JP2023167062A - プリント配線板およびその製造方法 - Google Patents

プリント配線板およびその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2023167062A
JP2023167062A JP2022077935A JP2022077935A JP2023167062A JP 2023167062 A JP2023167062 A JP 2023167062A JP 2022077935 A JP2022077935 A JP 2022077935A JP 2022077935 A JP2022077935 A JP 2022077935A JP 2023167062 A JP2023167062 A JP 2023167062A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
conductor
solder resist
wiring board
printed wiring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2022077935A
Other languages
English (en)
Inventor
敬介 清水
Keisuke Shimizu
敦 石田
Atsushi Ishida
真礼 冨田
Maaya Tomida
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ibiden Co Ltd filed Critical Ibiden Co Ltd
Priority to JP2022077935A priority Critical patent/JP2023167062A/ja
Publication of JP2023167062A publication Critical patent/JP2023167062A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

【課題】ソルダーレジスト層の開口内に導体ポストを有するプリント配線板において、ソルダーレジスト層と導体ポストとの間の密着性を改善する。【解決手段】基部絶縁層1と、基部絶縁層上に形成された導体層2と、基部絶縁層上および導体層上に形成され、かつ、導体層の一部を導体パッド4として露出させる開口5を有するソルダーレジスト層3と、ソルダーレジスト層の開口内に、シード層7を介して形成された導体ポスト6と、を有するプリント配線板であって、シード層が、ソルダーレジスト層および導体パッドと接するTiスパッタ膜からなる第1層11と、第1層上のCuスパッタ膜からなる第2層12と、から形成する。【選択図】図1

