JP2001050853A - ヘリウムリークディテクターのヘリウムクリーンアップ方法及びその装置 - Google Patents
ヘリウムリークディテクターのヘリウムクリーンアップ方法及びその装置Info
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- JP2001050853A JP2001050853A JP11222819A JP22281999A JP2001050853A JP 2001050853 A JP2001050853 A JP 2001050853A JP 11222819 A JP11222819 A JP 11222819A JP 22281999 A JP22281999 A JP 22281999A JP 2001050853 A JP2001050853 A JP 2001050853A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】フォアライン配管に溜まり込んだヘリウムを補
助排気ポンプによって掃引する時間を大幅に短縮するた
めのクリーンアップ方法と装置を提供する。 【解決手段】主排気ポンプ５の排気口をフォアライン配
管７を介して補助排気ポンプ６に接続し、主排気ポンプ
の吸気口に分析管４を接続し、テストポート８に連なる
排気管路９を主排気ポンプを介して或いは直接にフォア
ライン配管に接続し、排気管路を流れるヘリウムを分析
管で検出するヘリウムリークディテクターに於いて、テ
ストポートが開通する以前に、フォアライン配管へヘリ
ウムを殆ど含まないクリーンアップガスを制御して１回
又は複数回導入することにより該フォアライン配管に残
存するヘリウムをクリーンアップする。フォアライン配
管に該クリーンアップガスを導入する絞り機能を備えた
開閉バルブ１０を設けた。
助排気ポンプによって掃引する時間を大幅に短縮するた
めのクリーンアップ方法と装置を提供する。 【解決手段】主排気ポンプ５の排気口をフォアライン配
管７を介して補助排気ポンプ６に接続し、主排気ポンプ
の吸気口に分析管４を接続し、テストポート８に連なる
排気管路９を主排気ポンプを介して或いは直接にフォア
ライン配管に接続し、排気管路を流れるヘリウムを分析
管で検出するヘリウムリークディテクターに於いて、テ
ストポートが開通する以前に、フォアライン配管へヘリ
ウムを殆ど含まないクリーンアップガスを制御して１回
又は複数回導入することにより該フォアライン配管に残
存するヘリウムをクリーンアップする。フォアライン配
管に該クリーンアップガスを導入する絞り機能を備えた
開閉バルブ１０を設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、自動車部品や電気
部品などで気密性が要求される物品を、ヘリウムガスを
使用して気密性をテストするヘリウムリークディテクタ
ーのヘリウムクリーンアップ方法および装置に関する。
部品などで気密性が要求される物品を、ヘリウムガスを
使用して気密性をテストするヘリウムリークディテクタ
ーのヘリウムクリーンアップ方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ヘリウムリークディテクターによ
るリーク検出方法として、図１に示すように、ターボ分
子ポンプや複合分子ポンプなどの排気速度の大きい主排
気ポンプｄの吸気口を磁場偏向型質量分析管などの分析
管ｃに接続しておき、該主排気ポンプｄの背圧を低くし
て排気作動を可能にするため、これの排気口にフォアラ
イン配管ｆを介して油回転ポンプなどの該主排気ポンプ
よりも排気速度が小さい補助排気ポンプｅを接続し、さ
らにテストポートａに連なる排気管路ｂを直接に或いは
間接に該補助排気ポンプｅへ接続して該排気管路ｂに流
れ込んだヘリウムを該分析管ｃで検出する方法が知られ
ている。
るリーク検出方法として、図１に示すように、ターボ分
子ポンプや複合分子ポンプなどの排気速度の大きい主排
気ポンプｄの吸気口を磁場偏向型質量分析管などの分析
管ｃに接続しておき、該主排気ポンプｄの背圧を低くし
て排気作動を可能にするため、これの排気口にフォアラ
イン配管ｆを介して油回転ポンプなどの該主排気ポンプ
よりも排気速度が小さい補助排気ポンプｅを接続し、さ
