムスタックを相互に隣接して配置してよく、第１または先行する箔／フィルムスタックが箔／フィルムを含まなくなるとすぐに、第１または先行する箔／フィルムスタックの位置に、第２またはさらなる箔／フィルムスタックを移動させるので、中断のない手順を保証することができる。様々な箔／フィルムスタックは、種々のワークのための種々の箔／フィルムを収容できるので、各ワーク搬送器に対する種々のワークのフロー生産を可能にする。第１の箔／フィルムスタックから箔／フィルムを取り外している間に、第２の箔／フィルムスタックに箔／フィルムを補充でき、その逆もあり得る。１つの箔／フィルムスタックは、例えば、本方法による２４時間にわたる生産または製造に十分な箔／フィルムを含むことができる。他の期間または種々の寸法の箔／フィルムスタックも考えられる。また、例えば種々のワークの計画したプロセス順序と同期して、所定の順序の種々の箔／フィルムを１つの箔／フィルムスタックに含めることも考えられる。
本方法の好ましい実施形態では、箔／フィルムを、本発明による箔／フィルム剥離ユニットによって、アンローディングステーションにおいて剥離できる。本発明による箔／フィルム剥離ユニットを用いる方法について、箔／フィルム剥離ユニットの実施形態に関連して説明したのと同じ特徴および利点が適用される。
本方法の好ましい実施形態では、少なくとも製造ワーク搬送器におけるアセンブリおよび／またはワークの正しい位置アライメントを光学的に検出し、記録することができる。そのために、少なくとも１つの検査カメラを使用することにより、製造ワーク搬送器におけるワークの正確な位置およびアライメントを検出し、自動化ロボットと組み合わせてそれを修正できる検査手段を設けることができる。製造ワーク搬送器におけるワークの挿入または位置補正を行う自動化ロボットについて検査手段を使用して補正することができる。特に搬送ワーク搬送器から製造ワーク搬送器にワークを移送する際に、回転アライメントと正確な位置とを検査し、修正することができる。これは、特に焼結または拡散はんだ付けによってワークを接続する際に不可欠である正確なアライメントを光学検査手段によって保証し記録することができるからである。この目的のために、検査手段による検出を簡略化するべく１つまたは複数の光学基準マークを製造ワーク搬送器に設けることができる。
本発明の対象は、さらに、ワーク搬送器をローディングおよびアンローディングするための方法、特に、ワークのスタックまたはワークの階層を本発明によるワーク搬送器にローディングするための方法である。本方法が以下のステップを含むことを提案する。すなわち、少なくとも１つの第１のワークまたは第１の階層のワークを製造ワーク搬送器にローディングするステップと、その後、第１のワークまたは第１の階層のワークの上に、箔／フィルムおよび／または圧力パッドまたは均等化箔／フィルムを配置するステップと、その後、箔／フィルムまたは圧力パッドまたは均等化箔／フィルムの上に、かつ既に配置した第１のワークの上に、少なくとも１つの第２のワークまたは第２の階層のワークをさらにローディングするステップと、その後、第２のワークまたは第２の階層のワークの上に、さらなる箔／フィルムおよび／または圧力パッドまたは均等化箔／フィルムを配置するステップと、である。説明したステップは、複数のワークについてワークの一方を他方の上に配置することができるように、必要に応じて何度でも繰り返すことができる。この方法により、ワークの一方を他方の上に配置した複数のワークを組み合わせて焼結することができ、時間とコストとの両方を節約することができる。
有利なことに、箔／フィルムは、ローディングの前にまずワーク搬送器の上に配置することができる。分離のための箔は、各圧力パッドまたは均等化箔／フィルムの上下に配置することもできる。圧力パッドまたは均等化箔／フィルムは、シリコーンまたは同等の耐熱性で圧縮可能な材料で構成することもできる。圧力と温度とを加えると、該パッドの一部がワーク搬送器および／またはワークに付着し、それらを汚染する可能性がある。これを防止するために、圧力パッドがワーク搬送器および／またはワークに接触する面を箔／フィルムで保護することができる。
本方法のさらなる実施形態では、センタリング装置をローディングステーションに配置でき、センタリング装置は、製造ワーク搬送器のアライメントおよびセンタリングを行う。これにより、製造ワーク搬送器をワーク／部品に正確にアライメントできる。
アンローディングステーションにおいて、ワークの多層焼結スタックをローディングするためのステップは、アンローディングのために逆方向に準用して実施することができる。このようにして、最初に、箔／フィルムおよび／または圧力パッドまたは均等化箔／フィルムを製造ワーク搬送器のワークの上部のスタックから取り外し、次に、上部のワークまたは上位階層のワークを取り外すことができる。この後、ワーク搬送器全体が空になるまで、さらなる箔／フィルムおよび／またはさらなる圧力パッドまたはさらなる均等化箔／フィルムを取り外し、製造ワーク搬送器のさらなるワークまたはさらなる階層のワークを取り外すことができる。
本方法の好ましい実施形態では、種々のステップは、本発明によるシステムのローディングステーションの内部の任意の２つの作業位置で実行することができる。特に、製造ワーク搬送器を、搬送ユニットによって２つの作業位置間を往復移動させる。特に、第１の作業位置では、少なくとも１つのワークによる製造ワーク搬送器のローディングを行い、第２の作業位置では、箔／フィルムの配置を行う。本発明による方法を実行するとき、少なくとも１つのワークと少なくとも１つの箔／フィルムとを交互に配置するために、製造ワーク搬送器を２つの作業位置間で往復移動させることができる。
本方法の好ましい実施形態では、第１の箔／フィルムおよび／または圧力パッドまたは圧力均等化箔／フィルムを配置する前に、製造ワーク搬送器の上に複数の第１のワークを相互に隣接して配置してよい。次のステップでは、第１の箔／フィルムまたは圧力パッドまたは圧力均等化箔／フィルムの上に複数の第２のワークを配置してよく、焼結プロセスの間、すなわち圧力が加わっている間、ワークが相互に支持するように、第２のワークを第１のワークの上に直接配置する。いわゆる積層配置では、好ましくは箔／フィルムおよび／または圧力パッドまたは均等化箔／フィルムによって分離した複数の層のワークについて、ワーク搬送器の上のワークの一方を他方の上で焼結させ、それによって時間とコストとを大幅に削減できる。箔／フィルムおよび／または圧力パッドまたは均等化箔／フィルムは、ワークの層の間に配置することができる。ワークの層の移送と積層とを、マルチグリッパを使用して簡便に行う。
ローディング方法の好ましい実施形態では、少なくとも１つのワーク／部品をマルチグリッパの軸に対して横方向および／または長手方向の水平面内でアライメントするように、箔／フィルムを配置する前に、マルチグリッパおよび／またはアライメントユニットによって、少なくとも第１のワーク、特に複数のワーク、好ましくは全ての把持したワークをアライメントしてよい。マルチグリッパによるアライメントは、例えば、本装置に関連して説明したように、把持要素を用いて行うことができる。さらに、アライメントユニットは、本装置に関連して説明したように設計することができる。
ローディング方法のさらに好ましい実施形態では、製造ワーク搬送器、または搬送フレームに収容した製造ワーク搬送器のベースプレートのアライメントは、センタリング装置によって行うことができる。このようにして、好ましくは製造ワーク搬送器のローディング前に、製造ワーク搬送器または製造ワーク搬送器の搬送フレームに収容したベースプレートのアライメントを正確に行うことができる。これを、搬送ユニットまたは搬送ユニットの変位ユニットに対する製造ワーク搬送器またはベースプレートの位置の正確なアライメントに使用する。
前述の２つのローディング方法は、ワークまたは電子アセンブリを製造ワーク搬送器の上で正確かつ正しい位置にアライメントして位置決めするために役立つ。これは、後続の製造ステーションでのさらなる処理に不可欠である。このようにして、複数の圧力プランジャを備えた製造ステーションにおける、例えば焼結法または拡散はんだ付け法などの加圧作業を行うことができ、圧力プランジャに対するアセンブリまたはワークの正確な位置決めおよびアライメントが接続の品質にとって極めて重要である。ローディングステーションにおいて、製造ワーク搬送器の上のワークのアライメントと、搬送ユニットまたは搬送ユニットの変位ユニットに対する製造ワーク搬送器またはその中に構成したベースプレートのさらなるアライメントとにより、後の圧力プランジャに対するワークまたは電子アセンブリのアライメントを保証する。
一般的に言えば、本発明による利点は、特に焼結システムまたははんだ付けシステムで使用する種々の全バージョンによって達成することができると言える。
まず、少なくとも１つのマルチグリッパ、特に少なくとも１つの４連グリッパを使用することで、ワークまたは電子アセンブリの移送の時間短縮とコスト削減とを実現できる。マルチグリッパは、ローディングステーションおよび／またはアンローディングステーションで使用することができる。特に、搬送ワーク搬送器から製造ワーク搬送器の上にワークまたは電子アセンブリを移送するために、少なくともローディングステーションでマルチグリッパを使用する。アンローディングステーションでは、アンローディングのために、同一またはさらなるマルチグリッパを有利に使用することができる。
さらに、本発明による箔／フィルム移送ユニットおよび／または本発明による箔／フィルム剥離ユニットを用いて、箔／フィルムの配置、取り外しおよび洗浄について、箔／フィルムの配置および取り外しの時間節約、並びに再使用のコスト節約によって改善できる。少なくとも１つのローラから箔／フィルムを切り離すための装置および方法も、これを支援するために使用することができる。
本発明による箔／フィルム剥離ユニットおよび箔／フィルム取り外しのためのさらなる方法を使用することにより、箔／フィルム取り外しを剥離、特に焼結箔／フィルム取り外しにより達成することができるとともに、ワークおよび／または電子アセンブリのような基板への付着、または相互の引っ掛かりを防止することができる。
ワークまたは電子アセンブリのプロセススタックを形成するように、複数のワークおよび／または電子部品の一方を他方の上にする本発明による積層ローディングによっても、時間および材料を節約できる。
これらの前述の実施形態は、本発明による当該システムにおいて個々にまたは組み合わせて使用または実施することができる。したがって、それぞれの特徴および利点は、本発明によるシステムを用いて実施することができる。したがって、組み合わせた発明の全体概念について提示する。
記載した特徴および利点は、本発明によるシステム、本発明による箔／フィルム移送ユニット、および本発明による方法にも適用される。この場合、種々の方式で特徴を組み合わせることができる。
さらなる利点について、添付の図面および図面の説明によって明らかにする。図面は本発明の実施例を示す。図面、説明および特許請求の範囲は、多数の特徴を組み合わせて含む。当業者であれば、好都合にも、特徴を個々に検討し、有意義に更に組み合わせるであろう。
