JP2023091557A - ヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置 - Google Patents

Abstract

【課題】省電力化を図った上で、発生圧力を向上させることができるヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置を提供する。【解決手段】本開示の一態様に係るヘッドチップは、流路部材と、アクチュエータプレートと、駆動電極と、を備えている。駆動電極は、アクチュエータプレートの第１面のうち、圧力室又は仕切壁に対して第１方向から見て重なり合って設けられた第１電極と、アクチュエータプレートの第１面において第１電極に隣り合って設けられ、第１電極との間で電位差を生じさせる第２電極と、アクチュエータプレートの第２面のうち、第１電極に向かい合う位置に各別に設けられ、第１電極との間で電位差を生じさせる第１対向電極と、を備えている。【選択図】図３

Description

本開示は、ヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置に関する。

インクジェットプリンタに搭載されるヘッドチップは、圧力室内に収容されたインクを、ノズル孔を通じて吐出することで、被記録媒体に対して文字や画像等の印刷情報を記録する。ヘッドチップにおいて、インクを吐出させるには、まず圧電材料により形成されたアクチュエータプレートに対して電界を発生させ、アクチュエータプレートを変形させる。ヘッドチップでは、アクチュエータプレートの変形によって圧力室内の圧力が増加することで、ノズル孔を通じてインクが吐出される。

ここで、アクチュエータプレートの変形モードとして、アクチュエータプレートに発生する電界によってアクチュエータプレートをせん断変形（厚み滑り変形）させる、いわゆるシェアモードがある。シェアモードには、いわゆるウォールベンド型やルーフシュート型が含まれる。

ウォールベンド型のヘッドチップは、アクチュエータプレート自体に圧力室が形成された構成である。ウォールベンド型のヘッドチップでは、圧力室を挟んで向かい合う仕切壁同士が接近又は離間する方向に変形することで、圧力室内の容積が変化する。
一方、ルーフシュート型のヘッドチップは、流路部材に形成された圧力室に対し、アクチュエータプレートが向かい合って配置された構成である（例えば、下記特許文献１参照）。ルーフシュート型のヘッドチップでは、アクチュエータプレートが厚さ方向に変形することで、圧力室の容積が変化する。

米国特許第４５８４５９０号明細書

ルーフシュート型のヘッドチップでは、ウォールベンド型のヘッドチップと異なり、アクチュエータプレートとは別部材（流路部材）に圧力室が形成されていることから、製造効率や耐久性の向上を図ることが可能になる。
一方、ルーフシュート型のヘッドチップでは、アクチュエータプレートが圧力室の一面のみにしか面していないことから、ウォールベンド型のヘッドチップに比べ圧力室内の発生圧力を確保し難いという課題があった。ルーフシュート型のヘッドチップにおいて、発生圧力を確保するためには、駆動電圧を大きくする必要がある。

本開示は、省電力化を図った上で、インク吐出時における圧力室内の発生圧力を向上させることができるヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置を提供する。

上記課題を解決するために、本開示は以下の態様を採用した。
（１）本開示の一態様に係るヘッドチップは、液体が収容される複数の圧力室が仕切壁によって仕切られた状態で配列された流路部材と、前記圧力室に対して第１方向に向かい合った状態で前記流路部材上に積層されるとともに、前記第１方向を分極方向とするアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートのうち前記第１方向の第１側を向く第１面、及び前記第１側と反対側である第２側を向く第２面にそれぞれ形成されるとともに、前記アクチュエータプレートを前記第１方向に変形させて前記圧力室の容積をそれぞれ変化させる駆動電極と、を備え、前記駆動電極は、前記アクチュエータプレートの前記第１面のうち、前記圧力室又は前記仕切壁に対して前記第１方向から見て重なり合って設けられた第１電極と、前記アクチュエータプレートの前記第１面において前記第１電極に隣り合って設けられ、前記第１電極との間で電位差を生じさせる第２電極と、前記アクチュエータプレートの前記第２面のうち、前記第１電極に向かい合う位置に各別に設けられ、前記第１電極との間で電位差を生じさせる第１対向電極と、を備えている。

本態様によれば、第１電極及び第２電極間に電位差を発生させることで、アクチュエータプレートの分極方向に交差する方向に電界を発生させることができる。これにより、アクチュエータプレートをシェアモード（ルーフシュート型）で第１方向に変形させることで、圧力室の容積を変化させることができる。
また、本態様では、第１電極及び第１対向電極間に電位差を発生させることで、アクチュエータプレートの分極方向にも電界を発生させることができる。これにより、アクチュエータプレートをベンドモード（バイモルフ型）で第１方向に変形させることで、圧力室の容積を変化させることができる。
このように、シェアモード及びベンドモードの双方の駆動モードによってアクチュエータプレートを第１方向に変形させることで、圧力室の発生圧力を向上させ、省電力化を図ることができる。
特に、本態様では、第１対向電極が第１電極に対応して各別に設けられているため、第１対向電極が第２面上において間隔をあけて設けられることになる。そのため、例えば第２面の全域に第１対向電極が形成されている場合に比べ、アクチュエータプレートの静電容量を小さくすることができる。その結果、アクチュエータプレートの応答性を向上させることができるとともに、アクチュエータプレートでの発熱も抑制できる。

（２）上記（１）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記駆動電極は、前記第２面において前記第２電極に向かい合い、かつ前記第１対向電極に隣り合って設けられた第２対向電極を備え、前記第２対向電極は、前記第２電極との間で前記第１方向に電位差を生じさせるとともに、前記第１対向電極との間で前記第１方向に交差する方向に電位差を生じさせてもよい。
本態様によれば、第２面において、第１対向電極及び第２対向電極が隣り合って設けられるので、第１対向電極及び第２対向電極間に発生する電位差によってアクチュエータプレートをシェアモードにより変形させることができる。
また、第２電極及び第２対向電極間に発生する電位差によってアクチュエータプレートをベンドモードにより変形させることができる。その結果、発生圧力の更なる向上及び、省電力化を図ることができる。

（３）上記（２）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記アクチュエータプレートの前記第１面は、前記流路部材に対して前記第１方向で向かい合って配置され、前記第２電極の全体は、前記第１方向から見て前記仕切壁と重なり合う位置に設けられていてもよい。
本態様によれば、アクチュエータプレートの第１面のうち圧力室に向かい合う部分に第２電極が形成されないので、第１面のうち圧力室に向かい合う部分に形成される電極（第１電極）の面積を確保し易い。その結果、第１電極に起因してアクチュエータプレートに発生する電界を確保し易く、圧力室の発生圧力を向上させ易い。
また、アクチュエータプレートの第１面のうち圧力室に向かい合う部分に第２電極が形成されないので、アクチュエータプレートのうち、圧力室に向かい合う部分が変形する際に、アクチュエータプレートの変形が第２電極によって阻害されることを抑制できる。すなわち、アクチュエータプレートの変形の起点を、アクチュエータプレートと仕切壁との境界部分まで広げることができるので、アクチュエータプレートの変形量を確保し、発生圧力を向上させることができる。

（４）上記（２）又は（３）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記第２対向電極のうち、一部は前記第１方向から見て前記仕切壁と重なり合う位置で前記第２電極に向かい合って設けられ、残りの一部は前記第１方向から見て前記圧力室に重なり合う位置に設けられていてもよい。
本態様によれば、第２対向電極のうち、一部を第２電極に向かい合わせた状態で、残りの一部を圧力室に向かい合う位置まで延ばす。これにより、アクチュエータプレートがベンドモードで変形する際に、第２対向電極と第２電極との間の電位差に起因してアクチュエータプレートに発生する電界を、アクチュエータプレートのうち圧力室と向かい合う部分に効果的に発生させることができる。 また、第１対向電極及び第２対向電極同士を接近させることができるので、アクチュエータプレートがシェアモードで変形する際に第１対向電極と第２対向電極との間の電位差に起因してアクチュエータプレートに発生する電界を、アクチュエータプレートのうち圧力室と向かい合う部分に効果的に発生させることができる。
その結果、アクチュエータプレートを効率的に変形させることができる。

（５）上記（１）から（４）何れかの態様に係るヘッドチップにおいて、前記第１電極及び前記第１対向電極の全体は、前記圧力室と前記第１方向で向かい合う位置に設けられていてもよい。
本態様によれば、第１対向電極及び第１電極の全体が圧力室に向かい合って設けられている。これにより、アクチュエータプレートがベンドモードで変形する際に、第１対向電極と第１電極との間の電位差に起因してアクチュエータプレートに発生する電界を、アクチュエータプレートのうち圧力室と向かい合う部分に効果的に発生させることができる。そのため、アクチュエータプレートを効率的に変形させる ことができる。

（６）上記（１）から（５）何れかの態様に係るヘッドチップは、前記第１方向において、前記アクチュエータプレートを挟んで前記流路部材とは反対側には、前記第１方向における前記流路部材とは反対側への前記アクチュエータプレートの変位を規制する規制部材が積層されていてもよい。
本態様によれば、例えば圧力室内における液体の圧力等に起因してアクチュエータプレートに作用する液体の抵抗力（コンプライアンス）に対し、アクチュエータプレートの第１方向における流路部材とは反対側への変位を規制部材によって規制できる。これにより、アクチュエータプレートの変形を圧力室に向けて効果的に伝えることができる。その結果、アクチュエータプレートの変形時における圧力室内の発生圧力を向上させ、省電力化を図ることができる。

