JP2023047302A - 多重化および逆多重化するマルチモードデバイス - Google Patents

Abstract

【課題】光を結合または分割することができる導波路を有する光学システムを提供する。【解決手段】光を多重化および逆多重化するために使用される干渉デバイスの構成が開示される。干渉デバイスは、第１の入力導波路、第２の入力導波路、干渉導波路、および出力導波路を含み得る。基本モードの光は、第１および第２の入力導波路に入射され得、干渉導波路は、基本モードの光を受光し、高次モードの光を生成し得、ここで、２つのモードの光は、干渉導波路を通って伝播する間に重ね合わされ得る。２つのモードの光は、２つのモードを単一モードに折り畳む出力導波路で受光され得る。干渉デバイスを通って伝播する光は、光の波長が互いに異なる場合であっても、光パワーを増加させるために使用され得る。さらに、干渉デバイスは、コヒーレントノイズを低減し得る。【選択図】図１

Description

本開示は、概して、光を結合する光学システムに関する。より具体的には、本明細書の実施形態は、光を結合または分割することができる導波路を有する光学システムに関する。

（関連出願の相互参照）
本出願は、２０２１年９月２４日に出願された米国仮特許出願第６３／２４８，２１１号の米国特許法１１９条（ｅ）の下での利益を主張するものであり、その内容は、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。

一般に、光学システム（フォトニクス集積回路など）は、複数の光源を使用して、様々なタイプの情報を測定するなど、特定のタスクを達成することができる。これらの光学システムの光源は、異なる波長で光を放出することができ、光学システム内の様々な点でこの光を多重化および／または逆多重化することが望ましい場合がある。空間は、特に、光学システムが限られた利用可能な空間を有するデバイスに組み込まれている場合に、光学システムにおいて貴重であり得る。したがって、小さい全体的な設置面積を維持しながら、光を結合または分割できる構成要素を見つけることが望ましい場合がある。

本開示に記載のシステム、デバイス、方法、および装置の実施形態は、光結合または光分割に使用される干渉デバイスに関する。

本開示は、第１の光源および第２の光源からの光を結合する干渉デバイスを記載する。干渉デバイスは、第１の光源から入力光を受光するように構成された第１の入力導波路、第２の光源から入力光を受光するように構成された第２の入力導波路を含み得、第２の入力導波路は、ギャップ、第１の入力導波路および第２の入力導波路から光を結合するように構成された干渉導波路、および干渉導波路に物理的に接続された出力導波路によって、第１の入力導波路から物理的に分離される。第１の入力導波路または干渉導波路のうちの１つは、テーパ部分およびテーパ部分に当接している直線部分を含み得、テーパ部分は、第１の光源および第２の光源からの光を結合する。

本開示は、多重化デバイスを記載する。多重化デバイスは、単一モードの光の第１の波長を受光するように構成された第１の入力導波路と、第１の入力導波路に光学的に結合された第２の入力導波路であって、単一モードの光の第２の波長を受光し、単一モードの光の第２の波長を高次モードの光に変換するように構成された第２の入力導波路を含み得る。
多重化デバイスはまた、第１の入力導波路に光学的に結合された干渉導波路であって、第１の入力導波路から単一モードの光および高次モードの光を受光するように構成された干渉導波路を含み得る。さらに、多重化デバイスは、干渉導波路に光学的に結合された出力導波路であって、干渉導波路から受光した高次モードの光を単一モードの光に変換し、結合された第１および第２の波長の単一モードの光を出力して、コヒーレントノイズを軽減するように構成された出力導波路を含み得る。

さらに、本開示は、光を逆多重化する方法を記載する。本方法は、入力導波路によって、第１の単一モードの光の第１の波長および第２の単一モードの光の第２の波長を受光し、干渉導波路によって、入力導波路から第１および第２の単一モードの光の第１および第２の波長を受光し、干渉導波路によって、二次モードの光を生成し、二次モードの光を第３の単一モードの光に変換し、第１の出力導波路によって、第３の単一モードの光の第１の波長を出力し、第２の出力導波路によって、第３の単一モードの光の第２の波長を出力することを含み得る。

さらに、本開示は、光結合デバイスを記載する。光結合デバイスは、単一モードの光の第１の波長を受光するように構成された第１の入力導波路と、単一モードの光の第２の波長を受光するように構成された第２の入力導波路と、第１および第２の入力導波路に光学的に結合された干渉導波路であって、第１および第２の入力導波路から受光した単一モードの光の第１および第２の波長を少なくとも２つの異なる次数モードの光に変換するように構成された干渉導波路と、干渉導波路に光学的に結合された出力導波路であって、少なくとも２つの異なる次数モードの光を第３の単一モードの光に変換し、第１および第２の波長の光を結合して第３の単一モードの光を出力し、それにより光の光出力パワーを２倍にするように構成された出力導波路とを含み得る。

上記の例示的な態様および実施形態に加えて、さらなる態様および実施形態が、図面を参照し、以下の説明を検討することによって明らかになるであろう。

例示的な干渉デバイスのブロック図を示す。 光を結合するように構成された例示的な干渉デバイスの断面上面図を示す。 光を分割するように構成された例示的な干渉デバイスの断面上面図を示す。 本明細書に記載の干渉デバイスと共に使用するのに好適な例示的な導波路接合部の断面上面図を示す。 本明細書に記載の干渉デバイスと共に使用するのに好適な例示的な導波路接合部の断面上面図を示す。 本明細書に記載の干渉デバイスと共に使用するのに好適な例示的な導波路接合部の断面上面図を示す。 図２Ｂの線Ａ－Ａ’に沿って取られた導波路の一例の断面側面図を示す。 図２Ｂの線Ａ－Ａ’に沿って取られた導波路の一例の断面側面図を示す。 光を分割または結合するために光学システムで使用され得る例示的な干渉デバイスの断面上面図を示す。 図４Ａの干渉デバイスの入力と出力との間の例示的な伝送プロファイルを示す。 ３つの波長の光を分割または結合するために使用され得る例示的な干渉デバイスの断面上面図を示す。 図５Ａの干渉デバイスの入力と出力との間の例示的な伝送プロファイルを示す。

添付の図でのクロスハッチングまたはシェーディングの使用は、概して、隣り合う要素間の境界を明らかにし、図の視認性も促進するためにも提供される。したがって、クロスハッチングまたはシェーディングの存在も不在も、添付の図に示される任意の要素に関する特定の材料、材料特性、要素の割合、要素の寸法、同様に図示されている要素の共通点、または任意の他の特質、属性、若しくは特性についてのいかなる選好または要件も伝達または指示するものではない。

種々の特徴および要素（ならびにそれらの集合および群）の（相対的であれ絶対的であれ）割合および寸法、ならびにそれらの間に提示される境界、分離点および位置関係は、単に本明細書に述べられる種々の実施形態の理解を容易にするために添付の図に提供されるものであり、したがって必ずしも一定の縮尺で提示または図示されていない場合があり、図示される実施形態についての任意の選好または要件を、それを参照して述べられる実施形態を除外して示す意図はないことを理解されたい。