複数のモジュールによって電子アセンブリを接続するための、および／またはワークを製造するための、本発明によるシステムの一実施形態を示す。 図１のシステムを平面図で示す。 ローディングステーションとして設計した、本発明によるシステムのモジュールの一実施形態を示す。 図３のモジュールを平面図で示し、種々の作業位置とさらなる搬送ユニットの実施形態とを示す。 図４のローディングステーションの可能な種々の作業ステップを示すフローチャートである。 アンローディングステーションとして設計した、本発明によるシステムのモジュールの一実施形態を示す。 図６のモジュールを平面図で示し、種々の作業位置と搬送および昇降ユニットの実施形態とを示す。 図７のアンローディングステーションの可能な種々の作業ステップを示すフローチャートである。 ２つの箔／フィルム移送手段を備え、２つの箔／フィルムスタックを示す、本発明による箔／フィルム移送ユニットの実施形態を示す。 図９の箔／フィルム移送ユニットを平面図で示す。 図１０の箔／フィルム移送ユニットにおける可能な種々の作業ステップのフローチャートを示す。 箔／フィルムスタックの高さ均等化システムおよび箔／フィルム移送手段の実施形態を示す。 箔／フィルム移送ユニットと光学検査ユニットとを備えたローディングステーションのさらなる実施形態を平面図で示す。 光学検査ユニットを備えたアンローディングステーションのさらなる実施形態を示す。 図１５ａ、ｂは、光学基準マークを備えた製造ワーク搬送器の実施形態を平面図で示す。 ワーク、プロセスカバーおよび保持フレームを備えた製造ワーク搬送器の組み合わせを示す斜視図である。 複数のモジュールによって電子アセンブリを接続するための、および／またはワークを製造するための、本発明によるシステムのさらなる実施形態を示す。 図１７のシステムを正面から見た図である。 ローディングステーションとして設計した、本発明によるシステムのモジュールのさらなる実施形態を示す。 図１９のモジュールにおいて、平面図で種々の作業位置を示す。 アンローディングステーションとして設計した、本発明によるシステムのモジュールのさらなる実施形態を示す。 図２１のモジュールにおいて、平面図で種々の作業位置を示す。 焼結処理のためのさらなる実施形態のローディングステーションを示す。 焼結処理のためのさらなる実施形態のアンローディングステーションを示す。 箔／フィルム剥離ユニットの一実施形態を示す。 図２５の実施形態のさらなる図である。 箔／フィルム剥離ユニットのさらなる実施形態を示す。 図２７の実施形態のさらなる図である。 接触要素の一実施形態を示す。 図２９の実施形態のさらなる図である。 箔／フィルム剥離ユニットのさらなる実施形態を示す。 箔／フィルム剥離ユニットのさらなる実施形態を示す。 マルチグリッパの一実施形態を示す。 製造ワーク搬送器の一実施形態を示す。 マルチグリッパのさらなる実施形態を示す。 マルチグリッパのさらなる実施形態を示す。 図３６の実施形態のさらなる図である。 マルチグリッパを備えたローディングステーションの実施形態を示す。 アンローディングステーションの一実施形態を示す。 ワークまたは電子アセンブリの一方を他方の上に取り付けた製造ワーク搬送器の実施形態を示す。 ワークまたは電子アセンブリの一方を他方の上に取り付けた製造ワーク搬送器のさらなる実施形態を示す。 ワークまたは電子アセンブリの一方を他方の上に取り付けた製造ワーク搬送器のさらなる実施形態を示す。 マルチグリッパとアライメントユニットとを備えたローディングステーションの一実施形態の断面を示す。 動作中のマルチグリッパの実施形態を示す。 マルチグリッパのグリッパアームを通る断面図である。 マルチグリッパとアライメントユニットとを備えたローディングステーションの一実施形態の断面を示す。 アライメントユニットを備えたマルチグリッパの断面図である。 センタリング装置を備えたローディングステーションの断面を示す。 センタリング装置を備えたローディングステーションの平面図である。 センタリング装置を備えたローディングステーションを通る断面図である。 センタリング装置を備えたローディングステーションのさらなる図である。 図５１からワーク搬送器を除いた図である。 センタリング装置の詳細図である。 センタリング装置のさらなる詳細図である。
図中、同一または類似の部品に同一の符号を付している。
図１は、電子アセンブリ１２および／またはワーク１４を接続するための、本発明によるシステム１０の一実施形態を示す。システム１０は複数のモジュール１６を有する。このようなシステム１０は、例えば、焼結またははんだ付けシステム１０ａを形成することができる。この文脈において、焼結とは、既に述べたように、高圧および高温下での材料の製造または改質、および接合プロセスにおける複数の要素の接続の両方として理解してよい。このようなシステム１０を使用することにより、例えば耐熱性焼結接合部やはんだ接合部を製造することが可能である。この実施形態では、システム１０は５つのモジュール１６を示す。最初のモジュール１６をローディングステーション１８として設計している。これに続いて、例えば予熱モジュール、焼結モジュール、冷却モジュールを備えた製造ステーション２１が続く。システム１０の右端のモジュール１６を、アンローディングステーション２０として設計している。クリーンルーム、特にＩＳＯ５クリーンルームを形成するために、システムを、好ましくは閉鎖チャンバおよび／または気密として設計している。したがって、モジュール１６を、好ましくは相互に接続しているが、共通のハウジングにおいて外部の影響から保護している。
図２は、図１のシステム１０を平面図で示す。モジュール１６の個々のチャンバを示している。システム１０は全体的に細長い設計であり、電子アセンブリ１２および／またはワーク１４を有する製造ワーク搬送器２２が、システム１０内を一方向に、特に直線または直線経路で通過できるようになっている。電子アセンブリ１２および／またはワーク１４を、例えば、図の左側からシステム１０に供給できる。その後、電子アセンブリ１２および／またはワーク１４を、図の右側で、システム１０から再び取り外すことができる。
図３は、ローディングステーション１８として設計した本発明によるシステム１０のモジュール１６を示す。ローディングステーション１８について、ハウジングの前面を開放して示す。従って、ローディングステーション１８の個々の作業位置２６を識別できる。これらを、ローディングステーション１８の内部の上若しくは中位レベルＥ１に配置している。このレベルＥ１の下方には、レベルＥ２に配置した搬送ユニット２４の床下搬送ユニット６０が見える。これにより、製造ワーク搬送器２２を戻すことができる。つまり、製造ワーク搬送器２２は、搬送ユニット２４の搬送方向とは逆方向に作業位置２６を通過する。この図は、搬送ユニット２４の昇降ユニット２５をレベルＥ１に示す。これは、床下搬送ユニット６０に接続している。昇降ユニット２５は、床下搬送ユニット６０を配置している下位レベルＥ２から、作業位置２６を配置している上位レベルＥ１まで、製造ワーク搬送器２２を搬送するために使用することができる。昇降ユニット２５は、レベルＥ１からレベルＥ２へ、またはその逆へ移動することによって、製造ワーク搬送器２２を搬送できる。この実施形態では、昇降ユニット２５を作業位置２６ｃに配置している。その結果、製造ワーク搬送器２２をこの作業位置２６ｃに案内できる。そこから派生した実施形態では、昇降ユニット２５によって任意の所望の作業位置２６ａ～２６ｄに製造ワーク搬送器２２を戻すことができる。このようにして、製造ステーション２１を通る製造ワーク搬送器２２の閉じた搬送回路を提供している。
図４は、種々の作業位置２６を示すとともに、第２の搬送ユニット４２の実施形態を有する図３のローディングステーション１８の平面図である。上位レベルＥ１を平面図で示している。図３および図４から、作業位置２６ａ～２６ｄをこの上位レベルＥ１に配置していることがわかる。
作業位置２６ａにおいて、電子アセンブリ１２および／またはワーク１４を、搬送ワーク搬送器４４によって製造ワーク搬送器２２の上に配置する。これについて、方法１００に関連してプレファブリケーションと呼ぶこともある。電子アセンブリ１２および／またはワーク１４を、自動化ロボット４６、特にロボットアーム４７を用いて、第２の搬送ユニット４２の上に配置した搬送ワーク搬送器４４から製造ワーク搬送器２２の上に移送できる。第２の搬送ユニット４２を、システム１０の内部に配置してよいが、作業位置２６から独立して、特にローディングステーション１８から独立して移動させてよい。このように、第２の搬送ユニット４２を、例えば、ローディングステーション１８からアンローディングステーション２０（図示せず）に、電子アセンブリ１２および／またはワーク１４を再びそこでピックアップするように、自動化された方法で移動させることができる。第２の搬送ユニット４２は、１つまたは複数の電子アセンブリ１２および／またはワーク１４をピックアップできる。第２の搬送ユニット４２は、空の搬送ワーク搬送器４４を第１の搬送レベルＥ１から第２の搬送レベルＥ２まで降下させることができる昇降ユニット６１を含んでいる。ここで、空の搬送ワーク搬送器４４は、製造ワーク搬送器２２からワーク１４を再びピックアップするようにアンローディングステーション２０まで、雰囲気的に密閉したシステムモジュール１６をバイパスして、システム１０を通過させることができる。この目的のために、アンローディングステーション２０は、搬送ワーク搬送器をレベルＥ２からレベルＥ１まで上昇させるための更なる昇降ユニット６１を有することができる。
さらに、作業位置２６ａでは、プロセスカバー６２、特にマスク２８を所定の位置にセットする。プロセスカバー６２は、開口部の選択した位置で焼結接合部またははんだ接合部を生成することができるように、開口部を有することができる。プロセスカバー６２は、最初パーク位置２９に配置することができる。作業位置２６ａの隣に配置したこのパーク位置２９から、プロセスカバー６２を、電子アセンブリ１２および／またはワーク１４を有する製造ワーク搬送器２２の上に、自動化された方法で移動させることができる。これは、例えば、自動化された方法で制御する一種のレール、グリッパまたはフレームによって達成することができる。プロセスカバー６２を、自動化ロボット４６によっても配置できる。この場合、自動化ロボット４６は、電子アセンブリ１２および／またはワーク１４を配置するために使用するものと同一であってよい。さらに、第２の独立した自動化ロボット４７（図示せず）を使用してもよい。これらのステップを実施すると、電子アセンブリ１２および／またはワーク１４を有するとともにプロセスカバー６２を備えた製造ワーク搬送器２２は、自動化された方法で次の作業位置２６ｂに移動する。これは、例えばベルトコンベアのような変位ユニットによって行うことができる。
この実施形態では、作業位置２６ｂにおいて、既に部分的にプレファブリケーションした製造ワーク搬送器２２の上に、箔／フィルム３０を配置する。箔／フィルム３０について、作業位置２６ｂに移動させる前に、作業位置２６ｂの隣の一種のパーク位置に配置することもできる。これをまた、グリッパを備えたレールまたは別の種類の取り付け装置によって行うこともできる。次に、箔／フィルム３０を有するさらにプレファブリケーションした製造ワーク搬送器２２は、自動化された方法で次の作業位置２６ｃに移動する。
作業位置２６ｃにおいて、保持リング５２によって、製造ワーク搬送器２２の上の所定位置に箔／フィルム３０を固定する。これをまた、例えばコンピュータ制御のアクチュエータ装置またはさらなる自動化ロボット４６によって自動化された方法で行う。搬送ユニット２４の昇降ユニット２５が作業位置２６ｃにあるのも見える。昇降ユニット２５は、箔／フィルム３０およびプロセスカバー６２を取り付けた製造ワーク搬送器２２を、さらなるモジュール１６、例えばアンローディングステーション２０から、ローディングステーション１８の作業位置２６ｃに戻すことができる。搬送ユニット２４によって、製造ワーク搬送器２２を別の作業位置２６（図示せず）に戻すことも考えられる。
作業位置２６ｄは、プレファブリケーションした製造ワーク搬送器２２について、さらなるモジュール１６、特に製造ステーション２１へ自動化された方法で移動させる前に必要なさらなるステップを行うことができるバッファ位置として機能する。
製造ワーク搬送器２２は、昇降ユニット２５および床下搬送ユニット６０（この平面図では見えない）によって、図４に示すレベルより下のレベルＥ２まで移動し、作業位置２６ａ～２６ｄの少なくとも１つに戻ることができる。
図５は、図４のローディングステーション１８における方法１００の様々な作業ステップ１～１３の可能なシーケンスの実施形態を示す。ステップ１において、最初に、製造ワーク搬送器２２を、アンローディングステーション２０の床下搬送ユニット６０から昇降ユニット２５によって取り出す。戻し中に、プロセスカバー６２と保持リング５２とを製造ワーク搬送器２２の上に配置できる。したがって、ステップ１においてまず、製造ワーク搬送器２２を作業位置２６ｃに案内できる。ステップ１における全ての作業ステップの実行には、例えば１９秒がかかり得る。ステップ２において、作業位置２６ｃで保持リング５２を最終的に取り外すことができる。これには例えば４秒がかかり得る。ステップ３において、製造ワーク搬送器２２を作業位置２６ｃから作業位置２６ａに搬送し、例えば１５秒がかかり得る。ステップ４において、プロセスカバー６２を自動化された方法で最終的に把持し、側方のパーク位置２９に下ろすことができる。これには例えば４秒がかかり得る。ステップ５において、電子アセンブリ１２および／またはワーク１４を、自動化ロボット４６を用いて製造ワーク搬送器２２に配置できる。この場合、７個の電子アセンブリ１２および／またはワーク１４を５秒毎に移動させることができる。したがって、ステップ５の作業ステップの実行には、例えば３５秒がかかり得る。ステップ６において、第２の搬送ユニット４２を自動化された方法でアンローディングステーション２０に移動させることができる。これは例えば床下で実行することもでき、特に例えば１００秒がかかる。ステップ７では、プロセスカバー６２を製造ワーク搬送器２２の上に戻すことができ、例えば４秒がかかり得る。ステップ８では、製造ワーク搬送器２２を作業位置２６ａから作業位置２６ｂに移動させることができ、例えば７秒がかかり得る。ステップ９では、箔／フィルム３０、特に耐熱性の箔／フィルムを製造ワーク搬送器２２の上に配置でき、例えば４秒がかかり得る。ステップ１０では、製造ワーク搬送器２２を作業位置２６ｂから作業位置２６ｃに移動させることができ、特に例えば７秒がかかり得る。ステップ１１では、保持リング５２を製造ワーク搬送器２２の上に戻すことができ、特に例えば４秒がかかり得る。ステップ１２において、製造ワーク搬送器２２を作業位置２６ｃから作業位置２６ｄに移動させることができ、特に例えば７秒がかかり得る。作業位置２６ｄはバッファ位置を構成することができる。ステップ１３において、作業位置２６ｄからさらなるモジュール１６、例えば製造ステーション２１の予熱モジュールに、製造ワーク搬送器２２を最終的に搬送できる。例えば１０秒の時間枠内でこれを実施し得る。従って、ステップ１～１３を実行するための総時間は、例えば８０～１２０秒、特に１００～１１０秒に達する場合がある。言うまでもなく、実行には種々の時間がかかる可能性があり、その場合、時間が少し長くなることも少し短くなることもある。好ましくは、ステップ６および１３を実行するための時間は合計に加算されないが、これらのステップはステップ１～５および７～１２の実行と並行して行うことができるからである。