（７）本開示の一態様に係る液体噴射ヘッドは、上記（１）から（６）の何れかの態様に係るヘッドチップを備えている。
本態様によれば、省電力で高性能な液体噴射ヘッドを提供できる。

（８）本開示の一態様に係る液体噴射記録装置は、上記（７）の態様に係る液体噴射ヘッドを備えている。
本態様によれば、省電力で高性能な液体噴射記録装置を提供できる。

本開示の一態様によれば、省電力化を図った上で、発生圧力を向上させることができる。

第１実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図である。 第１実施形態に係るインクジェットヘッド及びインク循環機構の概略構成図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの分解斜視図である。 図３のＩＶ－ＩＶ線に対応するヘッドチップの断面図である。 図４のＶ－Ｖ線に対応するヘッドチップの断面図である。 第１実施形態に係るアクチュエータプレートの底面図である。 第１実施形態に係るアクチュエータプレートの平面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップについて、インク吐出時における変形の挙動を説明するための説明図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するためのフローチャートである。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。 第２実施形態に係るアクチュエータプレートの底面図である。 第２実施形態に係るアクチュエータプレートの平面図である。 第３実施形態に係るヘッドチップの断面図である。 第４実施形態に係るヘッドチップの断面図である。 変形例に係るヘッドチップの断面図である。 変形例に係るヘッドチップの断面図である。 変形例に係るヘッドチップの断面図である。

以下、本開示に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する実施形態や変形例において、対応する構成については同一の符号を付して説明を省略する場合がある。以下の説明において、例えば「平行」や「直交」、「中心」、「同軸」等の相対的又は絶対的な配置を示す表現は、厳密にそのような配置を表すのみならず、公差や同じ機能が得られる程度の角度や距離をもって相対的に変位している状態も表すものとする。以下の実施形態では、インク（液体）を利用して被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

（第１実施形態）
［プリンタ１］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すプリンタ（液体噴射記録装置）１は、一対の搬送機構２，３と、インクタンク４と、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）５と、インク循環機構６と、走査機構７と、を備えている。

以下の説明では、必要に応じてＸ，Ｙ，Ｚの直交座標系を用いて説明する。この場合、Ｘ方向は被記録媒体Ｐ（例えば、紙等）の搬送方向（副走査方向）に一致している。Ｙ方向は走査機構７の走査方向（主走査方向）に一致している。Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向に直交する高さ方向（重力方向）を示している。以下の説明では、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のうち、図中矢印側をプラス（＋）側とし、矢印とは反対側をマイナス（－）側として説明する。本明細書において、＋Ｚ側は重力方向の上方に相当し、－Ｚ側は重力方向の下方に相当する。

搬送機構２，３は、被記録媒体Ｐを＋Ｘ側に搬送する。搬送機構２，３は、例えばＹ方向に延びる一対のローラ１１，１２をそれぞれ含んでいる。
インクタンク４には、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクが各別に収容されている。各インクジェットヘッド５は、接続されたインクタンク４に応じてイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクをそれぞれ吐出可能に構成されている。

図２は、インクジェットヘッド５及びインク循環機構６の概略構成図である。
図１、図２に示すように、インク循環機構６は、インクタンク４とインクジェットヘッド５との間でインクを循環させる。具体的に、インク循環機構６は、インク供給管２１及びインク排出管２２を有する循環流路２３と、インク供給管２１に接続された加圧ポンプ２４と、インク排出管２２に接続された吸引ポンプ２５と、を備えている。

加圧ポンプ２４は、インク供給管２１内を加圧し、インク供給管２１を通してインクジェットヘッド５にインクを送り出している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク供給管２１側は正圧となっている。
吸引ポンプ２５は、インク排出管２２内を減圧し、インク排出管２２内を通してインクジェットヘッド５からインクを吸引している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク排出管２２側は負圧となっている。インクは、加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５の駆動により、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間を、循環流路２３を通して循環可能となっている。

図１に示すように、走査機構７は、インクジェットヘッド５をＹ方向に往復走査させる。走査機構７は、Ｙ方向に延びるガイドレール２８と、ガイドレール２８に移動可能に支持されたキャリッジ２９と、を備えている。

＜インクジェットヘッド５＞
インクジェットヘッド５は、キャリッジ２９に搭載されている。図示の例では、複数のインクジェットヘッド５が、一つのキャリッジ２９にＹ方向に並んで搭載されている。インクジェットヘッド５は、ヘッドチップ５０（図３参照）と、インク循環機構６及びヘッドチップ５０間を接続するインク供給部（不図示）と、ヘッドチップ５０に駆動電圧を印加する制御部（不図示）と、を備えている。

＜ヘッドチップ５０＞
図３は、ヘッドチップ５０の分解斜視図である。図４は、図３のＩＶ－ＩＶ線に対応するヘッドチップ５０の断面図である。図５は、図４のＶ－Ｖ線に対応するヘッドチップ５０の断面図である。
図３～図５に示すヘッドチップ５０は、インクタンク４との間でインクを循環させるとともに、後述する圧力室６１における延在方向（Ｙ方向）の中央部からインクを吐出する、いわゆる循環式サイドシュートタイプのヘッドチップ５０である。ヘッドチップ５０は、ノズルプレート５１と、流路部材５２と、第１フィルム５３と、アクチュエータプレート５４と、第２フィルム５５と、カバープレート５６と、を備えている。以下の説明では、Ｚ方向のうち、ノズルプレート５１からカバープレート５６に向かう方向（＋Ｚ側）を上側とし、カバープレート５６からノズルプレート５１に向かう方向（－Ｚ側）を下側として説明する場合がある。

流路部材５２は、Ｚ方向を厚さ方向とした板状である。流路部材５２は、インク耐性を有する材料により形成されている。このような材料として、例えば金属や金属酸化物、ガラス、樹脂、セラミックス等が採用可能である。流路部材５２には、複数の圧力室６１が形成されている。各圧力室６１内には、インクが収容される。各圧力室６１は、Ｘ方向に間隔をあけて並んでいる。したがって、流路部材５２のうち、隣り合う圧力室６１間に位置する部分は、隣り合う圧力室６１間をＸ方向に仕切る仕切壁６２を構成している。

各圧力室６１は、Ｙ方向に直線状に延びる溝状に形成されている。各圧力室６１は、Ｙ方向における少なくとも一部（第１実施形態ではＹ方向の中央部）において、流路部材５２を貫通している。なお、第１実施形態では、チャネル延在方向がＹ方向に一致する構成について説明するが、チャネル延在方向がＹ方向に交差していてもよい。また、圧力室６１の平面視形状は、長方形状（Ｘ方向及びＹ方向のうち、何れか一方を長手方向とし、他方を短手方向とする形状）に限られない。圧力室６１の平面視形状は、正方形状や三角形状等の多角形状、円形状、楕円形状等であってもよい。

ノズルプレート５１は、流路部材５２の下面に接着等によって固定されている。ノズルプレート５１は、平面視外形が流路部材５２と同等になっている。したがって、ノズルプレート５１は、圧力室６１の下端開口部を閉塞している。第１実施形態において、ノズルプレート５１は、ポリイミド等の樹脂材料により厚さが数十～百数十μｍ程度に形成されている。但し、ノズルプレート５１は、樹脂材料の他、金属材料（ＳＵＳやＮｉ－Ｐｄ等）、ガラス、シリコン等による単層構造、又は積層構造であってもよい。

ノズルプレート５１には、ノズルプレート５１をＺ方向に貫通する複数のノズル孔７１が形成されている。各ノズル孔７１は、Ｘ方向に間隔をあけて配置されている。各ノズル孔７１は、対応する圧力室６１それぞれに対し、Ｘ方向及びＹ方向の中央部で連通している。第１実施形態において、各ノズル孔７１は、例えば上方から下方に向かうに従い内径が漸次縮小するテーパ状に形成されている。第１実施形態では、複数の圧力室６１及び複数のノズル孔７１がＸ方向に一列に並んだ構成について説明したが、この構成に限られない。Ｘ方向に並んだ複数の圧力室６１及び複数のノズル孔７１をノズル列とすると、ノズル列がＹ方向に間隔をあけて複数列設けられていてもよい。この場合、ノズル列の列数をｎとすると、一のノズル列におけるノズル孔７１（圧力室６１）のＹ方向における配列ピッチは、一のノズル列に隣り合う他のノズル列におけるノズル孔７１の配列ピッチに対して１／ｎピッチ毎にずれて配列されていることが好ましい。

第１フィルム５３は、流路部材５２の上面に接着等によって固定されている。第１フィルム５３は、流路部材５２の上面全域に亘って配置されている。これにより、第１フィルム５３は、各圧力室６１の上端開口部を閉塞している。第１フィルム５３は、絶縁性及びインク耐性を有し、弾性変形可能な材料により形成されている。このような材料として、第１フィルム５３は、例えば樹脂材料（ポリイミド系やエポキシ系、ポリプロピレン系等）により形成されている。第１実施形態において、「弾性変形可能」とは、複数の部材が積層された状態において、Ｚ方向で隣り合う部材に比べて圧縮弾性率が小さい部材であることを意味する。すなわち、第１フィルム５３は、流路部材５２及びアクチュエータプレート５４よりも圧縮弾性率が小さい。

アクチュエータプレート５４は、Ｚ方向を厚さ方向として、第１フィルム５３の上面に接着等により固定されている。アクチュエータプレート５４の平面視外形は、流路部材５２の平面視外形よりも大きい。したがって、アクチュエータプレート５４は、第１フィルム５３を間に挟んで各圧力室６１とＺ方向で向かい合っている。なお、アクチュエータプレート５４は、各圧力室６１をまとめて覆う構成に限らず、各圧力室６１毎に個別に設けられていてもよい。