らにテストポートａに連なる排気管路ｂを直接に或いは
間接に該補助排気ポンプｅへ接続して該排気管路ｂに流
れ込んだヘリウムを該分析管ｃで検出する方法が知られ
ている。
【０００３】該分析管ｃは１０-3Ｐａ程度の高真空で作
動するものであるから、その内部を到達圧力が低く排気
速度の大きい真空ポンプが主排気ポンプとして使用さ
れ、このようなポンプは背圧が低くないと作動できない
ので、補助排気ポンプｅにその背圧を低める補助排気を
行わせている。図１の場合、該排気管路ｂを、主排気ポ
ンプｄの圧縮比が吸気口よりも大きく排気口よりも小さ
い位置に接続する中間導入方式としたが、図２のように
分析管ｃに接続し、該分析管ｃ及び主排気ポンプｄを介
して補助排気ポンプｅにより排気されるダイレクトフロ
ー方式や、図３のようにフォアライン配管ｆに接続し、
該排気管路ｂに流れ込んだヘリウムを主排気ポンプｄの
排気方向とは逆方向に拡散させて分析管ｃで検出する逆
拡散方式（カウンターフロー方式）とすることも行われ
ている。
動するものであるから、その内部を到達圧力が低く排気
速度の大きい真空ポンプが主排気ポンプとして使用さ
れ、このようなポンプは背圧が低くないと作動できない
ので、補助排気ポンプｅにその背圧を低める補助排気を
行わせている。図１の場合、該排気管路ｂを、主排気ポ
ンプｄの圧縮比が吸気口よりも大きく排気口よりも小さ
い位置に接続する中間導入方式としたが、図２のように
分析管ｃに接続し、該分析管ｃ及び主排気ポンプｄを介
して補助排気ポンプｅにより排気されるダイレクトフロ
ー方式や、図３のようにフォアライン配管ｆに接続し、
該排気管路ｂに流れ込んだヘリウムを主排気ポンプｄの
排気方向とは逆方向に拡散させて分析管ｃで検出する逆
拡散方式（カウンターフロー方式）とすることも行われ
ている。
【０００４】リークテストされる物品が例えばコンプレ
ッサー容器である場合、該容器にテストポートａをつな
ぎ、該容器の周囲からヘリウムガスを吹き付け、該容器
に漏れがあるとその内部へヘリウムが漏れ込み、テスト
ポートａから該分析管ｃへ拡散したヘリウムを検出して
リークが検出される。
ッサー容器である場合、該容器にテストポートａをつな
ぎ、該容器の周囲からヘリウムガスを吹き付け、該容器
に漏れがあるとその内部へヘリウムが漏れ込み、テスト
ポートａから該分析管ｃへ拡散したヘリウムを検出して
リークが検出される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記逆拡散式の検出方
法では、テスト物品に対するリークテストの終了毎にテ
ストポートａが閉じられ、排気管路ｂから補助排気ポン
プｅに至る排気系にヘリウムが残存しないように、補助
排気ポンプｅを作動させてクリーンアップしているが、
テスト物品に大きなリークがあってテストポートａから
大量のヘリウムが排気管路ｂに流れ込んだ場合、フォア
ライン配管ｆからヘリウムを掃引するのに長い時間が掛
かる不都合があった。その理由は、リークテスト中は該
フォアライン配管ｆの圧力が該補助排気ポンプｅの到達
圧力付近にまで減圧されているため、フォアライン配管
ｆに多量の気体の流れが生じないからである。そのた
め、フォアライン配管ｆの全圧は変わらないにも係わら
ずヘリウムの分圧が補助排気ポンプｅの到達圧力付近に
まで上昇してしまう、つまり、フォアライン配管ｆ内に
おいてヘリウム濃度が上昇してしまうという結果にな
る。
法では、テスト物品に対するリークテストの終了毎にテ
ストポートａが閉じられ、排気管路ｂから補助排気ポン
プｅに至る排気系にヘリウムが残存しないように、補助
排気ポンプｅを作動させてクリーンアップしているが、
テスト物品に大きなリークがあってテストポートａから
大量のヘリウムが排気管路ｂに流れ込んだ場合、フォア
ライン配管ｆからヘリウムを掃引するのに長い時間が掛
かる不都合があった。その理由は、リークテスト中は該
フォアライン配管ｆの圧力が該補助排気ポンプｅの到達
圧力付近にまで減圧されているため、フォアライン配管
ｆに多量の気体の流れが生じないからである。そのた
め、フォアライン配管ｆの全圧は変わらないにも係わら
ずヘリウムの分圧が補助排気ポンプｅの到達圧力付近に
まで上昇してしまう、つまり、フォアライン配管ｆ内に
おいてヘリウム濃度が上昇してしまうという結果にな
る。