図６は、アンローディングステーション２０として設計した本発明によるシステム１０のモジュール１６を示す。アンローディングステーション２０の作業位置２６は、図３のローディングステーション１８の作業位置２６ａ～２６ｄと逆の順序で配置されている。作業位置２６ａ～２６ｄを配置する上位レベルＥ１と、特に床下搬送ユニット６０を使用して製造ワーク搬送器２２を戻すために使用する下位レベルＥ２とを示す。アンローディングステーション２０は、ローディングステーション１８と機能相補的な動作をすることができる。
図７は、上位レベルＥ１における種々の作業位置２６と、第２の搬送ユニット４２の実施形態とを示す、図６のモジュール１６の平面図を示す。作業位置２６ａ～２６ｄは、ローディングステーション１８の作業位置２６ａ～２６ｄと鏡像関係にあり、すなわち機能相補的な配置になっている。その結果、ローディングステーション１８で連続して行った作業ステップを、アンローディングステーション２０では逆の順序で行うことができる。更なる昇降ユニット６１により、ローディングステーション１８からアンローディングステーション２０に搬送した空の搬送ワーク搬送器を、レベルＥ２からレベルＥ１に上昇させ、その場所で、自動化ロボット６２により、加工済みワーク１４を製造ワーク搬送器２２から移送させる。
図８は、図７のアンローディングステーション２０のステップ１～１６で実施する、本発明による方法１００の実施形態の種々の作業ステップの可能なシーケンスを示す。ステップ１では、製造ワーク搬送器２２を、製造ステーション２１、特に冷却モジュールとして設計したモジュール１６からアンローディングステーション２０に移動させる。自動化された方法でこれを行い、例えば１０秒がかかり得る。その後、製造ワーク搬送器２２を、バッファステーションとして設計することのできる作業位置２６ｄに配置させる。ステップ２において、製造ワーク搬送器２２を、作業位置２６ｄから作業位置２６ｃまで搬送させ、例えば７秒がかかり得る。ステップ３では、自動化された方法で保持リング５２を取り外すことができる。保持リング５２は、例えば持ち上げることができ、これには特に４秒がかかる。ステップ４では、製造ワーク搬送器２２を作業位置２６ｃから作業位置２６ｂに移動させることができ、例えば７秒がかかり得る。ステップ５では、製造ワーク搬送器２２の上のプロセスカバー６２を、例えば保持ユニットによって把持することができ、特に３秒がかかる。続いてまたは並行して、ステップ６において、箔／フィルム３０、特にＰＤＦＥフィルムを把持して引き剥がすことができ、特に４秒がかかる。例えば箔／フィルム移送手段３４によってこれを行うことができる。ステップ７では、最終的にプロセスカバー６２を解放でき、これには特に３秒がかかり得る。ステップ８では、製造ワーク搬送器２２を作業位置２６ｂから作業位置２６ａへ、特に自動化された方法で搬送でき、例えば７秒がかかり得る。ステップ９において、プロセスカバー６２を、最終的に把持して側方のパーク位置２９に設置でき、特に４秒がかかる。ステップ１０において、電子アセンブリ１２および／またはワーク１４を、自動化ロボット４６を用いて、製造ワーク搬送器２２から搬送ワーク搬送器４４の上に移送できる。この場合、例えば、５秒毎に７個の電子アセンブリ１２および／またはワーク１４を、特に３５秒間にわたって移動させることができる。ステップ１１では、プロセスカバー６２を最終的に製造ワーク搬送器２２の上に配置し戻すことができる。これも作業位置２６ａで行うことができ、例えば４秒がかかり得る。ステップ１２では、製造ワーク搬送器２２を作業位置２６ａから作業位置２６ｃに搬送できる。好ましくは自動化された方法でこれを行い、例えば１４秒がかかり得る。この作業位置２６ｃでは、ステップ１３で保持リング５２を製造ワーク搬送器２２に配置し戻すことができ、特に４秒がかかる。次に、製造ワーク搬送器２２を、ステップ１４において、作業位置２６ｃから作業位置２６ｄに搬送でき、特に７秒がかかる。その後、ステップ１５において、製造ワーク搬送器２２を搬送ユニット２４の上に配置でき、特に、昇降ユニット２５によって床下搬送ユニット６０の上に配置できる。これには例えば１９秒がかかり得る。ステップ１６において、製造ワーク搬送器２２を、床下搬送ユニット６０によって最終的にローディングステーション１８に戻すことができる。製造ワーク搬送器２２を、ローディングステーション１８の作業位置２６ｃに戻すことができ、その位置で、まず保持リング５２を取り外すことができる。特にステップ１～１３を有する、その後の方法１００については、図５に基づいて既に説明した。
図９は、２つの箔／フィルム移送手段３４と、２つの箔／フィルムスタック３６とを備えた、本発明による箔／フィルム移送ユニット３２の実施形態を示す。箔／フィルム移送手段３４を用いると、それぞれの場合において、頂部の箔／フィルム３０を箔／フィルムスタック３６の頂部５４から取り外すことができる。頂部５４は取り外し面５６として機能する。箔／フィルムスタック３６を、それぞれの場合において、箔／フィルムマガジン３８として設計している。
第１の箔／フィルムマガジン３８（図では左側）が空の場合、第２の箔／フィルムマガジン３８を第１の箔／フィルムマガジン３８の位置に移動できる。第２の箔／フィルムマガジン３８は、同じ箔／フィルムだけでなく、他の種類のものも収容できる。このようにして、連続的な手順を確保できる。第２の箔／フィルムマガジン３８から箔／フィルム３０を取り外している間に、第１の箔／フィルムマガジン３８に箔／フィルム３０を補充できる。箔／フィルム移送ユニット３２、特に箔／フィルム移送手段３４と箔／フィルムマガジン３８とを備えたものは、例えば、既存のあらゆるシステムに後付けができる。また、本発明によるシステム１０のローディングステーション１８および／またはアンローディングステーション２０の作業位置２６ｂにおける箔／フィルム３０の設置および／または取り外しは、このような箔／フィルム移送ユニット３２によって行うことができる。
図９は、洗浄ユニット４８も示す。最初に、第１のフィルム移送手段３４ａによって第１の箔／フィルムマガジン３８から１つの箔／フィルム３０を取り外し、洗浄ユニット４８の上に配置する。箔／フィルム３０を洗浄すると、第２の箔／フィルム移送手段３４ｂによって洗浄ユニット４８から箔／フィルム３０を取り外し、製造ワーク搬送器２２の上に配置する。洗浄ユニット４８は、線形洗浄ユニット６４とすることもできるし、非接触で動作する表面洗浄システムとすることもできる。本発明によるシステム１０または本発明による方法１００の場合、特に図３および図４のローディングステーション１８の作業位置２６ｃに洗浄ユニット４８によって、箔／フィルム３０を供給することができる。
箔／フィルムスタック３６は、箔／フィルム昇降ユニット４０によって垂直上方に押し上がることができる。このようにして、箔／フィルムスタック３６の頂部の箔／フィルム３０を、どのような状況においても実質的に同じ位置に配置することができる。これにより、箔／フィルム移送手段３４ａは、箔／フィルムスタック３６の含む箔／フィルム３０の数に関係なく、箔／フィルムスタック３６の頂部の箔／フィルム３０を取り外すことが保証される。さらに、箔／フィルム移送手段３４は、箔／フィルムスタック３６における頂部の箔／フィルム３０の位置の差を均等化できる高さ均等化システム５０を含むことができる。箔／フィルム移送手段３４は、例えばグリッパを備える設計とすることができ、空気圧で、および／または真空で、特に真空ノズルを用いて箔／フィルム３０をピックアップできる。このようにして、特に有利には自動化された、特に完全に自動化された方法で、箔／フィルム３０を配置し、洗浄できる。箔／フィルム３０を配置するまたは取り外すための手動介入は必要がなく、クリーンルーム、特にＩＳＯ５クリーンルームを特に有利に提供することができる。
図１０は、図９の箔／フィルム移送ユニット３２の平面図である。同じ構成要素には同じ参照数字を付しているので、これ以上詳細に説明する必要はなかろう。この図は、２つの箔／フィルムスタック３６を洗浄ユニット４８の隣に配置していることを有利に示す。図の上部、すなわち洗浄ユニット４８の隣で、箔／フィルム移送手段３４ｂを用いて、電子アセンブリ１２および／またはワーク１４（図示せず）を有する製造ワーク搬送器２２の上に箔／フィルム３０を配置できる。その結果、図の上部の洗浄ユニット４８をローディングステーション１８に配置する場合、製造ワーク搬送器２２を洗浄ユニット４８の隣に結果的に配置できる。１枚の箔／フィルムを取り外し、正しい箔／フィルムであったことを保証するため、取り外した箔／フィルムの厚さを決定する機械的厚さ測定システム、例えば高精度検出プローブを用いたチェックを位置３（Ｐｏｓ．３）で行うことができる。ここでは、箔／フィルムの種類に関係なく、箔／フィルムを１枚も取り外していないか、１枚以上取り外したかを判定することができる。この場合、箔／フィルムプローブは、例えば焼結のプロセス関連領域を未接触にしておくために、周辺領域の膜厚を決定できる。
図１１は、図１０の箔／フィルム移送ユニット３２の種々の作業ステップ１～１３の可能なシーケンスを示す。ステップ１において、個々の箔／フィルム３０を、位置１（Ｐｏｓ．１）において箔／フィルムスタック３６から取り出し、位置２（Ｐｏｓ．２）において箔／フィルム搬送器６６の上に配置できる。ステップ２において、箔／フィルム搬送器６６を、箔／フィルム３０と一緒に位置２（Ｐｏｓ．２）から洗浄ユニット４８を通って位置３（Ｐｏｓ．３）まで移動できる。ステップ３において、箔／フィルム３０を、最終的に、位置４（Ｐｏｓ．４）に位置する製造ワーク搬送器２２（図示せず）の上に配置できる。ステップ４において、今度は箔／フィルム３０がない箔／フィルム搬送器６６を、位置３（Ｐｏｓ．３）から再び位置２（Ｐｏｓ．２）に移動して戻すことができる。第５のステップにおいて、ステップ１～４を繰り返すことができる。ステップ６において、位置１（Ｐｏｓ．１）に位置する箔／フィルムスタック３６を上昇させることができる。これは、箔／フィルム昇降ユニット４０を用いて行うことができる。例えば１０枚の箔／フィルム３０の使用後、または頂部の箔／フィルム３０の位置が例えば１０ｍｍ下がると、箔／フィルム昇降ユニット４０は、例えば完全な箔／フィルムスタック３６を対応する１０ｍｍだけ上方に移動できる。さらなる高さの差は、高さ均等化システム５０、例えば真空ノズルホルダによって、箔／フィルム移送手段３４で直接均等化することができる。ステップ７において、位置６（Ｐｏｓ．６）に位置する箔／フィルムスタック３６を補充または充填できる。箔／フィルムスタック３６を、好ましくは、箔／フィルムマガジン３８として設計する。補充は、特に、箔／フィルム移送ユニット３２またはシステム１０の継続作動中に行うことができる。ステップ８において、位置１（Ｐｏｓ．１）に位置する空の箔／フィルムマガジン３８を位置５（Ｐｏｓ．５）に移動できる。ステップ９において、位置６（Ｐｏｓ．６）に位置する今補充した箔／フィルムマガジン３８を位置１（Ｐｏｓ．１）に移動できる。ステップ１０において、位置５（Ｐｏｓ．５）に現在位置する他の箔／フィルムマガジン３８を、継続動作中に最終的に補充できる。ステップ１１において、位置１（Ｐｏｓ．１）に位置する再び空となった箔／フィルムマガジン３８を位置６（Ｐｏｓ．６）に移動できる。ステップ１２において、今補充した箔／フィルムマガジン３８を、位置５（Ｐｏｓ．５）から位置１（Ｐｏｓ．１）に移動できる。ステップ１３において、ステップ５～１２を繰り返すことができる。図示のようなステップ１～１３は、本発明による方法１００の一部とすることができる。
図１２は、箔／フィルムスタック３６および箔／フィルム移送手段３４の高さ均等化システム５０を示す。この場合、箔／フィルム移送手段３４の許容範囲と箔／フィルムスタック３６の移動距離とを利用して、箔／フィルムスタック３６の取り外し面５６の頂部の箔／フィルム３０のみを箔／フィルム移送手段３４によってピックアップすることを保証できる。この図では、高さ均等化システム５０は真空ノズルホルダの形態で見ることができる。真空ノズルホルダは、例えば１０～３０ｍｍ、特に２０ｍｍのばね補正を均等化できる。
箔／フィルム移送ユニット３２の種々の実施形態を、例えば、システム１０または方法１００の種々の実施形態と組み合わせることができるように、システム１０、箔／フィルム移送ユニット３２、および方法１００の図示の実施形態を相互に組み合わせることができることは言うまでもない。
