JP2023184473A - 物品移送装置及び物品移送方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】ティーチング過程がなくても物品保管台の定位置を確認し、物品の自律的な積み降ろしを可能にする物品移送装置及び物品移送方法を提供する。【解決手段】走行レールに沿って走行しながら物品を移送する車両本体；及び前記車両本体に設置され、前記物品が保管される物品保管台の定位置に前記物品を載置できるように、前記物品が保管され得る物品保管台に設置された感知対象物から前記定位置と関連した位置情報を感知する位置感知装置；を含んで物品移送装置を構成する。【選択図】図２

Description

本発明は、物品移送装置及び物品移送方法に関し、より詳細には、ティーチング過程がなくても物品保管台の定位置を正確に確認し、物品の自律的な積み降ろしを可能にする物品移送装置及び物品移送方法に関する。
半導体製造効率の向上のために、各半導体製造設備によって行われる各種工程（例：露光、蒸着、エッチング、イオン注入、洗浄など）を改善するための技術のみならず、物品（例：ウェハーを収納するコンテナ、前方開放型統合ポッド（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ、ＦＯＵＰ）、レチクルを保管するレチクルポッド（ＰＯＤ）など）を各半導体製造設備の間により効果的に移送するための設備が導入されて使用されている。一例として、半導体製造工場の天井側に提供された移送経路に沿って移動しながら物品を移送するように構成されたオーバーヘッドホイストトランスポート（ｏｖｅｒｈｅａｄ ｈｏｉｓｔ ｔｒａｎｓｐｏｒｔ、ＯＨＴ）を含む物品移送装置が多く使用されている。
オーバーヘッドホイストトランスポート（以下、ＯＨＴとも称する）を含む物品移送装置は、移送経路を提供する走行レール（ｔｒａｖｅｌ ｒａｉｌ）、走行レールに沿って走行するビークル（ｖｅｈｉｃｌｅ）、及びビークルの下部に提供されたホイスト装置を含むことができる。ホイスト装置は、移送する物品を支持することができ、ホイストは、物品を回転させたり、水平方向に移動させたり、垂直方向に昇・下降させながら物品保管台上に載置させることができる。
このとき、作業者は、物品保管台の定位置に物品を載置させるために、試運転やジョグ（ＪＯＧ）運転を通じて物品を肉眼で直接確認しながら、最初に定位置を探してから物品を載置させ、載置された位置の座標又は移動した距離や速度などを制御ユニットに記憶させるティーチング作業が事前に必要であった。
しかし、このような従来の物品移送装置においては、ティーチング作業時、高度に熟練した作業者の肉感に依存し、物品保管台の数多くの定位置を一々ティーチングするのに多くの時間、努力及び人力が必要であり、ティーチング作業は完全に人にのみ依存するので、正確度や精密度が非常に低下し、長時間にわたって外力が蓄積され、物品保管台に微細な変形が発生する場合、実際の位置とティーチング位置とが変わり、物品の衝突事故、定位置からの離脱事故、物品移送エラー現象などの多くの問題があった。
本発明は、上記のような問題を含む多くの問題を解決するためのものであって、ティーチング過程がなくても物品保管台の定位置を確認し、物品の自律的な積み降ろしを可能にする物品移送装置及び物品移送方法を提供することを目的とする。しかし、このような課題は、例示的なものであって、これによって本発明の範囲が限定されることはない。
前記課題を解決するための本発明の思想による物品移送装置は、走行レールに沿って走行しながら物品を移送する車両本体；及び前記車両本体に設置され、前記物品が保管される物品保管台の定位置に前記物品を載置できるように、前記物品が保管され得る物品保管台に設置された感知対象物から前記定位置と関連した位置情報を感知する位置感知装置；を含むことができる。
また、本発明によると、前記位置感知装置は、前記感知対象物を撮影できるカメラを含むことができる。
また、本発明によると、前記位置感知装置は、サイドトラックバッファー（Ｓｉｄｅ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＳＴＢ）に全体的に垂直に立てられた前記感知対象物を撮影できるように水平方向の指向角を有する水平式カメラであり得る。
また、本発明によると、前記位置感知装置は、アンダートラックバッファー（Ｕｎｄｅｒ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＵＴＢ）又は装備のステージやポートに全体的に水平に横たわった前記感知対象物を撮影できるように垂直下向きの指向角を有する垂直式カメラであり得る。
また、本発明によると、前記位置感知装置は、前記車両本体の一部分に設置され、サイドトラックバッファー（Ｓｉｄｅ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＳＴＢ）に全体的に垂直に立てられた前記感知対象物を撮影できるように水平方向の指向角を有する水平式カメラ；及び前記車両本体の他の部分に設置され、アンダートラックバッファー（Ｕｎｄｅｒ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＵＴＢ）又は装備のステージやポートに全体的に水平に横たわった前記感知対象物を撮影できるように垂直下向きの指向角を有する垂直式カメラ；を含むことができる。
また、本発明によると、前記位置感知装置は、前記車両本体の一部分に設置され、サイドトラックバッファー（Ｓｉｄｅ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＳＴＢ）に全体的に垂直に立てられた前記感知対象物を撮影できると共に、アンダートラックバッファー（Ｕｎｄｅｒ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＵＴＢ）又は装備のステージやポートに全体的に水平に横たわった前記感知対象物を撮影できるように水平方向から垂直下向き方向に指向角が可変する可変式カメラ；を含むことができる。
また、本発明によると、前記感知対象物は、前記物品保管台又は前記物品保管台の近隣に設置され得るブラケット；及び前記ブラケットに表示されたり、前記ブラケットにステッカーの形態で接着し得る識別子；を含むことができる。
