JP2023042068A - 配線回路基板 - Google Patents

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隼人 高倉
Hayato Takakura
直樹 柴田
Naoki Shibata
晃太 西野
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Abstract

【課題】信頼性に優れる配線回路基板を提供する。【解決手段】配線回路基板1は、ベース絶縁層2と、金属支持層3と、導体層4とを備える。ベース絶縁層2は、第1方向と、第2方向とに連続して延びる。金属支持層3は、ベース絶縁層2の厚み方向の一方面21に配置される。金属支持層3は、第1金属部31と、第2金属部32と、複数の第3金属部33とを備える。第2金属部32は、第1方向において第1金属部31と間隔が隔てられる。複数の第3金属部33は、第2方向において互いに間隔が隔てられる。導体層4は、ベース絶縁層2の厚み方向の他方面22に配置される。導体層4は、複数の第1端子41と、第2端子42と、複数の配線43とを備える。ベース絶縁層2は、スリット6を備える。スリット6は、厚み方向に投影したときに、複数の第3金属部33の間に配置され、第1金属部31と第2金属部32との間において、第1方向に沿う。【選択図】図1

Description

本発明は、配線回路基板に関する。
幅方向に互いに間隔が隔てられる複数の配線部を備える配線回路基板が知られている(例えば、下記特許文献1参照。)。特許文献1に記載の配線回路基板の複数の配線部のそれぞれは、金属層と、絶縁層と、配線層とを厚み方向の一方側に向かって備える。
特願2019-212656号公報
しかし、特許文献1に記載の配線回路基板の配線部では、絶縁層に応力がかかる場合に、幅方向に隣接する金属層同士が接触し易く、および/または、幅方向に隣接する配線層同士も接触し易い。そうすると、接触に基づいて金属粉を生じ、電気信号の伝送における信頼性が低下するという不具合がある。
本発明は、信頼性に優れる配線回路基板を提供する。
本発明(1)は、厚み方向に直交する第1方向と、前記厚み方向および前記第1方向に直交する第2方向とに連続して延びる絶縁層と、前記絶縁層の厚み方向の一方面に配置される金属支持層であって、第1金属部と、前記第1方向において前記第1金属部と間隔が隔てられる第2金属部と、前記第1金属部および前記第2金属部を連結し、前記第2方向において互いに間隔が隔てられる複数の第3金属部とを備える前記金属支持層と、前記絶縁層の前記厚み方向の他方面に配置される導体層であって、前記厚み方向に投影したときに、前記第1金属部に含まれる複数の第1端子と、前記第2金属部に含まれる複数の第2端子と、複数の配線であって前記第3金属部に含まれ、複数の前記第1端子のそれぞれと複数の前記第2端子のそれぞれとを連結する前記配線とを備える前記導体層とを備え、前記絶縁層は、前記厚み方向に投影したときに、前記複数の第3金属部の間に配置され、前記第1金属部と前記第2金属部との間において、前記第1方向に沿うスリットを備える、配線回路基板を含む。
この配線回路基板では、第1金属部と第2金属部との間の絶縁層に応力がかかっても、スリットでそれを緩和しながら、複数の第3金属部同士の接触に起因する金属粉の発生、および、隣接する配線同士の接触により導体粉の発生を抑制できる。
本発明(2)は、前記第2方向において隣接する前記第3金属部の間の長さに対する、前記第2方向における前記スリットの長さの比は、0.3以下である、(1)に記載の配線回路基板を含む。
この配線回路基板では、上記した比が0.3以下であるので、隣接する第3金属部の間における金属支持層と導体層との間の短絡を有効に抑制できる。
本発明(3)は、前記第2方向における前記スリットの長さに対する、前記第2方向において前記第3金属部から前記スリットまでの前記絶縁層の長さの比は、3以上である、(1)または(2)に記載の配線回路基板を含む。
この配線回路基板では、上記した比が3以上であるので、金属支持層と導体層とのスリットを介する短絡を有効に抑制できる。
本発明(4)は、前記スリットは、前記第1金属部またはその近傍から、前記第2金属部またはその近傍にわたる、(1)から(3)のいずれか一項に記載の配線回路基板を含む。
この配線回路基板では、スリットによって、第1金属部またはその近傍から、第2金属部またはその近傍にわたって絶縁層にかかる応力を十分に緩和できる。
本発明(5)は、前記スリットは、前記第1方向において互いに間隔を隔てて複数配置される、(1)から(3)のいずれか一項に記載の配線回路基板を含む。