図１３は、図４に示したローディングステーション１８のさらなる実施形態を示し、このローディングステーション１８は、図１０に示したような箔／フィルム移送ユニット３２を統合している。繰り返しを避けるために、同一の符号に関して、図４および図１０の説明を参照する。
図１３のローディングステーションでは、１２個のワーク１４を収容できる長方形の製造ワーク搬送器２２を使用し、その上に、作業位置２６ａでカバー用マスク２８を、作業位置２６ｂでカバー用箔／フィルム３０を配置できる。
ローディングステーション１８への入口には、製造ワーク搬送器２２のスタックマガジン６８を配置し、空の製造ワーク搬送器２２を、少なくともシステム１０への初期投入時にそこから取り出す、または製造終了時に保管することができる。自動化ロボット４６は、グリッパアーム４７によって、搬送ワーク搬送器４４から製造ワーク搬送器２２の上にワーク１４を移送し、１２個の搬送ワーク搬送器４４からのワークを１つの製造ワーク搬送器２２にまとめることができる。この点で、このシステムは、従来の生産ラインよりも１２倍遅いサイクルで動作させることができる。
搬送ワーク搬送器４４の上のワーク１４の回転位置およびＸ／Ｙ位置決めを検出する検査カメラ７０ａを、昇降ユニット６１の上方に配置している。この情報により、自動化ロボット４６の回転アーム４７は、ワーク１４をピックアップし、正確な回転位置およびＸ／Ｙアライメントで製造ワーク搬送器２２の上にセットできる。この目的のために、さらなる検査カメラ７０ｂを、作業位置２６ａに配置した製造ワーク搬送器２２の上方にアライメントし、このカメラによって、自動化ロボット４６について正確なセット位置を制御し、製造ワーク搬送器２２の上のワーク１４の正しいアライメントを保証する。
図１４は、図１３のローディングステーション１８と相補的な、関連するアンローディングステーション２０を示す。これはまた、さらなる実施形態２０として、図７に記載したアンローディングステーション２０に類似しており、したがって、これに関する記載を参照する。作業位置２６ａの上方の検査カメラ７０ｃおよび昇降ユニット６１の上方のさらなる検査カメラ７０ｄを使用して、光学検査手段により、製造ワーク搬送器２２の上のワーク１４の回転位置およびＸ／Ｙアライメントを検出し、ワークを搬送ワーク搬送器４４の上に回転および位置的に正確に移送できる。
図１５ａは、光学検査手段のための光学基準マーク７２を備えた製造ワーク搬送器２２の挿入部の一実施形態を示す平面図である。製造ワーク搬送器２２の挿入部は、マトリックス配置で７つのワーク１４を収容できる。製造ワーク搬送器２２のトレイ状のフレームに固定するための、例えば凹部やペグなどの固定要素７６が設けられている。挿入部の外周領域には、製造ワーク搬送器２２のフレームにアライメントして挿入するための形状嵌合縁部７４が設けられている。
製造ワーク搬送器２２は、光学検査手段によって検出する２つの光学基準マーク７２を有し、検査カメラ７０の解像度が低くても、あるいは照明条件が悪くても、製造ワーク搬送器のアライメントが可能である。図１５ｂの詳細は、光学基準マーク７２を示す。これは一連の同心円状の輪郭、この場合は同心円状のリングで構成されている。これらの画定した間隔および幅により、製造ワーク搬送器２２の上の２つの基準マーク７２のＸ／Ｙ配置と、相互に対する位置との両方の正確な識別が可能になり、製造ワーク搬送器２２の回転位置を決定することができる。
最後に、図１６は、ワークを収容した製造ワーク搬送器２２のフレームと、図１５ａに示す挿入部との組み合わせの斜視図である。これらを、真空焼結法のためのマスク２８の形態をしたプロセスカバー６２で被覆し、保持リング５２によって製造ワーク搬送器２２に接続している。続いて、箔／フィルム３０も被覆のために所定の位置に配置することができ、任意に保持リング５２によって所定の位置に固定することもできる。箔／フィルム３０は、例えば焼結中に弾性焼結パッドがワーク表面に付着するのを防止する。
図１７は、電子アセンブリ１２を接続するため、および／またはワーク１４を製造するための、複数のモジュールを有する本発明によるシステム１０のさらなる実施形態を示す。システム１０は複数のモジュール１６を有する。このようなシステム１０は、例えば、はんだ付けシステム１０ａを形成することができる。このようなシステム１０を用いると、例えば耐熱性のはんだ接合部を製造できる。この実施形態では、システム１０は３つのモジュール１６を有する。第一のモジュール１６をローディングステーション１８として設計している。これには製造ステーション２１が隣接している。システム１０の右端のモジュール１６を、アンローディングステーション２０として設計している。クリーンルーム、特にＩＳＯ５クリーンルームを形成するために、システムを、好ましくは閉鎖チャンバおよび／または気密として設計する。したがって、モジュール１６を、好ましくは相互に接続しているが、共通のハウジングにおいて外部の影響から保護している。図１による実施形態とは異なり、モジュール１６を直接は相互に接続しておらず、代わりに複数の搬送ユニット２４によって接続している。様々なレベルＥ１、Ｅ２の各場合において、好ましくは、搬送ユニット２４が内部を走行する閉鎖チャンバおよび／または気密設計のユニットとして、接続を形成している。搬送ユニット２４の１つは、例えば床下搬送ユニット６０を形成できる。
図１８は、図１７のシステムの正面図である。搬送ユニット２４が走行する、モジュール１６間の個々の接続領域が見える。図１および図２による実施形態とは異なり、図１７および図１８による実施形態は、はんだ付けシステムとして特別に設計することができる。図１および図２によるシステムとの相違は、はんだ付けシステムにおいて、箔／フィルムを配置するための箔／フィルム移送ユニット３２として設計する作業位置が省略可能であるという事実にある。さらなる点では、図１７および図１８による実施形態は、図１および図２による実施形態と一致し得る。
図１９は、ローディングステーション１８として設計した本発明によるシステム１０のモジュール１６のさらなる実施形態を示す。ローディングステーション１８を、ハウジングなしで図示し、内部が見えるようになっている。この図は、搬送ユニット２４の昇降ユニット２５をレベルＥ１に示す。これは、レベルＥ１より下のレベルＥ２に配置している床下搬送ユニット６０に接続している。昇降ユニット２５は、床下搬送ユニット６０を配置している下位レベルＥ２から、作業位置２６を配置している上位レベルＥ１まで、製造ワーク搬送器２２を搬送するために使用することができる。昇降ユニット２５は、レベルＥ１からレベルＥ２へ、またはその逆へ移動することによって、製造ワーク搬送器２２を搬送できる。この動作について、図３に関連して既に詳細に説明した。図３による実施形態とは異なり、図１９による実施形態は、図１７および図１８によるはんだ付けシステムのためのローディングステーション１８を示す。このような実施形態では、箔／フィルム移送ユニットが省略可能である。
図２０は、種々の作業位置を示す図１９のモジュール１６の平面図である。作業位置２６ａにおいて、電子アセンブリ１２および／またはワーク１４を、製造ワーク搬送器２２の上に配置する。これについて、方法１００に関連してプレファブリケーションと呼ぶこともある。電子アセンブリ１２および／またはワーク１４を、自動化ロボット４６、特にロボットアーム４７を用いて製造ワーク搬送器２２の上に移送できる。これをまた、オーバーヘッドマウントによっても達成できる。図４による実施形態とは異なり、図２０による実施形態は、箔／フィルムを配置するための作業位置２６ｂを有していない。したがって、図２０による実施形態は、特にはんだ付けシステムを示す。作業位置２６ａの後方には、例えばベルトコンベアの形態で、バッファまたはバッファステーションとして機能するさらなる製造ステーション２１を配置できる。図の上部には、昇降ユニット６１を有する第２の搬送ユニット４２を配置している。この第２の搬送ユニット４２には、搬送ワーク搬送器４４を上に配置している床下搬送ユニット６０を配置している。さらなる実施形態は、箔／フィルム移送ユニット３２を除いて、図４による実施形態のような特徴を有し得る。
図２１は、本発明によるシステム１０のモジュール１６のさらなる実施形態を示し、アンローディングステーション２０としてこれを設計している。アンローディングステーション２０を、ハウジングなしで図示し、内部が見えるようになっている。この図は、搬送ユニット２４の昇降ユニット２５をレベルＥ１に示す。これは、レベルＥ１より下のレベルＥ２に配置した床下搬送ユニット６０に接続している。
図２２は、図２１のモジュール１６の平面図であり、作業位置２６ａを示す。例えば冷却ステーションとして設計することができる更なる製造ステーション２１を、作業位置２６の上流に配置している。ロボットアーム４７を使用して、ワーク１４を作業位置２６ａから第２の搬送ユニット４２の上に搬送できる。第２の搬送ユニット４２は、搬送ワーク搬送器４４を搬送するための昇降ユニット６１を含む。さらに、空の搬送ワーク搬送器４４を収容可能なマガジン７８を含んでいる。
図２３および図２４は、システム１０のアドオンモジュール１６としてのローディングステーション１８およびアンローディングステーション２０の２つのさらなる実施形態を示す。概して言えば、これらは、その機能手順および構造において、図１３および図１４に関連して詳細に説明したローディングステーション１８およびアンローディングステーション２０に対応する。
焼結接合に単一の頂部の箔／フィルム３０を使用する場合、図２３のローディングステーション１８の動作の可能な１つのシーケンスは以下の通りである。
－まず製造ワーク搬送器２２を、床下搬送ユニット６０から位置２６ｃの作業レベルまで昇降ユニット２５を用いて上昇させることができる。
－この後、自動化ロボット４６のロボットアーム４７によって、複数のワーク１４、例えば１０～１４個、特に１２個のＤＣＢプリント回路基板（Ｄｉｒｅｃｔ Ｂｏｎｄｅｄ Ｃｏｐｐｅｒ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ Ｂｏａｒｄｓ）を、搬送ワーク搬送器４４から製造ワーク搬送器２２に移送する。
－その後、充填した製造ワーク搬送器２２を、位置２６ｃから位置２６ｂに移動させる。
－これまで製造ワーク搬送器２２の上に保管していた保持リング５２をその後パーク位置２９に移送できる。
－箔／フィルム３０、例えば焼結処理のためのＰＴＦＥフィルムを、箔／フィルム移送ユニット３２から箔／フィルムスタック３５の頂部の箔／フィルムとして取り出し、箔／フィルム洗浄ユニット４８によって洗浄した後、充填した製造ワーク搬送器２２の上に配置する。
－この後、箔／フィルム３０を所定の位置に固定するために、パーク位置２９から保持リング５２を製造ワーク搬送器２２の上に配置し、固定する。
－その後、ワーク搬送器２２を、焼結プロセスの準備のために予熱モジュールに移動させる。
あるいは、底部の箔／フィルム３０および頂部の箔／フィルム３０を使用する場合、保持リング２９をパーク位置５２にもってきた後、製造ワーク搬送器２２を床下搬送ユニット６０から位置２６ｂに既に上昇させた後に、まず、底部の箔／フィルム３０を製造ワーク搬送器２２の上に配置でき、その後、ワーク１４の充填を位置２６ｃで行う。
フロー生産を可能にするために焼結モジュール２１の後に順次配置する図２４のアンローディングステーション２０は、頂部の箔／フィルム３０を焼結接合に使用する場合、鏡像的に動作し、以下の作業ステップを実行できる。
－製造ワーク搬送器２２を、製造ステーション２１、例えば冷却モジュール１６からアンローディングステーション２０に導入する。
－保持リング５２を持ち上げて、アンローディングステーション２０の位置２６ｂのパーク位置２９に移動させる。
－箔／フィルム移送手段３４によって、充填した製造ワーク搬送器２２から箔／フィルム３０を把持し、引き剥がす。
－保持リング５２をパーク位置２９から製造ワーク搬送器２２の上に戻す。
－製造ワーク搬送器２２を位置２６ｂから位置２６ｃに移動させる。
－ロボットアーム４７によって、ワーク１４を製造ワーク搬送器２２から搬送ワーク搬送器４４に移送する。各移送動作にかかる時間は６秒未満であり、特に５．５秒である。
－製造ワーク搬送器２２を昇降ユニット２５によって床下搬送ユニット６０に移動させ、ローディングステーション１８に戻す。
底部の箔／フィルム３０および頂部の箔／フィルム３０を使用している場合、底部の箔／フィルム３０は、製造ワーク搬送器２２を位置２６ｂから位置２６ｃへ移動させた後に、自動化ロボット４６によって引き剥がすことができる。
ローディングステーション２０からアンローディングステーション１８への戻り搬送の間、使用済みの箔／フィルムを、製造ワーク搬送器２２に配置し、戻り搬送して箔／フィルムスタック３６に配置するか、またはアンローディングステーション２０の内部のさらなる箔／フィルムスタックに配置して、再使用のためにローディングステーション１８に手動で戻すことができる。