また、本発明によると、前記感知対象物は、カメラが表示された基準位置を撮影して認識できるように、少なくとも円形、同心円形、十字形、目盛り形、垂直目盛り形、水平目盛り形、及び幾何学的目盛り形のうちいずれか一つ又はこれらの組み合わせのうちいずれか一つで構成され得る。
また、本発明によると、前記感知対象物は、カメラが表示された情報を撮影して認識できるように、少なくともＱＲコード（登録商標）、バーコード、及び識別子のうちいずれか一つ又はこれらの組み合わせのうちいずれか一つで構成され得る。
また、本発明によると、前記位置感知装置は、カメラ及び情報リーダーであって、前記感知対象物は、前記情報リーダーで読み取れる少なくともＲＦＩＤ、ＮＦＣ、ブルートゥース（登録商標）チップ、及びＷｉ－ｆｉチップのうちいずれか一つ又はこれらの組み合わせのうちいずれか一つ以上を含むことができる。
また、本発明によると、前記感知対象物には、少なくとも前記物品保管台の固有情報、前記物品保管台の保管位置情報、基準位置情報、前記基準位置情報から第１方向に離隔する第１距離情報、前記基準位置情報から第２方向に離隔する第２距離情報、前記基準位置情報から第３方向に離隔する第３距離情報、保管が可能な物品情報、製造社情報、管理担当者情報、及び製品固有情報のうちいずれか一つ又はこれらの組み合わせのうちいずれか一つが表示され得る。
また、本発明によると、前記位置感知装置で撮影された映像又は認識された情報から基準位置を認識し、前記基準位置から第１方向に第１距離だけ離隔し、第２方向に第２距離だけ離隔したり、又は第３方向に第３距離だけ離隔した位置を前記物品の整列基準の中心になる前記物品保管台の定位置として認識する制御部；をさらに含むことができる。
また、本発明によると、前記位置感知装置で撮影された映像の焦点距離を用いて距離を判別する制御部；をさらに含むことができる。
また、本発明によると、前記車両本体は、前記走行レールに沿って走行するビークル；及び前記ビークルの下部に設置され、前記物品を支持し、前記位置感知装置が設置されるホイスト装置；を含むことができる。
また、本発明によると、前記ホイスト装置は、内部に前記物品が収容される収容空間が形成され、前記位置感知装置が設置されるホイストハウジング；前記物品をグリップ又はアングリップするハンドユニット；及び前記ハンドユニットを前記収容空間から前記物品保管台の前記定位置に移動させるハンド移動ユニット；を含むことができる。
一方、前記課題を解決するための本発明の思想による物品移送方法は、（ａ）車両本体が走行レールに沿って走行しながら物品を移送する段階；（ｂ）前記車両本体に設置された位置感知装置が、前記物品が保管され得る物品保管台に設置された感知対象物から前記物品が保管される物品保管台の定位置と関連した位置情報を感知する段階；及び（ｃ）前記車両本体が前記物品を前記物品保管台の前記定位置に移動させ、前記物品を前記物品保管台に載置させる段階；を含むことができる。
また、本発明によると、前記（ｂ）段階において、制御部が、前記位置感知装置で撮影された映像又は認識された情報から基準位置を認識し、前記基準位置から第１方向に第１距離だけ離隔し、第２方向に第２距離だけ離隔したり、又は第３方向に第３距離だけ離隔した位置を前記物品の整列基準の中心になる前記物品保管台の定位置として認識することができる。
また、本発明によると、前記（ｂ）段階において、制御部が、前記位置感知装置で撮影された映像の焦点距離を用いて距離を判別することができる。
また、本発明によると、前記（ｂ）段階において、前記物品保管台がサイドトラックバッファー（Ｓｉｄｅ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＳＴＢ）である場合、全体的に垂直に立てられた前記感知対象物を撮影できるように水平方向の指向角を有する水平式カメラ、又は垂直下向き方向から垂直方向に指向角が可変する可変式カメラを用いて前記感知対象物を撮影し、前記物品保管台がアンダートラックバッファー（Ｕｎｄｅｒ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＵＴＢ）又は装備のステージやポートである場合、全体的に水平に横たわった前記感知対象物を撮影できるように垂直下向きの指向角を有する垂直式カメラ、又は水平方向から垂直下向き方向に指向角が可変する前記可変式カメラを用いて前記感知対象物を撮影することができる。
一方、前記課題を解決するための本発明の思想による物品移送装置は、走行レールに沿って走行しながら物品を移送する車両本体；前記車両本体に設置され、前記物品が保管される物品保管台の定位置に前記物品を載置できるように、前記物品が保管され得る物品保管台に設置された感知対象物から前記定位置と関連した位置情報を感知する位置感知装置；及び前記位置感知装置で撮影された映像又は認識された情報から基準位置を認識し、前記基準位置から第１方向に第１距離だけ離隔し、第２方向に第２距離だけ離隔したり、又は第３方向に第３距離だけ離隔した位置を前記物品の整列基準の中心になる物品保管台の定位置として認識する制御部；を含み、前記位置感知装置は、前記感知対象物を撮影できるカメラを含み、前記位置感知装置は、サイドトラックバッファー（Ｓｉｄｅ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＳＴＢ）に全体的に垂直に立てられた前記感知対象物を撮影できるように水平方向の指向角を有する水平式カメラであったり、又はアンダートラックバッファー（Ｕｎｄｅｒ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＵＴＢ）又は装備のステージやポートに全体的に水平に横たわった前記感知対象物を撮影できるように垂直下向きの指向角を有する垂直式カメラであって、前記車両本体は、前記走行レールに沿って走行するビークル；及び前記ビークルの下部に設置され、前記物品を支持するホイスト装置；を含み、前記ホイスト装置は、内部に前記物品が収容される収容空間が形成され、前記位置感知装置が設置されるホイストハウジング；前記物品をグリップ又はアングリップするハンドユニット；及び前記ハンドユニットを前記収容空間から前記物品保管台の前記定位置に移動させるハンド移動ユニット；を含むことができる。