ここで、添付図面に図示される代表的な実施形態が詳細に説明される。以下の説明は、これらの実施形態を１つの好ましい実施形態に限定することを意図するものではないことを理解されたい。反対に、以下の説明は、添付の特許請求の範囲により定義される記載された実施形態の趣旨および範囲に含むことができるような、代替形態、修正形態および均等物を包含することを意図している。

以下の実施例の説明では、実践することが可能な特定の実施例を例示として示す、添付図面を参照する。それら様々な実施例の範囲から逸脱することなく、他の実施例を使用することができ、構造上の変更を実施することができる点を理解されたい。

本明細書に記載されるのは、２つ以上の異なる波長の光を分割または結合するために使用され得る干渉デバイスである。干渉デバイスの設計は、特定の波長に合わせて調整され得、２つの波長を結合または分割するコンパクトなオプションを表すことができる。本明細書に記載される干渉デバイスは、一般に、複数の光源を使用する光学システムで使用される。これらの光学システムでは、複数の光源からの光を共通の導波路に統合すること（例えば、光学システム内でのルーティングを容易にするために、光を共通の出力にルーティングするためなど）またはある波長を別の波長から分割すること（例えば、所与の１つまたは複数の光源によって提供される波長および／またはパワーを監視および制御するため）が望ましい場合があり、したがって、システムは、１つ以上の光分割デバイスおよび／または１つ以上の光結合デバイスを含み得る。実際、光学システム内の光源の数が増加するにつれて、光分割および光結合デバイスの数、サイズ、および／または複雑さも増加し得る。

本明細書に記載の干渉デバイスは、互いに接近する２つ以上の波長を組み合わせるか、または分割する際に特定の有用性を有し、これを比較的小さな形態因子で達成することができる。例えば、いくつかの例では、光学システムは、同じ目標波長を放出するように構成された２つの光源を含むように設計され得る（例えば、１つの光源が故障した場合に冗長光源を提供するため、および／またはその波長で光学システムによって生成される総パワーを増加させるため）。場合によっては、これらの光学システムは、目標波長からのいくらかの偏差を許容することができ、それでも、目標波長を使用して取得された場合と実質的に同じ測定値を取得することができる（これについての正確な閾値は、光学システムの全体的な精度要件に基づいて設定され、光学システムの全体的な設計ならびにその意図された用途にも依存する）。これらの例では、異なる波長を有する光を放出する２つの光源を意図的に選択するが、波長の差が許容可能な偏差許容範囲内にあるようにすることが望ましい場合がある。ここで説明する干渉デバイスは、これらの異なる波長を結合することが可能であり得、同じ波長の入力を結合するマルチプレクサによって達成できるものよりも小さい設置面積でそれを行い得る。

例えば、光学システムは、第１の目標波長の光を使用して測定を行うように設計され得る（例えば、１つ以上の光源を使用して第１の目標波長を生成し、光学システムから第１の目標波長の光を放出し、光学システムに戻される第１の目標波長の量を測定する）。光学システムは、光学システムが依然として同等の測定を行うことができる目標波長からの許容可能な偏差を表す偏差許容値を有し得る。言い換えれば、光学システムは、目標波長で実際に生成されたかのように、偏差許容値範囲内の任意の波長の光を処理することができる。許容値が、非限定的な例として、目標波長のいずれかの側で２ナノメートルである場合、光学システムは、この範囲内の２つの異なる波長で光を放出するように構成された２つの光源（例えば、４ナノメートル未満で分離され得る）を含み得、これらの波長を結合するために本明細書に記載される干渉デバイスを使用することができる。上述のように、これは、目標波長の許容可能な境界内で放出されるパワーを増加させ（および／または１つの光源が故障した場合に冗長性を提供し）、より小さな設置面積でそれを行うことができる。

いくつかの例では、数ナノメートルだけ意図的にわずかに離間された波長を放出することが望ましい場合があり、それは、これらの波長の各々で測定を行うと所与のシステムでのコヒーレントノイズの影響をまとめて低減することができるからである。例えば、いくつかの変形例では、光源によって放出される波長間に少なくとも３ナノメートルの分離を有することが望ましい場合がある。本明細書に記載の干渉デバイスを使用してそれらを結合することにより、これらの波長をシステム内で一緒にルーティングして、２つの波長を搬送するために必要な固有の導波路の数を低減することができる。さらに、これらの干渉デバイスは、マッハツェンダー干渉計などの他の結合デバイスよりも製造プロセスでのばらつきによる影響をより受けにくい可能性がある。

一般に、干渉デバイスは、典型的には、干渉導波路によって少なくとも１つの出力に接続された少なくとも１つの入力を含む。干渉デバイスが複数の光の波長を有する入力を逆多重化するように構成される変形例では、干渉デバイスは、入力導波路、干渉導波路、および２つ以上の出力導波路を含む。他の例では、干渉デバイスは、光を多重化するように構成され得、その場合、干渉デバイスは、２つ以上の入力導波路、干渉計導波路、および単一の出力を含み得る。本明細書に記載されるように、干渉導波路の基本的な機能および干渉デバイス内で発生する光モード結合は、干渉デバイスが光を分割するか、または光を結合するかにかかわらず、同様であり得ることが理解され得る。すなわち、光モードは依然として、一方の導波路から別の導波路に同様に結合してもよく、光学モードは同様の方法で生成されてもよい。

本明細書全体を通して使用される場合、参照番号の後に英字がない参照番号は、１つ以上の対応する参照、すべての参照のグループ、または参照のうちのいくつかを指すことができる。例えば、「２０５」は、それが使用される文脈に応じて、入力導波路２０５（例えば、入力導波路２０５ａ、入力導波路２０５ｂなど）のうちのいずれか１つを指すことができ、入力導波路２０５の全てを指すことができ、または入力導波路のいくつか（例えば、入力導波路２０５ａのうちの１つ）を指すことができる。

本開示による方法および装置の代表的な適用例を、本セクションで説明する。これらの実施例は、前後関係を追加し、説明する実施例の理解を助けることのみを目的として提供される。それゆえ、説明する実施例は、具体的な詳細の一部または全てを伴わずに実践することができる点が、当業者には明らかとなるであろう。他の適用例が可能であり、それゆえ以下の実施例は、限定的なものとして解釈されるべきではない。

これらの実施形態および他の実施形態について、図１～図５Ｂを参照して以下に説明する。しかしながら、当業者であれば、これらの図に関して本明細書に与えられた発明を実施するための形態は説明を目的とするものに過ぎず、限定するものとして解釈されるべきではないことを容易に理解するであろう。