使用済みの箔／フィルム３０を一旦取り出すと、洗浄ユニット４８または第２の洗浄ユニットが、アンローディングステーション２０において箔／フィルム３０の洗浄を既に実行する場合がある。
図２５は、箔／フィルム剥離ユニット８４の実施形態を示す。箔／フィルム剥離ユニット８４は、ローラ９６の形態の接触要素９２を有する。製造ワーク搬送器２２の上方に配置した箔／フィルム３０を、ワーク１４を有する製造ワーク搬送器２２の表面で、接触要素９２によって保持する。この実施形態では、接触要素９２をローラ９６として設計し、箔／フィルム剥離ユニット８４に対する製造ワーク搬送器２２の相対移動（矢印で示す方向）の間に、箔／フィルム３０の表面上を転動させることができる。製造ワーク搬送器２２の相対移動中に、箔／フィルム３０は、接触要素９２を通過すると、把持要素９４を使用して把持され、上方に引き離され、すなわち、製造ワーク搬送器２２から遠ざけられる。これにより、ワーク１４を有する製造ワーク搬送器２２から、制御された方法で箔／フィルム３０を取り外すことができる。箔／フィルム剥離ユニット８４を、アンローディングステーション２０の作業位置２６に配置でき、製造ワーク搬送器２２を、特に搬送ユニット２４によって箔／フィルム剥離ユニット８４に対して相対的に移動できる。これにより、箔／フィルム剥離ユニット８４を固定位置に止めることができる。箔／フィルム３０は、把持要素９４を回動させることによって上方に引き剥がすことができる。
図２６は、図２５からの実施形態のさらなる図である。この図において、箔／フィルム３０を案内する箔／フィルム持上げ器９８を、接触要素９２の前の領域に配置していることが分かる。従って、箔／フィルム３０を把持要素９４によって簡易な方法で把持できる。箔／フィルム３０の持ち上げは、例えば、箔／フィルム持上げ器９８の前に配置した空気流、圧縮空気または吸引空気によって補助することもできる。このような空気流は、例えば接触要素９２と箔／フィルム持上げ器９８との間で箔／フィルム３０を持ち上げることができ、これにより箔／フィルム３０は箔／フィルム持上げ器９８の上を通過できる。箔／フィルム３０が箔／フィルム持上げ器９８と機械的に接触し、その結果上方に膨らむことによって持ち上げられることも考えられる。箔／フィルム３０は、接触要素９２によって箔／フィルム持上げ器９８の後方（図では箔／フィルム持上げ器９８の左側）で下方に加圧されるので、制御された方法で製造ワーク搬送器２２から箔／フィルム３０を剥離することができる。この動作を、さらなる実施形態では、検査カメラ７０によって制御できる。
図２７は、箔／フィルム剥離ユニット８４のさらなる実施形態を示す。図２６による図に加えて、箔／フィルム持上げ器９８の上方にクランプ式に箔／フィルム３０を固定する把持要素９４について示す。把持要素９４は、箔／フィルム３０が箔／フィルム持上げ器９８に接触するとすぐに、箔／フィルム３０の方向または製造ワーク搬送器２２の方向に回動または移動することができる。例えば検査カメラ７０の助けを借りて、これを制御できる。
図２８は、図２７からの実施形態のさらなる図を示す。一旦、把持要素９４が箔／フィルム３０を把持すると、把持要素９４は好ましくは同時に上方（図示の矢印の方向）に移動し、一方、製造ワーク搬送器２２は特に搬送ユニット２４によって水平方向（図示の矢印の方向）に移動する。特に、両方の動きが同じ速度で行われる。これにより、製造ワーク搬送器２２からの箔／フィルム３０の連続的な剥離を達成できる。図２８は、例としてここでは、アンローディングステーション２０の作業位置を示す。把持要素９４を、搬送ユニット２４の上方に配置している。接触要素９２は、好ましくは製造ワーク搬送器２２の表面に平行に配置され、特に搬送器２４の移動方向に対して横方向に延びる。
図２９は、接触要素９２の実施形態を示す。このような実施形態では、接触要素９２は、ローラ９６の形態を有し、図３０に示すように、凹部９６ａおよび隆起部９６ｂを備える。ローラ９６は、ワーク搬送器２２の上のワーク１４の輪郭の反対の形態を提供し得る。ワーク搬送器２２が、特に搬送ユニット２４によってローラ９６の下に移動する場合、ローラ９６は、箔／フィルム３０（図示せず）およびその下に配置したワーク１４およびその下に配置したワーク搬送器２２の上を回転する。凹部９６ａを有する領域はここでワーク１４に接触し、隆起部９６ｂを有する領域はそれらの間に配置される間隙に接触し、特にワーク搬送器２２に直接接触できる。このようなローラは、実質的に、ワーク搬送器２２の上のワーク１４の輪郭に対向する形状を提供し、接触要素９２を製造ワーク搬送器２２の上に正確に案内できる。さらに、ワーク１４を配置した製造ワーク搬送器２０が凹凸面を形成していても、箔／フィルム３０（図示せず）の加圧を保証することができる。
図３０は、図２９の実施形態のさらなる図であり、交互に配置している凹部９６ａおよび隆起部９６ｂを識別できる。
図３１は、箔／フィルム剥離ユニット８４のさらなる実施形態を示す。箔／フィルム剥離ユニット８４は、剥離要素８８と保持要素９０とを有する剥離ユニット８６を備えている。剥離要素８８と保持要素９０とは、この実施形態では保持構造の上に取り付けられており、搬送ユニット２４に対して相対的に移動可能である。保持構造をレール要素に沿って案内できる。このような実施形態では、剥離ユニット８６は、好ましくは、箔／フィルム３０を有する製造ワーク搬送器２２に対して相対的に移動し、特に、剥離ユニット８６は、製造ワーク搬送器２２を移動させないまま移動する。好ましくは、剥離要素８８を箔／フィルム３０の下に挿入し、一方、保持要素９０を箔／フィルム３０の上に配置する。これにより、箔／フィルム３０を、剥離要素８８と保持要素９０との間に案内し、ワーク１４を有する製造ワーク搬送器２２から剥離できる。同時に、剥離要素８８によって製造ワーク搬送器２２の上にワーク１４を押さえつける。
図３２は、箔／フィルム剥離ユニット８４のさらなる実施形態を示す。ここでは、剥離要素８８と保持要素９０とを、箔／フィルム３０をそれらの間に案内できるように、一方を他方の上にわずかにずらして配置しているのがわかる。剥離ユニット８６は比較的迅速に移動でき、その結果、箔／フィルム３３を製造ワーク搬送器２２から剥離できる。図示の実施形態では、保持構造を、線形ユニット８５に保持しており、したがって搬送ユニット２４と平行に移動させることができる。
図３３は、マルチグリッパ８０の実施形態を示す。マルチグリッパ８０は、この実施形態では、線に沿って配置した４つのグリッパアーム８２を有する。２つの外側グリッパアーム８３は、２つの内側グリッパアーム８２と２つの外側グリッパアーム８３との間の距離を変更できるように、仮想線（２つの矢印で示す）に沿って移動させることができる。矢印の領域において、２つの外側グリッパアーム８３の移動を可能にする空気圧駆動スライド、特にミニスライドを設けることができる。特に、４つのグリッパアーム８２のすべてを空気圧で制御し、例えば平行グリッパとして設計できる。ワーク１４または電子アセンブリ１２をピックアップするために、各グリッパアーム８２に受容部を設けることができる。受容部を、１つのワーク１４または１つのアセンブリ１２を２つの側面からクランプ可能に固定できる２つの把持要素から構成できる。マルチグリッパ８０の基本要素の上に、伸縮可能および／または回動可能な部分を伸縮可能および／または回動可能に配置できる。これにより、グリッパアーム８２、８３を、相互に対して、および基本要素に対して相対的に移動できる。この実施形態では、マルチグリッパ８０は線形の基本要素を有する。
図３４は、製造ワーク搬送器２２の一実施形態を示す。その上に配置した４つのワーク１４または電子アセンブリ１２を、図示のマルチグリッパ８０を使用して同時に把持できる。空気圧制御のおかげで、仮想線上に配置したワーク１４または電子アセンブリ１２だけでなく、他の方法で配置したワーク１４または電子アセンブリ１２も把持、配置、または持ち上げることができる。
図３５は、マルチグリッパ８０のさらなる実施形態を示す。この実施形態では、空気圧システムを識別できる。
図３６は、マルチグリッパ８０のさらなる実施形態を示す。このマルチグリッパ８０は、相互に回動可能な２つのグリッパアーム８２を有する。図３７は、図３６からの実施形態のさらなる図である。
図３８は、マルチグリッパ８０を備えたローディングステーション１８の実施形態を示す。フレキシブルなマルチグリッパ８０の助けを借りて、複数のワーク１４または電子アセンブリ１２を複数の搬送ワーク搬送器４４から同時に取り出して、製造ワーク搬送器２２に配置することができる。図では、搬送ワーク搬送器４４を仮想線に沿って相互に隣接して配置していることが分かる。マルチグリッパ８０を用いて、少なくとも４つのワーク１４または電子アセンブリ１２をこのような配置から取り出し、任意の配置でワーク搬送器２２の上に配置することができる。図示したさらなる態様に関して、図１３を参照されたい。
図３９は、アンローディングステーション２０の実施形態を示す。この実施形態は、自動化ロボット４６にマルチグリッパ８０を配置していない。従って、ワーク１４または電子アセンブリ１２を、製造ワーク搬送器２２から搬送ワーク搬送器４４の上に個々に移送する。図３８のローディングステーション１８に関して示すように、アンローディングステーション２０でマルチグリッパ８０を使用することも考えられる。図示したさらなる態様に関して、図１４を参照されたい。
図４０は、ワーク１４の一方を他方の上に配置した製造ワーク搬送器２２の実施形態を示す。この実施形態では、３つの第１のワーク１４を第１の箔／フィルム３０の下に配置している。３つの第１のワーク１４の真上には、３つの第２のワーク１４を箔／フィルム３０の上に配置し、ここで圧力パッドまたは均等化箔／フィルムを追加的に含むことができる。さらなる箔／フィルム３０を第２のワーク１４の上方に配置する。第１および第２のワーク１４は、焼結プロセス中に相互を支持できるように、一方を他方の上に直接配置する。特に、第１のワークの周囲および形状は、第２のワークの周囲および形状と一致し、第１および第２のワークは、その全幅にわたって相互に支持できる。箔／フィルム３０および／または圧力パッドまたは均等化箔／フィルムをワーク１４の層の間に配置できる。ワーク１４は相互に付着せず、それらの間に配置した箔／フィルム３０によって引っ掛かりが防止される。使用する箔／フィルム３０を、保護箔／フィルムとして設計してもよいし、圧力均等化箔／フィルムとして設計してもよい。ワーク１４を、マルチグリッパ８０を用いて有利に移送できる。
図４１は、ワーク１４の一方を他方の上に配置した製造ワーク搬送器２２のさらなる実施形態を示す。図４０とは異なり、製造ワーク搬送器が圧力パッドに付着しないように保護するために、第１のワーク１４の下にさらなる箔／フィルムを配置している。保護箔／フィルムとして、または圧力均等化箔／フィルムとして、これを設計できる。
図４２は、ワーク１４の一方を他方の上に配置した製造ワーク搬送器２２のさらなる実施形態を示す。アンローディングおよび箔／フィルム３０の剥離の間、底部の箔／フィルム３０を保持するために、通路９９ａを介して箔／フィルム３０に接続し、箔／フィルム３０を吸い上げる真空ノズルユニット９９を取り付けることができる。
ワーク１４の一方を他方の上に配置した、図示の製造ワーク搬送器２２では、種々の箔／フィルムの厚さおよび材料を使用できる。例えば、保護箔／フィルムとしてＰＴＦＥまたはＰＦＡを使用できる。その上に、より厚い圧力均等化箔／フィルムを配置できる。その後、さらに保護箔／フィルムをその上に配置し、その後に初めてワークを配置できる。あるいは、マスク（図示せず）を用いて焼結することも可能である。
図４３は、マルチグリッパ８０とアライメントユニット１１２とを備えたローディングステーション１８の実施形態の断面を示す。マルチグリッパ８０とアライメントユニット１１２のアライメント要素とにより、搬送ワーク搬送器から製造ワーク搬送器の上へのワーク／コンポーネントの正確な移送、すなわち把持とアライメント配置とが可能になる。この動作については後述する。以下の説明でワークについて言及する場合、これは電子アセンブリのことでもあると理解されたい。
最初、搬送ワーク搬送器４４からマルチグリッパ８０を用いてワーク１４をピックアップする。１つのグリッパアーム８２によって各ワーク１４を保持する。これについて、把持要素を使用して達成し、以下の図に関連してより詳細に説明する。
図４４は、動作中のマルチグリッパ８０の実施形態を示す。図示の実施形態では、各グリッパアーム８２は、搬送ワーク搬送器４４から１つのワーク１４をピックアップする。マルチグリッパ８０の長手方向軸Ｌに沿って、異なるグリッパアーム８２を配置している。好ましくは、グリッパアーム８２は、先に説明した図においてより詳細に説明したように、長手方向軸Ｌに沿って相互に相対的に移動可能である。搬送ワーク搬送器４４からさらにワーク１４をピックアップするために、次の列のワーク１４をピックアップできるように、マルチグリッパ８０を横軸Ｑに沿って完全に移動させる。