アクチュエータプレート５４は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されている。アクチュエータプレート５４は、分極方向が－Ｚ側を向くように設定されている。アクチュエータプレート５４の両面には、駆動配線６４が形成されている。アクチュエータプレート５４は、駆動配線６４により印加される電圧によって電界が発生することで、Ｚ方向に変形可能に構成されている。アクチュエータプレート５４は、Ｚ方向の変形によって圧力室６１内の容積を拡大又は縮小させることで、圧力室６１内からインクを吐出させる。なお、駆動配線６４の構成については後述する。

第２フィルム５５は、アクチュエータプレート５４の上面に接着等によって固定されている。第１実施形態において、第２フィルム５５は、アクチュエータプレート５４の上面全域を覆っている。第２フィルム５５は、絶縁性を有し、弾性変形可能な材料により形成されている。このような材料として、第１フィルム５３と同様の材料を採用することができる。すなわち、第２フィルム５５は、流路部材５２及びアクチュエータプレート５４よりも圧縮弾性率が小さい。

カバープレート５６は、Ｚ方向を厚さ方向として、第２フィルム５５の上面に接着等により固定されている。カバープレート５６におけるＺ方向の厚さは、アクチュエータプレート５４や流路部材５２、各フィルム５３，５５よりも厚い。第１実施形態において、カバープレート５６は、流路部材５２と同様に、金属や金属酸化物、ガラス、樹脂、セラミックス等により形成されている。カバープレート５６は、少なくとも第２フィルム５５よりも圧縮弾性率が大きい。図５に示すように、カバープレート５６、第２フィルム５５及びアクチュエータプレート５４のうち、流路部材５２に対して＋Ｙ側に突出した部分は、尾部６５を構成している。

カバープレート５６には、入口共通インク室６６及び出口共通インク室６７が形成されている。
入口共通インク室６６は、例えば圧力室６１の＋Ｙ側端部とＺ方向から見て重なる位置に形成されている。入口共通インク室６６は、例えば各圧力室６１を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、カバープレート５６の上面で開口している。
出口共通インク室６７は、例えば圧力室６１の－Ｙ側端部とＺ方向から見て重なる位置に形成されている。出口共通インク室６７は、例えば各圧力室６１を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、カバープレート５６の上面で開口している。

入口共通インク室６６において、圧力室６１とＺ方向から見て重なり合う位置には、入口スリット６８が形成されている。入口スリット６８は、カバープレート５６、第２フィルム５５、アクチュエータプレート５４及び第１フィルム５３をＺ方向に貫通している。入口スリット６８は、各圧力室６１と、入口共通インク室６６内と、の間を各別に連通している。
出口共通インク室６７において、圧力室６１とＺ方向から見て重なり合う位置には、出口スリット６９が形成されている。出口スリット６９は、カバープレート５６、第２フィルム５５、アクチュエータプレート５４及び第１フィルム５３をＺ方向に貫通している。出口スリット６９は、各圧力室６１と、出口共通インク室６７内と、の間を各別に連通している。

続いて、駆動配線６４の構造について説明する。図６は、アクチュエータプレート５４の底面図である。図７は、アクチュエータプレート５４の平面図である。駆動配線６４は、各圧力室６１に対応して設けられている。隣り合う圧力室６１に対応する駆動配線６４同士は、Ｙ方向に沿う対称軸Ｔを基準に線対称に形成されている。以下の説明では、複数の圧力室６１のうち一の圧力室６１Ａに対応して設けられた駆動配線６４Ａを例にして説明し、他の圧力室６１に対応する駆動配線６４については説明を適宜省略する。

図６、図７に示すように、駆動配線６４Ａは、共通配線８１と、個別配線８２と、を備えている。
共通配線８１は、第１共通電極８１ａと、第２共通電極８１ｂと、下面引き回し配線８１ｃと、上面引き回し配線８１ｄと、貫通配線８１ｅと、共通接続配線８１ｆと、共通パッド８１ｇと、を備えている。なお、共通配線８１のうち、共通電極８１ａ，８１ｂ以外の部分（下面引き回し配線８１ｃ、上面引き回し配線８１ｄ、貫通配線８１ｅ、共通接続配線８１ｆ及び共通パッド８１ｇ）と、アクチュエータプレート５４と、の間には不図示の絶縁体（例えば、ＳｉＯ_２等）が設けられていることが好ましい。

図４、図６に示すように、第１共通電極８１ａは、アクチュエータプレート５４の下面において、対応する圧力室６１とＺ方向で向かい合う位置で、Ｙ方向に直線状に延びている。図示の例において、第１共通電極８１ａは、圧力室６１におけるＸ方向の中央部を含む位置に形成されている。但し、第１共通電極８１ａは、圧力室６１に向かい合う位置に形成されていれば、Ｘ方向の幅や位置等について適宜変更が可能である。

図４、図７に示すように、第２共通電極８１ｂは、アクチュエータプレート５４の上面において、対応する圧力室６１の第１共通電極８１ａとＺ方向から見て重なり合わない位置で、Ｙ方向に直線状に延びている。第１実施形態において、第２共通電極８１ｂは、第１共通電極８１ａに対してＸ方向の両側にそれぞれ形成されている。各第２共通電極８１ｂは、圧力室６１におけるＸ方向の中央部に対して対称となる位置に形成されている。

各第２共通電極８１ｂのうち、＋Ｘ側に位置する第２共通電極８１ｂ（以下、＋Ｘ側共通電極８１ｂ１という。）の一部は、対応する圧力室６１を区画する仕切壁６２のうち、＋Ｘ側に位置する仕切壁６２（以下、仕切壁６２ａという。）とＺ方向から見て重なり合っている。＋Ｘ側共通電極８１ｂ１の残りの一部は、仕切壁６２ａに対して－Ｘ側に張り出している。すなわち、＋Ｘ側共通電極８１ｂ１の残りの一部は、圧力室６１の一部とＺ方向から見て重なり合っている。

各第２共通電極８１ｂのうち、－Ｘ側に位置する第２共通電極８１ｂ（以下、－Ｘ側共通電極８１ｂ２という。）の一部は、対応する圧力室６１を区画する仕切壁６２のうち、－Ｘ側に位置する仕切壁６２（以下、仕切壁６２ｂという。）とＺ方向から見て重なり合っている。なお、隣り合う圧力室６１間において、一の圧力室６１における＋Ｘ側共通電極８１ｂ１と、他の圧力室６１における－Ｘ側共通電極８１ｂ２と、は仕切壁６２上においてＸ方向に離間している。

－Ｘ側共通電極８１ｂ２の残りの一部は、仕切壁６２ｂに対して＋Ｘ側に張り出している。すなわち、－Ｘ側共通電極８１ｂ１の残りの一部は、圧力室６１の一部とＺ方向から見て重なり合っている。なお、第１共通電極８１ａにおけるＹ方向の幅Ｄ１は、各第２共通電極８１ｂのうち圧力室６１と重なり合う部分におけるＹ方向の幅Ｄ２に比べて広い方が好ましい。

図６に示すように、下面引き回し配線８１ｃは、アクチュエータプレート５４の下面において、第１共通電極８１ａに接続されている。下面引き回し配線８１ｃは、第１共通電極８１ａにおける－Ｙ側端部から＋Ｘ側に延びている。下面引き回し配線８１ｃにおける＋Ｘ側端部は、仕切壁６２ａにおけるＸ方向の中央部とＺ方向から見て重なり合う位置まで延びている。

図７に示すように、上面引き回し配線８１ｄは、アクチュエータプレート５４の上面において、各第２共通電極８１ｂにまとめて接続されている。上面引き回し配線８１ｄは、各第２共通電極８１ｂにおける－Ｙ側端部に接続された状態でＸ方向に延びている。上面引き回し配線８１ｄにおける＋Ｘ側端部は、仕切壁６２ａにおけるＸ方向の中央部とＺ方向から見て重なり合う位置まで延びている。

図４、図６、図７に示すように、貫通配線８１ｅは、下面引き回し配線８１ｃ及び上面引き回し配線８１ｄ間を接続している。貫通配線８１ｅは、アクチュエータプレート５４をＺ方向に貫通して設けられている。具体的に、アクチュエータプレート５４のうち＋Ｘ側共通電極８１ｂ１に対して＋Ｘ側に位置する部分には、配線用貫通孔９１が形成されている。第１実施形態において、配線用貫通孔９１は、アクチュエータプレート５４のうち仕切壁６２ａにおけるＸ方向の中央部とＺ方向から見て重なり合う部分に形成されている。配線用貫通孔９１は、＋Ｘ側共通電極８１ｂ１に沿ってＹ方向に延びている。図示の例において、配線用貫通孔９１のＹ方向の長さは、＋Ｘ側共通電極８１ｂ１よりも僅かに長く、圧力室６１よりも短い長さになっている。但し、配線用貫通孔９１のＹ方向の長さは、適宜変更が可能である。

貫通配線８１ｅは、配線用貫通孔９１の内面に形成されている。貫通配線８１ｅは、配線用貫通孔９１の内面において少なくともＺ方向の全域に亘って形成されている。貫通配線８１ｅは、配線用貫通孔９１の下端開口縁において下面引き回し配線８１ｃに接続される一方、配線用貫通孔９１の上端開口縁において上面引き回し配線８１ｄに接続されている。なお、貫通配線８１ｅは、配線用貫通孔９１の内面において全周に亘って形成されていてもよい。

