JP2022551767A - 自動教示エンクロージャシステム - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (20)
- 自動教示エンクロージャシステムであって、
前記自動教示エンクロージャシステムの内部空間を少なくとも部分的に包囲する複数の表面と、
前記内部空間内に少なくとも部分的に配置された自動教示ピンであって、前記自動教示エンクロージャシステム内に固定位置を有する走査可能なフィーチャである自動教示ピンと、
前記複数の表面のうちの1つ以上に結合されたフロントインタフェースであって、前記自動教示エンクロージャシステムをウエハ処理システムのロードポートの実質的に垂直方向の部分と接続するためのフロントインタフェースと、
を備え、
前記自動教示ピンが、前記ウエハ処理システムのロボットアームの自動教示動作を可能とし、前記自動教示動作が、前記自動教示エンクロージャシステム内の前記固定位置を、前記ウエハ処理システムの前記ロボットアームに自動的に教示する動作である、自動教示エンクロージャシステム。 - 前記複数の表面のうちの底面に結合されたベースプレートであって、前記ロードポートの実質的に水平方向の部分と接続するためのベースプレートをさらに備え、
前記自動教示ピンが、前記ベースプレートに固定されており、前記底面を貫通して前記内部空間内へと延在する、請求項1に記載の自動教示エンクロージャシステム。 - 前記ベースプレートが、前記ロードポートの前記実質的に水平方向の部分の運動学的ピンと係合するための複数のレセプタクルを含み、前記自動教示ピンの前記固定位置は、前記複数のレセプタクルに対して相対的である、請求項2に記載の自動教示エンクロージャシステム。
- 前記自動教示ピンが、
前記自動教示ピンを前記ベースプレートに固定するクランプと、
前記クランプと前記ベースプレートの間に固定されるシール部と、
を含む、請求項2に記載の自動教示エンクロージャシステム。 - 前記自動教示ピンが、
円筒状の側壁を含む第1の部分であって、
前記ロボットアームが前記第1の部分を使用して前記自動教示エンクロージャシステム内の前記固定位置を特定する、第1の部分
をさらに含む、請求項2に記載の自動教示エンクロージャシステム。 - 前記自動教示ピンが、
平面的な側壁を含んでおり、前記第1の部分と前記ベースプレートとの間に配置された第2の部分であって、ロボットアーム誤差の較正を可能とするよう構成された第2の部分
をさらに含む、請求項5に記載の自動教示エンクロージャシステム。 - 前記自動教示エンクロージャシステムが、
前記複数の表面のうちの少なくとも1つに結合されており、前記自動教示エンクロージャシステムの移送を可能とするよう構成されたハンドル又はオーバヘッド移送(OHT:overhead transport)フランジの少なくとも一方と、
前記複数の表面のうちの少なくとも1つに結合された1つ以上のパージアダプタであって、
前記ロードポートにドッキングされたことに応じて、前記フロントインタフェースが前記ロードポートに密着し、前記自動教示エンクロージャシステムの前記内部空間は、前記自動教示エンクロージャシステムが開けられる前に前記1つ以上のパージアダプタを介してパージされるよう構成される、1つ以上のパージアダプタと、
を含む、請求項1に記載の自動教示エンクロージャシステム。 - 前記ロボットアームのエンドエフェクタが、前記内部空間に入って前記自動教示ピンを走査し、前記ロボットアームの前記自動教示動作を実行する、請求項1に記載の自動教示エンクロージャシステム。
- 方法であって、
自動教示エンクロージャシステムの内部空間と、ウエハ処理システムのファクトリインタフェースの内部と、を含む密閉された環境を確立するために、前記自動教示エンクロージャシステムのフロントインタフェースを、前記ファクトリインタフェースのロードポートの実質的に垂直方向の部分と接続することと、
前記密閉された環境を維持しながら、前記ファクトリインタフェースのロボットアームによって、前記自動教示エンクロージャシステムの前記内部空間内に配置された自動教示ピンを走査することと、