【０００６】ヘリウムは分子量が小さく拡散しやすい性
質を持っており、リークテスト時にフォアライン配管ｆ
に溜まり込んだヘリウムが分析管ｃまで到達すると、排
気管路ｂからのリークによって分析したヘリウムと区別
がつかなくなり、測定に大きな影響を及ぼすことにな
る。また、補助排気ポンプｅとして油回転ポンプを使用
した場合では、ヘリウムを巻き込んだオイルからなかな
かヘリウムが排出されずに長時間オイル内に残留してし
まうので、フォアライン配管ｆ中のヘリウムを排除して
おくことが好ましい。
質を持っており、リークテスト時にフォアライン配管ｆ
に溜まり込んだヘリウムが分析管ｃまで到達すると、排
気管路ｂからのリークによって分析したヘリウムと区別
がつかなくなり、測定に大きな影響を及ぼすことにな
る。また、補助排気ポンプｅとして油回転ポンプを使用
した場合では、ヘリウムを巻き込んだオイルからなかな
かヘリウムが排出されずに長時間オイル内に残留してし
まうので、フォアライン配管ｆ中のヘリウムを排除して
おくことが好ましい。
【０００７】本発明は、フォアライン配管に溜まり込ん
だヘリウムを補助排気ポンプによって掃引する時間を大
幅に短縮するためのクリーンアップ方法を提供するこ
と、及びこれに適した装置を提供することを目的とする
ものである。
だヘリウムを補助排気ポンプによって掃引する時間を大
幅に短縮するためのクリーンアップ方法を提供するこ
と、及びこれに適した装置を提供することを目的とする
ものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明では、ターボ分子
ポンプなどの排気速度の大きい主排気ポンプの排気口を
フォアライン配管を介して該主排気ポンプよりも排気速
度の小さい補助排気ポンプに接続し、該主排気ポンプの
吸気口に磁場偏向型質量分析管などの分析管を接続し、
テストポートに連なる排気管路を該主排気ポンプを介し
て或いは直接に該フォアライン配管に接続し、該排気管
路を流れるヘリウムを該分析管で検出するヘリウムリー
クディテクターに於いて、該テストポートが開通する以
前に、該フォアライン配管へヘリウムを殆ど含まない大
気などのクリーンアップガスを制御して１回又は複数回
導入することにより該フォアライン配管に残存するヘリ
ウムをクリーンアップすることにより、上記の目的を達
成するようにした。該主排気ポンプにドラッグ分子ポン
プを使用し、該クリーンアップガスにヘリウム以外の希
ガス又は不活性ガスを使用し、流量を絞りながら間歇的
に該フォアライン配管に該主排気ポンプの限界背圧以下
の圧力となるように導入することが有利であり、該主排
気ポンプの吸気口と排気口の中間の圧縮比が得られる位
置に中間吸気口を設けてこれに該排気管路を接続しても
よい。該フォアライン配管にヘリウムを殆ど含まない大
気などのクリーンアップガスを導入する絞り機能を備え
た開閉バルブを設けることにより、本発明の方法を適切
に実施できる。
ポンプなどの排気速度の大きい主排気ポンプの排気口を
フォアライン配管を介して該主排気ポンプよりも排気速
度の小さい補助排気ポンプに接続し、該主排気ポンプの
吸気口に磁場偏向型質量分析管などの分析管を接続し、
テストポートに連なる排気管路を該主排気ポンプを介し
て或いは直接に該フォアライン配管に接続し、該排気管
路を流れるヘリウムを該分析管で検出するヘリウムリー
クディテクターに於いて、該テストポートが開通する以
前に、該フォアライン配管へヘリウムを殆ど含まない大
気などのクリーンアップガスを制御して１回又は複数回
導入することにより該フォアライン配管に残存するヘリ
ウムをクリーンアップすることにより、上記の目的を達
成するようにした。該主排気ポンプにドラッグ分子ポン
プを使用し、該クリーンアップガスにヘリウム以外の希
ガス又は不活性ガスを使用し、流量を絞りながら間歇的
に該フォアライン配管に該主排気ポンプの限界背圧以下
の圧力となるように導入することが有利であり、該主排
気ポンプの吸気口と排気口の中間の圧縮比が得られる位
置に中間吸気口を設けてこれに該排気管路を接続しても
よい。該フォアライン配管にヘリウムを殆ど含まない大
気などのクリーンアップガスを導入する絞り機能を備え
た開閉バルブを設けることにより、本発明の方法を適切