図６に示すように、共通接続配線８１ｆは、アクチュエータプレート５４の下面において、貫通配線８１ｅと共通パッド８１ｇとの間を接続している。具体的に、共通接続配線８１ｆは、貫通配線８１ｅよりも＋Ｙ側において、Ｙ方向に延びている。共通接続配線８１ｆの－Ｙ側端部は、配線用貫通孔９１の下端開口縁において、貫通配線８１ｅに接続されている。共通接続配線８１ｆの＋Ｙ側端部は、尾部６５上で終端している。

共通パッド８１ｇは、尾部６５の下面において共通接続配線８１ｆに接続されている。共通パッド８１ｇは、尾部６５の下面においてＸ方向に延びている。

図６、図７に示すように、個別配線８２は、第１個別電極８２ａと、第２個別電極８２ｂと、下面引き回し配線８２ｃと、上面引き回し配線８２ｄと、貫通配線８２ｅと、個別接続配線８２ｆと、個別パッド８２ｇと、内面配線８２ｈと、を備えている。なお、個別配線８２のうち、個別電極８２ａ，８２ｂ以外の部分（下面引き回し配線８２ｃ、上面引き回し配線８２ｄ、貫通配線８２ｅ、個別接続配線８２ｆ及び個別パッド８２ｇ）と、アクチュエータプレート５４と、の間には不図示の絶縁体（例えば、ＳｉＯ_２等）が設けられていることが好ましい。

図４、図６に示すように、第１個別電極８２ａは、アクチュエータプレート５４の下面において、第１共通電極８１ａに対してＸ方向の両側に位置する部分にそれぞれ形成されている。各第１個別電極８２ａは、第１共通電極８１ａに対してＸ方向に間隔をあけた状態でＹ方向に延びている。第１個別電極８２ａは、第１共通電極８１ａとの間で電位差を生じさせる。第１個別電極８２ａにおけるＸ方向の幅Ｄ３は、第１共通電極８１ａにおけるＸ方向の幅Ｄ１よりも狭い。

各第１個別電極８２ａのうち＋Ｘ側に位置する第１個別電極８２ａ（以下、＋Ｘ側個別電極８２ａ１）の全体は、仕切壁６２ａとＺ方向から見て重なり合っている。＋Ｘ側個別電極８２ａ１は、仕切壁６２ａ上において＋Ｘ側共通電極８１ｂ１の一部とＺ方向で向かい合っている。一方、各第１個別電極８２ａのうち－Ｘ側に位置する第１個別電極８２ａ（以下、－Ｘ側個別電極８２ａ２）の全体は、仕切壁６２ｂとＺ方向から見て重なり合っている。－Ｘ側個別電極８２ａ２は、仕切壁６２ｂ上において－Ｘ側共通電極８１ｂ２の一部とＺ方向で向かい合っている。各第１個別電極８２ａは、Ｚ方向で向かい合う第２共通電極８１ｂとの間で電位差を生じさせる。

図４、図７に示すように、第２個別電極８２ｂは、アクチュエータプレート５４の上面において、各第２共通電極８１ｂの間に位置する部分に形成されている。第２個別電極８２ｂは、第１共通電極８１ａに対してＸ方向に間隔をあけた状態でＹ方向に延びている。したがって、第２個別電極８２ｂの全体は、対応する圧力室６１とＺ方向から見て重なり合っている。第２個別電極８２ｂは、第２共通電極８１ｂとの間で電位差を生じさせる。第２個別電極８２ｂの少なくとも一部は、第１共通電極８１ａと一部がＺ方向から見て重なり合っている。したがって、第２個別電極８２ｂは、第１共通電極８１ａとの間で電位差を生じさせる。なお、第２個別電極８２ｂにおけるＹ方向の幅は、第２共通電極８１ｂにおけるＹ方向の幅よりも広い。

図６に示すように、下面引き回し配線８２ｃは、アクチュエータプレート５４の下面において、各第１個別電極８２ａにまとめて接続されている。下面引き回し配線８２ｃは、各第１個別電極８２ａの＋Ｙ側端部に接続された状態でＸ方向に延びている。下面引き回し配線８２ｃにおける－Ｘ側端部は、仕切壁６２ｂにおけるＸ方向の中央部とＺ方向から見て重なり合う位置まで延びている。

図７に示すように、上面引き回し配線８２ｄは、アクチュエータプレート５４の上面において、第２個別電極８２ｂに接続されている。上面引き回し配線８２ｄは、第２個別電極８２ｂにおける＋Ｙ側端部から－Ｘ側に延びている。上面引き回し配線８２ｄにおける－Ｘ側端部は、仕切壁６２ｂにおけるＸ方向の中央部とＺ方向から見て重なり合う位置まで延びている。

図４、図６、図７に示すように、貫通配線８２ｅは、下面引き回し配線８２ｃ及び上面引き回し配線８２ｄ間を接続している。貫通配線８２ｅは、アクチュエータプレート５４をＺ方向に貫通して設けられている。具体的に、アクチュエータプレート５４のうち－Ｘ側個別電極８２ｂ２に対して－Ｘ側に位置する部分には、配線用貫通孔９２が形成されている。第１実施形態において、配線用貫通孔９２は、アクチュエータプレート５４のうち仕切壁６２ｂにおけるＸ方向の中央部とＺ方向から見て重なり合う部分に形成されている。図示の例において、配線用貫通孔９２のＹ方向の長さは、－Ｘ側個別電極８２ｂ２よりも僅かに長く、圧力室６１よりも短い長さになっている。但し、配線用貫通孔９２のＹ方向の長さは、適宜変更が可能である。

配線用貫通孔９２の内面には、隣り合う圧力室６１の貫通配線８２ｅが、互いに分離した状態で形成されている。以下の説明では、駆動配線６４Ａに係る貫通配線８２ｅについて説明する。貫通配線８２ｅは、配線用貫通孔９２の内面において少なくともＺ方向の全域に亘って形成されている。貫通配線８２ｅは、配線用貫通孔９２の下端開口縁において下面引き回し配線８２ｃに接続される一方、配線用貫通孔９２の上端開口縁において上面引き回し配線８２ｄに接続されている。図示の例において、隣り合う圧力室６１に対応する貫通配線８２ｅ同士は、配線用貫通孔９２の内面のうちＸ方向で向かい合う面にそれぞれ形成されている。したがって、隣り合う圧力室６１に対応する貫通配線８２ｅ同士は、配線用貫通孔９２のうちＹ方向の両端部において分断されている。

図６に示すように、個別接続配線８２ｆは、アクチュエータプレート５４の下面において、貫通配線８２ｅと個別パッド８２ｇとの間を接続している。具体的に、個別接続配線８２ｆは、貫通配線８２ｅから＋Ｙ側に延びている。個別接続配線８２ｆの－Ｙ側端部は、配線用貫通孔９２の下端開口縁において、貫通配線８２ｅに接続されている。個別接続配線８２ｆの＋Ｙ側端部は、尾部６５上において共通パッド８１ｇよりも＋Ｙ側に位置する部分で終端している。

隣り合う圧力室６１の個別接続配線８２ｆ同士は、尾部６５上においてＸ方向で隣り合っている。尾部６５のうち、隣り合う圧力室６１の個別接続配線８２ｆ同士の間に位置する部分には、個別分離溝９３が形成されている。個別分離溝９３は、尾部６５をＺ方向に貫通するとともに、尾部６５における＋Ｙ側端面上で開口している。

個別パッド８２ｇは、アクチュエータプレート５４の下面において、共通パッド８１ｇよりも＋Ｙ側に位置する部分に形成されている。個別パッド８２ｇは、尾部６５の下面においてＸ方向に延びている。尾部６５において、共通パッド８１ｇ及び個別パッド８２ｇ間に位置する部分には、共通分離溝９４が形成されている。共通分離溝９４は、尾部６５において例えば各圧力室６１を跨る長さでＸ方向に延びている。

内面配線８２ｈは、個別分離溝９３の内面に形成されている。隣り合う圧力室６１の内面配線８２ｈ同士は、個別分離溝９３内で分離されている。内面配線８２ｈにおけるＺ方向の寸法は、共通分離溝９４の深さよりも大きくなっている。したがって、内面配線８２ｈは、個別分離溝９３の内面上において共通分離溝９４を跨いでＹ方向に連続している。内面配線８２ｈのうち共通分離溝９４に対して－Ｙ側に位置する部分は、個別分離溝９３の開口縁において個別接続配線８２ｆに接続されている。内面配線８２ｈのうち共通分離溝９４に対して＋Ｙ側に位置する部分は、個別分離溝９３の開口縁において個別接続配線８２ｆ（又は個別パッド８２ｇ）に接続されている。

各駆動配線６４のうち流路部材５２と向かい合う部分は、第１フィルム５３に覆われている。具体的に、各駆動配線６４のうち、第１共通電極８１ａ、第１個別電極８２ａ、下面引き回し配線８１ｃ，８２ｃ、貫通配線８１ｅ，８２ｅ、接続配線８１ｆ，８２ｆの一部は、第１フィルム５３に覆われている。一方、駆動配線６４のうち、尾部６５の下面上に位置する部分（共通接続配線８１ｆ、個別接続配線８２ｆ、共通パッド８１ｇ及び個別パッド８２ｇ）は、外部に露出している。