上記のように構成された本発明の多くの実施形態によると、物品保管台に設置された感知対象物を位置感知装置で感知し、物品保管台上の物品が載置される定位置を正確に認識できるので、別途のティーチング作業や高度に熟練した作業者が不必要であり、これを通じて作業時間、努力及び人力を大きく節減することができ、位置認識の正確度や精密度を大きく高めることができ、 長時間にわたって外力が蓄積され、物品保管台に微細な変形が発生した場合にも、物品を保管する度に新しく定位置を感知することによって、物品の衝突事故、定位置からの離脱事故又は物品移送エラー現象などを事前に予防できるという効果がある。もちろん、このような効果によって本発明の範囲が限定されることはない。
本発明の一部の実施形態に係る物品移送装置の全体の構成を示す概念図である。 図１の物品移送装置の位置感知状態を示す正面図である。 図１の物品移送装置の側面図である。 図１の物品移送装置の水平移送状態を示す正面図である。 図１の物品移送装置の垂直移送状態を示す正面図である。 図１の物品移送装置に対応する物品保管台を示す側面図である。 図２の物品移送装置の位置感知状態を示す平面図である。 図２の物品移送装置の感知対象物の多くの一例を示す図である。 図８の物品移送装置の感知対象物の多くの一例を示す斜視図である。 本発明の一部の他の実施形態に係る物品移送装置を示す正面図である。 図１０の物品移送装置の感知対象物の多くの一例を示す斜視図である。 本発明の一部の更に他の実施形態に係る物品移送装置を示す正面図である。 本発明の一部の更に他の実施形態に係る物品移送装置を示す拡大正面図である。 本発明の一部の更に他の実施形態に係る物品移送装置を示す拡大正面図である。 本発明の一部の実施形態に係る物品移送方法を示すフローチャートである。
以下、添付の図面を参照して、本発明の好適な多くの実施形態を詳細に説明する。
本発明の各実施形態は、当該技術分野で通常の知識を有する者に本発明をさらに完全に説明するために提供されるものであって、下記の実施形態は、多くの他の形態に変形可能であり、本発明の範囲が下記の実施形態に限定されることはない。むしろ、これらの実施形態は、本開示をさらに充実且つ完全にし、当業者に本発明の思想を完全に伝達するために提供されるものである。また、図面において、各層の厚さや大きさは、説明の便宜及び明確性のために誇張したものである。
本明細書で使用された用語は、特定の実施形態を説明するためのものであって、本発明を制限するためのものではない。本明細書で使用されたように、単数の形態は、文脈上、異なる場合を明確に指摘するのでない限り、複数の形態を含むことができる。また、本明細書で使用される「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｅ）」及び／又は「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」は、言及した形状、数字、段階、動作、部材、要素及び／又はこれらのグループの存在を特定するものであって、一つ以上の他の形状、数字、動作、部材、要素及び／又はグループの存在又は付加を排除するものではない。
以下、本発明の各実施形態は、本発明の理想的な各実施形態を概略的に示す各図面を参照して説明する。各図面において、例えば、製造技術及び／又は公差（ｔｏｌｅｒａｎｃｅ）によって、図示した形状の各変形が予想され得る。よって、本発明の思想の実施形態は、本明細書に示した領域の特定の形状に制限されたものと解釈してはならなく、例えば、製造時にもたらされる形状の変化を含まなければならない。
一方、図面において、構成要素の大きさや形状、線の太さなどは、理解の便宜上、多少誇張して表現する場合がある。
本発明は、半導体又は平板ディスプレイ（ｆｌａｔ ｐａｎｅｌ ｄｉｓｐｌａｙ、ＦＰＤ）を製造するための工場において、物品を任意の位置から目的とする位置に移送するのに主に使用され得る。例えば、本発明は、物品を各半導体（又は、平板ディスプレイ）製造設備の間に移送することができる。このとき、物品は、基板（ウェハーなど）を含むことができる。一例として、物品は、各基板が収納されるコンテナであり得る。さらに、コンテナは、収納された各基板を外部から保護できる密閉型コンテナであり得る。そして、密閉型コンテナは、前面開放統合ポッド（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ、ＦＯＵＰ）であり得る。その他にも、コンテナは、レチクルを保管するレチクルポッド（ＰＯＤ）を含むことができる。
本発明は、多様な技術分野で物品を移送するのに使用され得るものであるが、本発明の実施形態は、半導体製造工場において、物品として内部空間に各ウェハーが収納される前面開放統合ポッド（以下、ＦＯＵＰとも称する）を各半導体製造設備の間に移送する場合を中心に説明する。
半導体製造工場は、少なくとも一つ以上のクリーンルーム（ｃｌｅａｎ ｒｏｏｍ）で構成されてもよく、半導体製造工程を行う各半導体製造設備はクリーンルームに設置されてもよい。半導体は、ウェハーに半導体製造工程を繰り返し行うことによって完成し得る。特定の半導体製造設備で工程の遂行が完了したウェハーは、次の工程のための半導体製造設備に移送され得る。このとき、ウェハーは、ＦＯＵＰに収納された状態でＯＨＴを含む物品移送設備によって移送され得る。
図１は、本発明の一部の実施形態に係る物品移送装置２０の全体の構成を示す概念図である。
図１に示したように、本発明の一部の実施形態に係る物品移送装置２０の全体の構成を示すと、本発明の一部の実施形態に係る物品移送装置２０は、物品を各半導体製造設備１の間に移送するための移送経路１１を提供する走行レールに沿って走行され得る。
バッファー３０は、物品に対する臨時保管空間を提供する単数又は複数の物品保管台であり得る。走行レール１０は、半導体製造工場の天井側に配置される。各物品移送装置２０は、物品を各半導体製造設備１のうち特定の設備から他の設備に直ぐ移送することもでき、又は、バッファー３０に一時的に臨時保管した後、他の設備に移送することもできる。
バッファー３０は、移送経路１１の側方に設置されたサイドトラックバッファー（ｓｉｄｅ ｔｒａｃｋ ｂｕｆｆｅｒ、ＳＴＢ）であったり、移送経路１１の下方に設置されたアンダートラックバッファー（ｕｎｄｅｒ ｔｒａｃｋ ｂｕｆｆｅｒ、ＵＴＢ）であり得る。
本発明の一部の実施形態に係る物品移送装置２０は、ＯＨＴを含むことができ、走行レール１０及び複数の物品移送車両などを含むことができる。このような本発明の実施形態に係る物品移送装置２０は、給電ユニット及び受電ユニットを介して電源供給装置から駆動電力を受けて作動するように構成され、ＯＣＳ（ＯＨＴ ｃｏｎｔｒｏｌ ｓｙｓｔｅｍ）とも称する統合制御装置をさらに含んで自動的に運営することができる。