に実施できる。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
き説明すると、図４は容器のテスト物品１をヘリウム雰
囲気の室内２に置いてそのリークをヘリウムリークディ
テクター３により検出する場合を示し、該リークディテ
クター３を、磁場偏向型質量分析管からなる分析管４
と、公知のターボ分子ポンプからなる主排気ポンプ５
と、油回転ポンプからなる補助排気ポンプ６とを備え、
該主排気ポンプ５の排気口にはフォアライン配管７を介
してドライポンプからなる補助排気ポンプ６を接続する
と共にその吸気口に該分析管４を接続してその管内を質
量分析に必要な１０-3Ｐａ程度の圧力に排気する構成と
した。該主排気ポンプ５の吸気口は圧縮比が最も小さい
位置に設けられ、その排気口は圧縮比が最も大きい位置
に設けられるが、これらの中間の圧縮比の位置に中間吸
気口を設けてこれにテストポート８に連なる排気管路９
を接続する中間導入方式に構成した。該テストポート８
はテスト物品１に接続される。該主排気ポンプ５には、
排気速度の大きい複合分子ポンプを使用してもよい。該
補助排気ポンプ６は該主排気ポンプ６よりも排気速度が
小さく、大気圧から数１０００Ｐａ程度に排気されるポ
ンプが使用される。
き説明すると、図４は容器のテスト物品１をヘリウム雰
囲気の室内２に置いてそのリークをヘリウムリークディ
テクター３により検出する場合を示し、該リークディテ
クター３を、磁場偏向型質量分析管からなる分析管４
と、公知のターボ分子ポンプからなる主排気ポンプ５
と、油回転ポンプからなる補助排気ポンプ６とを備え、
該主排気ポンプ５の排気口にはフォアライン配管７を介
してドライポンプからなる補助排気ポンプ６を接続する
と共にその吸気口に該分析管４を接続してその管内を質
量分析に必要な１０-3Ｐａ程度の圧力に排気する構成と
した。該主排気ポンプ５の吸気口は圧縮比が最も小さい
位置に設けられ、その排気口は圧縮比が最も大きい位置
に設けられるが、これらの中間の圧縮比の位置に中間吸
気口を設けてこれにテストポート８に連なる排気管路９
を接続する中間導入方式に構成した。該テストポート８
はテスト物品１に接続される。該主排気ポンプ５には、
排気速度の大きい複合分子ポンプを使用してもよい。該
補助排気ポンプ６は該主排気ポンプ６よりも排気速度が
小さく、大気圧から数１０００Ｐａ程度に排気されるポ
ンプが使用される。
【００１０】こうした構成は、従来のものと特に変わり
がなく、テストポート８を閉じて主排気ポンプ５及び補
助排気ポンプ６により分析管４及び排気管路９内を排気
し、テスト可能な圧力状態になったら、該テストポート
８を開いて逆拡散式にリークテストを行うことも従来と
同様であるが、そのテスト後にフォアライン配管７にヘ
リウムが残存する不都合を解消するため、本発明では、
次にテストポート８が開通する以前に該フォアライン配
管７にヘリウムを殆ど含まない大気などのクリーンアッ
プガスを絞りなどで制御して１回又は複数回導入するよ
うにした。
がなく、テストポート８を閉じて主排気ポンプ５及び補
助排気ポンプ６により分析管４及び排気管路９内を排気
し、テスト可能な圧力状態になったら、該テストポート
８を開いて逆拡散式にリークテストを行うことも従来と
同様であるが、そのテスト後にフォアライン配管７にヘ
リウムが残存する不都合を解消するため、本発明では、
次にテストポート８が開通する以前に該フォアライン配
管７にヘリウムを殆ど含まない大気などのクリーンアッ
プガスを絞りなどで制御して１回又は複数回導入するよ
うにした。
【００１１】該フォアライン配管７には開閉バルブ１０
を備えた分岐管路１１を設け、その端部を大気に開放し
或いは窒素ガスボンベなどの不活性ガス源に接続する。
そして該開閉バルブ１０を一定時間開いてクリーンアッ
プガスをフォアライン配管７へ導入し、その圧力を上昇
させると、該フォアライン配管７のヘリウム濃度が下が
る。すなわち、ヘリウム分圧は変わらないのに全圧が上
がるのでヘリウム濃度が下がる。次いで該開閉バルブ１
０を閉じることで、再び補助排気ポンプ６による排気が
始まり、該フォアライン配管７の圧力が下がり、クリー
ンアップされて元の低いヘリウム濃度の状態に戻る。こ
れによりフォアライン配管７内に気体の流れ（圧力変
化）が生起され、ヘリウムの排気に要する時間が短縮で