駆動配線６４のうちアクチュエータプレート５４の上面に形成された部分は、第２フィルム５５に覆われている。具体的に、駆動配線６４のうち、第２共通電極８１ｂ、第２個別電極８２ｂ、上面引き回し配線８１ｄ，８２ｄ及び貫通配線８１ｅ，８２ｅは、第２フィルム５５に覆われている。

尾部６５の下面には、フレキシブルプリント基板９５が圧着されている。フレキシブルプリント基板９５は、尾部６５の下面において、共通パッド８１ｇ及び個別パッド８２ｇに接続されている。フレキシブルプリント基板９５は、アクチュエータプレート５４の外側を通って上方に引き出されている。なお、複数の圧力室６１に対応する各共通配線８１は、フレキシブルプリント基板９５上で共通化されている。

［プリンタ１の動作方法］
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク４にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４内のインクがインク循環機構６を介してインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。

このような初期状態のもと、プリンタ１を作動させると、被記録媒体Ｐが搬送機構２，３のローラ１１，１２に挟み込まれながら＋Ｘ側に搬送される。また、これと同時にキャリッジ２９がＹ方向に移動することで、キャリッジ２９に搭載されたインクジェットヘッド５がＹ方向に往復移動する。
インクジェットヘッド５が往復移動する間に、各インクジェットヘッド５よりインクを被記録媒体Ｐに適宜吐出させる。これにより、被記録媒体Ｐに対して文字や画像等の記録を行うことができる。

ここで、各インクジェットヘッド５の動きについて、以下に詳細に説明する。
第１実施形態のような循環式サイドシュートタイプのインクジェットヘッド５では、まず図２に示す加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５を作動させることで、循環流路２３内にインクを流通させる。この場合、インク供給管２１を流通するインクは、入口共通インク室６６及び入口スリット６８を通して各圧力室６１内に供給される。各圧力室６１内に供給されたインクは、各圧力室６１をＹ方向に流通する。その後、インクは、出口スリット６９を通じて出口共通インク室６７に排出された後、インク排出管２２を通してインクタンク４に戻される。これにより、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクを循環させることができる。

そして、キャリッジ２９（図１参照）の移動によってインクジェットヘッド５の往復移動が開始されると、フレキシブルプリント基板９５を介して共通電極８１ａ，８１ｂ及び個別電極８２ａ，８２ｂ間に駆動電圧が印加される。この際、共通電極８１ａ，８１ｂを基準電位ＧＮＤとし、個別電極８２ａ，８２ｂを駆動電位Ｖｄｄとして駆動電圧を印加する。

図８は、ヘッドチップ５０について、インク吐出時における変形の挙動を説明するための説明図である。
図８に示すように、駆動電圧の印加により、第１共通電極８１ａ及び第１個別電極８２ａ間、並びに第２共通電極８１ｂ及び第２個別電極８２ｂ間には、Ｘ方向で電位差が生じる。Ｘ方向に生じた電位差により、アクチュエータプレート５４には分極方向（Ｚ方向）に直交する方向に電界が生じる。その結果、アクチュエータプレート５４は、シェアモードによりＺ方向に厚み滑り変形する。具体的に、アクチュエータプレート５４の下面において、第１共通電極８１ａ及び第１個別電極８２ａ間には、Ｘ方向で互いに接近する向きに電界が生じる（矢印Ｅ１参照）。アクチュエータプレート５４の上面において、第２共通電極８１ｂ及び第２個別電極８２ｂ間には、Ｘ方向で互いに離れる向きに電界が生じる（矢印Ｅ２参照）。その結果、アクチュエータプレート５４のうち、各圧力室６１に対応する部分は、Ｘ方向の両端部から中央部に向かうに従い上方に向けてせん断変形する。一方、第１共通電極８１ａ及び第２個別電極８２ｂ間、並びに第１個別電極８２ａ及び第２共通電極８１ｂ間には、Ｚ方向で電位差が生じる。Ｚ方向に生じた電位差により、アクチュエータプレート５４には分極方向（Ｚ方向）に平行な方向に電界が生じる（矢印Ｅ０参照）。その結果、アクチュエータプレート５４は、ベンドモードによりＺ方向に伸縮変形する。すなわち、第１実施形態のヘッドチップ５０では、アクチュエータプレート５４のシェアモード及びベンドモードに起因する変形が、何れもＺ方向に及ぶことになる。具体的に、駆動電圧の印加により、アクチュエータプレート５４は、圧力室６１から離間する向きに変形する。これにより、圧力室６１内の容積が拡大する。その後、駆動電圧をゼロにすると、アクチュエータプレート５４が復元することで、圧力室６１内の容積が元に戻ろうとする。アクチュエータプレート５４が復元する過程で、圧力室６１内の圧力が増加し、圧力室６１内のインクがノズル孔７１を通じて外部に吐出される。外部に吐出されたインクが被記録媒体Ｐに着弾することで、被記録媒体Ｐに印刷情報が記録される。

＜ヘッドチップ５０の製造方法＞
次に、上述したヘッドチップ５０の製造方法について説明する。図９は、ヘッドチップ５０の製造方法を説明するためのフローチャートである。図１０～図２０は、ヘッドチップ５０の製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。以下の説明では、便宜上、ヘッドチップ５０をチップレベルで製造する場合を例にして説明する。
図９に示すように、ヘッドチップ５０の製造方法は、アクチュエータ第１加工工程Ｓ０１と、カバー加工工程Ｓ０２と、第１接合工程Ｓ０３と、フィルム加工工程Ｓ０４と、アクチュエータ第２加工工程Ｓ０５と、第２接合工程Ｓ０６と、流路部材第１加工工程Ｓ０７と、第３接合工程Ｓ０８と、流路部材第２加工工程Ｓ０９と、第４接合工程Ｓ１０と、を備えている。

図１０に示すように、アクチュエータ第１加工工程Ｓ０１では、まずアクチュエータプレート５４に対してスリット６８，６９の一部となるスリット用凹部１００，１０１を形成する（スリット用凹部形成工程）。具体的に、アクチュエータプレート５４の上面に対し、スリット６８，６９の形成領域が開口するマスクパターンを形成する。続いて、マスクパターンを通してアクチュエータプレート５４の上面に対してサンドブラスト等を行う。これにより、アクチュエータプレート５４には、上面に対して窪んだスリット用凹部１００，１０１が形成される。なお、凹部１００，１０１はダイサー加工や精密ドリル加工、エッチング加工等によって形成してもよい。また、スリット用凹部１００，１０１と同時に配線用貫通孔９１，９２及び個別分離溝９３を形成してもよい。

次に、アクチュエータ第１加工工程Ｓ０１では、駆動配線６４のうち、アクチュエータプレート５４の上面に位置する部分を形成する（上面配線形成工程）。上面配線形成工程では、まずアクチュエータプレート５４の上面に対し、駆動配線６４の形成領域が開口したマスクパターンを形成する。続いて、図１１に示すように、アクチュエータプレート５４に、配線用貫通孔９１，９２及び個別分離溝９３を形成する。配線用貫通孔９１，９２及び個別分離溝９３は、アクチュエータプレート５４に対して例えば上面側からダイサーを進入させることにより行う。次に、アクチュエータプレート５４に対し、例えば蒸着等により電極材料を成膜する。電極材料は、マスクパターンを通してアクチュエータプレート５４に成膜される。これにより、アクチュエータプレート５４の上面、配線用貫通孔９１，９２の内面及び個別分離溝９３の内面に駆動配線６４が形成される。

図１２に示すように、カバー加工工程Ｓ０２では、カバープレート５６に対し、共通インク室６６，６７及びスリット６８，６９の一部となるスリット用凹部１０５，１０６を形成する。具体的に、アクチュエータプレート５４の上面には、共通インク室６６，６７の形成領域に位置する部分が開口するマスクパターンを形成する。一方、アクチュエータプレート５４の下面に対し、スリット６８，６９の形成領域が開口するマスクパターンを形成する。続いて、マスクパターンを通してアクチュエータプレート５４の両面に対してサンドブラスト等を行う。これにより、アクチュエータプレート５４には、共通インク室６６，６７及びスリット用凹部１０５，１０６が形成される。

図１３に示すように、第１接合工程Ｓ０３では、カバープレート５６の下面に、接着剤等によって第２フィルム５５を貼り付ける。
フィルム加工工程Ｓ０４では、スリット６８，６９の一部となるスリット用凹部１０７，１０８を第２フィルム５５に形成する。スリット用凹部１０７，１０８は、第２フィルム５５のうち対応するスリット用凹部１０５，１０６とＺ方向から見て重なり合う部分に対し、例えばレーザ加工等を行うことで形成できる。これにより、スリット用凹部１０５，１０７同士、及びスリット用凹部１０６，１０８同士が互いに連通する。

図１４に示すように、第２接合工程Ｓ０６では、第２フィルム５５の下面に、接着剤等によってアクチュエータプレート５４を貼り付ける。

図１５に示すように、アクチュエータ第２加工工程Ｓ０５では、アクチュエータプレート５４の下面に対してグラインド加工を施す（グラインド工程）。この際、アクチュエータプレート５４の下面において、配線用貫通孔９１，９２及び個別分離溝９３が開口する位置までアクチュエータプレート５４をグラインドする。