図１に示したように、移送経路１１は、直線状である少なくとも一つ以上の直線区間１２、曲線状である少なくとも一つ以上の曲線区間１３、及び経路の分岐及び／又は合流のための少なくとも一つ以上の接続区間１４を含むことができる。
図２は、図１の物品移送装置２０の位置感知状態を示す正面図で、図３は、図１の物品移送装置２０の側面図である。
図２及び図３に示したように、走行レール１０は、左右方向に互いに離隔し、互いに対をなす一対のレール部材を含み、各レールサポート（ｒａｉｌ ｓｕｐｐｏｒｔ）１５によって半導体製造工場の天井側に設置され得る。それぞれのレールサポート１５は、下端部分が一対のレール部材を支持し、上端部分が半導体製造工場の天井に定着し得る。一対のレール部材は、上側に走行面を提供するように形成され得る。
図２に示したように、給電ユニット４０は、走行レール１０の下部に移送経路１１に沿って設置された給電ライン４１を含むことができる。給電ライン４１は一対で構成され得る。給電ライン４１は、一対のレール部材の間に配置され、走行レール１０に装着された各ラインサポート４２によって支持され得る。給電ライン４１は、駆動電力を提供する電源供給装置と電気的に連結される。
物品移送装置２０のそれぞれは、走行レール１０に沿って走行するビークル１００、及びビークル１００の下部で物品Ｆを支持するホイスト装置２００を含むことができる。ホイスト装置２００は、ビークル１００と共に移動し、物品Ｆを支持することができる。
ビークル１００は、車体１１０及び各ホイール（ｗｈｅｅｌ）１２０を含む。車体１１０には、左右方向に延長された車軸が装着され得る。車軸は、複数で提供され、前後方向に互いに離隔し得る。各ホイール１２０は、車体１１０が走行レール１０の案内に従って走行できるように車体１１０に移動性を付与する走行ホイールである。各ホイール１２０は、車軸の両端部分にそれぞれ装着され、一対のレールの走行面にそれぞれ接触して転動することができる。ビークル１００は、各ホイール１２０を回転させるための動力を提供するホイール駆動ユニット１３０をさらに含むことができる。一例として、ホイール駆動ユニット１３０は、車軸を回転させるように構成され得る。
ホイスト装置２００は、ホイストハウジング（ｈｏｉｓｔ ｈｏｕｓｉｎｇ）２１０を含む。ホイストハウジング２１０は、走行レール１０の下方でビークル１００と互いに連結される。ホイストハウジング２１０は、上部が車体１１０の下部に単数又は複数の連結機によって連結され得る。ホイストハウジング２１０には、内部に物品が収容される収容空間２１２が形成され得る。
ホイストハウジング２１０は、物品を収容空間２１２から左右方向に移動させ、下側方向に移動させ得るように、左右両側及び下側が全て開放された構造を有して形成され得る。
併せて、ホイスト装置２００は、物品Ｆをグリップ又はアングリップするためのハンドユニット２２０、及びハンドユニット２２０を第１位置と第２位置との間に移動させるハンド移動ユニットをさらに含むことができる。第１位置は、ハンドユニット２２０がグリップした物品Ｆがホイストハウジング２１０の収容空間２１２に収容される位置であって、第２位置は、このような第１位置から逸脱した位置に該当するホイストハウジング２１０の外部であり得る。
ホイスト装置２００は、ハンド移動ユニットであって、上下駆動ユニット２３０、回転駆動ユニット２４０及び水平駆動ユニット２５０を含むことができる。
ハンドユニット２２０は、物品に対するグリップ及びアングリップを行うハンド、及びハンドを支持するハンドサポートを含むことができる。
上下駆動ユニット２３０は、ハンドユニット２２０を上下方向に移動させることができる。上下駆動ユニット２３０は、少なくとも一つ以上のベルト（ｂｅｌｔ）をドラム（ｄｒｕｍ）に対してワインディング（ｗｉｎｄｉｎｇ）又はアンワインディング（ｕｎｗｉｎｄｉｎｇ）する方式でハンドユニット２２０を上下方向に移動させることができる。回転駆動ユニット２４０は、ハンドユニット２２０を上下方向の軸を中心に回転させることができ、水平駆動ユニット２５０は、ハンドユニット２２０を左右方向に移動させることができる。一例として、ハンドユニット２２０を上下駆動ユニット２３０によって上下方向に移動させ、上下駆動ユニット２３０を回転駆動ユニット２４０によって上下方向の軸を中心に回転させ、回転駆動ユニット２４０を水平駆動ユニット２５０によって左右方向に移動させることによって、ハンドユニット２２０によってグリップされた物品を上下方向に移動させたり、上下方向の軸を中心に回転させたり、左右方向に移動させることができる。
図４は、図１の物品移送装置２０の水平移送状態を示す正面図で、図５は、図１の物品移送装置２０の垂直移送状態を示す正面図で、図６は、図１の物品移送装置２０に対応する物品保管台Ｓを示す側面図で、図７は、図２の物品移送装置２０の位置感知状態を示す平面図である。
図１乃至図７に示したように、本発明の一部の実施形態に係る物品移送装置２０は、走行レール１０に沿って走行しながら物品Ｆを移送する車両本体と、車両本体に設置され、物品Ｆが保管される物品保管台Ｓの定位置Ｐ２に物品Ｆを載置できるように、前記物品Ｆが保管され得る物品保管台Ｓに設置された感知対象物４１０から定位置Ｐ２と関連した位置情報を感知する位置感知装置４００とを含むことができる。
図４に示したように、位置感知装置４００は、感知対象物４１０を撮影できるカメラＣを含むことができる。位置感知装置４００は、サイドトラックバッファー（Ｓｉｄｅ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＳＴＢ）３１に全体的に垂直に立てられた感知対象物４１０を撮影できるように水平方向の指向角を有する水平式カメラＣ１を含むことができる。
ここで、車両本体は、走行レール１０に沿って走行するビークル１００と、ビークル１００の下部に設置され、物品Ｆを支持し、位置感知装置４００が設置されるホイスト装置２００とを含むことができる。
また、ホイスト装置２００は、内部に物品Ｆが収容される収容空間２１２が形成され、位置感知装置４００が設置されるホイストハウジング２１０と、物品Ｆをグリップ又はアングリップするハンドユニット２２０と、ハンドユニット２２０を収容空間２１２から物品保管台Ｓの定位置Ｐ２に移動させるハンド移動ユニットとを含むことができる。
ここで、上述したように、ハンド移動ユニットは、上下駆動ユニット２３０、回転駆動ユニット２４０及び水平駆動ユニット２５０を含むことができる。