図１は、第１の光源１０３ａおよび第２の光源１０３ｂを含む光学システムに使用され得る例示的な干渉デバイス１００のブロック図を示す。示されるように、干渉デバイス１００は、第１の入力導波路１０５ａ、第２の入力導波路１０５ｂ、干渉導波路セクション１１０、および出力導波路１１５を備える。本明細書に記載されるように、干渉導波路セクション１１０は、１つ以上の干渉導波路を含み得、直線部分、テーパ部分、および／またはモード分離部分などの異なる形状をそれぞれ有する１つ以上のセクションで構成され得る。干渉デバイス１００は、２つの異なる波長の光を低光学損失で結合することができ、これらの波長が数ナノメートル（例えば、上述の許容可能な偏差許容値によって決定され得るように、３ナノメートル以下）だけ分離されている場合、光学システムは、目標波長において増加した光パワー（例えば、二倍の光パワー）を有する単一光源によって生成されたかのように、この結合された光を利用し得る。さらに、基礎となる入力波長が異なるため、各入力波長を使用して行われた測定と関連付けられたコヒーレントノイズも異なり得、この差は、結果として得られる測定信号からのコヒーレントノイズの影響を軽減するために使用され得る。

入力導波路１０５ａ、１０５ｂは、光源から入力導波路１０５ａ、１０５ｂに光を搬送する光路を介して光源から光を受光することができる。一般に、光路は、導波路、光ファイバ、自由空間光通信、光を通過し得る他の要素、それらの組み合わせなどであり得る。言い換えれば、干渉デバイス１００は、フォトニクス集積回路に実装され得るが、第１および第２の光源１０３ａ、１０３ｂは、これらの光源からの光がフォトニクス集積回路に光学的に結合されて入力導波路１０５ａ、１０５ｂに到達する限り、同じフォトニクス集積回路に直接統合される必要はない。本出願の目的に対して、第１および第２の光源１０３ａ、１０３ｂは、それぞれ、第１および第２の入力導波路１０５ａ、１０５ｂに到達する光を表し、光が第１および第２の入力導波路１０５ａ、１０５ｂに到達する前に光を生成、ルーティング、または他の方法で変化させる構成要素の実際の設計に関して非依存的である。すなわち、光学システムは、好ましくは、入力導波路１０５ａ、１０５ｂの各々によって受光した光が基本モードの光であるように構成され得る。干渉デバイスは、２つの所定の波長の光を多重化または逆多重化するように特に設計され得るが、動作中、光学システムは、所定の波長以外の１つ以上の波長で干渉デバイスに光を提供し得ることも理解されたい。これらの例では、干渉デバイスは、依然として光を部分的に多重化または逆多重化し得るが、光学システムによって提供される波長に応じて、出力間のより大きな損失または不均一な分布を有する可能性が高い。２つの入力導波路１０５ａ、１０５ｂ、および２つの光源１０３ａ、１０３ｂが図１に示されているが、本明細書に記載の干渉デバイスのいくつかの実施形態は、（図５Ａおよび図５Ｂに関して説明されるような）３つ以上の光源から光を受光する３つ以上の導波路を含む。

上述のように、入力導波路１０５ａ、１０５ｂは、好ましくは、干渉導波路セクション１１０に基本モードを有する光を伝搬する。入力導波路１０５ａ、１０５ｂの各々について、干渉導波路セクション１１０は、基本モードを有する光（例えば、ＴＥ００）を受光し、基本モードの光の一部を高次モードの光（例えば、ＴＥ１０）に変換することができる。光のモードを変換することは、図２Ａ～図４Ｂを参照して本明細書で説明されるように、様々な方法で達成され得る。干渉導波路セクション１１０は、干渉デバイス１００が基本モードで光を受光し出力するように、干渉導波路セクション１１０の出力において（すなわち、出力導波路１１５において）、高次モードの光を変換して基本モードに戻す。基本モードおよび高次モードは、干渉導波路セクション１１０内で異なる屈折率を有するため、モードは、干渉導波路セクション１１０内を移動する間に互いに干渉する。

出力導波路１１５に到達する入力導波路に提供される入力光の相対量は、干渉導波路セクション１１０の寸法、干渉導波路セクション１１０に対する入力導波路および出力導波路の相対配置、ならびに入力導波路によって受光される光の波長に依存する。したがって、干渉導波路セクション１１０は、所与の入力導波路１０５ａまたは１０５ｂと出力導波路１１５との間の目標波長の伝送を最大にするように構成され得る。干渉導波路セクション１１０が入力導波路１０５ａ、１０５ｂの両方から同時に光を受光する場合（例えば、第１の入力導波路１０５ａからの第１の波長および第２の入力導波路１０５ｂからの第２の波長）、干渉導波路セクション１１０は、第１の波長については基本モードと高次モード、また第２の波長については基本モードと高次モードの両方を搬送する。干渉導波路セクション１１０は、以下でより詳細に説明するように、第１の入力導波路１０５ａと出力導波路１１５との間の第１の目標波長の伝送を最大にするように構成され、第２の入力導波路１０５ｂと出力導波路１１５との間の第２の目標波長の伝送を最大にするようにさらに構成され得る。

図２Ａは、光を結合するために光学システム内に配置された例示的な干渉デバイス２００の断面上面図（導波路を覆う任意の層が除去された状態）を示す。干渉デバイス２００は、第１の入力導波路２０５ａ、第２の入力導波路２０５ｂ、干渉導波路２１０、および出力導波路２１５を含む。図１のデバイスと同様に、第１および第２の入力導波路２０５ａ、２０５ｂは、（光学システム（図示せず）の第１および第２の光源からの）基本モードの光を受光することができ、受光した光は、第１の入力導波路２０５ａで受光した光の第１の波長を含み得、受光した光は、第２の入力導波路２０５ｂにおいて第２の波長（第１の波長とは異なる）を含み得る。クラッド材料２２５は、第１および第２の入力導波路２０５ａ、２０５ｂ、干渉導波路２１０、および出力導波路２１５を取り囲むことができる（ただし、本出願の原理は、空気が導波路のクラッドとして作用する場合にも適用されるであろう）。第１および第２の入力導波路２０５ａ、２０５ｂは、干渉導波路２１０の第１の端部２５０ａで干渉導波路２１０に接続する（入力導波路と干渉導波路２１０との間の光学的結合を提供するため）。同様に、出力導波路２１５は、第２の端部２５０ｂで干渉導波路２１０に接続して、出力導波路を干渉導波路に光学的に結合している。本明細書で使用されるように、互いに「光学的に結合された」２つの要素は、光が一方の要素から他方の要素に通過することを可能にし得る。いくつかの実施形態では、出力導波路２１５は、リブ導波路であり得るが、他の実施形態では、出力導波路２１５は、ストリップ導波路であり得る。

図１に関して上述したように、干渉デバイス２００は、第１の目標波長と第２の目標波長を結合するように特に設計され得る。これを達成するために、干渉デバイス２００は、第１の入力導波路２０５ａと出力導波路２１５との間で第１の目標波長の伝送を促進するように調整され、第２の入力導波路２０５ｂと出力導波路２１５との間で第２の波長の伝送を促進するようにさらに調整される。上述のように、第１の入力導波路２０５ａと干渉導波路２１０との間の相対的な配置は、所与の波長において第１の入力導波路２０５ａから出力導波路２１５に到達する光の量を制御する。同様に、第２の入力導波路２０５ｂと干渉導波路２１０との間の相対的な配置は、所与の波長において第１の入力導波路２０５ａから出力導波路２１５に到達する光の量を制御する。