次に、アクチュエータ第２加工工程Ｓ０５では、駆動配線６４のうち、アクチュエータプレート５４の下面に位置する部分を形成する（下面配線形成工程）。下面配線形成工程では、まずアクチュエータプレート５４の下面に対し、駆動配線６４の形成領域が開口したマスクパターンを形成する。続いて、アクチュエータプレート５４に対し、例えば蒸着等により電極材料を成膜する。電極材料は、マスクパターンを通してアクチュエータプレート５４に成膜される。これにより、アクチュエータプレート５４の上面、配線用貫通孔９１，９２の内面及び個別分離溝９３の内面に駆動配線６４が形成される。

図１６に示すように、アクチュエータ第２加工工程Ｓ０６では、尾部６５に共通分離溝９４を形成する。共通分離溝９４は、アクチュエータプレート５４に対して例えば下面側からダイサーを進入させることにより行う。

図１７に示すように、第２接合工程Ｓ０６では、アクチュエータプレート５４の下面に、接着剤等によって第１フィルム５３を貼り付ける。
図１８に示すように、流路部材第１加工工程Ｓ０７では、流路部材５２に対して圧力室６１を形成する。具体的には、流路部材５２に対して例えば上面からダイサーを進入させることにより行う。
図１９に示すように、第３接合工程Ｓ０８では、第１フィルム５３の下面に、接着剤等によって流路部材５２を貼り付ける。

図２０に示すように、流路部材第２加工工程Ｓ０９では、流路部材５２の下面に対してグラインド加工を施す（グラインド工程）。この際、流路部材５２の下面において、圧力室６１が開口する位置まで流路部材５２をグラインドする。

第４接合工程Ｓ１０では、ノズル孔７１と圧力室６１とを位置合わせした状態で、流路部材５２の下面にノズルプレート５１を貼り付ける。
以上により、ヘッドチップ５０が完成する。

ここで、第１実施形態では、アクチュエータプレート５４の下面（第１面）のうち、圧力室６１に対してＺ方向（第１方向）から見て重なり合って設けられた第１共通電極（第１電極、駆動電極）８１ａと、アクチュエータプレート５４の下面において第１共通電極８１ａに隣り合って設けられ、第１共通電極８１ａとの間で電位差を生じさせる第１個別電極８２ａ（第２電極、駆動電極）と、アクチュエータプレート５４の上面（第２面）のうち、第１共通電極８１ａに向かい合う位置に各別に設けられ、第１共通電極８１ａとの間で電位差を生じさせる第２個別電極８２ｂ（第１対向電極、駆動電極）と、を備えている構成とした。
この構成によれば、第１共通電極８１ａ及び第１個別電極８２ａ間に電位差を発生させることで、アクチュエータプレート５４の分極方向に交差する方向（Ｘ方向）に電界を発生させることができる。これにより、アクチュエータプレート５４をシェアモード（ルーフシュート型）でＺ方向に変形させることで、圧力室６１の容積を変化させることができる。
また、第１実施形態では、第１共通電極８１ａ及び第２個別電極８２ｂ間に電位差を発生させることで、アクチュエータプレート５４の分極方向にも電界を発生させることができる。これにより、アクチュエータプレート５４をベンドモード（バイモルフ型）でＺ方向に変形させることで、圧力室６１の容積を変化させることができる。
このように、シェアモード及びベンドモードの双方の駆動モードによってアクチュエータプレート５４をＺ方向に変形させることで、圧力室６１の発生圧力を向上させ、省電力化を図ることができる。なお、第１実施形態では、シェアモードのうちルーフシュート型のヘッドチップ５０を採用することで、ウォールベント型のヘッドチップと異なり、アクチュエータプレート５４とは別部材（流路部材５２）に圧力室６１を形成することができる。これにより、ルーフシュート型のヘッドチップ５０は、仮に第１フィルム５３と流路部材５２との接着が不十分だった場合等であっても、圧力室６１内のインクが配線８１，８２に付着することを抑制できる。その結果、ルーフシュート型のヘッドチップ５０は、ウォールベント型のヘッドチップに比べて耐久性を向上させ易い。
特に、第１実施形態では、第２個別電極８２ｂが第１共通電極８１ａに対応して各別に設けられているため、第２個別電極８２ｂがアクチュエータプレート５４の上面において間隔をあけて設けられることになる。そのため、例えばアクチュエータプレート５４の上面の全域に第２個別電極８２ｂが形成されている場合に比べ、アクチュエータプレートの静電容量を小さくすることができる。その結果、アクチュエータプレート５４の応答性を向上させることができるとともに、アクチュエータプレート５４での発熱も抑制できる。

第１実施形態のヘッドチップ５０は、アクチュエータプレート５４の上面において第１個別電極８２ａに向かい合い、かつ第２個別電極８２ｂに隣り合って設けられた第２共通電極（第２対向電極、駆動電極）８１ｂを備えている。第２共通電極８１ｂは、第１個別電極８２ａとの間でＺ方向に電位差を生じさせるとともに、第２個別電極８２ｂとの間でＸ方向に電位差を生じさせる構成とした。
この構成によれば、アクチュエータプレート５４の上面において、第２共通電極８１ｂ及び第２個別電極８２ｂが隣り合って設けられる。そのため、第２共通電極８１ｂ及び第２個別電極８２ｂ間に発生する電位差によってアクチュエータプレート５４をシェアモードにより変形させることができる。
また、第１個別電極８２ａ及び第２共通電極８１ｂ間に発生する電位差によってアクチュエータプレート５４をベンドモードにより変形させることができる。その結果、発生圧力の更なる向上及び、省電力化を図ることができる。

第１実施形態では、第１個別電極８２ａの全体は、Ｚ方向から見て仕切壁６２と重なり合う位置に設けられている構成とした。
この構成によれば、アクチュエータプレート５４の下面のうち圧力室６１に向かい合う部分に第１個別電極８２ａが形成されないので、圧力室６１に向かい合う部分に形成される電極（第１共通電極８１ａ）の面積を確保し易い。その結果、第１共通電極８１ａに起因してアクチュエータプレート５４に発生する電界を確保し易く、圧力室６１の発生圧力を向上させ易い。
また、アクチュエータプレート５４の下面のうち圧力室６１に向かい合う部分に第１個別電極８２ａが形成されないので、アクチュエータプレート５４のうち、圧力室６１に向かい合う部分が変形する際に、アクチュエータプレート５４の変形が第１個別電極８２ａによって阻害されることを抑制できる。すなわち、アクチュエータプレート５４の変形の起点を、アクチュエータプレート５４と仕切壁６２との境界部分まで広げることができるので、アクチュエータプレート５４の変形量を確保し、発生圧力を向上させることができる。

第１実施形態では、第２共通電極８１ｂのうち、一部はＺ方向から見て仕切壁６２と重なり合う位置で第１個別電極８２ａに向かい合って設けられ、残りの一部は圧力室６１に向かい合って設けられている構成とした。
この構成によれば、第２共通電極８１ｂのうち、一部を第１個別電極８２ａに向かい合わせた状態で、残りの一部を圧力室６１と重なり合う位置まで延ばす。これにより、アクチュエータプレート５４がベンドモードで変形する際に、第２共通電極８１ｂと第１個別電極８２ａとの間の電位差に起因してアクチュエータプレート５４に発生する電界を、アクチュエータプレート５４のうち圧力室６１と向かい合う部分に効果的に発生させることができる。また、第２共通電極８１ｂ及び第２個別電極８２ｂ同士を接近させることができるので、アクチュエータプレート５４がシェアモードで変形する際に第２共通電極８１ｂと第２個別電極８２ｂとの間の電位差に起因してアクチュエータプレート５４に発生する電界を、アクチュエータプレート５４のうち圧力室６１と向かい合う部分に効果的に発生させることができる。
その結果、アクチュエータプレート５４を効率的に変形させることができる。

第１実施形態では、第１共通電極８１ａ及び第２個別電極８２ｂの全体は、圧力室６１とＺ方向で向かい合う位置に設けられている構成とした。
この構成によれば、アクチュエータプレート５４がベンドモードで変形する際に、第１共通電極８１ａ及び第２個別電極８２ｂ間の電位差に起因してアクチュエータプレート５４に発生する電界を、アクチュエータプレート５４のうち圧力室６１と向かい合う部分に効果的に発生させることができる。そのため、アクチュエータプレート５４を効率的に変形させることができる。

第１実施形態では、アクチュエータプレート５４を挟んで流路部材５２とは反対側には、Ｚ方向における流路部材５２とは反対側へのアクチュエータプレート５４の変位を規制するカバープレート５６（規制部材）が積層されている構成とした。
この構成によれば、例えば圧力室６１内におけるインクの圧力等に起因してアクチュエータプレート５４に作用するインクの抵抗力（コンプライアンス）に対し、アクチュエータプレート５４の上方への変位をカバープレート５６によって規制できる。これにより、アクチュエータプレート５４の変形を圧力室６１に向けて効果的に伝えることができる。その結果、アクチュエータプレート５４の変形時における圧力室６１内の発生圧力を向上させ、省電力化を図ることができる。

第１実施形態のインクジェットヘッド５及びプリンタ１によれば、上述したヘッドチップ５０を備えているため、省電力で高性能なインクジェットヘッド５及びプリンタ１を提供できる。