Description

本発明は、ソルダーレジスト層の開口内に導体ポストを有するプリント配線板およびその製造方法に関する。
従来、ソルダーレジスト層の開口内に導体ポストを有するプリント配線板が、例えば特許文献1で知られている。
図3は、特許文献1で開示された従来のプリント配線板を説明するための図である。図3において、51は基部絶縁層、52は基部絶縁層51上に形成された導体層、53は、基部絶縁層51上および導体層52上に形成され、かつ、導体層52の一部を導体パッド54として露出させる開口55を有するソルダーレジスト層、56はソルダーレジスト層53の開口55内にシード層57を介して形成された導体ポストである。
特開2012-129368号公報
上述した特許文献1に記載のプリント配線板においては、ソルダーレジスト層53と導体ポスト56とを、無電解銅めっき膜からなるシード層57を介して接着している。ソルダーレジスト層53と無電解銅めっき膜からなるシード層57との間の接着力は小さい。そのため、導体ポスト56がソルダーレジスト層53から剥がれやすい問題があった。
本発明のプリント配線板は、基部絶縁層と、前記基部絶縁層上に形成された導体層と、前記基部絶縁層上および前記導体層上に形成され、かつ、前記導体層の一部を導体パッドとして露出させる開口を有するソルダーレジスト層と、前記ソルダーレジスト層の開口内に、シード層を介して形成された導体ポストと、を有するプリント配線板であって、前記シード層が、前記ソルダーレジスト層および導体パッドと接するTiスパッタ膜からなる第1層と、前記第1層上のCuスパッタ膜からなる第2層と、から形成されている。
また、本発明のプリント配線板の製造方法は、基部絶縁層上に導体層を形成することと、前記基部絶縁層上および前記導体層上であって、前記導体層の一部を導体パッドとして露出させる開口を有するようにソルダーレジスト層を形成することと、前記ソルダーレジスト層上および導体パッド上に、スパッタリングによりTiスパッタ膜からなる第1層を形成し、前記第1層上にスパッタリングによりCuスパッタ膜からなる第2層を形成することで、シード層を形成することと、前記ソルダーレジスト層の開口内に、前記シード層を介して導体ポストを形成することと、を含む。
本発明のプリント配線板の一実施形態を説明するための図である。 (a)~(e)は、それぞれ、本発明のプリント配線板の製造方法の一実施形態における一工程を説明するための図である。 従来のプリント配線板の一実施形態を説明するための図である。
図1は、本発明のプリント配線板の一実施形態を説明するための図である。図1において、1は基部絶縁層、2は基部絶縁層1上に形成された導体層、3は、基部絶縁層1上および導体層2上に形成され、かつ、導体層2の一部を導体パッド4として露出させる開口5を有するソルダーレジスト層、6はソルダーレジスト層3の開口5内にシード層7を介して形成された導体ポストである。
本発明のプリント配線板の特徴は、シード層7が、ソルダーレジスト層3および導体パッド4と接するTiスパッタ膜からなる第1層11と、第1層11上のCuスパッタ膜からなる第2層12と、から形成されている点である。
本発明のプリント配線板によれば、ソルダーレジスト層3と導体ポスト6とを、ソルダーレジスト層3および導体パッド4と接するTiスパッタ膜からなる第1層11と、第1層11上のCuスパッタ膜からなる第2層12と、から形成されるシード層7を介して接着している。本発明の2層のスパッタ膜からなるシード層7はソルダーレジスト層3と密着するため、従来の密着性の小さい無電解銅めっき膜からなるシード層を介するソルダーレジスト層と導体ポストとの接着よりも、密着性の大きいシード層3を介するソルダーレジスト層3と導体ポスト6との接着を達成することができる。また、シード層7としてCuスパッタ膜から成る第2層12を用いているため、従来の無電解銅めっき膜からなるシード層と同等の低抵抗なシード層7としても機能する。
なお、本発明のプリント配線板において、シード層7を構成する第1層11と第2層12とにおいて、第1層11の厚み/第2層12の厚みの比が0.2以上、0.9以下であることが好ましい。ここで、第1層11の厚み/第2層12の厚みの比を0.2以上とするのが好ましいのは、第1層11の厚み/第2層12の厚みの比が0.2未満であると、Tiスパッタ膜からなる第1層11の厚みが薄くなり、密着性の大きいシード層7を介するソルダーレジスト層3と導体ポスト6との接着を達成することできない場合があるためである。また、第1層11の厚み/第2層12の厚みの比を0.9以下とすることが好ましいのは、第1層11の厚み/第2層12の厚みの比が0.9を超えると、Cuスパッタ膜からなる第2層12の厚みが薄くなり、シード層7の低抵抗性を達成できない場合があるためである。
図2(a)~(e)は、それぞれ、本発明のプリント配線板の製造方法の一実施形態における一工程を説明するための図である。以下、図2(a)~(e)に従って、本発明のプリント配線板の製造方法を説明する。
まず、図2(a)に示すように、基部絶縁層1上に導体層2を形成し、記基部絶縁層1上および導体層2上であって、導体層2の一部を導体パッド4として露出させる開口5を有するようにソルダーレジスト層3を形成する。次に、図2(b)に示すように、ソルダーレジスト層3上および導体パッド4上に、スパッタリングによりTiスパッタ膜からなる第1層11を形成する。次に、図2(c)に示すように、第1層11上にスパッタリングによりCuスパッタ膜からなる第2層12を形成する。こうして、第1層11および第2層12からなるシード層7を形成する。次に、図2(d)に示すように、シード層7上に、導体ポスト6の形成予定部位に開口13aを有する所定パターンのめっきレジスト13を形成し、めっきレジスト13の開口13a内に例えば銅を電解めっきすることで導体ポスト6を形成する。最後に、図2(e)に示すように、めっきレジスト13およびめっきレジスト13の下のシード層7を除去する。
以上の工程により、ソルダーレジスト層の開口内に導体ポストを有する、本発明のプリント配線板を得ることができる。なお、上述した図2(a)~(d)に示した各工程では、従来から公知の製造技術を用いることができる。
以上の工程に従う本発明のプリント配線板の製造方法の特徴は、本発明のプリント配線板と同様に、シード層7を、ソルダーレジスト層3および導体パッド4と接するTiスパッタ膜からなる第1層11と、第1層11上のCuスパッタ膜からなる第2層12と、から形成した点である。また、本発明のプリント配線板と同様に、第1層11の厚み/第2層12の厚みの比が0.2以上、0.9以下となるように、シード層7を形成することが好ましい。
1 基部絶縁層
2 導体層
3 ソルダーレジスト層
4 導体パッド
5 開口
6 導体ポスト
7 シード層
11 Tiスパッタ膜からなる第1層
12 Cuスパッタ膜からなる第2層
13 めっきレジスト
13a 開口

