JP2023543370A - プラズマエッチング用炭化ケイ素トレーの製造方法及び炭化ケイ素トレー - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図6
Description
プラズマエッチング用炭化ケイ素トレーの製造方法は、
(1)固相焼結システムにおける炭化ケイ素造粒粉体を使用し、最初に乾式プレス、次に静水圧プレス又は直接静水圧プレスによって寸法要件を満たした炭化ケイ素ブランクを成形するブランク成形ステップと、
(2)プラズマエッチングトレーの最終寸法及び高温焼結収縮率に基づき、外円、全体厚さ、表裏面溝深さに一定の焼結代を確保し、成形された炭化ケイ素ブランクに対してマシニングセンタによる加工を行うブランク加工ステップと、
(3)加工された炭化ケイ素トレーブランクを高温焼結する高温焼結ステップと、
(4)最初にトレーの外円に対して精密研磨及び平面研磨を行い、その後、裏面溝深さの要件を基準にしてトレーの裏面を加工し、更にトレーの全体厚さの要件を基準にしてトレーの表面を加工し、最後に溝深さの要件を満たす限り、ウェハスロットの精密研磨加工を行う仕上げ加工ステップとを含む。
前記ステップ(4)のトレー裏面を加工することは、トレー裏面に対して0.05mm~0.2mmの平面加工を行うことであり、トレー表面を加工することは、トレー表面に対して0.2mm~0.3mmの平面加工を行うことであり、ウェハスロットの精密研磨加工は、トレー表面の溝に対して0.1mm~0.2mmの精密研磨加工を行うことであり、
前記ステップ(4)でトレー裏面を加工した後、トレー裏面の溝深さは0.15mm~0.2mmである。
炭化ケイ素トレーは、前記プラズマエッチング用炭化ケイ素トレーの製造方法によって製造される。
(1)本願のプラズマエッチング用炭化ケイ素トレーの製造方法は、炭化ケイ素材料の製造とトレー構造の加工を一体化し、炭化ケイ素材料の製造に伴ってトレー構造を段階的に加工し、加工時間を短縮し、加工時間を従来の製造方法の30時間を10時間程度に短縮し、生産効率を効果的に高めながら、生産コストを大幅に削減する。
製造される炭化ケイ素トレーのパラメータは、直径が380mmで、全体厚さが4.4mmで、裏面溝深さが0.15mmで、裏面溝幅が5mmで、表面溝深さが1.2mmで、表面溝直径が101mmである。
(1)ブランク成形:固相焼結システムにおける炭化ケイ素造粒粉体を使用し、最初に乾式プレス、次に静水圧プレス又は直接静水圧プレスによって寸法要件を満たした炭化ケイ素ブランクを成形する。
製造される炭化ケイ素トレーのパラメータは、直径が380mmで、全体厚さが4.4mmで、裏面溝深さが0.2mmで、裏面溝幅が5mmで、表面溝深さが1.2mmで、表面溝直径が102mmである。
(1)ブランク成形:固相焼結システムにおける炭化ケイ素造粒粉体を使用し、最初に乾式プレス、次に静水圧プレス又は直接静水圧プレスによって寸法要件を満たした炭化ケイ素ブランクを成形する。
製造される炭化ケイ素トレーのパラメータは、直径が380mmで、全体厚さが3.2mmで、裏面溝深さが0.15mmで、裏面溝幅が5mmで、表面溝深さが1mmで、表面溝直径が100.5mmである。
(1)ブランク成形:固相焼結システムにおける炭化ケイ素造粒粉体を使用し、最初に乾式プレス、次に静水圧プレス又は直接静水圧プレスによって寸法要件を満たした炭化ケイ素ブランクを成形する。
製造される炭化ケイ素トレーのパラメータは、直径が380mmで、全体厚さが4mmで、裏面溝深さが0.2mmで、裏面溝幅が5mmで、表面溝深さが1.4mmで、表面溝直径が101mmである。
