KR20090091441A - 미세 피치의 금속 범프를 제공하는 인쇄회로기판 제조 방법 - Google Patents
미세 피치의 금속 범프를 제공하는 인쇄회로기판 제조 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (1)
- 인쇄회로기판 제조 방법에 있어서,(a) 중앙층으로부터 양면에 피복된 동박을 벗겨(peel off) 낼 수 있도록 형성된 동박/중앙층/동박 구조의 캐리어 상하 동박 표면 전체에 대해 주석 도금층 및 동 도금층을 형성하는 단계;(b) 상기 동 도금층 표면에 소정의 회로 패턴에 따라 에치 레지스트 패턴을 형성하고, 상기 에치 레지스트 패턴에 의해 노출된 동 도금층을 선택 식각하여 주석 도금층을 상기 에치 레지스트 패턴에 따라 선택적으로 노출하고, 금 전기 도금 및 니켈 전기 도금을 진행해서 상기 선택 노출된 주석 도금층 표면에 금 도금층과 니켈 도금층을 형성하고, 기판의 표면 전체에 대해 무전해 동 도금층을 형성하는 단계;(c) 상기 무전해 동 도금층 위에 드라이 필름을 도포하고 소정의 회로 패턴에 따라 노광, 현상, 식각 공정을 진행해서 상기 무전해 동 도금층이 선택적으로 노출되도록 드라이 필름 패턴을 형성하는 단계;(d) 전기 동 도금을 실시하여 상기 무전해 동 도금층이 상기 드라이 필름 패턴에 의해 선택적으로 노출된 부위에만 전기 동 도금층을 형성하고, 드라이 필름을 박리한 후 플래시 에칭 실시하여 표면에 남아 있는 무전해 동 도금층을 제거하는 단계;(e) 캐리어의 동박 위에 상하로 적층 가공된 전체 기판을 개별 절단하여 재 단하고, 재단된 각각의 기판에 대해 동박/중앙층/동박 구조의 캐리어를 구성하는 중앙층을 양면 동박으로부터 벗겨 분리하여, 두 개로 양분된 코어리스 기판을 형성하는 단계; 및(f) 상기 두 개로 양분된 코어리스 기판에 대해 알칼리 에칭/주석 박리 에칭/알칼리 에칭을 순차적으로 진행함으로써 동박층/주석층/동박층을 제거함으로써, 에치 레지스트 사이에 니켈 및 금 도금층으로 구성된 금속 범프를 노출시켜 형성하는 단계를 포함하는 인쇄회로기판 제조 방법.
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KR101420088B1 (ko) * | 2013-08-07 | 2014-07-17 | 대덕전자 주식회사 | 회로기판 제조방법 |
US9735090B2 (en) | 2014-10-06 | 2017-08-15 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Integrated circuit devices having through-silicon vias and methods of manufacturing such devices |
CN111477556A (zh) * | 2020-05-19 | 2020-07-31 | 深圳市和美精艺科技有限公司 | 一种超薄基板的封装方法及其芯片结构 |
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- 2008-02-25 KR KR1020080016698A patent/KR100934107B1/ko active IP Right Grant
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