（第２実施形態）
図２１は、第２実施形態に係るアクチュエータプレート５４の底面図である。図２２は、第２実施形態に係るアクチュエータプレート５４の平面図である。第２実施形態では、駆動配線６４のレイアウトについて、上述した第１実施形態と相違している。
図２１に示すヘッドチップ５０では、各圧力室６１に対応する共通配線８１同士がアクチュエータプレート５４上で共通化されている。具体的に、各圧力室６１に対応する下面引き回し配線８１ｃ同士は、第１共通電極８１ａの－Ｙ側において互いに接続されている。一方、図２２に示すように、各圧力室６１に対応する上面引き回し配線８１ｄ同士は、第２共通電極８１ｂの－Ｙ側において互いに接続されている。

また、上述した第１実施形態では、個別分離溝９３や共通分離溝９４が尾部６５に形成された構成について説明したが、この構成に限られない。共通配線８１及び個別配線８２間での絶縁が図られている構成であれば、個別分離溝９３や共通分離溝９４は設けなくてもよい。この場合、例えば下面配線形成工程後、レーザ加工等によって接続配線８１ｆ，８２ｆ間を分離してもよい。

（第３実施形態）
図２３は、第３実施形態に係るヘッドチップ５０の断面図である。第３実施形態では、フレキシブルプリント基板９５を尾部６５の上面から引き出す点で、上述した各実施形態と相違している。
図２３に示すヘッドチップ５０において、ノズルプレート５１、流路部材５２、第１フィルム５３及びアクチュエータプレート５４は、第２フィルム５５及びカバープレート５６に対して＋Ｙ側に突出している。ノズルプレート５１、流路部材５２、第１フィルム５３及びアクチュエータプレート５４のうち、カバープレート５６に対して＋Ｙ側に突出した部分が、第３実施形態の尾部６５を構成している。なお、駆動配線６４については、接続配線８１ｆ，８２ｆやパッド８１ｇ，８２ｇをアクチュエータプレート５４の上面に形成する以外は、第１実施形態や第２実施形態と同様の構成を採用することが可能である。

尾部６５の上面には、フレキシブルプリント基板９５が圧着されている。フレキシブルプリント基板９５は、尾部６５の上面において、共通パッド８１ｇ及び個別パッド８２ｇに接続されている。フレキシブルプリント基板９５は、尾部６５の上面から上方に引き出されている。

第３実施形態では、フレキシブルプリント基板９５を尾部６５の上方に引き出すことができる。そのため、フレキシブルプリント基板９５をヘッドチップ５０の側方に回り込ませてから上方に引き出す場合に比べ、複数のヘッドチップ５０を並べる際に隣り合うヘッドチップ５０間（ノズル孔７１間）の間隔を狭めることができる。その結果、インクジェットヘッド５の小型化等を図ることができる。

（第４実施形態）
上述した実施形態では、アクチュエータプレート５４の下面において、対応する圧力室６１と向かい合う位置に第１共通電極８１ａが配置され、仕切壁６２と向かい合う位置に第１個別電極８２ａが配置された構成について説明した。
これに対して、第４実施形態では、図２４に示すように、アクチュエータプレート５４の下面において、対応する圧力室６１と向かい合う位置に第１個別電極８２ａが配置され、仕切壁６２と向かい合う位置に第１共通電極８１ａが配置されている。すなわち、アクチュエータプレート５４の下面では、第１個別電極８２ａ及び第１共通電極８１ａが隣り合って配置されている。

一方、アクチュエータプレート５４の上面において、対応する圧力室６１と向かい合う位置に第２共通電極８１ｂが配置され、仕切壁６２と向かい合う位置に第２個別電極８２ｂが配置されている。すなわち、アクチュエータプレート５４の上面では、第２個別電極８２ｂ及び第２共通電極８１ｂが隣り合って配置されている。また、第１個別電極８２ａ及び第２共通電極８１ｂ同士は、Ｚ方向から見て圧力室６１と重なり合う位置で、Ｚ方向に向かい合っている。第１共通電極８１ａ及び第２個別電極８２ｂ同士は、Ｚ方向から見て仕切壁６２と重なり合う位置で、それぞれＺ方向に向かい合っている。なお、第４実施形態において、電極８１ａ，８１ｂ，８２ａ，８２ｂとパッド８１ｇ，８２ｂとの間での配線の引き回しは、例えば上述した第１実施形態の構成を適宜変更することで実現可能である。

（その他の変形例）
なお、本開示の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述した実施形態では、液体噴射記録装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であってもよい。
上述した実施形態では、印刷時にインクジェットヘッドが被記録媒体に対して移動する構成（いわゆる、シャトル機）を例にして説明をしたが、この構成に限られない。本開示に係る構成は、インクジェットヘッドを固定した状態で、インクジェットヘッドに対して被記録媒体を移動させる構成（いわゆる、固定ヘッド機）に採用してもよい。
上述した実施形態では、被記録媒体Ｐが紙の場合について説明したが、この構成に限られない。被記録媒体Ｐは、紙に限らず、金属材料や樹脂材料であってもよく、食品等であってもよい。
上述した実施形態では、液体噴射ヘッドが液体噴射記録装置に搭載された構成について説明したが、この構成に限られない。すなわち、液体噴射ヘッドから噴射される液体は、被記録媒体に着弾させるものに限らず、例えば調剤中に配合する薬液や、食品に添加する調味料や香料等の食品添加物、空気中に噴射する芳香剤等であってもよい。

上述した実施形態では、Ｚ方向が重力方向に一致する構成について説明したが、この構成のみに限らず、Ｚ方向を水平方向に沿わせてもよい。
上述した実施形態では、循環式サイドシュートタイプのヘッドチップ５０を例にして説明したが、この構成に限られない。ヘッドチップは、圧力室６１における延在方向（Ｙ方向）の端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプであってもよい。

上述した実施形態では、アクチュエータプレート５４の一方の面に形成された各電極と、他方の面に形成された各電極と、の間に電位差が生じるようにした場合について説明したが、この構成に限られない。例えば図２５に示すように、アクチュエータプレート５４の下面（第１面）には第１共通電極８１ａ及び第１個別電極８２ａが形成される一方、アクチュエータプレート５４の上面（第２面）において第１共通電極８１ａと向かい合う位置に第２個別電極８２ｂのみが形成される構成でもよい。また、図２６に示すように、アクチュエータプレート５４の上面（第１面）には、第２個別電極８２ｂ及び第２個別電極８２ｂが形成される一方、アクチュエータプレート５４の下面（第２面）において第２個別電極８２ｂと向かい合う位置に第１共通電極８１ａのみが形成される構成であってもよい。
さらに、上述した図２５に示す構成では、少なくとも圧力室６１とＺ方向から見て重なり合う位置で、共通電極及び個別電極が向かい合う構成について説明したが、この構成に限られない。例えば、図２７に示すように、アクチュエータプレート５４の下面において第１共通電極８１ａ及び第１個別電極８２ａが並んだ状態で、仕切壁６２で向かい合う位置のみで第１個別電極８２ａ及び第２共通電極８１ｂが向かい合う構成であってもよい。

上述した実施形態では、電圧の印加によって圧力室６１の容積が拡大する方向にアクチュエータプレート５４を変形させた後、アクチュエータプレート５４を復元させることで、インクを吐出させる構成（いわゆる、引き打ち）について説明したが、この構成に限られない。本開示に係るヘッドチップは、電圧の印加によって圧力室６１の容積が縮小する方向にアクチュエータプレート５４を変形させることで、インクを吐出させる構成（いわゆる、押し打ち）であってもよい。押し打ちを行う場合、駆動電圧の印加により、アクチュエータプレート５４は、圧力室６１内に向けて膨出するように変形する。これにより、圧力室６１内の容積が減少することで、圧力室６１内の圧力が増加し、圧力室６１内のインクがノズル孔７１を通じて外部に吐出される。駆動電圧をゼロにすると、アクチュエータプレート５４が復元する。その結果、圧力室６１内の容積が元に戻る。なお、押し打ちのヘッドチップは、アクチュエータプレート５４の分極方向、及び電場の向き（共通電極及び個別電極のレイアウト）の何れかを、引き打ちのヘッドチップに対して逆に設定することで実現可能である。

上述した実施形態では、アクチュエータプレート５４の両面の電極同士が貫通配線８１ｅ，８２ｅを通じて接続される構成について説明したが、この構成に限られない。アクチュエータプレート５４の両面の電極同士の接続は、適宜変更が可能である。例えば、アクチュエータプレート５４の側面等を通じて、アクチュエータプレート５４の両面の電極同士が接続されていてもよい。

その他、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせてもよい。

１：プリンタ（液体噴射記録装置）
５：インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
５０：ヘッドチップ
５２：流路部材
５４：アクチュエータプレート
５６：カバープレート（規制部材）
６１：圧力室
６２：仕切壁
６２ａ：仕切壁
６２ｂ：仕切壁
８１ａ：第１共通電極（駆動電極、第１電極、第２電極）
８１ｂ：第２共通電極（駆動電極、第２対向電極、第１対向電極）
８２ａ：第１個別電極（駆動電極、第２電極、第１電極）
８２ｂ：第２個別電極（駆動電極、第１対向電極、第２対向電極）