図４５は、マルチグリッパ８０のグリッパアーム８２を通る断面図である。２つの把持要素１１０は、グリッパアーム８２の対向する２つの側面に配置され、ワーク１４を保持する。把持要素１１０はまた、ワーク１４をクランプ式に保持するように、対向する２つの側縁でワーク１４を保持する。図示の実施形態では、把持要素１１０を、横軸Ｑ上に配置している。別の実施形態では、把持要素１１０を、図４４に示す長手方向軸上で反対側に、すなわち９０°回転して配置することもできる。把持要素１１０とワーク１４との間で表面接触を行うため、把持要素１１０によってワーク１４の第１のアライメントを達成できる。その結果、ワーク１４について、少なくとも長手方向軸Ｌ上または横軸Ｑ上でアライメントする。
図４６は、作動中のマルチグリッパ８０とアライメントユニット１１２とを備えたローディングステーション２２の一実施形態の断面を示す。図示の状況では、マルチグリッパ８０をアライメントユニット１１２の真上に配置している。その結果、以下に説明するように、アライメントユニット１１２の把持要素はワーク１４に接触できる。これにより、長手方向軸Ｌ上または横軸Ｑ上で、ワーク１４をさらにアライメントする。好ましくは、長手方向軸におけるワーク１４の第１のアライメントをマルチグリッパ８０およびその把持要素１１０によって達成し、横軸Ｑに沿うワーク１４のさらなるアライメントをアライメントユニット１１２によって達成し、長手方向軸Ｌと横軸Ｑとは一水平面内にある。
図示しない実施形態では、ワーク１４を有するマルチグリッパ８０が接触する一種のストップ縁として、アライメントユニット１１２を設計できる。直線に設計した縁とワーク１４との接触により、マルチグリッパ８０が保持するワーク１４のアライメントも可能になる。特に、ストップ縁と接触するのは、把持要素と接触していないワーク１４の側縁である。
図４７は、アライメントユニット１１２を備えたマルチグリッパ８０の断面を示す。図示の実施形態では、ワーク１４は、グリッパアーム８２の把持要素１１０またはアライメントユニット１１２の把持要素１２４の４つの側縁のすべてと接触していることがわかる。従って、２つの軸ＬおよびＱにおいて、ワーク１４を正確にアライメントできる。把持要素１１０による平行把持により、マルチグリッパ８０に対して長手方向において、ワーク１４をセンタリングできる。
換言すれば、長手方向における一種の平行グリッパとしてのマルチグリッパ８０によって長手方向軸Ｌに沿ってワーク１４を中心的に把持し、アライメントする。アライメントユニット１１２の９０°回転した平行グリッパ１２４によって、長手方向軸Ｌに対して横方向に、すなわち横軸Ｑの方向に、ワーク１４をさらにアライメントする。このような手順により、マルチグリッパ８０についてワーク１４をセンタリングし、製造ワーク搬送器２２に正確に配置できる。
マルチグリッパ８０でワーク１４を把持し、アライメントユニット１１２でセンタリングした後、ロボットアーム４７を使用してローディングステーション１８に搬送することが可能である。
図４８は、センタリング装置１１４を備えたローディングステーション１８の断面を示す。図示の製造ワーク搬送器２２は、搬送フレーム１２２と、そこに変位可能に挿入したベースプレート１３８とを含む。搬送フレーム１２２は、ベースプレート１３８を収容する実質的に円形の凹部を有する。製造ワーク搬送器２２に一体化したベースプレート１３８を、好ましくは、受容部へのワーク１４の正確な配置を保証するために、搬送フレーム１２２に対して正確にセンタリングするとともにアライメントし、好ましくは、製造ステーション２１の圧力プランジャに対する後続の加圧プロセスにおける収容したワーク１４の正確な位置決めの機能を果たす。そのために、センタリング装置１１４を用いて、製造ワーク搬送器２２またはその中に収容したベースプレート１３８をアライメントできる。センタリング装置１１４は、例えば、製造ワーク搬送器２２のベースプレート１３８を変位可能に取り付けるセンタリングプレート１１６を含む。これにより、製造ワーク搬送器２２のベースプレート１３８を、センタリングプレート１１６および搬送フレーム１２２に対して相対的に移動できる。センタリングプレート１１６を、例えば円形に設計でき、その周囲に配置したフレーム要素に対して相対的に持ち上げることができる。これにより、センタリングプレート１１６を移動できる。
図４９は、センタリング装置１１４を備えたローディングステーション１８の平面図である。センタリング装置１１４は、この実施形態では、製造ワーク搬送器２２のベースプレート１３８を支えることができる２つのペグ１２０を有する。製造ワーク搬送器２２を、ペグ１２０に対して押し付け、特に偏心として設計できる接触要素１２８を使用してセンタリングする。
図５０は、センタリング装置１１４を備えたローディングステーション１８を通る断面を示す。この図では、製造ワーク搬送器２２の下にあるセンタリングプレート１１６を識別できる。圧力要素１３０は、センタリングプレート１１６の下に制御のための機構を有する。センタリングプレート１１６の昇降を可能にする昇降ユニット１１８も識別できる。搬送フレーム１２２を、ベースプレート１３６をアライメントするフレーム要素としてセンタリングプレート１１６の周囲に配置し、製造ワーク搬送器２２の部分的な要素とする。
図５１は、センタリング装置１１６を備えたローディングステーション１８のさらなる図である。図５２は、図５１のワーク搬送器２２のない図を示す。センタリングプレート１１６の一種の出っ張り１２６の上にペグ１２０を配置していることがわかる。圧力要素１３０もまた、一種のペグとして設計した接触要素１２８を有する。この接触要素１２８は、センタリングプレート１１６に対して相対的に移動できる。これにより、センタリングプレート１１６および搬送フレーム１２２に対する製造ワーク搬送器２２のベースプレート１３８の相対変位が可能になる。図には、搬送フレーム１２２においてアライメントするようセンタリングプレート１１６によって回転可能かつ変位可能にベースプレート１３８を取り付けるように、例えばボールベアリングタイプの支持体として設計可能な３つの支持体１３２も示す。
図５３は、センタリング装置１１４の詳細図である。センタリングプレート１１６上にペグ１２０を配置している。この実施形態では、センタリングプレート１１６は、ペグ１２０を配置する出っ張り１２６を有する。種々の実施形態も考えられる。例えば、センタリングプレート１１６の縁の別の位置に、ペグ１２０を配置できる。圧力要素は、ペグとしても設計した接触要素１２８を有する。ここでは、例えば正方形状の突起や楕円形の突起のような別の実施形態も考えられる。センタリングプレート１１６を、昇降ユニット１１８を用いて上下に移動させることができる。
図５４は、センタリング装置１１４のさらなる詳細図である。この実施形態では、センタリングプレート１１６のアライメントに使用するレベリング要素１３４を識別できる。圧力要素は、空気圧シリンダ１３６を有し、圧力要素、すなわちこの実施形態では接触要素１２８を、搬送フレーム１２２に収容した製造ワーク搬送器２２のベースプレート１３８に加圧し、センタリングするためにこれを使用する。
製造ステーション２１でのさらなる処理中のワーク１４または電子アセンブリの正確なアライメントおよび位置決めを、搬送ワーク搬送器４４から製造ワーク搬送器２２の上への移送中のワーク１４または電子アセンブリのアライメント、および好ましくは製造ワーク搬送器２２の搬送フレーム１２２に対する製造ワーク搬送器２２またはベースプレート１３８の以前に実行したアライメントによって達成する。
マルチグリッパ８０に関して示した実施形態は、もちろん、センタリング装置１１４および／またはアライメントユニット１１２に関して示した実施形態と必要に応じて組み合わせることができる。特に、種々のマルチグリッパ８０を、種々の数のグリッパアーム８２または種々の配置および設計の把持要素１１０と組み合わせることができる。
１０ システム
１０ａ 焼結またははんだ付けシステム
１２ 電子アセンブリ
１４ ワーク
１６ モジュール
１８ ローディングステーション
２０ アンローディングステーション
２１ 製造ステーション
２２ 製造ワーク搬送器
２４ 搬送ユニット
２５ 昇降ユニット
２６ 作業位置
２６ａ～２６ｄ 作業位置
２８ マスク
２９ パーク位置
３０ 箔／フィルム、個々の箔／フィルム要素、均等化箔／フィルム（圧力パッド）
３２ 箔／フィルム移送ユニット
３４ 箔／フィルム移送手段
３４ａ，３４ｂ 箔／フィルム移送手段
３６ 個々の箔／フィルム要素からなる箔／フィルムスタック
３８ 箔／フィルムマガジン
４０ 箔／フィルム昇降ユニット
４２ 第２の搬送ユニット
４４ 搬送ワーク搬送器
４６ 自動化ロボット
４７ ロボットアーム
４８ 洗浄ユニット
５０ 高さ均等化システム
５２ 保持リング
５４ 頂部
５６ 取り外し面
５８ 変位ユニット
６０ 床下搬送ユニット
６１ 昇降ユニット
６２ プロセスカバー
６４ 線形ユニット
６６ 箔／フィルム搬送器
６８ 製造ワーク搬送器のスタックマガジン
７０ 検査カメラ
７２ 光学基準マーク
７４ 形状嵌合縁部
７６ 固定要素
７８ マガジン
８０ マルチグリッパ
８２ グリッパアーム
８３ 外側グリッパアーム
８４ 箔／フィルム剥離ユニット
８５ 線形ユニット
８６ 剥離ユニット
８８ 剥離要素
９０ 保持要素
９２ 接触要素
９４ 把持要素
９６ ローラ
９６ａ 凹部
９６ｂ 隆起領域
９８ 箔／フィルム持上げ器
９９ 真空ノズルユニット
９９ａ 通路
１００ 方法
１１０ 把持要素
１１２ アライメントユニット
１１４ センタリング装置
１１６ センタリングプレート
１１８ 昇降ユニット
１２０ ペグ
１２２ 製造ワーク搬送器の搬送フレーム
１２４ 把持要素
１２６ 出っ張り
１２８ 接触要素
１３０ 圧力要素
１３２ 支持体
１３４ レベリング要素
１３６ 空気圧シリンダ
１３８ 製造ワーク搬送器のベースプレート
Ｅ１ 上位レベル
Ｅ２ 下位レベル
Ｌ 長手方向軸
Ｑ 横軸
Ｐｏｓ．１ 位置１
Ｐｏｓ．２ 位置２
Ｐｏｓ．３ 位置３
Ｐｏｓ．４ 位置４
Ｐｏｓ．５ 位置５
Ｐｏｓ．６ 位置６

Claims (60)

  1. 電子アセンブリ（１２）を接続するため、および／またはワーク（１４）を製造するためのシステム（１０）、特に焼結またははんだ付けシステム（１０ａ）であって、前記電子アセンブリ（１２）を接続するため、および／または前記ワーク（１４）を製造するための複数のモジュール（１６）を備え、少なくとも１つのモジュール（１６）がローディングステーション（１８）として設計され、１つのモジュール（１６）がアンローディングステーション（２０）として設計され、または１つのモジュールがローディングステーション（１８）およびアンローディングステーション（２０）として設計され、少なくとも１つのさらなるモジュール（１６）が製造ステーション（２１）として設計され、かつ、前記ローディングステーション（１８）から前記製造ステーション（２１）を経由して前記アンローディングステーション（２０）まで、搬送ユニット（２４）によって自動化された方法で移動可能で、前記電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）を収容するための製造ワーク搬送器（２２）が設けられており、前記システム（１０）は、特にフロー生産のために設計されており、少なくとも２つの電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）を前記製造ワーク搬送器（２２）の上に同時に配置可能なマルチグリッパ（８０）が設けられていることを特徴とする、電子アセンブリ（１２）を接続するため、および／またはワーク（１４）を製造するためのシステム（１０）。
  2. 前記マルチグリッパ（８０）は、少なくとも２つ、特に４つのグリッパアーム（８２）を有し、各グリッパアーム（８２）は、１つの電子アセンブリ（１２）および／または１つのワーク（１４）をピックアップするように設計されていることを特徴とする請求項１に記載のシステム（１０）。
  3. 少なくとも１つのグリッパアーム（８２）は、さらなる前記少なくとも１つのグリッパアーム（８２）に対して移動可能および／または回動可能であるように空気圧で制御されることを特徴とする請求項２に記載のシステム（１０）。
  4. 前記マルチグリッパ（８０）は、線に沿って相互に平行に配置された４つのグリッパアーム（８２）を有し、前記グリッパアーム（８２）の外側の２つが、前記グリッパアーム（８２）の内側の２つに対して相対的に移動可能であるように、前記線に沿って移動可能であることを特徴とする、請求項１～３のいずれか１項に記載のシステム（１０）。
  5. 前記製造ステーション（２１）は、はんだ付けモジュールおよび／または焼結モジュールとして少なくとも１つのさらなるモジュール（１６）、好ましくは１つ以上のさらなるモジュール（１６）、特に予熱モジュール、プラズマモジュール、はんだ付けモジュール、焼結モジュールおよび／または冷却モジュールを備えることを特徴とする、請求項１～４のいずれか１項に記載のシステム（１０）。