本発明(6)は、前記スリットは、切れ込みである、(1)から(5)のいずれか一項に記載の配線回路基板を含む。
この配線回路基板では、スリットが切れ込みであるので、構成が簡単である。
本発明(7)は、前記絶縁層は、前記第2方向において最も一方側および/または最も他方側に配置される前記第3金属部の外側に配置される第2スリットであって、前記第1金属部と前記第2金属部との間に配置され、前記第1方向に沿う前記第2スリットをさらに備える、(1)から(6)のいずれか一項に記載の配線回路基板を含む。
この配線回路基板では、第2方向において最も一方側および/または最も他方側に配置される第3金属部の外側に配置される絶縁層に応力がかかっても、第2スリットでそれを緩和できる。
また、スリットと第2スリットとが、第2方向にわたって絶縁層にかかる応力を緩和できる。
本発明(8)は、前記第2スリットは、切れ込みである、(7)に記載の配線回路基板を含む。
この配線回路基板では、第2スリットが切れ込みであるので、構成が簡単である。
本発明の配線回路基板は、信頼性に優れる。
本発明の配線回路基板の一実施形態の底面図である。 図1に示す配線回路基板のA-A線断面図である。 図1に示す配線回路基板のB-B線断面図である。 図4Aから図4Dは、図2に示す配線回路基板の製造工程図である。図4Aは、第1工程である。図4Bは、第2工程である。図4Cは、第3工程である。図4Dは、第4工程である。 変形例の配線回路基板の底面図である。 変形例の配線回路基板の底面図である。 変形例の配線回路基板の底面図である。 変形例の配線回路基板の底面図である。
1. 配線回路基板の一実施形態
本発明の配線回路基板の一実施形態を、図1から図3を参照して説明する。図1に示すように、配線回路基板1は、第1方向および第2方向に延びる。第1方向は、厚み方向に直交する。第2方向は、厚み方向および第1方向に直交する。配線回路基板1は、第1方向に長い平面視略矩形状を有する。配線回路基板1は、第1方向における一端部11と、第1方向における他端部12と、中間部13とを有する。他端部12は、一端部11に対して第1方向に間隔が隔てられる。中間部13は、第1方向における一端部11および他端部12の間に配置される。
1.1 配線回路基板1の層構成
図2および図3に示すように、配線回路基板1は、ベース絶縁層2と、金属支持層3と、導体層4と、カバー絶縁層5とを備える。
1.2 ベース絶縁層2
ベース絶縁層2は、第1方向と第2方向とに連続して延びる。ベース絶縁層2は、配線回路基板1と同じ平面視における外形形状を有する。ベース絶縁層2は、第1方向に長い略矩形状を有する。ベース絶縁層2は、配線回路基板1の一端部11と他端部12と中間部13とにわたって配置される。ベース絶縁層2は、厚み方向における一方面21と他方面22とを有する。他方面22は、一方面21と厚み方向において間隔が隔てられる。
ベース絶縁層2の厚みは、例えば、1μm以上、好ましくは、5μm以上であり、また、例えば、100μm以下、好ましくは、50μm以下である。ベース絶縁層2の材料としては、例えば、絶縁性樹脂が挙げられる。絶縁性樹脂としては、例えば、ポリイミド、マレイミド、エポキシ樹脂、ポリベンゾオキサゾール、および、ポリエステルが挙げられる。
1.3 金属支持層3
金属支持層3は、ベース絶縁層2の厚み方向の一方面21に配置される。図1に示すように、金属支持層3は、平面視において、ベース絶縁層2に含まれる。金属支持層3は、第1金属部31と、第2金属部32と、複数の第3金属部33とを備える。
1.3.1 第1金属部31
図1および図3に示すように、第1金属部31は、金属支持層3の第1方向の一端部に配置される。第1金属部31は、配線回路基板1の一端部11に配置される。第1金属部31は、一端部11におけるベース絶縁層2に含まれる。第1金属部31は、第2方向に延びる。本実施形態では、第1金属部31は、平面視略矩形状を有する。第1金属部31は、厚み方向に投影したときに、一端部11におけるベース絶縁層2の第2方向の両端縁および第1方向の一端縁と重ならない。
1.3.2 第2金属部32
第2金属部32は、金属支持層3の第1方向の他端部に配置される。第2金属部32は、配線回路基板1の他端部12に配置される。第1金属部31は、他端部12におけるベース絶縁層2に含まれる。第2金属部32は、第1方向において第1金属部31と間隔が隔てられる。第2金属部32は、第2方向に延びる。本実施形態では、第2金属部32は、平面視略矩形状を有する。第2金属部32は、厚み方向に投影したときに、他端部12におけるベース絶縁層2の第2方向の両端縁および第1方向の他端縁と重ならない。