第１の入力導波路２０５ａと干渉導波路２１０との間の（第１の端部２５０ａにおける）境界面は、第１の入力導波路２０５ａによって搬送される光の一部を基本モードから高次モードに変換させる。モードの同様の変換は、第２の入力導波路２０５ｂによって搬送される光に対して、第２の入力導波路２０５ｂと干渉導波路２１０との間の（第１の端部２５０ａにおける）境界面で生じる。この場合も、所与の波長の異なるモード間の異なるｎｅｆｆ（有効屈折率）のため、各波長に対する基本モードおよび高次モードは、干渉導波路２１０の長さに沿って干渉する。第２の端部２５０ｂでは、干渉導波路２１０と出力導波路２１５との間の境界面は、各波長に対する高次モードをその基本モードに変換して戻すことができる。

干渉導波路における干渉には波長依存性があるため、出力導波路２１５に到達する入力導波路（例えば、第１または第２の入力導波路２０５ａ、２０５ｂ）によって提供される光のパーセンテージもまた、波長の関数として変化する。例えば、図２Ａは、入力導波路と出力導波路との間の光の相対的な伝送を示すグラフ２６５を示す。そこに示されるように、波長（Ｗ）の関数として第１の入力導波路２０５ａと出力導波路２１５との間で伝送される光のパーセンテージ（Ｔ）を表す第１の伝送プロファイル２５８、ならびに波長（Ｗ）の関数として第２の入力導波路２０５ｂと出力導波路２１５との間で伝送される光のパーセンテージ（Ｔ）を表す第２の伝送プロファイル２６０が存在し得る。これらの伝送プロファイル２５８、２６０は、一般に、位相がずれた正弦波曲線である。

干渉デバイス２００が、第１および第２の入力導波路２０５ａ、２０５ｂがそれぞれの所定の目標波長を（例えば、これらのそれぞれの波長を放出する対応する光源から）受光するシステムで使用されるように設計される場合、第１および第２の入力導波路２０５ａ、２０５ｂはそれぞれ、干渉導波路２１０に対して第１の端部２５０ａに沿って、それぞれの目標波長で出力導波路２１５への光伝送を最大にするそれぞれの位置に配置することができる。言い換えれば、第１の伝送プロファイル２５８が第１の目標波長にピークを有し、第２の伝送プロファイル２６０が第２の波長にピークを有するように、干渉デバイス２００を構成することが望ましい場合がある。入力導波路２０５ａ、２０５ｂの相対位置を選択することに加えて、干渉導波路２１０の寸法（例えば、長さ、幅など）を変更する、および／または干渉導波路２１０の第２の端部２５０ｂに沿って出力導波路２１５の位置決めを変更することは、伝送プロファイル２５８、２６０を調整することができる（例えば、所与の伝送プロファイルの位相および／または周波数を調整し得る）。

図２Ａの例では、干渉導波路２１０は、干渉導波路２１０の第１の端部２５０ａが干渉導波路２１０の第２の端部２５０ｂよりも広くなるように、第１の端部２５０ａにテーパ部分および第２の端部２５０ｂに直線部分を備える。一般に、（例えば、導波路内でより小さい設置面積および／または制約モードを有するように）より薄い干渉導波路を有することが望ましいが、第１および第２の入力導波路２０５ａおよび２０５ｂが互いにどの程度接近し得るかについての実際的な制約が存在し得る（これにより、特に目標波長が互いに接近するにつれて、それらのそれぞれの目標波長の伝送を最大にするように入力導波路が配置される能力が制限され得る）。したがって、テーパ部分は、入力導波路２０５ａおよび２０５ｂが、それらのそれぞれの目標波長の伝送を最大化しながら、さらに離れて配置されることを可能にし得る。

干渉導波路２１０がテーパ部分を含む場合、テーパ部分の幅、長さ、およびテーパ角度は、伝送プロファイル２５８、２６０を同調するように調整され得るが、好ましくは他の高次モードを励起しないように選択される。例えば、干渉導波路２１０の第１の端部２５０ａの幅は、他の高次モードの光が抑制され得るように十分に徐々にテーパし得る。干渉導波路２１０の第１の端部２５０ａは、テーパ部分から干渉導波路２１０の直線部分までテーパし得る。同様に、直線部分は、基本モードの光ならびに高次モードの光が通って伝播するのを可能にするのに十分な幅であり得るが、追加の高次モードを生成しないように、さもなければ光損失を増加させないように設計されることが好ましい。いくつかの実施形態では、干渉導波路２１０のテーパ部分および直線部分は、ストリップ導波路であり得る。

干渉導波路２１０は、第１の波長の光を第２の波長の光（理想的には、干渉導波路２１０が伝送を最大にするように設計される第１および第２の目標波長）と結合するためにシステム内で使用することができ、有利には、この結合された光を上述のように使用し得る。例えば、結合された光が測定を行うために使用される場合、光の第１および第２の波長は、出力光が光パワー出力を効果的に２倍にし得るように、互いに十分に接近していてもよい。結合された光は、技術的には２つの異なる波長を有するが、特定の測定の観点からは、出力光（目標出力強度の場合）に目標出力強度における第１の波長のみ、目標出力強度における第２の波長のみ、または第１および第２の波長の混合（集合的に目標出力強度を有する）が含まれるかどうかにかかわらず、光学システムが同じ測定をもたらす（上述のような許容可能な境界内で）という点で等価であると考えられ得る。追加的または代替的に、第１および第２の波長は、光学システムが各波長からの情報を使用して、測定におけるコヒーレントノイズを軽減することができるように、閾値量だけ分離され得る。

干渉デバイス２００は、２つの波長の光を結合するように構成されるように図２Ａに示されているが、代わりに、干渉デバイス２００を光学システムに使用して、２つの波長を有する光を分割することができ、結合された光を受光する入力導波路として出力導波路２１５を単に使用することによってこれを行うことができることを理解されたい。図２Ｂは、光を分割する例示的な干渉デバイス２０１の断面上面図（導波路を覆う任意の層が除去された状態）を示す。干渉デバイス２０１は、干渉デバイス２００とは反対方向に光が干渉デバイス２０１を通過することを除いて、干渉デバイス２００と同一であり得る。相反定理によって、干渉デバイス２０１は、デマルチプレクサとして機能し、第１の波長と第２の波長の結合された光を有する入力光を２つの異なる出力（一方は第１の波長の光を有し、他方は第２の波長の光を有する）に分離する。