上記課題を解決するために、本開示は以下の態様を採用した。
（１）本開示の一態様に係るヘッドチップは、液体が収容される複数の圧力室が仕切壁によって仕切られた状態で配列された流路部材と、前記圧力室に対して第１方向に向かい合った状態で前記流路部材上に積層されるとともに、前記第１方向を分極方向とするアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートのうち前記第１方向の第１側を向く第１面、及び前記第１側と反対側である第２側を向く第２面にそれぞれ形成されるとともに、前記アクチュエータプレートを前記第１方向に変形させて前記圧力室の容積をそれぞれ変化させる駆動電極と、を備え、前記駆動電極は、前記アクチュエータプレートの前記第１面のうち、前記圧力室又は前記仕切壁に対して前記第１方向から見て重なり合って設けられた第１電極と、前記アクチュエータプレートの前記第１面において前記第１電極に隣り合って設けられ、前記第１電極との間で電位差を生じさせる第２電極と、前記アクチュエータプレートの前記第２面のうち、前記第１電極に向かい合う位置に各別に設けられ、前記第１電極との間で電位差を生じさせる第１対向電極と、前記第２面において前記第２電極に向かい合い、かつ前記第１対向電極に隣り合って設けられた第２対向電極と、を備え、前記第２対向電極は、前記第２電極との間で前記第１方向に電位差を生じさせるとともに、前記第１対向電極との間で前記第１方向に交差する方向に電位差を生じさせる。

また、第２面において、第１対向電極及び第２対向電極が隣り合って設けられるので、第１対向電極及び第２対向電極間に発生する電位差によってアクチュエータプレートをシェアモードにより変形させることができる。
また、第２電極及び第２対向電極間に発生する電位差によってアクチュエータプレートをベンドモードにより変形させることができる。その結果、発生圧力の更なる向上及び、省電力化を図ることができる。

（２）上記（１）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記アクチュエータプレートの前記第１面は、前記流路部材に対して前記第１方向で向かい合って配置され、前記第２電極の全体は、前記第１方向から見て前記仕切壁と重なり合う位置に設けられていてもよい。
本態様によれば、アクチュエータプレートの第１面のうち圧力室に向かい合う部分に第２電極が形成されないので、第１面のうち圧力室に向かい合う部分に形成される電極（第１電極）の面積を確保し易い。その結果、第１電極に起因してアクチュエータプレートに発生する電界を確保し易く、圧力室の発生圧力を向上させ易い。
また、アクチュエータプレートの第１面のうち圧力室に向かい合う部分に第２電極が形成されないので、アクチュエータプレートのうち、圧力室に向かい合う部分が変形する際に、アクチュエータプレートの変形が第２電極によって阻害されることを抑制できる。すなわち、アクチュエータプレートの変形の起点を、アクチュエータプレートと仕切壁との境界部分まで広げることができるので、アクチュエータプレートの変形量を確保し、発生圧力を向上させることができる。

（３）上記（１）又は（２）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記第２対向電極のうち、一部は前記第１方向から見て前記仕切壁と重なり合う位置で前記第２電極に向かい合って設けられ、残りの一部は前記第１方向から見て前記圧力室に重なり合う位置に設けられていてもよい。
本態様によれば、第２対向電極のうち、一部を第２電極に向かい合わせた状態で、残りの一部を圧力室に向かい合う位置まで延ばす。これにより、アクチュエータプレートがベンドモードで変形する際に、第２対向電極と第２電極との間の電位差に起因してアクチュエータプレートに発生する電界を、アクチュエータプレートのうち圧力室と向かい合う部分に効果的に発生させることができる。 また、第１対向電極及び第２対向電極同士を接近させることができるので、アクチュエータプレートがシェアモードで変形する際に第１対向電極と第２対向電極との間の電位差に起因してアクチュエータプレートに発生する電界を、アクチュエータプレートのうち圧力室と向かい合う部分に効果的に発生させることができる。
その結果、アクチュエータプレートを効率的に変形させることができる。

（４）上記（１）から（３）何れかの態様に係るヘッドチップにおいて、前記第１電極及び前記第１対向電極の全体は、前記圧力室と前記第１方向で向かい合う位置に設けられていてもよい。
本態様によれば、第１対向電極及び第１電極の全体が圧力室に向かい合って設けられている。これにより、アクチュエータプレートがベンドモードで変形する際に、第１対向電極と第１電極との間の電位差に起因してアクチュエータプレートに発生する電界を、アクチュエータプレートのうち圧力室と向かい合う部分に効果的に発生させることができる。
そのため、アクチュエータプレートを効率的に変形させる ことができる。

（５）本開示の一態様に係るヘッドチップは、液体が収容される複数の圧力室が仕切壁によって仕切られた状態で配列された流路部材と、前記圧力室に対して第１方向に向かい合った状態で前記流路部材上に積層されるとともに、前記第１方向を分極方向とするアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートのうち前記第１方向の第１側を向く第１面、及び前記第１側と反対側である第２側を向く第２面にそれぞれ形成されるとともに、前記アクチュエータプレートを前記第１方向に変形させて前記圧力室の容積をそれぞれ変化させる駆動電極と、を備え、前記駆動電極は、前記アクチュエータプレートの前記第１面のうち、前記圧力室又は前記仕切壁に対して前記第１方向から見て重なり合って設けられた第１電極と、前記アクチュエータプレートの前記第１面において前記第１電極に隣り合って設けられ、前記第１電極との間で電位差を生じさせる第２電極と、前記アクチュエータプレートの前記第２面のうち、前記第１電極に向かい合う位置に各別に設けられ、前記第１電極との間で電位差を生じさせる第１対向電極と、を備え、前記第１方向において、前記アクチュエータプレートを挟んで前記流路部材とは反対側には、前記第１方向における前記流路部材とは反対側への前記アクチュエータプレートの変位を規制する規制部材が積層されている。
本態様によれば、例えば圧力室内における液体の圧力等に起因してアクチュエータプレートに作用する液体の抵抗力（コンプライアンス）に対し、アクチュエータプレートの第１方向における流路部材とは反対側への変位を規制部材によって規制できる。これにより、アクチュエータプレートの変形を圧力室に向けて効果的に伝えることができる。その結果、アクチュエータプレートの変形時における圧力室内の発生圧力を向上させ、省電力化を図ることができる。
（６）本開示の一態様に係るヘッドチップは、液体が収容される複数の圧力室が仕切壁によって仕切られた状態で配列された流路部材と、前記圧力室に対して第１方向に向かい合った状態で前記流路部材上に積層されるとともに、前記第１方向を分極方向とするアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートのうち前記第１方向の第１側を向く第１面、及び前記第１側と反対側である第２側を向く第２面にそれぞれ形成されるとともに、前記アクチュエータプレートを前記第１方向に変形させて前記圧力室の容積をそれぞれ変化させる駆動電極と、を備え、前記駆動電極は、前記アクチュエータプレートの前記第１面のうち、前記仕切壁に対して前記第１方向から見て重なり合って設けられた第１電極と、前記アクチュエータプレートの前記第１面において前記第１電極に隣り合って設けられ、前記第１電極との間で電位差を生じさせる第２電極と、前記アクチュエータプレートの前記第２面のうち、前記第１電極に向かい合う位置に各別に設けられ、前記第１電極との間で電位差を生じさせる第１対向電極と、を備えている。

Claims (8)

1. 液体が収容される複数の圧力室が仕切壁によって仕切られた状態で配列された流路部材と、
   前記圧力室に対して第１方向に向かい合った状態で前記流路部材上に積層されるとともに、前記第１方向を分極方向とするアクチュエータプレートと、
   前記アクチュエータプレートのうち前記第１方向の第１側を向く第１面、及び前記第１側と反対側である第２側を向く第２面にそれぞれ形成されるとともに、前記アクチュエータプレートを前記第１方向に変形させて前記圧力室の容積をそれぞれ変化させる駆動電極と、を備え、
   前記駆動電極は、
   前記アクチュエータプレートの前記第１面のうち、前記圧力室又は前記仕切壁に対して前記第１方向から見て重なり合って設けられた第１電極と、
   前記アクチュエータプレートの前記第１面において前記第１電極に隣り合って設けられ、前記第１電極との間で電位差を生じさせる第２電極と、
   前記アクチュエータプレートの前記第２面のうち、前記第１電極に向かい合う位置に各別に設けられ、前記第１電極との間で電位差を生じさせる第１対向電極と、を備えているヘッドチップ。
2. 前記駆動電極は、前記第２面において前記第２電極に向かい合い、かつ前記第１対向電極に隣り合って設けられた第２対向電極を備え、
   前記第２対向電極は、前記第２電極との間で前記第１方向に電位差を生じさせるとともに、前記第１対向電極との間で前記第１方向に交差する方向に電位差を生じさせる請求項１に記載のヘッドチップ。
3. 前記アクチュエータプレートの前記第１面は、前記流路部材に対して前記第１方向で向かい合って配置され、
   前記第２電極の全体は、前記第１方向から見て前記仕切壁と重なり合う位置に設けられている請求項２に記載のヘッドチップ。
4. 前記第２対向電極のうち、一部は前記第１方向から見て前記仕切壁と重なり合う位置で前記第２電極に向かい合って設けられ、残りの一部は前記第１方向から見て前記圧力室に重なり合う位置に設けられている請求項２又は請求項３に記載のヘッドチップ。
5. 前記第１電極及び前記第１対向電極の全体は、前記圧力室と前記第１方向で向かい合う位置に設けられている請求項１から請求項４の何れ１項に記載のヘッドチップ。
6. 前記第１方向において、前記アクチュエータプレートを挟んで前記流路部材とは反対側には、前記第１方向における前記流路部材とは反対側への前記アクチュエータプレートの変位を規制する規制部材が積層されている請求項１から請求項５の何れか１項に記載のヘッドチップ。
7. 請求項１から請求項６の何れか１項に記載のヘッドチップを備えている液体噴射ヘッド。
8. 請求項７に記載の液体噴射ヘッドを備えている液体噴射記録装置。

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