1.3.3 複数の第3金属部33
図1および図2に示すように、複数の第3金属部33は、第1方向において第1金属部31および第2金属部32の間に配置される。複数の第3金属部33は、配線回路基板1の中間部13に配置されている。複数の第3金属部33は、厚み方向に投影したときに、中間部13のベース絶縁層2に含まれる。複数の第3金属部33は、第2方向において互いに間隔が隔てられる。複数の第3金属部33のそれぞれは、第1方向に沿って延びる。複数の第3金属部33のそれぞれは、第1金属部31のそれぞれと、第2金属部32のそれぞれとを連結する。複数(本実施形態では、2つ)の第3金属部33は、中間部13におけるベース絶縁層2の第2方向の両端部(両端領域)および中央部と重ならない。
複数の第3金属部33のそれぞれの第2方向の長さL4は、第1金属部31および第2金属部32のそれぞれの第2方向の長さL5より短い。具体的には、第1金属部31および第2金属部32のそれぞれの第2方向の長さL5に対する複数の第3金属部33のそれぞれの第2方向の長さL4の比(L4/L5)は、例えば、0.7以下、好ましくは、0.5以下、より好ましくは、0.2以下、さらに好ましくは、0.1以下であり、また、例えば、0.001以上である。
第2方向に隣接する第3金属部33間の長さL1は、例えば、10μm以上、好ましくは、30μm以上、より好ましくは、50μm以上であり、また、例えば、1000μm以下である。
複数の第3金属部33のそれぞれの第2方向の長さL4に対する、第2方向に隣接する第3金属部33間の長さL1の比(L1/L4)は、例えば、0.1以上、好ましくは、0.5以上であり、また、例えば、100以下、好ましくは、50以下である。
複数の第3金属部33のそれぞれの第1方向の長さL6は、第1金属部31および第2金属部32のそれぞれの第1方向の長さL7より長い。具体的には、第1金属部31および第2金属部32のそれぞれの第1方向の長さL7に対する複数の第3金属部33のそれぞれの第1方向の長さL6の比(L6/L7)は、例えば、2以上、好ましくは、5以上、より好ましくは、10以上、さらに好ましくは、100以上、とりわけ好ましくは、1,000以上であり、また、例えば、100,000以下である。
金属支持層3の厚みは、例えば、30μm以上、好ましくは、50μm以上、好ましくは、75μm以上、より好ましくは、100μm以上である。また、金属支持層3の厚みは、例えば、1000μm以下、好ましくは、500μm以下である。
金属支持層3の材料は、金属である。金属としては、周期表(IUPAC、2018)で、第1族~第16族に分類されている金属元素、および、これらの金属元素を2種類以上含む合金が挙げられる。なお、金属は、遷移金属および典型金属のいずれであってもよい。より具体的には、金属としては、第2族金属元素、第4族金属元素、第5族金属元素、第6族金属元素、第7族金属元素、第8族金属元素、第9族金属元素、第10族金属元素、第11族金属元素、第12族金属元素、第13族金属元素、および、第14族金属元素が挙げられる。第2族金属元素としては、例えば、カルシウムが挙げられる。第4族金属元素としては、例えば、チタンおよびジルコニウムが挙げられる。第5族金属元素としては、例えば、バナジウムが挙げられる。第6族金属元素としては、例えば、クロム、モリブデンおよびタングステンが挙げられる。第7族金属元素としては、例えば、マンガンが挙げられる。第8族金属元素としては、例えば、鉄が挙げられる。第9族金属元素としては、例えば、コバルトが挙げられる。第10族金属元素としては、例えば、ニッケルおよび白金が挙げられる。第11族金属元素としては、例えば、銅、銀および金が挙げられる。第12族金属元素としては、例えば、亜鉛が挙げられる。第13族金属元素としては、例えば、アルミニウムおよびガリウムが挙げられる。第14族金属元素としては、例えば、ゲルマニウムおよび錫が挙げられる。これらは、単独使用または併用することができる。金属としては、好ましくは、第11族金属元素が挙げられ、より好ましくは、銅、および、銅合金が挙げられる。
1.4 導体層4
図2および図3に示すように、導体層4は、ベース絶縁層2の厚み方向の他方面22に配置される。図1に示すように、導体層4は、複数の第1端子41と、複数の第2端子42と、複数の配線43とを備える。
1.4.1 複数の第1端子41
