JP2023552606A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE102021119256A1 (de) * 2021-07-26 2023-01-26 Inficon Gmbh Leckdetektoren

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0344345B1 (de) 1988-06-01 1991-09-18 Leybold Aktiengesellschaft Pumpsystem für ein Lecksuchgerät
DE4228313A1 (de) * 1992-08-26 1994-03-03 Leybold Ag Gegenstrom-Lecksucher mit Hochvakuumpumpe
DE4343912A1 (de) 1993-12-22 1995-06-29 Leybold Ag Verfahren zum Betrieb eines mit einer Schnüffelleitung ausgerüsteten Testgaslecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Testgaslecksucher
DE4442174A1 (de) * 1994-11-26 1996-05-30 Leybold Ag Lecksuchgerät mit Vakuumpumpen und Betriebsverfahren dazu
DE10302987A1 (de) * 2003-01-25 2004-08-05 Inficon Gmbh Lecksuchgerät mit einem Einlass
DE10308420A1 (de) 2003-02-27 2004-09-09 Leybold Vakuum Gmbh Testgaslecksuchgerät
DE10319633A1 (de) 2003-05-02 2004-11-18 Inficon Gmbh Lecksuchgerät
FR2878913B1 (fr) * 2004-12-03 2007-01-19 Cit Alcatel Controle des pressions partielles de gaz pour optimisation de procede
GB201005459D0 (en) * 2010-03-31 2010-05-19 Edwards Ltd Vacuum pumping system
DE102010048982B4 (de) * 2010-09-03 2022-06-09 Inficon Gmbh Lecksuchgerät
EP2671060B1 (de) * 2011-02-03 2015-08-19 Oerlikon Leybold Vacuum GmbH Lecksucheinrichtung
WO2014191748A1 (en) * 2013-05-31 2014-12-04 Micromass Uk Limited Compact mass spectrometer
DE102014223841A1 (de) 2014-11-21 2016-05-25 Inficon Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Gegenstrom-Leckdetektion
FR3039273B1 (fr) * 2015-07-20 2017-08-11 Pfeiffer Vacuum Sas Procede de controle de l'etancheite de produits scelles et installation de detection de fuites
DE102015222213A1 (de) * 2015-11-11 2017-05-11 Inficon Gmbh Druckmessung am Prüfgaseinlass
DE102016210701A1 (de) * 2016-06-15 2017-12-21 Inficon Gmbh Massenspektrometrischer Lecksucher mit Turbomolekularpumpe und Boosterpumpe auf gemeinsamer Welle

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