  6. １つのモジュール（１６）は、ローディングステーション（１８）として設計され、１つのモジュール（１６）は、アンローディングステーション（２０）として設計され、前記ローディングステーション（１８）が前記製造ステーション（２１）の上流に配置され、前記アンローディングステーション（２０）が前記製造ステーション（２１）の下流に配置され、前記搬送ユニット（２４）は、前記電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）を、前記アンローディングステーション（２０）から前記ローディングステーション（１８）に、特に前記製造ステーション（２１）をバイパスして戻すことを特徴とする、請求項１～５のいずれか１項にシステム（１０）。
  7. 前記ローディングステーション（１８）において搬送ワーク搬送器（４４）から前記製造ワーク搬送器（２２）の上に自動化された方法で、少なくとも２つの電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）を同時に配置可能な前記マルチグリッパ（８０）を案内するための少なくとも１つの自動化ロボット（４６）が、前記ローディングステーション（１８）および／またはアンローディングステーション（２０）において設けられていることを特徴とする、請求項１～６のいずれか１項に記載のシステム（１０）。
  8. 特に全ての電子アセンブリ（１２）のうちの少なくとも１つ、および／または特に全てのワーク（１４）のうちの少なくとも１つのアライメントが、前記マルチグリッパ（８０）に対して横方向または長手方向の軸において、前記グリッパアーム（８２）によって達成され、該軸は、特に水平にアライメントされていることを特徴とする、請求項２～７のいずれか１項に記載のシステム（１０）。
  9. 少なくとも１つのグリッパアーム（８２）、特に全てのグリッパアーム（８２）は、電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）をピックアップするための少なくとも２つの把持要素（１１０）を有し、該把持要素（１１０）により、前記電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）の１つの軸におけるアライメントが行われ、該軸は、特に両方の把持要素（１１０）を通過することを特徴とする、請求項２～８のいずれか１項に記載のシステム（１０）。
  10. 前記マルチグリッパ（８０）に対して平行および／または横方向の軸において、前記マルチグリッパ（８０）によりピックアップされた前記電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）のアライメントを行うアライメントユニット（１１２）を含むことを特徴とする、請求項１～９のいずれか１項に記載のシステム（１０）。
  11. 前記アライメントユニット（１１２）は、前記把持要素（１１０）によるアライメントに対して横方向の軸において、前記電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）のアライメントを行うことを特徴とする、請求項２～９のいずれか１項および請求項１０に記載のシステム（１０）。
  12. 搬送フレーム（１２２）に収容された、前記製造ワーク搬送器（２２）のベースプレート（１３８）または前記製造ワーク搬送器（２２）のアライメントおよび／またはセンタリングのためのセンタリング装置（１１４）が前記ローディングステーション（１８）に設けられており、前記センタリング装置は、前記電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）を収容する前に、前記製造ワーク搬送器（２２）の水平および／または垂直アライメントおよび／またはセンタリングを行うことを特徴とする、請求項１～１１のいずれか１項に記載のシステム（１０）。
  13. 前記センタリング装置（１１４）は、センタリングプレート（１１６）および／または昇降ユニット（１１８）を含み、制御が特に空気圧式であることを特徴とする請求項１２に記載のシステム（１０）。
  14. 前記センタリングプレート（１１６）に対する前記製造ワーク搬送器（２２）のアライメントおよび／またはセンタリングを水平面内で行うことができるように、前記製造ワーク搬送器（２２）の上のストップ（１２２）と接触可能な少なくとも１つの突起またはペグ（１２０）が前記センタリングプレート（１１６）の上に設けられていることを特徴とする、請求項１２または１３に記載のシステム（１０）。
  15. 前記搬送ワーク搬送器（４４）を収容するためのさらなる搬送ユニット（４２）が設けられ、前記モジュール（１６）とは独立して、前記ローディングステーション（１８）から前記アンローディングステーション（２０）に、特に前記製造ステーション（２１）をバイパスして移動可能であることを特徴とする、請求項７～１４の少なくとも１つに記載のシステム（１０）。
  16. 前記ローディングステーション（１８）は、前記電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）にプロセスカバー（６２）を取り付けるように構成され、かつ／または前記アンローディングステーション（２０）は、前記電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）から前記プロセスカバー（６２）を取り外すように、特に自動化ロボット（４６）によって取り付け、かつ／または取り外すように構成されていることを特徴とする、請求項１～１５のいずれか１項に記載のシステム（１０）。
  17. 前記ローディングステーション（１８）および／または前記アンローディングステーション（２０）は、少なくとも２つの作業位置（２６）、特に３つまたは４つの作業位置（２６）を含み、前記製造ワーク搬送器（２２）は、１つの作業位置（２６）から隣接する作業位置（２６）まで、自動化された方法で、特に変位ユニット（５８）によって移動可能であることを特徴とする、請求項１～１６のいずれか１項に記載のシステム（１０）。
  18. 前記ローディングステーション（１８）は、変位ユニット（５８）によって相互に接続された３つの作業位置（２６）を含み、第１の作業位置（２６）では、前記電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）が自動化ロボット（４６）によって自動化された方法で配置可能であるとともに、マスク（２８）が自動化ロボット（４６）によって第１のプロセスカバー（６２）として前記電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）の上に自動化された方法で配置可能であり、第２の作業位置（２６）では、箔／フィルム（３０）が自動化ロボット（４６）によって第２のプロセスカバー（６２）として前記マスク（２８）の上に自動化された方法で配置可能であり、第３の作業位置（２６）では、前記箔／フィルム（３０）による前記製造ワーク搬送器（２２）の閉鎖が、特に保持リング（５２）を用いて、自動化ロボット（４６）によって自動的に行われることを特徴とする請求項１６または１７に記載のシステム（１０）。
  19. 前記ローディングステーション（１８）と前記アンローディングステーション（２０）とが相互に鏡像であることを特徴とする請求項５～１８のいずれか１項に記載のシステム（１０）。
  20. 前記製造ワーク搬送器（２２）を搬送するための前記搬送ユニット（２４）は、昇降ユニット（２５）と床下搬送ユニット（６０）とを含み、前記床下搬送ユニット（６０）の移動経路は、前記システム（１０）の内部に、特に前記製造ステーション（２１）をバイパスし、かつ、特に前記製造ワーク搬送器（２２）のローディングおよび／またはアンローディングが行われるレベルの下に配置されていることを特徴とする、請求項１～１９のいずれか１項に記載のシステム（１０）。
  21. 少なくとも１つの検査カメラ（７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄ）を含む光学検査ユニットが、前記ローディングステーション（１８）および／または前記アンローディングステーション（２０）に設けられ、前記製造ワーク搬送器（２２）における前記アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）の位置について正しいアライメントを検出して記録することができることを特徴とする、請求項１～２０のいずれか１項に記載のシステム（１０）。
  22. 箔／フィルム移送ユニット（３２）は、少なくとも１つ、特に２つ以上の箔／フィルム移送手段（３４）を含み、該箔／フィルム移送手段（３４）は、前記ローディングステーション（１８）においてプロセスカバー（６２）として箔／フィルム（３０）を自動的に取り付けるように設計されていることを特徴とする、請求項１～２１のいずれか１項に記載のシステム（１０）。
  23. 前記箔／フィルム移送ユニット（３２）は、少なくとも１つ、特に２つの箔／フィルムスタック（３６）を含み、該箔／フィルムスタックは、箔／フィルムマガジン（３８）として設計され、頂部の箔／フィルム（３０）のための取り外し面（５６）を頂部（５４）に有することを特徴とする請求項２２に記載のシステム（１０）。
  24. 前記箔／フィルムスタック（３６）は、前記箔／フィルムスタック（３６）を頂部（５４）に向かって徐々に上昇させることを可能にする箔／フィルム昇降ユニット（４０）を有することを特徴とする請求項２３に記載のシステム（１０）。
  25. 少なくとも１つ、特に２つの箔／フィルム移送手段（３４）と、少なくとも１つ、特に２つの箔／フィルムスタック（３６）とが含まれることを特徴とする、請求項２２～２４のいずれか１項に記載のシステム（１０）のための箔／フィルム移送ユニット（３２）。
  26. 前記電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）の上に移送する前に、頂部および／または底部の箔／フィルム（３０）を洗浄するための洗浄ユニット（４８）が含まれることを特徴とする請求項２５に記載の箔／フィルム移送ユニット（３２）。
  27. 前記箔／フィルムスタック（３６）は、箔／フィルム昇降ユニット（４０）を備えた箔／フィルムマガジン（３８）として設計され、前記箔／フィルムスタック（３６）の頂部の箔／フィルム（３０）のそれぞれは、一定の上方移動によって頂部（５４）に向かって移動可能であり、前記箔／フィルム移送手段（３４）は、高さ均等化システム（５０）を有していることを特徴とする、請求項２５または２６に記載の箔／フィルム移送ユニット（３２）。
  28. 前記洗浄ユニット（４８）は、線形洗浄ユニットを含むか、または非接触で作動する表面洗浄システムとして設計されていることを特徴とする請求項２６または２７に記載の箔／フィルム移送ユニット（３２）。
  29. 第１の箔／フィルム移送手段（３４ａ）は、前記箔／フィルムスタック（３６）から頂部の箔／フィルム（３０）を取り出して前記洗浄ユニット（４８）に挿入するように設計されており、第２の箔／フィルム移送手段（３４ｂ）は、前記洗浄ユニット（４８）から前記箔／フィルム（３０）を取り出して前記電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）を有する前記製造ワーク搬送器（２２）に載せるように設計されていることを特徴とする請求項２６～２８のいずれか１項に記載の箔／フィルム移送ユニット（３２）。
  30. 前記請求項１～２４のいずれか１項に記載のシステム（１０）のための、好ましくは請求項２５～２９のいずれか１項に記載の箔／フィルム移送ユニット（３２）のための箔／フィルム剥離ユニット（８４）であって、前記電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）から少なくとも１つの箔／フィルム（３０）を剥離するための剥離ユニット（８６）を含むことを特徴とする箔／フィルム剥離ユニット（８４）。
  31. 前記箔／フィルム剥離ユニット（８４）は、前記製造ワーク搬送器（２２）に対して移動可能であって、剥離要素（８８）が前記箔／フィルム（３０）の下、特に個々の箔／フィルム要素の下に配置可能であり、かつ、保持要素（９０）が前記箔／フィルム（３０）の上、特に前記個々の箔／フィルム要素の上に配置可能であって、前記箔／フィルム（３０）が前記電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）から剥離されるようになっていることを特徴とする請求項３０に記載の箔／フィルム剥離ユニット（８４）。
  32. 前記製造ワーク搬送器（２２）は、前記箔／フィルム剥離ユニット（８４）に対して移動可能であって、前記製造ワーク搬送器（２２）が移動可能であり、かつ、前記箔／フィルム剥離ユニット（８４）が静止していることを特徴とする請求項３０に記載の箔／フィルム剥離ユニット（８４）。