図1および図3に示すように、複数の第1端子41は、厚み方向に投影したときに、第1金属部31に含まれる。複数の第1端子41は、配線回路基板1の一端部11に含まれる。本実施形態では、複数の第1端子41は、第2方向に互いに間隔が隔てられる。複数の第1端子41は、例えば、平面視略矩形状(角ランド形状)を有する。
1.4.2 複数の第2端子42
複数の第2端子42は、厚み方向に投影したときに、第2金属部32に含まれる。複数の第2端子42は、配線回路基板1の他端部12に含まれる。本実施形態では、複数の第2端子42は、第2方向に互いに間隔が隔てられる。複数の第2端子42のそれぞれは、例えば、平面視略矩形状(角ランド形状)を有する。
1.4.3 複数の配線43
図1および図2に示すように、複数の配線43のそれぞれは、平面視において、複数の第3金属部33のそれぞれに含まれる。複数の配線43は、配線回路基板1の中間部13に配置される。複数の配線43のそれぞれは、複数の第1端子41のそれぞれと、複数の第2端子42のそれぞれとを連結する。複数の配線43は、第2方向に間隔が隔てられる。複数の配線43のそれぞれは、第1方向に延びる。
導体層4の厚みは、例えば、1μm以上、好ましくは、5μm以上であり、また、例えば、50μm以下、好ましくは、30μm以下である。
導体層4の材料としては、導体が挙げられる。導体としては、例えば、銅、銀、金、鉄、アルミニウム、クロム、および、それらの合金が挙げられる。好ましくは、良好な電気特性を得る観点から、銅が挙げられる。
1.5 カバー絶縁層5
図2に示すように、カバー絶縁層5は、ベース絶縁層2の厚み方向の他方面22に配置される。カバー絶縁層5は、配線43を覆う。本実施形態では、カバー絶縁層5は、複数の配線43に対応して複数設けられる。カバー絶縁層5は、複数の第1端子41と、複数の第2端子42とを露出する。カバー絶縁層5の厚みは、例えば、1μm以上、好ましくは、5μm以上であり、また、例えば、100μm以下、好ましくは、50μm以下である。カバー絶縁層5の材料としては、例えば、絶縁性樹脂が挙げられる。絶縁性樹脂としては、例えば、ポリイミド、マレイミド、エポキシ樹脂、ポリベンゾオキサゾール、および、ポリエステルが挙げられる。また、絶縁性樹脂は、ソルダーレジストを含む。
1.6 スリット6
図1および図2に示すように、上記したベース絶縁層2は、スリット6を備える。スリット6は、配線回路基板1における中間部13に配置される。そして、スリット6は、厚み方向に投影したときに、複数の第3金属部33の間に配置され、第1金属部31と第2金属部32との間において、第1方向に沿う。本実施形態では、スリット6は、第1金属部31から、第2金属部32にわたる。スリット6は、第1方向に連続する。本実施形態では、スリット6は、切れ込みである。スリット6は、ベース絶縁層2を厚み方向に貫通する。
第2方向において隣接する第3金属部33の間の長さL1に対する、第2方向におけるスリット6の長さL2の比(L2/L1)は、例えば、0.3以下、好ましくは、0.2以下、より好ましくは、0.1以下、さらに好ましくは、0.05以下であり、また、例えば、0.0001以上、好ましくは、0.001以上である。上記した比(L2/L1)が上記した上限以下であれば、隣接する第3金属部33の間における金属支持層3と導体層4との間の短絡を有効に抑制できる。上記した比(L2/L1)が上記した下限以上であれば、ベース絶縁層2にかかる応力を緩和できる。具体的には、第2方向におけるスリット6の長さL2は、例えば、1000μm以下、好ましくは、500μm以下、より好ましくは、100μm以下、さらに好ましくは、30μm以下、とりわけ好ましくは、10μm以下であり、また、例えば、0.1μm以上、好ましくは、1μm以上である。
第2方向において第3金属部33からスリット6までのベース絶縁層2の長さL3に対する、第2方向におけるスリット6の長さL2の比(L2/L3)は、例えば、0.3以下、好ましくは、0.2以下、より好ましくは、0.1以下、さらに好ましくは、0.05以下であり、また、例えば、0.0001以上、好ましくは、0.001以上である。上記した比が上記した上限以下であれば、金属支持層3と導体層4とのスリット6を介する短絡を有効に抑制できる。上記した比が上記した下限以上であれば、ベース絶縁層2にかかる応力を緩和できる。第2方向において第3金属部33からスリット6までのベース絶縁層2の長さL3は、例えば、例えば、5000μm以下、好ましくは、1000μm以下、より好ましくは、500μm以下、さらに好ましくは、200μm以下、とりわけ好ましくは、100μm以下であり、また、例えば、1μm以上、好ましくは、10μm以上である。
2. 配線回路基板1の製造方法