Claims (4)

  1. 基部絶縁層と、
    前記基部絶縁層上に形成された導体層と、
    前記基部絶縁層上および前記導体層上に形成され、かつ、前記導体層の一部を導体パッドとして露出させる開口を有するソルダーレジスト層と、
    前記ソルダーレジスト層の開口内に、シード層を介して形成された導体ポストと、
    を有するプリント配線板であって、
    前記シード層が、前記ソルダーレジスト層および導体パッドと接するTiスパッタ膜からなる第1層と、前記第1層上のCuスパッタ膜からなる第2層と、から形成されている、プリント配線板。
  2. 請求項1のプリント配線板であって、前記シード層を構成する前記第1層と前記第2層とにおいて、前記第1層の厚み/前記第2層の厚みの比が0.2以上、0.9以下である。
  3. 基部絶縁層上に導体層を形成することと、
    前記基部絶縁層上および前記導体層上であって、前記導体層の一部を導体パッドとして露出させる開口を有するようにソルダーレジスト層を形成することと、
    前記ソルダーレジスト層上および導体パッド上に、スパッタリングによりTiスパッタ膜からなる第1層を形成し、前記第1層上にスパッタリングによりCuスパッタ膜からなる第2層を形成することで、シード層を形成することと、
    前記ソルダーレジスト層の開口内に、前記シード層を介して導体ポストを形成することと、
    を含む、プリント配線板の製造方法。
  4. 請求項3のプリント配線板の製造方法であって、前記第1層の厚み/前記第2層の厚みの比が0.2以上、0.9以下となるよう前記シード層を形成する。
JP2022077935A 2022-05-11 2022-05-11 プリント配線板およびその製造方法 Pending JP2023167062A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022077935A JP2023167062A (ja) 2022-05-11 2022-05-11 プリント配線板およびその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022077935A JP2023167062A (ja) 2022-05-11 2022-05-11 プリント配線板およびその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2023167062A true JP2023167062A (ja) 2023-11-24

Family

ID=88837763

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022077935A Pending JP2023167062A (ja) 2022-05-11 2022-05-11 プリント配線板およびその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2023167062A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5258716B2 (ja) プリント基板及びその製造方法
JP4558776B2 (ja) 回路基板の製造方法
CN104869747A (zh) 印刷布线板和印刷布线板的制造方法
CN1976556B (zh) 配线电路基板
JPH10224014A (ja) 電子回路上に金属スタンドオフを作成する方法
JPH0536756A (ja) 半導体装置用テープキヤリア及びその製造方法
US20020137256A1 (en) Method and structure for an organic package with improved BGA life
JPH08204333A (ja) 印刷配線板の製造方法
TWI240402B (en) Package substrate without plating bar and a method of forming the same
JP2023167062A (ja) プリント配線板およびその製造方法
US5763060A (en) Printed wiring board
CN1404353A (zh) 利用实心铜柱互连导通的印刷电路板的制作方法
JP4611075B2 (ja) 配線回路基板
JP3066201B2 (ja) 回路基板及びその製造方法
JPH06120660A (ja) 多層電子部品搭載用基板の製造方法
KR20090091441A (ko) 미세 피치의 금속 범프를 제공하는 인쇄회로기판 제조 방법
JPH1079568A (ja) プリント配線板の製造方法
TW592007B (en) Build-up circuit board with conductive barrier structure and method for fabricating the same
US20230225050A1 (en) Circuit board structure and manufacturing method thereof
US20030064325A1 (en) Method of manufacturing printed circuit board having wiring layers electrically connected via solid cylindrical copper interconnecting bodies
JPH05198901A (ja) プリント回路基板およびその製造方法
JP2024000645A (ja) プリント配線板およびその製造方法
KR100468195B1 (ko) 다층 인쇄 회로 기판을 제조하는 방법
JPS63153893A (ja) 多層プリント配線板
JP2795475B2 (ja) プリント配線板及びその製造方法