JP2023552606A5 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JP2023552606A5 JP2023552606A5 JP2023535465A JP2023535465A JP2023552606A5 JP 2023552606 A5 JP2023552606 A5 JP 2023552606A5 JP 2023535465 A JP2023535465 A JP 2023535465A JP 2023535465 A JP2023535465 A JP 2023535465A JP 2023552606 A5 JP2023552606 A5 JP 2023552606A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- stage
- branch pipe
- gas
- turbomolecular
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102020132896.6A DE102020132896A1 (de) | 2020-12-10 | 2020-12-10 | Vorrichtung zur massenspektrometrischen Leckdetektion mit dreistufiger Turbomolekularpumpe und Boosterpumpe |
| DE102020132896.6 | 2020-12-10 | ||
| PCT/EP2021/075897 WO2022122206A1 (de) | 2020-12-10 | 2021-09-21 | Vorrichtung zur massenspektrometrischen leckdetektion mit dreistufiger turbomolekularpumpe und boosterpumpe |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2023552606A JP2023552606A (ja) | 2023-12-18 |
| JP2023552606A5 true JP2023552606A5 (https=) | 2024-05-14 |
| JP7781884B2 JP7781884B2 (ja) | 2025-12-08 |
Family
ID=77998967
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2023535465A Active JP7781884B2 (ja) | 2020-12-10 | 2021-09-21 | 3段式ターボ分子ポンプおよびブースターポンプを備えた質量分析計用漏洩検知装置 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20240044737A1 (https=) |
| EP (1) | EP4259939B1 (https=) |
| JP (1) | JP7781884B2 (https=) |
| KR (1) | KR20230124907A (https=) |
| CN (1) | CN116601391B (https=) |
| DE (1) | DE102020132896A1 (https=) |
| TW (1) | TWI894400B (https=) |
| WO (1) | WO2022122206A1 (https=) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102021119256A1 (de) * | 2021-07-26 | 2023-01-26 | Inficon Gmbh | Leckdetektoren |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0344345B1 (de) | 1988-06-01 | 1991-09-18 | Leybold Aktiengesellschaft | Pumpsystem für ein Lecksuchgerät |
| DE4228313A1 (de) * | 1992-08-26 | 1994-03-03 | Leybold Ag | Gegenstrom-Lecksucher mit Hochvakuumpumpe |
| DE4343912A1 (de) | 1993-12-22 | 1995-06-29 | Leybold Ag | Verfahren zum Betrieb eines mit einer Schnüffelleitung ausgerüsteten Testgaslecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Testgaslecksucher |
| DE4442174A1 (de) * | 1994-11-26 | 1996-05-30 | Leybold Ag | Lecksuchgerät mit Vakuumpumpen und Betriebsverfahren dazu |
| DE10302987A1 (de) * | 2003-01-25 | 2004-08-05 | Inficon Gmbh | Lecksuchgerät mit einem Einlass |
| DE10308420A1 (de) | 2003-02-27 | 2004-09-09 | Leybold Vakuum Gmbh | Testgaslecksuchgerät |
| DE10319633A1 (de) | 2003-05-02 | 2004-11-18 | Inficon Gmbh | Lecksuchgerät |
| FR2878913B1 (fr) * | 2004-12-03 | 2007-01-19 | Cit Alcatel | Controle des pressions partielles de gaz pour optimisation de procede |
| GB201005459D0 (en) * | 2010-03-31 | 2010-05-19 | Edwards Ltd | Vacuum pumping system |
| DE102010048982B4 (de) * | 2010-09-03 | 2022-06-09 | Inficon Gmbh | Lecksuchgerät |
| EP2671060B1 (de) * | 2011-02-03 | 2015-08-19 | Oerlikon Leybold Vacuum GmbH | Lecksucheinrichtung |
| WO2014191748A1 (en) * | 2013-05-31 | 2014-12-04 | Micromass Uk Limited | Compact mass spectrometer |
| DE102014223841A1 (de) | 2014-11-21 | 2016-05-25 | Inficon Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Gegenstrom-Leckdetektion |
| FR3039273B1 (fr) * | 2015-07-20 | 2017-08-11 | Pfeiffer Vacuum Sas | Procede de controle de l'etancheite de produits scelles et installation de detection de fuites |
| DE102015222213A1 (de) * | 2015-11-11 | 2017-05-11 | Inficon Gmbh | Druckmessung am Prüfgaseinlass |
| DE102016210701A1 (de) * | 2016-06-15 | 2017-12-21 | Inficon Gmbh | Massenspektrometrischer Lecksucher mit Turbomolekularpumpe und Boosterpumpe auf gemeinsamer Welle |
-
2020
- 2020-12-10 DE DE102020132896.6A patent/DE102020132896A1/de active Pending
-
2021
- 2021-09-21 JP JP2023535465A patent/JP7781884B2/ja active Active
- 2021-09-21 EP EP21782676.7A patent/EP4259939B1/de active Active
- 2021-09-21 WO PCT/EP2021/075897 patent/WO2022122206A1/de not_active Ceased
- 2021-09-21 CN CN202180082542.6A patent/CN116601391B/zh active Active
- 2021-09-21 US US18/266,251 patent/US20240044737A1/en active Pending
- 2021-09-21 KR KR1020237020242A patent/KR20230124907A/ko active Pending
- 2021-11-26 TW TW110144222A patent/TWI894400B/zh active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3822675B2 (ja) | 真空室を迅速に排気するための装置 | |
| JP2013532833A (ja) | 漏れ検出装置 | |
| CN1088516C (zh) | 带真空泵的检漏器及其工作方法 | |
| JP7682994B2 (ja) | 真空リーク検出システム、ガス制御ユニット及びガスリーク検出方法 | |
| CN111213043B (zh) | 用于检查待测物体的密封性的泄漏检测器 | |
| JPH07501622A (ja) | 真空装置のための漏えい検出装置並びに真空装置の漏えい検出を実施する方法 | |
| JPH0815078A (ja) | 複合分子ポンプを使用した漏洩探知装置 | |
| JP4164030B2 (ja) | 試験ガス漏れ検出装置 | |
| JP3544989B2 (ja) | 前真空ポンプを有する漏れ検出装置 | |
| JP2023552606A5 (https=) | ||
| JP2023554280A (ja) | 試験体のガスリークを検出するガスリーク検知装置およびガスリーク検知方法 | |
| JP7781884B2 (ja) | 3段式ターボ分子ポンプおよびブースターポンプを備えた質量分析計用漏洩検知装置 | |
| JP2024545492A (ja) | 多段真空ポンプ及び一体型特定ガス用ガスセンサを備えた真空リークディテクタならびに真空リークディテクタの製造方法 | |
| JP2024523207A5 (https=) | ||
| CN101006275A (zh) | 负载锁定外壳的排空 | |
| JPH11153508A (ja) | 真空装置用ヘリウムリークディテクター装置 | |
| TW201625911A (zh) | 逆流滲漏偵測裝置及方法 | |
| JP2025536150A5 (https=) | ||
| CN117501083A (zh) | 泄漏检测器 | |
| TWI920350B (zh) | 洩漏檢測裝置及洩漏檢測方法 | |
| JP2004340726A (ja) | 漏洩検知装置 | |
| CN119256215A (zh) | 使用质谱逆流泄漏检测装置测量轻质气体的环境浓度的方法 | |
| JP2025519694A5 (https=) | ||
| JP2001050853A (ja) | ヘリウムリークディテクターのヘリウムクリーンアップ方法及びその装置 | |
| JPS6332177A (ja) | 真空排気装置 |