配線回路基板1の製造方法を、図4Aから図4Dを参照して説明する。配線回路基板1の製造方法は、第1工程と、第2工程と、第3工程と、第4工程とを備える。
2.1 第1工程
図4Aに示すように、第1工程では、回路積層材20を準備する。回路積層材20は、ベース絶縁層2と、導体層4と、カバー絶縁層5とを、厚み方向の他方側に向かって順に備える。
回路積層材20を準備するには、例えば、まず、ベース絶縁層2および導体板(図示せず)を厚み方向に順に備える二層基材(図示せず)を準備する。次いで、二層基材の導体板を、例えば、サブトラクティブ法で、導体層4に形成し、その後、カバー絶縁層5を形成する。
2.2 第2工程
図4Bに示すように、回路積層材20のベース絶縁層2の一方面21に金属板23を配置する。金属板23は、外形加工する前の金属支持層3である。金属板23は、第1方向および第2方向に連続して延びる。例えば、図示しない接着剤層を介して、金属板23を一方面21に貼り付ける。また、接着剤層を用いず、金属板23を一方面21に積層することもできる。
2.3 第3工程
図4Cに示すように、金属板23を外形加工する。外形加工としては、例えば、エッチングが挙げられる。これによって、第1金属部31(図1参照)と、第2金属部32(図1参照)と、複数の第3金属部33とを備える金属支持層3を形成する。複数の第3金属部33の間のベース絶縁層2の厚み方向の一方面21と、第2方向において最も一方側および最も他方側に配置される第3金属部33の外側におけるベース絶縁層2の厚み方向の一方面21とが、厚み方向の一方側に露出する。なお、本実施形態では、複数の第3金属部33の間のベース絶縁層2の厚み方向の他方面22と、第2方向において最も一方側および最も他方側に配置される第3金属部33の外側におけるベース絶縁層2の厚み方向の他方面22とも、厚み方向の他方側に露出する
2.4 第4工程
図4Dに示すように、第4工程では、ベース絶縁層2にスリット6を形成する。スリット6の形成方法としては、例えば、レーザー加工、および、刃による切断加工が挙げられる。これによって、配線回路基板1が製造される。
3. 一実施形態の作用効果
この配線回路基板1では、複数の第3金属部33の間のベース絶縁層2に応力がかかっても、スリット6でかかる応力を緩和しながら、複数の第3金属部33同士の接触に起因する金属粉の発生、および、隣接する配線43同士の接触により導体粉の発生を抑制できる。
この配線回路基板1では、スリット6によって、第1金属部31から第2金属部32にわたってベース絶縁層2にかかる応力を十分に緩和できる。
この配線回路基板1では、スリット6が切れ込みであるので、構成が簡単である。
4. 変形例
以下の各変形例において、上記した一実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、各変形例は、特記する以外、一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。さらに、一実施形態および変形例を適宜組み合わせることができる。
図5に示すように、この変形例では、スリット6は、第1金属部31の近傍(第1近傍部分311)から第2金属部32の近傍(第2近傍部分321)にわたる。
第1近傍部分311は、第1金属部31の第1方向の他端縁から、複数の第3金属部33のそれぞれの第1方向の長さL6の10%分だけ、好ましくは、5%だけ、より好ましくは、1%だけ、他方側(および一方側。一方側の態様は図示せず。)に向かう距離までの領域を含む。
第2近傍部分321は、複数の第3金属部33のそれぞれの第1方向の長さL6の10%分だけ、好ましくは、5%だけ、より好ましくは、1%だけ、一方側(および他方側。他方側の態様は図示せず。)に向かう距離までの領域を含む。
図示しないが、スリット6は、第1近傍部分311から第2金属部32にわたってもよい。スリット6は、第1金属部31から第2近傍部分321にわたってもよい。
図6に示すように、スリット6は、第1方向において互いに間隔を隔てて複数配置される。第1方向に隣り合うスリット6の間隔L8は、例えば、10000μm以下、好ましくは、1000μm以下、より好ましくは、500μm以下であり、また、例えば、10μm以上である。
複数のスリット6のそれぞれの第1方向の長さL9は、例えば、10000μm以下、好ましくは、1000μm以下、より好ましくは、500μm以下であり、また、例えば、10μm以上である。第1方向に隣り合うスリット6の間隔L8に対する、複数のスリット6のそれぞれの第1方向の長さL9の比(L9/L8)は、例えば、1以上、好ましくは、2以上であり、また、例えば、100以下、好ましくは、10以下である。