きる。
を備えた分岐管路１１を設け、その端部を大気に開放し
或いは窒素ガスボンベなどの不活性ガス源に接続する。
そして該開閉バルブ１０を一定時間開いてクリーンアッ
プガスをフォアライン配管７へ導入し、その圧力を上昇
させると、該フォアライン配管７のヘリウム濃度が下が
る。すなわち、ヘリウム分圧は変わらないのに全圧が上
がるのでヘリウム濃度が下がる。次いで該開閉バルブ１
０を閉じることで、再び補助排気ポンプ６による排気が
始まり、該フォアライン配管７の圧力が下がり、クリー
ンアップされて元の低いヘリウム濃度の状態に戻る。こ
れによりフォアライン配管７内に気体の流れ（圧力変
化）が生起され、ヘリウムの排気に要する時間が短縮で
きる。
【００１２】具体的一例に於いて、該フォアライン配管
７内の圧力が１Ｐａで、ヘリウム濃度がリーク検出時に
例えば５ｐｐｍ程度になるように排気されている場合、
テスト物品１に大きな漏れが存在して例えば５０００ｐ
ｐｍと１０００倍に上昇したとする。この場合、開閉バ
ルブ１０を一瞬開くことでフォアライン配管７の圧力を
１Ｐａから１０００Ｐａまで上昇させると、ヘリウム濃
度は５ｐｐｍにまで下がる。そして該開閉バルブ１０を
閉じ、補助排気ポンプ６で１Ｐａまで排気すれば、大量
にヘリウムが流入した以前の状態に戻る。
７内の圧力が１Ｐａで、ヘリウム濃度がリーク検出時に
例えば５ｐｐｍ程度になるように排気されている場合、
テスト物品１に大きな漏れが存在して例えば５０００ｐ
ｐｍと１０００倍に上昇したとする。この場合、開閉バ
ルブ１０を一瞬開くことでフォアライン配管７の圧力を
１Ｐａから１０００Ｐａまで上昇させると、ヘリウム濃
度は５ｐｐｍにまで下がる。そして該開閉バルブ１０を
閉じ、補助排気ポンプ６で１Ｐａまで排気すれば、大量
にヘリウムが流入した以前の状態に戻る。
【００１３】該フォアライン配管７の圧力が大気圧にな
るまでクリーンアップガスを導入したのち排気すれば、
大きなクリーンアップ効果が得られるが、主排気ポンプ
５には背圧の限界（限界背圧）があって大気圧までは圧
力を上昇させることができない。そこで、フォアライン
配管７の圧力を大気圧まで上昇させずに圧力変化を小さ
くして排気し、その操作を繰り返し行うことで大きなヘ
リウムのクリーンアップ効果が得られるようにした。例
えば、主排気ポンプ５の背圧が３５００Ｐａの場合、該
開閉バルブ１０を１秒間開いたのち５秒間閉じることを
３回繰り返すことにより、フォアライン配管７の圧力が
約３０００Ｐａに上昇したのち約２００Ｐａまで下がる
ことを３回繰り返され、１回の開閉作動でフォアライン
配管７が２００Ｐａから３０００Ｐａまで変化させるこ
とで、理論値ではヘリウム濃度を１／１５に減少させる
ことができる。
るまでクリーンアップガスを導入したのち排気すれば、
大きなクリーンアップ効果が得られるが、主排気ポンプ
５には背圧の限界（限界背圧）があって大気圧までは圧
力を上昇させることができない。そこで、フォアライン
配管７の圧力を大気圧まで上昇させずに圧力変化を小さ
くして排気し、その操作を繰り返し行うことで大きなヘ
リウムのクリーンアップ効果が得られるようにした。例
えば、主排気ポンプ５の背圧が３５００Ｐａの場合、該
開閉バルブ１０を１秒間開いたのち５秒間閉じることを
３回繰り返すことにより、フォアライン配管７の圧力が
約３０００Ｐａに上昇したのち約２００Ｐａまで下がる
ことを３回繰り返され、１回の開閉作動でフォアライン
配管７が２００Ｐａから３０００Ｐａまで変化させるこ
とで、理論値ではヘリウム濃度を１／１５に減少させる
ことができる。
【００１４】以上の説明では、中間導入方式について説
明したが、図４の排気管路９の接続を変え、ダイレクト
フロー方式やカウンターフロー方式とした場合でも同様
の効果が得られる。開閉バルブ１０又は分岐管路１１に
絞りを設けて流量を調整することにより、開閉バルブ１
０の開弁によるフォアライン配管７内の急激な圧力上昇
を避け、開閉時間により圧力制御することが容易にな
る。また、大気中には５ｐｐｍのヘリウムが存在するの
で、その存在が検出の障害になる場合は、ヘリウムを含
まない窒素ガスなどの不活性ガスを導入しても良い。
明したが、図４の排気管路９の接続を変え、ダイレクト
フロー方式やカウンターフロー方式とした場合でも同様