そこに示されるように、干渉デバイス２０１は、入力導波路２０５、干渉導波路２１０、第１の出力導波路２１５ａ、および第２の出力導波路２１５ｂを含む。第１および第２の出力導波路２１５ａ、２１５ｂは、干渉導波路２１０のテーパ部分に接続され得る。これらの構成要素は、図２Ａに関して上述したように（図２Ｂの入力導波路２０５、干渉導波路２１０、第１の出力導波路２１５ａ、および第２の出力導波路２１５ｂは、それぞれ図２Ａの出力導波路２１５、干渉導波路２１０、第１の入力導波路２０５ａ、および第２の入力導波路２０５ｂに対応する）構成され得、入力導波路２０５と第１の出力導波路２１５ａとの間の第１の目標波長の伝送を最大にし、入力導波路２０５と第２の出力導波路２１５ｂとの間の第１の目標波長の伝送を最小にすることを理解されたい。さらに、これらの構成要素は、入力導波路２０５と第２の出力導波路２１５ｂとの間の第２の目標波長の伝送を最大化し、入力導波路２０５と第１の出力導波路２１５ａとの間の第２の目標波長の伝送を最小化するように構成され得る。このようにして、第１の波長の光を第１の出力導波路２１５ａにのみ結合することができ、第２の波長の光を第２の出力導波路２１５ｂにのみ結合することができる。

干渉デバイス２０１の動作原理は、干渉デバイス２００の動作原理の逆に過ぎず、ここでは簡単に説明するだけである。具体的には、入力導波路２０５は、入力導波路２０５によって搬送された各波長に対する基本モードの光の一部が干渉導波路２１０内で高次モードに変換されるように、干渉導波路２１０に接続する。各波長に対する基本モードおよび高次モードは、干渉導波路内で互いに干渉し、各波長に対する高次モードは、干渉導波路２１０と各出力導波路２１５ａ、２１５ｂとの間の接続部で基本モードに変換されて戻される。干渉デバイス２００は、第１の目標波長の光のみが第１の出力導波路に伝送されるように（例えば、第１の出力導波路に関連付けられた伝送プロファイルにおいて第２の目標波長に谷が存在する）、また第２の目標波長の光のみが第２の出力導波路２１５ｂに伝送される（例えば、第２の出力導波路と関連付けられた伝送プロファイルにおいて第１の目標波長に谷が存在する）ように（図２Ａに関して上述したように）構成され得る。このようにして、第１および第２の目標波長を搬送する光は、逆多重化される。

入力導波路または出力導波路と干渉導波路との間の境界面を使用して基本モードと高次モードとの間で（またはその逆）光を変換する場合、それは任意の適切な導波路接合部において行われ得る。例えば、図２Ｃは、屈曲部を備えた導波路接合部２０２の例を示す。導波路接合部２０２は、第１のセクション２０２ａおよび第２のセクション２０２ｂとを含み、第１のセクション２０２ａと第２のセクション２０２ｂとの間に屈曲部２３２を備える。第１のセクション２０２ａは、基本モードの光である入力光を受光することができる。第１のセクション２０２ａおよび第２のセクション２０２ｂは、上述したモード変換を達成するために必要に応じて、導波路接合部の任意の導波路（例えば、出力導波路および干渉導波路）であり得る。

屈曲部２３２は、傾斜摂動を介して、基本モードの光から高次モードの光を生成し得る。屈曲部２３２は、第１のセクション２０２ａと第２のセクション２０２ｂとの間で特定の方向に屈曲するように示されているが、屈曲部２３２は、傾斜摂動を使用して高次モードが生成され得る限り、任意の方向であり得る。傾斜摂動は、屈曲部２３２を導波路接合部２０２に導入することによって光の境界条件を変化させることができ、したがって、基本モードの光から高次モードの光を生成し得る。第１および第２のセクション２０２ａ、２０２ｂは、直線状の側面で描かれているが、いくつかの例では、導波路の適切な幅が維持される限り、導波路セクションは湾曲していてもよい。

図２Ｄは、別の導波路接合部２０３の例を示す。図２Ｃの導波路接合部２０２と同様に、図２Ｄの導波路接合部２０３は、第１および第２のセクション２０３ａ、２０３ｂ（上述のようにモード変換を実行する任意の適切な導波路であってもよい）を含み得る。図２Ｄでは、第１のセクション２０３ａと第２のセクション２０３ｂとの間の「キンク」２３３によって、高次モードが生成され得る。キンク２３３は、基本モードの光を高次モードの光に変換し得る。キンク２３３は、第１のセクション２０３ａと第２のセクション２０３ｂとの間の導波路幅に不連続性を生成し、これが高次モードの光の生成に関与する。キンク２３３における導波路のセクション間のサイズの急激な変化は、入力で受光した基本モードの光から高次モードの光を生成させることができる。図２Ｄの実施形態では、高次モードの光はＴＥ１０であり得、基本モードの光は、ＴＥ００であり得る。

図２Ｅは、別の導波路接合部２０４の例を示す。図２Ｃおよび２Ｄと同様に、図２Ｅの導波路接合部２０４は、第１のセクション２０４ａおよび第２のセクション２０４ｂを含む。導波路接合部２０４と導波路接合部２０２、２０３との間の違いを、本明細書で説明する。

第１のセクション２０４ａは、第１のセクション２０４ａと第２のセクション２０４ｂとの間の接合部において、高次モードの光（例えば、３ローブモードの光）に変換される基本モードの光であり得る入力を受光することができる。図２Ｅでは、モード変換は、第１のセクション２０４ａのテーパ２３４を介して生成される。テーパ２３４は、基本モードの光（例えば、ＴＥ００）が少なくとも部分的に高次モードの光（例えば、ＴＥ２０）に変換され得るのに十分な速さであり得る。第１のセクション２０４ａのテーパ２３４の速度に応じて、高次モードに変換された光のパーセンテージを制御することができる。同様に、図２Ｃおよび２Ｄでは、屈曲部２３２およびキンク２３３は、高次モードに変換された光のパーセンテージを制御し得る。図２Ｃ、２Ｄ、および２Ｅ（またはそれらの組み合わせ）の任意の導波路接合部の実施形態は、図２Ａおよび２Ｂで上述した所望のモード変化を作成し得ることが理解され得る。

図３Ａは、光が干渉デバイス２０１を通って伝播しない状態での、図２Ｂの線Ａ－Ａ’に沿って取られた導波路３０１の一例の断面側面図を示す。導波路３０１は、光が伝播し得る一般的な構造を示し、縮尺通りに描かれていない。導波路３０１は、シリコン基板３２０、第１のクラッド層３２５、伝播層３３０、および第２のクラッド層３３５を含む。図３Ｂに示すように、第１のクラッド層３２５は、シリコン基板３２０上に配置され、伝播層３３０（伝播領域であり得る）は、第１のクラッド層３２５上に配置され、第２のクラッド層３３５は、伝播層３３０上に配置される。図３Ａは、第１のクラッド層３２５および第２のクラッド層３３５を示しているが、導波路の側面を取り囲むクラッド層があってもよく、ならびにクラッド層の上下にクラッド層を有していてもよい。この実施形態では、光源によって放出された光は、図３Ａの平面内または平面外に伝播し、具体的には、伝播層３３０である導波路３０１の伝播領域３３０を通って伝播する。いくつかの実施形態では、第１のクラッド層３２５および第２のクラッド層３３５は、二酸化ケイ素などの酸化物または他の適切な誘電体材料から形成され得る。