前記走査の結果に基づいて、前記自動教示エンクロージャシステムに関連付けられた固定位置を決定することであって、物品が、前記固定位置に基づいてロボットアームによって転送される、固定位置を決定することと、
を含む、方法。 - 前記自動教示エンクロージャシステムの、少なくとも部分的に前記内部空間を包囲する複数の表面のうちの少なくとも1つに結合された1つ以上のパージアダプタを介して、前記自動教示エンクロージャシステムをパージすることと、
続いて前記自動教示エンクロージャシステムを開けて、前記密閉された環境を確立することと、
をさらに含む、請求項9に記載の方法。 - 前記ロボットアームによって、前記自動教示エンクロージャシステムの前記内部空間内の自動教示ピンより上方の複数の支持構造に載置された較正基板の較正ピンを、前記較正基板の第1の位置を決定するために走査することと、
前記ロボットアームによって、前記複数の支持構造から前記較正基板を取り除くことと、
前記較正基板を第1の位置に配置するよう、前記ロボットアームに指示することと、
前記較正基板の第2の位置を決定するために、前記ロボットアームによって、前記較正基板の前記較正ピンを再び走査することと、
前記第1の位置と前記第2の位置との間の差に基づいて、ロボットアーム誤差を決定することと、
をさらに含む、請求項9に記載の方法。 - 前記固定位置を決定することが、前記ロボットアーム誤差にさらに基づいている、請求項11に記載の方法。
- 前記ロボットアームに物品を転送させることが、前記ロボットアーム誤差にさらに基づいている、請求項11に記載の方法。
- 前記較正基板の第1の幅に対応する第1の向きにある前記較正基板の下に、前記ロボットアームを位置決めすることと、
前記第1の向きにある前記較正基板を固定するために、前記ロボットアームのプランジャを作動させることと、
前記第1の向きにある前記較正基板を固定する際に、第1の誤差が発生するかどうかを判定することと、
をさらに含む、請求項11に記載の方法。 - 前記較正基板の、前記第1の幅とは異なる第2の幅に対応する第2の向きにある前記較正基板の下に、前記ロボットアームを位置決めすることと、
前記第2の向きにある前記較正基板を固定するために、前記プランジャを作動させることと、
前記第2の向きにある前記較正基板を固定する際に、第2の誤差が発生するかどうかを判定することと、
をさらに含む、請求項14に記載の方法。 - エンクロージャシステムであって、
前記エンクロージャシステムの内部空間を少なくとも部分的に包囲する複数の表面と、
前記内部空間内に配置された複数の支持構造と、
前記内部空間内の前記複数の支持構造に載置された較正基板であって、較正ピンを含む較正基板と、
前記複数の表面のうちの1つ以上に結合されたフロントインタフェースであって、前記エンクロージャシステムをウエハ処理システムのロードポートの実質的に垂直方向の部分と接続するよう構成されたフロントインタフェースと、
を備え、
前記較正基板によって、前記ウエハ処理システムのロボットアームのロボットアーム誤差を自動的に決定するという前記ロボットアームの較正動作が可能となる、エンクロージャシステム。 - 前記複数の表面のうちの前記1つ以上と接続し、前記エンクロージャシステムの移送中に前記較正基板の移動を防止するドアをさらに備える、請求項16に記載のエンクロージャシステム。
- 前記較正ピンより下方の前記内部空間内に少なくとも部分的に配置された自動教示ピンであって、前記自動教示エンクロージャシステム内に固定位置を有する走査可能なフィーチャであり、前記自動教示ピンによって、前記ロボットアームの自動教示動作が可能となり、前記自動教示動作は、前記自動教示エンクロージャシステム内の前記固定位置を前記ロボットアームに自動的に教示する動作である、自動教示ピン
をさらに含む、請求項16に記載のエンクロージャシステム。 - 前記較正基板を支持するための、前記自動教示ピンに載置されたカラーをさらに含む、請求項18に記載のエンクロージャシステム。
- 前記較正基板によって、前記較正基板を固定する際に第1の誤差が発生するかどうかを判定するという前記ロボットアームの診断動作が可能となる、請求項16に記載のエンクロージャシステム。
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