の効果が得られる。開閉バルブ１０又は分岐管路１１に
絞りを設けて流量を調整することにより、開閉バルブ１
０の開弁によるフォアライン配管７内の急激な圧力上昇
を避け、開閉時間により圧力制御することが容易にな
る。また、大気中には５ｐｐｍのヘリウムが存在するの
で、その存在が検出の障害になる場合は、ヘリウムを含
まない窒素ガスなどの不活性ガスを導入しても良い。
【００１５】図４の装置構成において、テストポート８
からヘリウムを１．８×１０-5Ｐａ・ｍ3／ｓで３０秒
間導入して大量ヘリウム流入状態としたのち該テストポ
ート８を閉じ、開閉バルブ１０を閉じたまま即ち図１の
従来と同じ状態で補助排気ポンプ６を作動させ、クリー
ンアップを行った。主排気ポンプ５にはターボ分子ポン
プを使用し、補助排気ポンプ６にはドライポンプを使用
した。その結果は図５に示す如くであり、導入されたヘ
リウムが１００レンジ１５％にまで減少するのに約６０
０秒を要した（図５（Ａ）参照）。図５（Ｂ）にこのと
きの分析管４の圧力、図５（Ｃ）にテストポート８の圧
力、図５（Ｄ）にフォアライン配管７の圧力を夫々示し
た。
からヘリウムを１．８×１０-5Ｐａ・ｍ3／ｓで３０秒
間導入して大量ヘリウム流入状態としたのち該テストポ
ート８を閉じ、開閉バルブ１０を閉じたまま即ち図１の
従来と同じ状態で補助排気ポンプ６を作動させ、クリー
ンアップを行った。主排気ポンプ５にはターボ分子ポン
プを使用し、補助排気ポンプ６にはドライポンプを使用
した。その結果は図５に示す如くであり、導入されたヘ
リウムが１００レンジ１５％にまで減少するのに約６０
０秒を要した（図５（Ａ）参照）。図５（Ｂ）にこのと
きの分析管４の圧力、図５（Ｃ）にテストポート８の圧
力、図５（Ｄ）にフォアライン配管７の圧力を夫々示し
た。
【００１６】図４の装置構成において、前記の場合と同
様にテストポート８からヘリウムを１．８×１０-5Ｐａ
・ｍ3／ｓで３０秒間導入して大量ヘリウム流入状態と
したのち該テストポート８を閉じ、開閉バルブ１０を３
０秒間だけ開いて大気をフォアライン配管７へ導入し、
本発明の方法を実施した。主排気ポンプ５は限界背圧が
３５００Ｐａのターボ分子ポンプ、補助排気ポンプ６は
ドライポンプである。開閉バルブ１０には絞りを設けて
３０秒間の開弁でフォアライン配管７の圧力が主排気ポ
ンプ５の限界背圧以下の３０００Ｐａになるように調整
した。その結果は図６に示す如くであり、約４５０秒で
導入されたヘリウムが１００レンジ１５％まで減少した
（図６（Ａ）参照）。図６（Ｂ）にこのときの分析管４
の圧力、図６（Ｃ）にテストポート８の圧力、図６
（Ｄ）にフォアライン配管７の圧力を夫々示した。
様にテストポート８からヘリウムを１．８×１０-5Ｐａ
・ｍ3／ｓで３０秒間導入して大量ヘリウム流入状態と
したのち該テストポート８を閉じ、開閉バルブ１０を３
０秒間だけ開いて大気をフォアライン配管７へ導入し、
本発明の方法を実施した。主排気ポンプ５は限界背圧が
３５００Ｐａのターボ分子ポンプ、補助排気ポンプ６は
ドライポンプである。開閉バルブ１０には絞りを設けて
３０秒間の開弁でフォアライン配管７の圧力が主排気ポ
ンプ５の限界背圧以下の３０００Ｐａになるように調整
した。その結果は図６に示す如くであり、約４５０秒で
導入されたヘリウムが１００レンジ１５％まで減少した
（図６（Ａ）参照）。図６（Ｂ）にこのときの分析管４
の圧力、図６（Ｃ）にテストポート８の圧力、図６
（Ｄ）にフォアライン配管７の圧力を夫々示した。
【００１７】更に、図４の装置構成において、前記の場
合と同様にテストポート８からヘリウムを１．８×１０
-5Ｐａ・ｍ3／ｓで３０秒間導入して大量ヘリウム流入
状態としたのち該テストポート８を閉じ、開閉バルブ１
０を３秒間開いたのち５秒間閉じる動作を３回繰り返し
て本発明の方法を実施した。主排気ポンプ５は限界背圧
が３５００Ｐａのターボ分子ポンプ、補助排気ポンプ６
はドライポンプで、開閉バルブ１０には絞りを設けて５
秒間の開弁でフォアライン配管７の圧力が主排気ポンプ
５の限界背圧以下の３０００Ｐａになるように調整し
た。該分岐管路その結果は図７に示す如くであり、約１
２０秒で導入されたヘリウムが１００レンジ１５％まで
減少した（図７（Ａ）参照）。図７（Ｂ）にこのときの
分析管４の圧力、図７（Ｃ）にテストポート８の圧力、