図３Ｂは、図２Ｂの線Ａ－Ａ’に沿って取られた導波路３０１の一例の断面側面図を示し、単一モードを有する光３５０がそこを通って伝搬する導波路２０１の断面を示す。図２Ｂで前述したように、入力導波路２０５、干渉導波路２１０、および出力導波路２１５はすべて、基本モードの光（例えば、ＴＥ００）などの単一モードの光３５０をサポートし得る。基本モードを有する光は、入力導波路２０５を通って干渉導波路２１０に伝播し得る。単一モードの光３５０は、入力導波路２０５および干渉導波路２１０を通って伝搬するものとして上述されているが、干渉導波路２１０は、基本モードの光以外をサポートし得る。さらに、干渉導波路２１０内でサポートされているモードの光は、出力導波路２１５内で単一モードの光３５０に折り畳まれ得、これは、図３Ｂに示される基本モードの光３５０を出力し得る。

図４Ａは、光を分割または結合するために光学システムで使用され得る例示的な干渉デバイス４００の断面上面図（導波路を覆う任意の層が除去された状態）を示す。干渉デバイス４００は、（例えば、上記の目的の１つまたは複数のために）光を結合するために光学システムで使用されるものとして以下に説明されるが、干渉デバイス４００は、代わりに、相互操作によって光を分割するために使用され得ることを理解されたい。

図４Ａに示すように、干渉デバイス４００は、第１の入力導波路４０５ａ、第２の入力導波路４０５ｂ、第１の干渉導波路４４５ａおよび第２の干渉導波路４４５ｂを含む干渉導波路セクション４１０、および出力導波路４１５を含み得る。クラッド材料４２５は、上述のように、干渉デバイス４００の個々の導波路を取り囲むことができる。

干渉導波路セクション４１０は、第１の入力導波路４０５ａと出力導波路４１５との間の第１の正弦波伝送プロファイルと、第１の入力導波路４０５ａと出力導波路４１５との間の第２の正弦波伝送プロファイルとを有し得る。これらの伝送プロファイルは、図４Ｂの４０２として集合的に示されている。図２Ａに関して上述した干渉デバイス２００と同様に、干渉導波路セクション４１０は、第１の入力導波路４０５ａから出力導波路４１５への第１の目標波長の伝送を最大にし、第２の入力導波路４０５ｂから出力導波路４１５への第２の目標波長の伝送を最大にするように構成され得、これにより、第１および第２の目標波長の多重化を容易にすることができる。

入力導波路４０５ａ、４０５ｂと出力導波路４１５との間の光伝送を容易にするために、第１の干渉導波路４４５ａは、テーパ部分（干渉導波路セクション４１０の第１のテーパ部分）および直線部分を含み得、第２の干渉導波路４４５ｂは、テーパ部分（干渉導波路セクション４１０の第２のテーパ部分）を含むことができる。第１のテーパ部分は、第１の端部で第１の入力導波路４０５ａに接続され、第２の端部で第１の干渉導波路４４５ａの直線部分に接続される。第１の入力導波路４０５ａは、第１のテーパ部分がその第１の端部からその第２の端部に向かって狭くなるように、第１の干渉導波路４４５ａの直線部分よりも広くてもよい。第２のテーパ部分は、第１の端部で第２の入力導波路４０５ｂに接続され、第２のテーパ部分の第２の端部で終端してもよい。第２のテーパ部分の幅は、第１の端部から第２の端部に向かって広くなってもよく、その結果、第１のテーパ部分は、第２のテーパ部分が広がるにつれて狭くなる。第１のテーパ部分および第２のテーパ部分は、それらの間の光結合を可能にするために、互いに十分に近接して（例えば、所定のギャップによって分離されて）位置付けられ得る。

まとめると、第１のテーパ部分および第２のテーパ部分は、各入力導波路４０５ａ、４０５ｂからの入力光の一部を基本モードから高次モードに変換し、各入力光の基本モードおよび高次モードの両方を第１の干渉導波路４４５ａの直線部分に通過させるように構成される。例えば、第１の入力導波路４０５ａは、基本モードで第１の波長の光を受光することができる。第１の波長の光を干渉導波路セクション４１０の第１のテーパ部分に通過させると、第１および第２のテーパ部分は集合的に、第１の波長の光の一部を高次モードに変換し、２つのモードの光が第１の干渉導波路４４５ａの直線部分を通過するように作用する。

同様に、第２の入力導波路４０５ｂは、基本モードで第２の波長の光を受光することができる。第１の波長の光を干渉導波路セクション４１０の第１のテーパ部分に通過させると、第１および第２のテーパ部分は集合的に、第２の波長の光の一部を高次モードに変換し、２つのモードの光が第１の干渉導波路４４５ａの直線部分を通過するように作用する。このようにして、第１の干渉導波路４４５ａの直線部分は、各波長に対して基本モードおよび高次モードの両方で光を受光する。所与の波長に対する異なるモードは、直線部分において互いに干渉することになり（モード間のいくらかの干渉がテーパ部分においても発生し得ることを理解されたい）、各波長に対する高次モードは、基本モードに戻るように変換され得る。

各入力導波路４０５ａ、４０５ｂと出力導波路との間の伝送プロファイルは、少なくとも部分的に、出力導波路４１５、第１の干渉導波路４４５ａ、第２の干渉導波路４４５ａ、および第１および第２の入力導波路４０５ａ、４０５ｂの寸法および相対配置によって決定され得る。図２Ａに関して上述した干渉デバイス２００と同様に、これらの構成要素は、第１の伝送プロファイル２５８が第１の目標波長においてピークを有し、第２の伝送プロファイル２６０が第２の波長においてピークを有するように、伝送の周波数および位相を設定するように選択され得る。

上述のように、干渉デバイス４００は、光を多重化する代わりに光を逆多重化するために光学システムで使用され得る。具体的には、出力導波路４１５は、代わりに入力導波路として使用され得、光学システムは、光の第１の波長および第２の波長の両方を有する光を入力導波路（図４Ａの出力導波路４１５）に提供するように構成され得る。光が干渉導波路セクション４１０を通過すると、各波長の基本モードの一部は、高次モードに変換され得る。各波長に対する基本モードおよび高次モードは、干渉導波路セクション４１０内で互いに干渉し、第１および第２の出力導波路（すなわち、図４Ａの第１の入力導波路４０５ａおよび第２の入力導波路４０５ｂ）の各々において基本モードに変換されて戻される。