感知対象物４１０には、少なくとも物品保管台Ｓの固有情報、物品保管台の保管位置情報、基準位置情報、基準位置情報から第１方向に離隔する第１距離情報、基準位置情報から第２方向に離隔する第２距離情報、基準位置情報から第３方向に離隔する第３距離情報、保管が可能な物品情報、製造社情報、管理担当者情報、及び製品固有情報のうちいずれか一つ又はこれらの組み合わせのうちいずれか一つが表示され得る。
図３及び図７に示したように、本発明の一部の実施形態に係る物品移送装置２０は、位置感知装置４００で撮影された映像又は認識された情報から基準位置Ｐ１を認識し、基準位置Ｐ１から第１方向Ｉに第１距離Ｌ１だけ離隔し、第２方向ＩＩに第２距離Ｌ２だけ離隔したり、又は、第３方向（上下方向）に第３距離（図示せず）だけ離隔した位置を物品Ｆの整列基準の棚３３の中心になる前記物品保管台Ｓの定位置Ｐ２として認識する制御部４２０をさらに含むことができる。
ここで、第１方向Ｉ、第２方向ＩＩ及び第３方向は互いに直交し得るものであって、例えば、第１方向ＩはＸ軸を示し、第２方向ＩＩはＹ軸を示し、第３方向はＺ軸を示すことができる。
図７に示したように、上述した定位置Ｐ２を基準にして物品Ｆの底面に形成された整列溝部に対応するように、棚３３に３個の整列突起Ｔが三角配置され得る。
したがって、このような本発明の一部の実施形態に係る物品移送装置２０の作動過程を説明すると、まず、図２及び図７に示したように、車両本体が走行レール１０に沿って走行しながら物品Ｆを移送する途中で、車両本体に設置された水平式カメラＣ１が、物品Ｆが保管され得る物品保管台Ｓにおいて水平式カメラＣ１と同一の高さであったり、又は水平式カメラＣ１の水平感知範囲内に設置された感知対象物４１０から物品Ｆが保管される物品保管台Ｓの定位置Ｐ２と関連した位置情報を感知することができる。
次いで、図４に示したように、定位置Ｐ２と関連した感知された位置情報に基づいて物品Ｆをグリップしたハンドユニット２２０が水平駆動ユニット２５０によって水平方向に伸長され、物品Ｆが定位置Ｐ２の上方に正確に位置し得る。
次いで、図５に示したように、物品Ｆをグリップしたハンドユニット２２０が上下駆動ユニット２３０によって下降し、物品Ｆを定位置Ｐ２に載置させることができる。
図８は、図２の物品移送装置２０の感知対象物４１０の多くの一例を示す図である。
図８に示したように、本発明の一部の実施形態に係る物品移送装置２０の感知対象物４１０は、カメラＣが表示された基準位置Ｐ１を撮影して認識できるように、少なくとも円形４１２－１、同心円形、十字形４１２－２、目盛り形、垂直目盛り形、水平目盛り形、及び幾何学的目盛り形のうちいずれか一つ又はこれらの組み合わせのうちいずれか一つで構成され得る。
感知対象物４１０には、図面に必ずしも限定されることなく、カメラの撮影時、表示された形状によって基準位置Ｐ１を把握できるように、特定の地点の認識を可能にする非常に多様な表示物が全て適用され得る。
例えば、図８の左側の図面に示した円形４１２－１は、映像認識プログラムによって円形４１２－１の中心点を特定することができ、図８の中間の図面に示した十字形４１２－２も交差点を正確に特定することができる。
したがって、感知対象物４１０には、これ以外にも、特定の地点の認識を可能にする全ての形態の表示物が全て適用され得る。
また、例えば、図８の右側の図面に示したように、感知対象物４１０は、カメラＣが表示された情報を撮影して認識できるように、少なくともＱＲコード（登録商標）４１２－３、バーコード、多様な記号や物体などの識別子のうちいずれか一つ又はこれらの組み合わせのうちいずれか一つで構成され得る。
ここで、ＱＲコード（登録商標）４１２－３は、３個の角に角記号が表示されたものであって、これを通じて基準点を特定することができ、その他のバーコードや多様な形態の識別子が全て適用され得る。
図９は、図８の物品移送装置２０の感知対象物４１０の多くの一例を示す斜視図である。
図９に示したように、本発明の一部の実施形態に係る物品移送装置２０の感知対象物４１０は、全体的に立てられた形態であって、物品保管台Ｓ又は物品保管台Ｓの近隣に設置され得る折り曲げられた形態のブラケット４１１と、ブラケット４１１に表示（図８の左側の図面）されたり、ブラケット４１１にステッカーの形態で接着（図８の右側の図面）し得る識別子４１２とを含むことができる。
ブラケット４１１は、ねじ、ボルト、ベルクロ（登録商標）テープ、両面テープ又は接着剤などの各種固定具を用いて物品保管台のフレームなどに精密に位置を調整しながら設置され得る。識別子４１２は、ブラケット４１１、ステッカー又は印刷用紙などに印刷又は表示されたり、陰刻又は陽刻で形成され得る。
そのため、物品保管台Ｓに設置された感知対象物４１０を位置感知装置４００で感知し、物品保管台Ｓ上の物品が載置される定位置を正確に認識できるので、別途のティーチング作業や高度に熟練した作業者が不必要であり、これを通じて作業時間、努力及び人力を大きく節減することができ、位置認識の正確度や精密度を大きく高めることができ、長時間にわたって外力が蓄積され、物品保管台Ｓに微細な変形が発生した場合にも、物品Ｆを保管する度に定位置を再感知することによって、物品Ｆの衝突事故、定位置からの離脱事故、物品移送エラー現象などを事前に予防することができる。
図１０は、本発明の一部の他の実施形態に係る物品移送装置２１を示す正面図である。
図１０に示したように、本発明の一部の他の実施形態に係る物品移送装置２１の位置感知装置４００は、アンダートラックバッファー（Ｕｎｄｅｒ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＵＴＢ）３２又は装備のステージやポート（図示せず）に全体的に水平に横たわった前記感知対象物４１０を撮影できるように垂直下向きの指向角を有する垂直式カメラＣ２を含むことができる。
したがって、このような本発明の一部の他の実施形態に係る物品移送装置２１の作動過程を説明すると、車両本体が走行レール１０に沿って走行しながら物品Ｆを移送する途中で、車両本体に設置された垂直式カメラＣ２が、物品Ｆが保管され得る物品保管台Ｓにおいて垂直式カメラＣ２の経路の直下方に設置されたり、又は垂直式カメラＣ２の垂直感知範囲内に設置された感知対象物４１０から物品Ｆが保管される物品保管台Ｓの定位置Ｐ２と関連した位置情報を感知することができる。
このとき、垂直式カメラＣ２は、感知対象物４１０を明確に判別するために自動焦点調節式カメラが適用され得るものであって、制御部４２０が、前記位置感知装置４００で撮影された映像の焦点距離を用いて距離を判別することも可能である。