図７（Ｄ）にフォアライン配管７の圧力を夫々示した。
合と同様にテストポート８からヘリウムを１．８×１０
-5Ｐａ・ｍ3／ｓで３０秒間導入して大量ヘリウム流入
状態としたのち該テストポート８を閉じ、開閉バルブ１
０を３秒間開いたのち５秒間閉じる動作を３回繰り返し
て本発明の方法を実施した。主排気ポンプ５は限界背圧
が３５００Ｐａのターボ分子ポンプ、補助排気ポンプ６
はドライポンプで、開閉バルブ１０には絞りを設けて５
秒間の開弁でフォアライン配管７の圧力が主排気ポンプ
５の限界背圧以下の３０００Ｐａになるように調整し
た。該分岐管路その結果は図７に示す如くであり、約１
２０秒で導入されたヘリウムが１００レンジ１５％まで
減少した（図７（Ａ）参照）。図７（Ｂ）にこのときの
分析管４の圧力、図７（Ｃ）にテストポート８の圧力、
図７（Ｄ）にフォアライン配管７の圧力を夫々示した。
【００１８】
【発明の効果】以上のように本発明によるときは、ヘリ
ウムリークディテクターの主排気ポンプの排気口と補助
排気ポンプを結ぶフォアライン配管に、該テストポート
が開通する以前にヘリウムを殆ど含まない大気などのク
リーンアップガスを制御して導入するようにしたので、
該フォアライン配管内に残存するヘリウムを短時間に排
除して正確なリークテストを行える効果があり、該主排
気ポンプがドラッグ分子ポンプの場合にはその限界背圧
以下になるように該クリーンアップガスを間歇的に導入
することにより、更に短時間でクリーンアップを行える
効果がある。また、本発明の方法は、該フォアライン配
管に絞り機能を備えた開閉バルブを設けることにより簡
単且つ安価な装置で実施できる効果がある。
ウムリークディテクターの主排気ポンプの排気口と補助
排気ポンプを結ぶフォアライン配管に、該テストポート
が開通する以前にヘリウムを殆ど含まない大気などのク
リーンアップガスを制御して導入するようにしたので、
該フォアライン配管内に残存するヘリウムを短時間に排
除して正確なリークテストを行える効果があり、該主排
気ポンプがドラッグ分子ポンプの場合にはその限界背圧
以下になるように該クリーンアップガスを間歇的に導入
することにより、更に短時間でクリーンアップを行える
効果がある。また、本発明の方法は、該フォアライン配
管に絞り機能を備えた開閉バルブを設けることにより簡
単且つ安価な装置で実施できる効果がある。
【図１】従来の中間導入方式のヘリウムリークディテク
ターの説明図
ターの説明図
【図２】従来のダイレクトフロー方式のヘリウムリーク
ディテクターの説明図
ディテクターの説明図
【図３】従来のカウンターフロー方式のヘリウムリーク
ディテクターの説明図
ディテクターの説明図
【図４】本発明の方法と装置の説明図
【図５】従来の方法によるクリーンアップの測定結果の
線図
線図
【図６】本発明の方法によるクリーンアップの測定結果
の線図
の線図
【図７】本発明の他の方法によるクリーンアップの測定
結果の線図
結果の線図
１ テスト物品、３ ヘリウムリークディテクター、４
分析管、５ 主排気ポンプ、６ 補助排気ポンプ、７
フォアライン配管、８ テストポート、９ 排気管
路、１０ 開閉バルブ、１１ 分岐管路、
分析管、５ 主排気ポンプ、６ 補助排気ポンプ、７
フォアライン配管、８ テストポート、９ 排気管
路、１０ 開閉バルブ、１１ 分岐管路、
Claims (4)
- 【請求項１】ターボ分子ポンプなどの主排気ポンプの排
気口をフォアライン配管を介して補助排気ポンプに接続
し、該主排気ポンプの吸気口に磁場偏向型質量分析管な
どの分析管を接続し、テストポートに連なる排気管路を
該主排気ポンプを介して或いは直接に該フォアライン配
管に接続し、該排気管路を流れるヘリウムを該分析管で
検出するヘリウムリークディテクターに於いて、該テス
トポートが開通する以前に、該フォアライン配管へヘリ
ウムを殆ど含まない大気などのクリーンアップガスを制
御して１回又は複数回導入することにより該フォアライ
ン配管に残存するヘリウムをクリーンアップすることを
特徴とするヘリウムリークディテクターのヘリウムクリ
ーンアップ方法。 - 【請求項２】上記主排気ポンプにターボ分子ポンプなど
のドラッグ分子ポンプを使用し、上記クリーンアップガ
スにヘリウム以外の希ガス又は不活性ガスを使用し、流
量を絞りながら間歇的に上記フォアライン配管へ該主排