図7に示すように、ベース絶縁層2は、上記したスリット6に加えて、第2スリット7をさらに備える。第2スリット7は、切り込みである。本実施形態では、第2スリット7は、一方側第2スリット7Aと、他方側第2スリット7Bとを備える。
一方側第2スリット7Aは、第2方向において最も一方側に配置される第3金属部33の一方側(外側)に配置される。
他方側第2スリット7Bは、第2方向において最も他方側に配置される第3金属部33の他方側(外側)に配置される。他方側第2スリット7Bは、スリット6に対して、一方側第2スリット7Aの反対側に配置される。
この変形例によれば、第2方向において最も一方側および/または最も他方側に配置される第3金属部33の外側に配置されるベース絶縁層2に応力がかかっても、第2スリット7A、7Bでそれを緩和できる。
また、スリット6と第2スリットA、7Bとが、第2方向にわたってベース絶縁層2にかかる応力を緩和できる。
また、この変形例では、第2スリット7が切り込みであるので、構成が簡単である。
図8に示すように、カバー絶縁層5も、スリット6を有してもよい。カバー絶縁層5は、複数の配線43をまとめて覆う。カバー絶縁層5は、複数の配線43の間におけるベース絶縁層2の他方面22に接触する。
1 配線回路基板
2 ベース絶縁層
3 金属支持層
4 導体層
6 スリット
7 第2スリット
21 一方面
22 他方面
31 第1金属部
32 第2金属部
33 第3金属部
41 第1端子
42 第2端子
43 配線
311 第1近傍部分
321 第2近傍部分
L1 第2方向に隣接する第3金属部間の長さ
L2 第2方向におけるスリットの長さ
L3 第2方向において第3金属部からスリットまでのベース絶縁層の長さ

Claims (8)

  1. 厚み方向に直交する第1方向と、前記厚み方向および前記第1方向に直交する第2方向とに連続して延びる絶縁層と、
    前記絶縁層の厚み方向の一方面に配置される金属支持層であって、第1金属部と、前記第1方向において前記第1金属部と間隔が隔てられる第2金属部と、前記第1金属部および前記第2金属部を連結し、前記第2方向において互いに間隔が隔てられる複数の第3金属部とを備える前記金属支持層と、
    前記絶縁層の前記厚み方向の他方面に配置される導体層であって、前記厚み方向に投影したときに、前記第1金属部に含まれる複数の第1端子と、前記第2金属部に含まれる複数の第2端子と、複数の配線であって前記第3金属部に含まれ、複数の前記第1端子のそれぞれと複数の前記第2端子のそれぞれとを連結する前記配線とを備える前記導体層とを備え、
    前記絶縁層は、前記厚み方向に投影したときに、前記複数の第3金属部の間に配置され、前記第1金属部と前記第2金属部との間において、前記第1方向に沿うスリットを備える、配線回路基板。
  2. 前記第2方向において隣接する前記第3金属部の間の長さに対する、前記第2方向における前記スリットの長さの比は、0.3以下である、請求項1に記載の配線回路基板。
  3. 前記第2方向における前記スリットの長さに対する、前記第2方向において前記第3金属部から前記スリットまでの前記絶縁層の長さの比は、3以上である、請求項1または請求項2に記載の配線回路基板。
  4. 前記スリットは、前記第1金属部またはその近傍から、前記第2金属部またはその近傍にわたる、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の配線回路基板。
  5. 前記スリットは、前記第1方向において互いに間隔を隔てて複数配置される、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の配線回路基板。
  6. 前記スリットは、切れ込みである、請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の配線回路基板。
  7. 前記絶縁層は、前記第2方向において最も一方側および/または最も他方側に配置される前記第3金属部の外側に配置される第2スリットであって、前記第1金属部と前記第2金属部との間に配置され、前記第1方向に沿う前記第2スリットをさらに備える、請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の配線回路基板。
  8. 前記第2スリットは、切れ込みである、請求項7に記載の配線回路基板。
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