  33. 前記少なくとも１つの箔／フィルム（３０）に接触可能な接触要素（９２）を含み、前記箔／フィルム（３０）は、前記接触要素（９２）の前方領域において把持要素（９４）によってピックアップすることが可能であり、かつ、前記把持要素（９４）の方向における前記製造ワーク搬送器（２２）の移動によって、前記電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）から取り外すことが可能であることを特徴とする、請求項３０または３２に記載の箔／フィルム剥離ユニット（８４）。
  34. 前記接触要素（９２）はローラ（９６）として設計されており、前記ローラ（９６）の前記箔／フィルム（３０）の表面上での転動運動が、前記製造ワーク搬送器（２２）の移動によって、かつ、前記箔／フィルム（３０）との接触時に実行可能であることを特徴とする、請求項３３に記載の箔／フィルム剥離ユニット（８４）。
  35. 前記箔／フィルム剥離ユニットは、前記ローディングステーション（２０）に配置されていることを特徴とする、請求項３０～３４のいずれか１項に記載の箔／フィルム剥離ユニット（８４）。
  36. 特に請求項２５～２９のいずれか１項に記載の箔／フィルム移送ユニット（３２）および／または請求項３０～３５のいずれか１項に記載の箔／フィルム剥離ユニット（８４）を備えた、請求項１～２４のいずれか１項に記載のシステムで使用するための、少なくとも２つのワーク（１４）を有する製造ワーク搬送器（２２）であって、前記少なくとも２つのワーク（１４）は、前記製造ワーク搬送器（２２）の上で一方が他方の上に配置されていることを特徴とする、製造ワーク搬送器（２２）。
  37. 請求項３６に記載の製造ワーク搬送器（２２）において、前記少なくとも２つのワーク（１４）の間に箔／フィルム（３０）が配置されていることを特徴とする製造ワーク搬送器（２２）。
  38. 請求項３６または３７に記載の製造ワーク搬送器（２２）において、少なくとも３つのワーク（１４）は、前記製造ワーク搬送器（２２）の上で一方が他方の上に配置されていることを特徴とする製造ワーク搬送器（２２）。
  39. 請求項３６または３７に記載の製造ワーク搬送器（２２）において、箔／フィルム（３０）は、底部の前記ワーク（１４）の下に配置されていることを特徴とする製造ワーク搬送器（２２）。
  40. 電子アセンブリ（１２）を接続するため、および／またはワーク（１４）を製造するための方法（１００）、特にフロー生産のため、好ましくは上記請求項１～２４のいずれか１項に記載のシステムを使用するための方法（１００）であって、
    前記ローディングステーション（１８）において、少なくとも２つの電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）を製造ワーク搬送器（２２）の上に同時に配置するマルチグリッパ（８０）による電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）のプレファブリケーションを行うステップと、
    前記ローディングステーション（１８）から少なくとも１つの製造ステーション（２１）に前記製造ワーク搬送器（２２）を自動で移動させるステップと、
    前記製造ワーク搬送器（２２）を、特に前記製造ステーション（２１）をバイパスして、前記ローディングステーション（１８）に自動で戻すステップと、を含むことを特徴とする方法（１００）。
  41. 前記ローディングステーション（１８）におけるプレファブリケーションの間、前記電子アセンブリ（１２）および／または前記ワーク（１４）を前記マルチグリッパ（８０）によって搬送ワーク搬送器（４４）から前記製造ワーク搬送器（２２）の上に自動化された方法で移送することを特徴とする、請求項４０に記載の方法（１００）。
  42. 前記電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）が前記製造ステーション（２１）を通過した後、特に、前記ローディングステーション（１８）から前記アンローディングステーション（２０）に前記製造ワーク搬送器（２２）を自動で戻す前に、アンローディングステーション（２０）において前記電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）を、マルチグリッパ（８０）によって前記製造ワーク搬送器（２２）から前記搬送ワーク搬送器（４４）の上にアンローディングすることを特徴とする、請求項４１に記載の方法（１００）。
  43. プレファブリケーション中に、少なくとも１つのプロセスカバー（６２）の少なくとも１つの自動化された取り付け、特に、１つのマスク（２８）および／または少なくとも１つの箔／フィルム（３０）の少なくとも配置を、前記電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）に行うことを特徴とする、請求項４０～４２のいずれか１項に記載の方法（１００）。
  44. 前記ローディングステーション（１８）において、
    第１の作業位置（２６）で、第１のプロセスカバー（６２）としてマスク（２８）を、前記製造ワーク搬送器（２２）の上に配置した前記電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）の上に自動化した方法で配置するステップと、
    第２の作業位置（２６）で、第２のプロセスカバー（６２）として少なくとも１つの箔／フィルム（３０）、特に耐熱性均等化箔／フィルムを、前記マスク（２８）の上に自動化した方法で配置するステップと、
    特に第３の作業位置（２６）で、前記箔／フィルム（３０）を、自動化した方法で、好ましくは保持リング（５２）を用いて、前記マスク（２８）および前記製造ワーク搬送器（２２）とともに所定の位置に固定するステップと、を行うことを特徴とする、請求項４３に記載の方法（１００）。
  45. 前記アンローディングステーション（２０）において前記作業位置（２６）について逆の順序で配置し、逆の順序で実行することを特徴とする、請求項４０、４３または４４のいずれか１項に記載の方法（１００）。
  46. 前記製造ワーク搬送器（２２）の戻しについて、ローディングおよび／またはアンローディングの間に前記製造ワーク搬送器（２２）を配置している平面の下方、上方または隣接に配置される平面内で行うことを特徴とする、請求項４０～４５のいずれか１項に記載の方法（１００）。
  47. 第１の搬送ユニット（２４）によって前記製造ワーク搬送器（２２）を戻し、かつ、特に自動化した方法で移動させるさらなる搬送ユニット（４２）の上に前記搬送ワーク搬送器（４４）を配置し、前記第１の搬送ユニット（２４）と前記さらなる搬送ユニット（４２）とは、特に前記製造ステーション（２１）をバイパスして、相互に独立して移動可能とすることを特徴とする、請求項４０～４６のいずれか１項に記載の方法（１００）。
  48. 前記搬送ワーク搬送器（４４）は、１つの電子アセンブリ（１２）および／または１つのワーク（１４）を収容し、前記製造ワーク搬送器（２２）は、２つ以上、好ましくは５つ以上、特に７つ以上、特に２４つ以上の電子アセンブリおよび／またはワークを収容し、ローディングおよび／またはアンローディングの間、前記搬送ユニット（４２）が前記電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）を前記製造ワーク搬送器（２２）に十分にローディングするまで、前記ローディングステーション（１８）のある位置で前記製造ワーク搬送器（２２）を一時停止させるようになっていることを特徴とする、請求項４０～４７のいずれか１項に記載の方法（１００）。
  49. 前記ローディングステーション（１８）において、前記電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）を有する前記製造ワーク搬送器（２２）の上にプロセスカバー（６２）として箔／フィルム（３０）を配置し、前記箔／フィルム（３０）は、新しい箔／フィルム（３０）か、または前記方法（１００）の前のパスにおいて既に使用した箔／フィルム（３０）であることを特徴とする、請求項４０～４８のいずれか１項に記載の方法（１００）。
  50. 箔／フィルム移送手段（３４）を用いて箔／フィルムスタック（３６）から前記箔／フィルム（３０）を取り外して、前記電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）の上に配置し、前記箔／フィルムスタック（３６）の頂部（５４）の方向に前記箔／フィルムスタック（３６）を徐々に上方移動させ、頂部の箔／フィルム（３０）のそれぞれに前記箔／フィルム移送手段（３４）が到達可能なようにするとともに、前記箔／フィルムの取り外しの確認を好ましくは行わせることを特徴とする、請求項４９に記載の方法（１００）。
  51. 所定の数の箔／フィルム（３０）を取り外した後に、５ｍｍ～１５ｍｍ、特に１０ｍｍの移動距離だけ前記箔／フィルムスタック（３６）を上方移動させ、特に５～１０枚の箔／フィルム（３０）を取り外した後に、前記箔／フィルムスタック（３６）を上方移動させることを特徴とする、請求項４９または５０に記載の方法（１００）。
  52. 前記電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）を有する前記製造ワーク搬送器（２２）の上に前記箔／フィルム（３０）を配置する前に、洗浄ユニット（４８）に前記箔／フィルム（３０）の自動洗浄を行わせることを特徴とする、請求項４９～５１のいずれか１項に記載の方法（１００）。
  53. 前記洗浄ユニット（４８）において前記箔／フィルム（３０）を静電放電させ、次いで、圧縮空気および／または負圧を用いて吹き飛ばすことによって汚染物質を除去することを特徴とする、請求項５２に記載の方法（１００）。
  54. 少なくとも２つの箔／フィルムスタック（３６）を相互に隣接して配置し、第１の箔／フィルムスタック（３６）が箔／フィルム（３０）を含まなくなるとすぐに前記第１の箔／フィルムスタック（３６）の位置に第２の箔／フィルムスタック（３６）を移動させることによって連続的な方法であることを保証することを特徴とする、請求項４９～５３のいずれか１項に記載の方法（１００）。
  55. 請求項２３～２８のいずれか１項に記載の箔／フィルム剥離ユニット（８４）によって、前記アンローディングステーション（２０）において前記箔／フィルム（３０）を取り外させることを特徴とする、請求項４９～５４のいずれか１項に記載の方法（１００）。
  56. 少なくとも前記製造ワーク搬送器（２２）において、前記電子アセンブリ（１２）および／またはワーク（１４）の位置について正しいアライメントを光学的に検出させ、記録させることを特徴とする、請求項５０～５５のいずれか１項に記載の方法。
  57. 製造ワーク搬送器（２２）をローディングするための方法であって、
    前記製造ワーク搬送器（２２）に少なくとも１つの第１のワーク（１４）をローディングするステップと、
    箔／フィルム（３０）および／または圧力パッドを前記第１のワーク（１４）の上に配置するステップと、
    前記箔／フィルム（３０）の上で、すでに配置した前記第１のワーク（１４）の上に、少なくとも１つの第２のワーク（１４）をさらにローディングするステップと、
    さらなる箔／フィルム（３０）および／またはさらなる圧力パッドを前記第２のワーク（１４）の上に配置するステップと、を含む特に請求項３７～３９のいずれか１項に記載の方法。
  58. 製造ワーク搬送器（２２）をアンローディングするための方法であって、
    頂部の箔／フィルム（３０）および／または頂部の圧力パッドを取り外すステップと、
    頂部のワーク（１４）または最上位階層のワーク（１４）を前記製造ワーク搬送器（２２）から取り外すステップと、
    さらなる箔／フィルム（３０）および／またはさらなる圧力パッドを取り外すステップと、
    少なくとも１つのさらなるワーク（１４）またはさらなる階層のワーク（１４）を前記製造ワーク搬送器（２２）から取り外すステップと、を少なくとも含む特に請求項３７～３９のいずれか１項に記載の方法。
  59. 前記マルチグリッパ（８０）によって、および／またはアライメントユニット（１１２）によって少なくとも前記第１のワーク（１４）のアライメントを行い、水平面内の前記マルチグリッパ（８０）の軸に対する横方向および／または長手方向において前記少なくとも１つのワーク、好ましくは２つまたは全てのワーク（１４）をアライメントさせることを特徴とする、特に請求項１～２４のいずれか１項に記載のシステムを用いてワーク搬送器（２２）をローディングするための方法。
  60. 前記製造ワーク搬送器（２２）、または搬送フレーム（１２２）に収容した前記製造ワーク搬送器（２２）のベースプレート（１３８）のアライメントをセンタリング装置（１１４）によって行わせることを特徴とする、特に請求項１～２４のいずれか１項に記載のシステムを用いてワーク搬送器（２２）をローディングするための方法。
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