(1)ブランク成形:固相焼結システムにおける炭化ケイ素造粒粉体を使用し、最初に乾式プレス、次に静水圧プレス又は直接静水圧プレスによって寸法要件を満たした炭化ケイ素ブランクを成形する。
2 排気溝
Claims (10)
- (1)固相焼結システムにおける炭化ケイ素造粒粉体を使用し、最初に乾式プレス、次に静水圧プレス又は直接静水圧プレスによって寸法要件を満たした炭化ケイ素ブランクを成形するブランク成形ステップと、
(2)プラズマエッチングトレーの最終寸法及び高温焼結収縮率に基づき、外円、全体厚さ、表裏面溝深さに一定の焼結代を確保し、成形された炭化ケイ素ブランクに対してマシニングセンタによる加工を行うブランク加工ステップと、
(3)加工された炭化ケイ素トレーブランクを高温焼結する高温焼結ステップと、
(4)最初にトレーの外円に対して精密研磨及び平面研磨を行い、その後、裏面溝深さの要件を基準にしてトレーの裏面を加工し、更にトレーの全体厚さの要件を基準にしてトレーの表面を加工し、最後に溝深さの要件を満たす限り、ウェハスロットの精密研磨加工を行う仕上げ加工ステップと、を含むことを特徴とするプラズマエッチング用炭化ケイ素トレーの製造方法。 - 前記ステップ(2)のブランク加工において、表面溝に溝の外部輪郭が加工され、溝内にステップ(3)の高温焼結中に支持作用を果たすための加工をして除去されていない支持部分が保留されることを特徴とする請求項1に記載のプラズマエッチング用炭化ケイ素トレーの製造方法。
- 前記支持部分は、表面溝と同心円の円環構造であり、前記円環構造は少なくとも1つであることを特徴とする請求項2に記載のプラズマエッチング用炭化ケイ素トレーの製造方法。
- 前記円環構造は、ステップ(2)のブランク加工で得られた表面溝を直径で均等に分割し、前記円環構造のリングの幅は5mm~15mmであることを特徴とする請求項3に記載のプラズマエッチング用炭化ケイ素トレーの製造方法。
- 前記ステップ(3)の高温焼結は積層焼結であることを特徴とする請求項1に記載のプラズマエッチング用炭化ケイ素トレーの製造方法。
- 前記積層焼結は、加工された炭化ケイ素トレーブランクをグラファイト板の間に固定して高温焼結し、焼結歪みを制御することを特徴とする請求項5に記載のプラズマエッチング用炭化ケイ素トレーの製造方法。
- 前記グラファイト板のトレーブランクに接触する面に排気溝が設けられており、前記グラファイト板の厚さは10mm~15mmであり、前記排気溝の深さは0.2mm~3mmであることを特徴とする請求項6に記載のプラズマエッチング用炭化ケイ素トレーの製造方法。
- 前記ステップ(3)の高温焼結後、トレー裏面の加工代は0.05mm~0.2mmであり、トレー表面の加工代は0.2mm~0.3mmであり、
前記ステップ(4)のトレー裏面を加工することは、トレー裏面に対して0.05mm~0.2mmの平面加工を行うことであり、トレー表面を加工することは、トレー表面に対して0.2mm~0.3mmの平面加工を行うことであり、ウェハスロットの精密研磨加工は、トレー表面の溝に対して0.1mm~0.2mmの精密研磨加工を行うことであり、
前記ステップ(4)でトレー裏面を加工した後、トレー裏面の溝深さは0.15mm~0.2mmであることを特徴とする請求項1に記載のプラズマエッチング用炭化ケイ素トレーの製造方法。 - 加工されたトレーに対してアルカリ液による洗浄、水洗及び真空包装を行う(5)包装洗浄ステップを更に含むことを特徴とする請求項1に記載のプラズマエッチング用炭化ケイ素トレーの製造方法。
- 請求項1~9の何れか一項に記載のプラズマエッチング用炭化ケイ素トレーの製造方法によって製造されることを特徴とする炭化ケイ素トレー。
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