気ポンプの限界背圧以下の圧力となるように導入するこ
とを特徴とする請求項１に記載のヘリウムリークディテ
クターのヘリウムクリーンアップ方法。 - 【請求項３】上記主排気ポンプの吸気口と排気口の中間
の圧縮比が得られる位置に中間吸気口を設けてこれに上
記排気管路を接続したことを特徴とする請求項１に記載
のヘリウムリークディテクターのヘリウムクリーンアッ
プ方法。 - 【請求項４】ターボ分子ポンプなどの主排気ポンプの排
気口をフォアライン配管を介して補助排気ポンプに接続
し、該主排気ポンプの吸気口に磁場偏向型質量分析管な
どの分析管を接続し、テストポートに連なる排気管路を
該主排気ポンプを介して或いは直接に該フォアライン配
管に接続し、該排気管路を流れるヘリウムを該分析管で
検出するヘリウムリークディテクターに於いて、該フォ
アライン配管にヘリウムを殆ど含まない大気などのクリ
ーンアップガスを導入する絞り機能を備えた開閉バルブ
を設けたことを特徴とするヘリウムリークディテクター
のヘリウムクリーンアップ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11222819A JP2001050853A (ja) | 1999-08-05 | 1999-08-05 | ヘリウムリークディテクターのヘリウムクリーンアップ方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11222819A JP2001050853A (ja) | 1999-08-05 | 1999-08-05 | ヘリウムリークディテクターのヘリウムクリーンアップ方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001050853A true JP2001050853A (ja) | 2001-02-23 |
Family
ID=16788415
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11222819A Pending JP2001050853A (ja) | 1999-08-05 | 1999-08-05 | ヘリウムリークディテクターのヘリウムクリーンアップ方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001050853A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20120132800A1 (en) * | 2009-08-14 | 2012-05-31 | Edwards Limited | Vacuum system |
-
1999
- 1999-08-05 JP JP11222819A patent/JP2001050853A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20120132800A1 (en) * | 2009-08-14 | 2012-05-31 | Edwards Limited | Vacuum system |
| JP2013501886A (ja) * | 2009-08-14 | 2013-01-17 | エドワーズ リミテッド | 真空システム |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051013 |
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| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20070518 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070518 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071024 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071030 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080311 |