次いで、定位置Ｐ２と関連した感知された位置情報に基づいて物品Ｆをグリップしたハンドユニット２２０が上下駆動ユニット２３０によって下降し、物品Ｆを定位置Ｐ２に載置させることができる。
図１１は、図１０の物品移送装置２１の感知対象物４１０の多くの一例を示す斜視図である。
図１１に示したように、本発明の一部の実施形態に係る物品移送装置２１の感知対象物４１０は、全体的に横たわった形態であって、物品保管台Ｓ又は物品保管台Ｓの近隣に設置され得る平らな形態のブラケット４１１と、ブラケット４１１に表示（図８の左側の図面）されたり、ブラケット４１１にステッカーの形態で接着（図８の右側の図面）し得る識別子４１２とを含むことができる。
ブラケット４１１は、ねじ、ボルト、ベルクロ（登録商標）テープ、両面テープ又は接着剤などの各種固定具を用いて物品保管台のフレームなどに精密に位置を調整しながら設置され得る。識別子４１２は、ブラケット４１１、ステッカー又は印刷用紙などに印刷又は表示されたり、陰刻又は陽刻で形成され得る。
図１２は、本発明の一部の更に他の実施形態に係る物品移送装置２２を示す正面図である。
図１２に示したように、本発明の一部の更に他の実施形態に係る物品移送装置２２の位置感知装置４００は、車両本体の一部分に設置され、サイドトラックバッファー（Ｓｉｄｅ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＳＴＢ）３１に全体的に垂直に立てられた感知対象物４１０を撮影できるように水平方向の指向角を有する水平式カメラＣ１と、車両本体の他の部分に設置され、アンダートラックバッファー（Ｕｎｄｅｒ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＵＴＢ）３２又は装備のステージやポートに全体的に水平に横たわった感知対象物を撮影できるように垂直下向きの指向角を有する垂直式カメラＣ２とを全て含むことができる。
したがって、本発明の一部の更に他の実施形態に係る物品移送装置２２の位置感知装置４００は、２個のカメラＣ１、Ｃ２を全て用いるものであって、車両本体が走行レール１０に沿って走行しながら物品Ｆを移送する途中で、例えば、サイドトラックバッファー（Ｓｉｄｅ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＳＴＢ）３１を通過する場合は、車両本体に設置された水平式カメラＣ１が、物品Ｆが保管され得る物品保管台Ｓにおいて水平式カメラＣ１と同一の高さであったり、又は水平式カメラＣ１の水平感知範囲内に設置された感知対象物４１０から物品Ｆが保管される物品保管台Ｓの定位置Ｐ２と関連した位置情報を感知することができ、例えば、アンダートラックバッファー（Ｕｎｄｅｒ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＵＴＢ）３２又は装備のステージやポートを通過する場合は、車両本体が走行レール１０に沿って走行しながら物品Ｆを移送する途中で、車両本体に設置された垂直式カメラＣ２が、物品Ｆが保管され得る物品保管台Ｓにおいて垂直式カメラＣ２の経路の直下方に設置されたり、又は垂直式カメラＣ２の垂直感知範囲内に設置された感知対象物４１０から物品Ｆが保管される物品保管台Ｓの定位置Ｐ２と関連した位置情報を感知することができる。
したがって、如何なる形態のバッファーであっても、ティーチング過程なしで物品保管台Ｓの定位置を確認し、物品の自律的な積み降ろしを可能にする。
図１３は、本発明の一部の更に他の実施形態に係る物品移送装置２３を示す拡大正面図である。
図１３に示したように、本発明の一部の更に他の実施形態に係る物品移送装置２３の位置感知装置４００は、車両本体の一部分に設置され、サイドトラックバッファー（Ｓｉｄｅ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＳＴＢ）３１に全体的に垂直に立てられた前記感知対象物４１０を撮影することができ、アンダートラックバッファー（Ｕｎｄｅｒ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＵＴＢ）３２又は装備のステージやポートに全体的に水平に横たわった前記感知対象物４１０を撮影できるように、制御部４２０で制御される駆動モーターＭによって水平方向から垂直下向き方向に指向角が可変する可変式カメラＣ３を含むことができる。
したがって、一つの可変式カメラＣ３を用いてサイドトラックバッファー３１では水平方向に指向角を調整し、アンダートラックバッファー３２又は装備のステージやポートでは垂直方向に指向角を調整することによって、多様な形態で設置された感知対象物４１０を全て感知することも可能である。
図１４は、本発明の一部の更に他の実施形態に係る物品移送装置２４を示す拡大正面図である。
図１４に示したように、本発明の一部の更に他の実施形態に係る物品移送装置２４の位置感知装置４００は、基準位置を特定するためのカメラＣと、基準位置を基準にして定位置の位置情報などの多様な形態の情報を感知して読み取れる情報リーダーＲを含み、感知対象物４１０は、識別子４１２、前記情報リーダーＲで読み取れる少なくともＲＦＩＤ（ＲＦ）、ＮＦＣ、ブルートゥース（登録商標）チップ、及びＷｉ－ｆｉチップのうちいずれか一つ又はこれらの組み合わせのうちいずれか一つ以上を含む情報記憶装置であり得る。
したがって、カメラＣで基準位置を特定し、情報リーダーＲで残りの情報を収集することによって定位置を判別することも可能である。このような情報リーダーＲには、非接触方式で各種情報を読み取れる非常に多様な形態の情報リーダーが全て適用され得る。
そのため、本発明によると、物品保管台Ｓに設置された感知対象物４１０を位置感知装置４００で感知し、物品保管台Ｓ上の物品Ｆが載置される定位置を正確に認識できるので、別途のティーチング作業や高度に熟練した作業者が不必要であり、これを通じて作業時間、努力及び人力を大きく節減することができ、位置認識の正確度や精密度を大きく高めることができ、長時間にわたって外力が蓄積され、物品保管台Ｓに微細な変形が発生した場合にも、物品Ｆを保管する度に新しく定位置を再感知することによって、物品Ｆの衝突事故、定位置から離脱事故、物品移送エラー現象などを事前に予防することができる。
図１５は、本発明の一部の実施形態に係る物品移送方法を示すフローチャートである。