各出力導波路で終了する各波長の相対量は、入力導波路と各出力導波路との間の伝送プロファイルに依存する。具体的には、伝送プロファイルは、第１の伝送プロファイルが第１の波長でピークを有し、および第２の波長で谷を有し、その一方で、第２の伝送プロファイルが第１の波長で谷を有し、および第２の波長で谷を有し、その結果、第１の波長のみが第１の出力導波路に結合されるように（干渉デバイスの様々な導波路の相対位置および寸法を調整することによって）構成され得る。その結果、入力波長は逆多重化され得る。

上述のように、いくつかの例では、本明細書に記載される干渉デバイスは、３つ以上の波長の光を分割または結合するために使用され得る。図５Ａは、光を分割または結合するために光学システムで使用され得る例示的な干渉デバイス５００の断面上面図（導波路を覆う任意の層が除去された状態）を示す。干渉デバイス５００は、光を分割するために（例えば、上述した１つ以上の目的のために）光学システムで使用されるものとして以下に説明されるが、干渉デバイス５００は、代わりに、相互作用によって光を結合するために使用され得ることを理解されたい。

図５Ａに示すように、干渉デバイス５００は、入力導波路５０５、干渉導波路５１０、第１の出力導波路５１５ａ、第２の出力導波路５１５ｂ、および第３の出力導波路５１５ｃを含む。クラッド材料５２５は、入力導波路５０５、干渉導波路５１０、および第１、第２、および第３の出力導波路５１５ａ～５１５ｃを取り囲んで、それらに光閉じ込めを提供することができる。干渉導波路５１０は、直線部分５１２およびテーパ部分５１４を含むが、干渉導波路５１０の変形例は、必要に応じて、直線および／またはテーパ部分の他の組み合わせを含み得ることを理解されたい。入力導波路５０５は、干渉導波路５１０の直線部分５１２に接続され、第１、第２、および第３の出力導波路５１５ａ～５１５ｃは、干渉導波路５１０のテーパ部分５１４に接続される。図２Ａおよび図２Ｂに関して説明したように、テーパ部分５１４は、干渉導波路５１０の幅を増加させて、出力導波路５１５ａ～５１５ｃの配置を容易にする一方で、これらの出力への光の伝送を依然として最大にする。テーパ部分の幅、長さ、およびテーパ角度は、出力導波路５１５ａ～５１５ｃへの伝送を同調するように調整され得るが、好ましくは、他の高次モードを励起しないように選択される。

入力導波路５０５と干渉導波路５１０との間の接合部は、複数の高次モードを生成するように構成される。具体的には、干渉導波路５１５は、所与の波長で、基本モード５３０（例えば、ＴＥ００）で入力光を受光し、基本モードの光の第１の部分を第１の高次モードの光５３２（例えば、ＴＥ０１）に、基本モードの光の第２の部分を第２の高次モードの光５３４（例えば、ＴＥ０２）に、両方とも変換することができる。したがって、干渉導波路５１０は、基本モードの光５３０、第１の高次モードの光５３２、および第２の高次モードの光５３４のそれぞれを搬送する。

干渉導波路５１０に導入された各波長に対する光の異なるモードは、干渉導波路５１０の長さに沿って干渉する。干渉導波路５１０と出力導波路５１５ａ～５１５ｃとの間の境界面は、各波長に対する高次モードをその基本モードに変換して戻すことができる。この干渉の波長依存性のために、出力導波路５１５ａ～５１５ｃの各々に到達する入力導波路５０５によって提供される光のパーセンテージも、波長の関数として変化する。図５Ｂは、波長（「Ｗ」）の関数として、入力導波路５０５と出力導波路との間で伝送される光の相対パーセンテージ（Ｔ）を示すグラフ５０２を示す。示されるように、第１の伝送プロファイル５４０ａは、入力導波路５０５と第１の出力導波路５１５ａとの間で伝送される光のパーセンテージを表し、第２の伝送プロファイル５４０ｂは、入力導波路５０５と第２の出力導波路５１５ｂとの間で伝送される光のパーセンテージを表し、第３の伝送プロファイル５４０ｃは、入力導波路５０５と第３の出力導波路５１５ｃとの間で伝送される光のパーセンテージを表す。これらの伝送プロファイルは、一般に、位相がずれている正弦波曲線である。

干渉導波路５１０の構成および入力導波路５０５および出力導波路５１５ａ～５１５ｃの相対配置は、第１の出力導波路５１５ａへの第１の波長の伝送を最大にし、第２の出力導波路５１５ｂへの第２の波長の伝送を最大にし、第３の出力導波路５１５ｃへの第３の波長の伝送を最大にするように選択され得る。このようにして、第１、第２、および第３の波長の光は、それぞれ第１の出力導波路５１５ａ、第２の出力導波路５１５ｂ、および第３の出力導波路５１５ｃにのみ結合することができる。結果として、干渉デバイス５００が、第１、第２、および第３の波長（またはそのサブセット）を有する光を提供する光学システムに使用される場合、これは、対応する出力導波路に逆多重化される。

干渉デバイス５００はまた、複数の波長の光を結合するために使用され得る。例えば、干渉デバイス５００は、第１の光源（図示せず）が第１の出力導波路５１５ａに光学的に接続され、第２の光源（図示せず）が第２の出力導波路５１５ｂに光学的に接続され、第３の光源（図示せず）が第３の出力導波路５１５ｃに光学的に接続されている光学システムで使用され得る。これらの例では、第１、第２、および第３の出力導波路５１５ａ～５１５ｃは、代わりに、それぞれ第１、第２、および第３の光源から光を受光する入力導波路として機能する。動作の原理は、上述の分割動作の逆であり、これらの導波路５１５ａ～５１５ｃの各々からの伝送（およびその対応する波長）は、入力導波路５０５（結合動作中に出力導波路として機能する）において最大化される。これにより、３つの波長全てが導波路５０５内で結合される。

本開示による方法および装置の代表的な適用例を、本セクションで説明する。これらの実施例は、前後関係を追加し、説明する実施例の理解を助けることのみを目的として提供される。それゆえ、説明する実施例は、具体的な詳細の一部または全てを伴わずに実践することができる点が、当業者には明らかとなるであろう。他の適用例が可能であり、それゆえ以下の実施例は、限定的なものとして解釈されるべきではない。

添付図面を参照して、本開示の実施例を十分に説明してきたが、様々な変更および修正が、当業者には明らかとなるであろうことに留意されたい。そのような変更および修正は、添付の特許請求の範囲によって定義されるような本開示の実施例の範囲内に含まれるものとして理解されたい。

Claims (21)

1. 第１の光源および第２の光源から光を結合する干渉デバイスであって、
   前記第１の光源から入力光を受光するように構成された第１の入力導波路と、
   前記第２の光源から入力光を受光するように構成された第２の入力導波路であって、前記第２の入力導波路が、前記第１の入力導波路からギャップによって物理的に分離されている、第２の入力導波路と、
   前記第１の入力導波路および前記第２の入力導波路からの前記光を結合するように構成された干渉導波路と、
   前記干渉導波路に物理的に接続された出力導波路と、
   を備え、
   前記干渉導波路が、
   テーパ部分と、
   前記テーパ部分に当接している直線部分と、を含み、
   前記テーパ部分が、前記第１の光源および前記第２の光源からの前記光を結合する、干渉デバイス。
2. 前記第１の入力導波路と前記第２の入力導波路との間の前記ギャップが一定であり、
   前記第１および第２の光源からの前記入力光が、単一モードの光であり、
   前記干渉導波路の前記テーパ部分が、
   第１のテーパ部分と、
   第２のテーパ部分と、を含み、
   前記干渉導波路の前記第１のテーパ部分が、前記第１の入力導波路に当接しており、
   前記干渉導波路の前記第２のテーパ部分が、前記第２の入力導波路に当接しており、
   前記干渉導波路が、前記単一モードの入力光の一部を高次モードの光に変換し、
   前記出力導波路が、前記単一モードの光を出力する、
   請求項１に記載の干渉デバイス。
3. 前記第１および第２の入力導波路が、前記干渉導波路の前記テーパ部分に至るまで平行である、請求項１に記載の干渉デバイス。
4. 前記第１および第２の入力導波路が、前記第１および第２の入力導波路の長さにわたって直線状である、請求項１に記載の干渉デバイス。
5. 前記出力導波路が、出力中心軸を含み、
   前記干渉導波路が、干渉中心軸を含み、
   前記出力中心軸が、前記干渉中心軸からオフセットされている、
   請求項１に記載の干渉デバイス。
6. 前記出力導波路が、第１の幅を含み、
   前記干渉導波路が、第２の幅を含み、
   前記第２の幅が前記第１の幅よりも広い、
   請求項１に記載の干渉デバイス。
7. 前記第２の入力導波路の前記第２のテーパ部分が、前記単一モードの入力光の一部を高次モードの光に変換し、
   前記高次モードの光が、前記第１の入力導波路の前記第１のテーパ部分に結合し、
   前記干渉導波路が、前記単一モードの入力光および前記高次モードの光を受光する、
   請求項２に記載の干渉デバイス。
8. 前記第１の入力導波路と前記干渉導波路との間の角度および前記第２の入力導波路と前記干渉導波路との間の角度が同じである、請求項１に記載の干渉デバイス。
9. 単一モードの光の第１の波長を受光するように構成された第１の入力導波路と、
   前記単一モードの光の第２の波長を受光し、前記単一モードの光の前記第２の波長を高次モードの光に変換するように構成された第２の入力導波路と、
   干渉導波路であって、
   第１のテーパ部分と、
   前記第１のテーパ部分に光学的に結合された第２のテーパ部分であって、前記第２の入力導波路から受光した前記単一モードの光を高次モードの光に変換するように構成された第２のテーパ部分と、
   前記第１のテーパ部分から前記単一モードの光および前記高次モードの光を受光するように構成された直線部分と、を含む干渉導波路と、
   前記干渉導波路に光学的に結合された出力導波路であって、
   前記干渉導波路から受光した前記高次モードの光を単一モードの出力光に変換し、
   結合された第１および第２の波長の単一モードの出力光を出力して、コヒーレントノイズを軽減するように構成された出力導波路と、
   を備える、多重化デバイス。
10. 前記高次モードの光が、前記第２のテーパ部分から前記第１のテーパ部分に結合し、
    前記第１の入力導波路が、前記干渉導波路と同じ幅であり、前記第１の入力導波路が、前記干渉導波路に当接しており、
    前記出力導波路が、前記干渉導波路からの前記高次モードの光を、出力のために前記単一モードの光に変換する、
    請求項９に記載の多重化デバイス。
11. 前記第２のテーパ部分が、第１の幅から第２の幅にテーパ状になっており、
    前記第２の幅が、前記第１の幅よりも広く、
    前記第２のテーパ部分の前記第１の幅が、前記第２の入力導波路と同じ幅である、
    請求項９に記載の多重化デバイス。
12. 前記第１の入力導波路の直線部分が、前記入力単一モードの光を受光する、請求項９に記載の多重化デバイス。
13. 前記干渉導波路の第１のテーパ部分の第１の端部が、前記第１の入力導波路に当接しており、
    前記第１のテーパ部分の前記第１の端部が、第１の幅を有し、
    前記第１のテーパ部分の第２の端部が、第２の幅を有し、前記干渉導波路の前記直線部分に当接しており、
    前記第１のテーパ部分の前記第２の幅が、前記第１のテーパ部分の前記第１の幅よりも狭い、
    請求項１２に記載の多重化デバイス。
14. 前記第１の入力導波路および前記第２の入力導波路が、リブ導波路である、請求項９に記載の多重化デバイス。
15. 前記干渉導波路が、ストリップ導波路である、請求項９に記載の多重化デバイス。
16. 光を逆多重化する方法であって、
    入力導波路によって、第１の単一モードの光の第１の波長および第２の単一モードの光の第２の波長を受光することと、
    干渉導波路によって、前記入力導波路から、前記第１および第２の単一モードの光の前記第１および第２の波長を受光することと、
    前記干渉導波路によって、二次モードの光を生成することと、
    前記二次モードの光を第３の単一モードの光に変換することと、
    第１の出力導波路によって、第１の波長の前記第３の単一モードの光を出力することと、
    第２の出力導波路によって、前記第３の単一モードの光の第２の波長を出力することと、を含む、方法。
17. 前記第３の単一モードの光の伝送プロファイルを決定するために、前記干渉導波路に対して前記入力導波路を位置決めすることをさらに含む、請求項１６に記載の光を逆多重化する方法。
18. 前記第１および第２の出力導波路を一貫したギャップによって分離することをさらに含む、請求項１６に記載の光を逆多重化する方法。
19. 前記干渉導波路から同じ角度で前記光を出力することをさらに含む、請求項１６に記載の光を逆多重化する方法。
20. 前記干渉導波路の直線部分を、第１の幅を有する前記干渉導波路のテーパ部分の第１の端部に当接することと、
    前記第１の端部から前記第１の幅よりも広い第２の幅を有する第２の端部まで前記干渉導波路の前記テーパ部分をテーパ状にすることと、
    前記干渉導波路の前記第２の端部を前記第１の出力導波路および前記第２の出力導波路に当接することと、をさらに含む、請求項１６に記載の光を逆多重化する方法。
21. 単一モードの光の第１の波長を受光するように構成された第１の入力導波路と、
    前記単一モードの光の第２の波長を受光するように構成された第２の入力導波路と、
    前記第１の入力導波路および前記第２の入力導波路に光学的に結合された干渉導波路であって、前記第１および第２の入力導波路から受光した前記単一モードの光の前記第１および第２の波長を、少なくとも２つの異なる次数モードの光に変換するように構成された干渉導波路と、
    前記干渉導波路に光学的に結合された出力導波路であって、
    前記少なくとも２つの異なる次数モードの光を第３の単一モードの光に変換し、
    第１および第２の波長の光を結合して前記第３の単一モードの光を出力して、光の光出力パワーを２倍にするように構成された出力導波路と、
    を備える、光結合デバイス。

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