図１乃至図１５に示したように、本発明の一部の実施形態に係る物品移送方法は、（ａ）車両本体が走行レール１０に沿って走行しながら物品Ｆを移送する段階と、（ｂ）車両本体に設置された位置感知装置４００が、物品Ｆが保管され得る物品保管台Ｓに設置された感知対象物４１０から物品Ｆが保管される物品保管台Ｓの定位置Ｐ２と関連した位置情報を感知する段階と、（ｃ）車両本体が、物品Ｆを物品保管台Ｓの定位置Ｐ２に移動させ、物品Ｆを物品保管台Ｓに載置させる段階とを含むことができる。
ここで、制御部４２０は、位置感知装置４００で撮影された映像又は認識された情報から基準位置Ｐ１を認識し、基準位置Ｐ１から第１方向Ｉに第１距離Ｌ１だけ離隔し、第２方向ＩＩに第２距離Ｌ２だけ離隔したり、又は第３方向に第３距離だけ離隔した位置を物品Ｆの整列基準の中心になる物品保管台Ｓの定位置Ｐ２として認識することができる。
また、例えば、前記（ｂ）段階において、制御部４２０は、前記位置感知装置４００で撮影された映像の焦点距離を用いて距離を判別することができる。
また、前記（ｂ）段階において、物品保管台Ｓがサイドトラックバッファー３１である場合、全体的に垂直に立てられた感知対象物４１０を撮影できるように水平方向の指向角を有する水平式カメラＣ１、又は垂直下向き方向から垂直方向に指向角が可変する可変式カメラＣ３を用いて感知対象物４１０を撮影することができ、物品保管台Ｓがアンダートラックバッファー３２又は装備のステージやポートである場合、全体的に水平に横たわった感知対象物４１０を撮影できるように垂直下向きの指向角を有する垂直式カメラＣ２、又は水平方向から垂直下向き方向に指向角が可変する可変式カメラＣ３を用いて感知対象物４１０を撮影することも可能である。
本発明は、図面に示した実施形態を参考にして説明したが、これは例示的なものに過ぎなく、当該技術分野で通常の知識を有する者であれば、これから多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であることを理解するだろう。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は、添付の特許請求の範囲の技術的思想によって定められるべきであろう。
１ 半導体製造設備
Ｆ 物品
１０ 走行レール
２０、２１、２２、２３、２４ 物品移送装置
Ｓ 物品保管台
３０ バッファー
３１ サイドトラックバッファー
３２ アンダートラックバッファー
３３ 棚
Ｔ 整列突起
４０ 給電ユニット
１００ ビークル
２００ ホイスト装置
２１０ ホイストハウジング
２１２ 収容空間
２２０ ハンドユニット
２３０ 上下駆動ユニット
２４０ 回転駆動ユニット
２５０ 水平駆動ユニット
３００ 電源装置
４００ 位置感知装置
４１０ 感知対象物
４１１ ブラケット
４１２ 識別子
４１２－１ 円形
４１２－２ 十字形
４１２－３ ＱＲコード（登録商標）
Ｃ カメラ
Ｃ１ 水平式カメラ
Ｃ２ 垂直式カメラ
Ｃ３ 可変式カメラ
Ｍ 駆動モーター
４２０ 制御部
Ｐ１ 基準位置
Ｐ２ 定位置
Ｉ 第１方向
ＩＩ 第２方向
Ｌ１ 第１距離
Ｌ２ 第２距離
Ｒ 情報リーダー

Claims (20)

  1. 走行レールに沿って走行しながら物品を移送する車両本体と、
    前記車両本体に設置され、前記物品が保管される物品保管台の定位置に前記物品を載置できるように、前記物品が保管され得る物品保管台に設置された感知対象物から前記定位置と関連した位置情報を感知する位置感知装置と、
    を含む、物品移送装置。
  2. 前記位置感知装置は、前記感知対象物を撮影できるカメラを含む、請求項１に記載の物品移送装置。
  3. 前記位置感知装置は、サイドトラックバッファー（Ｓｉｄｅ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＳＴＢ）に全体的に垂直に立てられた前記感知対象物を撮影できるように水平方向の指向角を有する水平式カメラである、請求項２に記載の物品移送装置。
  4. 前記位置感知装置は、アンダートラックバッファー（Ｕｎｄｅｒ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＵＴＢ）又は装備のステージやポートに全体的に水平に横たわった前記感知対象物を撮影できるように垂直下向きの指向角を有する垂直式カメラである、請求項２に記載の物品移送装置。
  5. 前記位置感知装置は、
    前記車両本体の一部分に設置され、サイドトラックバッファー（Ｓｉｄｅ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＳＴＢ）に全体的に垂直に立てられた前記感知対象物を撮影できるように水平方向の指向角を有する水平式カメラと、
    前記車両本体の他の部分に設置され、アンダートラックバッファー（Ｕｎｄｅｒ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＵＴＢ）又は装備のステージやポートに全体的に水平に横たわった前記感知対象物を撮影できるように垂直下向きの指向角を有する垂直式カメラと、
    を含む、請求項２に記載の物品移送装置。
  6. 前記位置感知装置は、
    前記車両本体の一部分に設置され、サイドトラックバッファー（Ｓｉｄｅ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＳＴＢ）に全体的に垂直に立てられた前記感知対象物を撮影できると共に、アンダートラックバッファー（Ｕｎｄｅｒ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＵＴＢ）又は装備のステージやポートに全体的に水平に横たわった前記感知対象物を撮影できるように水平方向から垂直下向き方向に指向角が可変する可変式カメラ
    を含む、請求項２に記載の物品移送装置。
  7. 前記感知対象物は、
    前記物品保管台又は前記物品保管台の近隣に設置され得るブラケットと、
    前記ブラケットに表示されたり、前記ブラケットにステッカーの形態で接着し得る識別子と、
    を含む、請求項１に記載の物品移送装置。
  8. 前記感知対象物は、カメラが表示された基準位置を撮影して認識できるように、少なくとも円形、同心円形、十字形、目盛り形、垂直目盛り形、水平目盛り形、及び幾何学的目盛り形のうちいずれか一つ又はこれらの組み合わせのうちいずれか一つで構成される、請求項１に記載の物品移送装置。
  9. 前記感知対象物は、カメラが表示された情報を撮影して認識できるように、少なくともＱＲコード（登録商標）、バーコード、及び識別子のうちいずれか一つ又はこれらの組み合わせのうちいずれか一つで構成される、請求項１に記載の物品移送装置。
  10. 前記位置感知装置は、カメラ及び情報リーダーであって、
    前記感知対象物は、前記情報リーダーで読み取れる少なくともＲＦＩＤ、ＮＦＣ、ブルートゥース（登録商標）チップ、及びＷｉ－ｆｉチップのうちいずれか一つ又はこれらの組み合わせのうちいずれか一つ以上を含む情報記憶装置である、請求項１に記載の物品移送装置。
  11. 前記感知対象物には、少なくとも前記物品保管台の固有情報、前記物品保管台の保管位置情報、基準位置情報、前記基準位置情報から第１方向に離隔する第１距離情報、前記基準位置情報から第２方向に離隔する第２距離情報、前記基準位置情報から第３方向に離隔する第３距離情報、保管が可能な物品情報、製造社情報、管理担当者情報、及び製品固有情報のうちいずれか一つ又はこれらの組み合わせのうちいずれか一つが表示される、請求項１に記載の物品移送装置。
  12. 前記位置感知装置で撮影された映像又は認識された情報から基準位置を認識し、前記基準位置から第１方向に第１距離だけ離隔し、第２方向に第２距離だけ離隔し、又は第３方向に第３距離だけ離隔した位置を前記物品の整列基準の中心になる前記物品保管台の定位置として認識する制御部
    をさらに含む、請求項１に記載の物品移送装置。
  13. 前記位置感知装置で撮影された映像の焦点距離を用いて距離を判別する制御部
    をさらに含む、請求項１に記載の物品移送装置。
  14. 前記車両本体は、
    前記走行レールに沿って走行するビークルと、
    前記ビークルの下部に設置され、前記物品を支持し、前記位置感知装置が設置されるホイスト装置と、
    を含む、請求項１に記載の物品移送装置。
  15. 前記ホイスト装置は、
    内部に前記物品が収容される収容空間が形成され、前記位置感知装置が設置されるホイストハウジングと、
    前記物品をグリップ又はアングリップするハンドユニットと、
    前記ハンドユニットを前記収容空間から前記物品保管台の前記定位置に移動させるハンド移動ユニットと、
    を含む、請求項１４に記載の物品移送装置。
  16. （ａ）車両本体が走行レールに沿って走行しながら物品を移送する段階と、
    （ｂ）前記車両本体に設置された位置感知装置が、前記物品が保管され得る物品保管台に設置された感知対象物から前記物品が保管される物品保管台の定位置と関連した位置情報を感知する段階と、
    （ｃ）前記車両本体が、前記物品を前記物品保管台の前記定位置に移動させ、前記物品を前記物品保管台に載置させる段階と、
    を含む、物品移送方法。
  17. 前記（ｂ）段階において、
    制御部が、前記位置感知装置で撮影された映像又は認識された情報から基準位置を認識し、前記基準位置から第１方向に第１距離だけ離隔し、第２方向に第２距離だけ離隔したり、又は第３方向に第３距離だけ離隔した位置を前記物品の整列基準の中心になる前記物品保管台の定位置として認識する、請求項１６に記載の物品移送方法。
  18. 前記（ｂ）段階において、
    制御部が、前記位置感知装置で撮影された映像の焦点距離を用いて距離を判別する、請求項１６に記載の物品移送方法。
  19. 前記（ｂ）段階において、
    前記物品保管台がサイドトラックバッファー（Ｓｉｄｅ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＳＴＢ）である場合、全体的に垂直に立てられた前記感知対象物を撮影できるように水平方向の指向角を有する水平式カメラ、又は垂直下向き方向から垂直方向に指向角が可変する可変式カメラを用いて前記感知対象物を撮影し、
    前記物品保管台がアンダートラックバッファー（Ｕｎｄｅｒ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＵＴＢ）又は装備のステージやポートである場合、全体的に水平に横たわった前記感知対象物を撮影できるように垂直下向きの指向角を有する垂直式カメラ、又は水平方向から垂直下向き方向に指向角が可変する前記可変式カメラを用いて前記感知対象物を撮影する、請求項１６に記載の物品移送方法。
  20. 走行レールに沿って走行しながら物品を移送する車両本体と、
    前記車両本体に設置され、前記物品が保管される物品保管台の定位置に前記物品を載置できるように、前記物品が保管され得る物品保管台に設置された感知対象物から前記定位置と関連した位置情報を感知する位置感知装置と、
    前記位置感知装置で撮影された映像又は認識された情報から基準位置を認識し、前記基準位置から第１方向に第１距離だけ離隔し、第２方向に第２距離だけ離隔し、又は第３方向に第３距離だけ離隔した位置を前記物品の整列基準の中心になる物品保管台の定位置として認識する制御部と、を含み、
    前記位置感知装置は、前記感知対象物を撮影できるカメラを含み、前記位置感知装置は、サイドトラックバッファー（Ｓｉｄｅ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＳＴＢ）に全体的に垂直に立てられた前記感知対象物を撮影できるように水平方向の指向角を有する水平式カメラ、又はアンダートラックバッファー（Ｕｎｄｅｒ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ、ＵＴＢ）又は装備のステージやポートに全体的に水平に横たわった前記感知対象物を撮影できるように垂直下向きの指向角を有する垂直式カメラであって、
    前記車両本体は、
    前記走行レールに沿って走行するビークルと、
    前記ビークルの下部に設置され、前記物品を支持するホイスト装置と、を含み、
    前記ホイスト装置は、
    内部に前記物品が収容される収容空間が形成され、前記位置感知装置が設置されるホイストハウジングと、
    前記物品をグリップ又はアングリップするハンドユニットと、
    前記ハンドユニットを前記収容空間から前記物品保管台の前記定位置に移動させるハンド移動ユニットと、
    を含む、物品移送装置。
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