KR20010006828A

KR20010006828A - 기판 수납 지그, 평가 조정 지그 및 지그 교정 방법

Info

Publication number: KR20010006828A
Application number: KR1020000013955A
Authority: KR
Inventors: 후지아쯔히로
Original assignee: 고미야 히로요시; 가부시끼가이샤 한도따이 센단 테크놀로지스
Priority date: 1999-06-01
Filing date: 2000-03-20
Publication date: 2001-01-26

Abstract

인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 웨이퍼 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 기판 수납 지그, 평가 조정 지그 및 지그 교정 방법을 얻는다.

기준 핀과의 접속부에 V홈 구조를 갖고, 그 기준 핀의 중앙 부분이 그 V홈 구조의 홈 측면에 접하는 각도가 항상 일정각으로 유지되도록 구성되어 있다.

Description

기판 수납 지그, 평가 조정 지그 및 지그 교정 방법 {SUBSTRATE RECEIVING JIG, VALUATION ADJUSTING JIG AND METHOD FOR CORRECTING JIG}

본 발명은, 포토레티클(reticle: 회로 원판)용 기판, 액정 디스플레이 패널용 기판이나 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 등의 표시 패널 기판, 하드 디스크용 기판, 반도체 장치 등의 전자 디바이스용 웨이퍼 등의 기판을 수납, 운반 및 보관하는 차세대의 기판 수납 지그인 FOUP (Front Open Unified Pod) 기술에 관한 것으로, 특히 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 기판 수납 지그, 평가 조정 지그 및 지그 교정 방법에 관한 것이다.

종래, 반도체 제조시에 이용하고 있었던 기판 수납 지그(예를 들면, 웨이퍼 캐리어)로서는, 도9에 도시한 바와 같은 것이 있다. 도9에 있어서, 1'는 V홈 , 10은 레지스트레이션 핀 홀, 11은 래치 키, 12는 개폐 도어부인 인터페이스 도어, 13은 래치 키 홀, 14은 FOUP(Front Open Unified Pod)의 웨이퍼 유지부인 포드 셸( 포드 본체)을 도시하고 있다. 또, 치수 등의 정보는, SEMI standards E57, E1.9, E47.1 등에 기재되어 있기 때문에 생략한다.

도9에 도시한 기판 수납 지그(웨이퍼 캐리어)는, FLUOROWARE사제 F300 웨이퍼 캐리어 카타로그에 기재되어 있는 것으로서, 8인치 이전에 사용되어 온 종래의 오픈 카세트(치수 등의 정보는, SEMI standards E1.9 등에 기재되어 있기 때문에 생략한다)와 다르고, 밀폐 공간 중에 웨이퍼(기판)를 유지함으로써 대기중의 이물이나 화학적인 오염으로부터 웨이퍼(기판)를 방어하는 것이다. 이 때문에, 밀폐성을 유지하기 위해서 인터페이스 도어(12)에 시일재를 설치하는 동시에, 리테이너라 불리는 웨이퍼(기판) 압축 및 래치 등의 기계적 개폐 기구를 사용하고 있다. 또, 인터페이스 도어(12)를 포드 셸(14)에 고정하기 위해, 스토퍼와 래치를 갖춘 클램핑 기구가 필요하고, 이 때문에 복잡한 구조를 갖고, 클램핑 기구용으로 인터페이스 도어(12) 측에 구멍을 뚫을 필요가 있었다. 또, 포드 셸(14) 측에도, 도어 고정용에 상대하는 클램프용 구멍이나, 두께부, 시일부를 필요로 하고 있었다.

그러나, 종래 기술에는 이하에 게재하는 바와 같은 문제점이 있었다. 우선 제1 문제점은, 실제 제조 현장에서는, 복수 종류의 로드 포트(FIMS(Front-opening Interface Mechanical Standard)면) 및 복수 종류의 FOUP(Front Open Unified Pod) 캐리어를 조합시켜 사용하게 되지만, 치수의 차이에 기인하여 인터페이스 도어(12)의 개폐시에 호환성 부족 때문에 인터페이스 도어(12)의 개폐 신뢰성에 문제가 있어, 호환성 및 인터페이스 도어(12)의 개폐 신뢰성을 유지하는 것이 어려운 일이다. 그 이유는, 로드 포트(FIMS면) 측의 FIMS라고 불리는 개폐 기구의 치수 규정은 결정되어 있지만, FOUP 캐리어 도어측은 규정되어 있지 않기 때문에, 현재 상태로는, 사용하는 FOUP에 대하여 로드 포트(FIMS면)를 조정하여 사용해야 하고, 그 결과, 복수 종류의 FOUP에 대하여 호환성이 낮아지기 때문이며, 또 각 로드 포트(FIMS면) 및 FOUP의 각각의 평가 조정 방법이 통일되어 있지 않기 때문이다.

이상 인터페이스 도어(12)에 관해서 진술했지만, 기판 이동 탑재의 기준면이 되는 로드 포트(FIMS면)측에도 문제가 있다. 즉, 300㎜ 웨이퍼용 기판 수납 지그는, 스탠다드(표준)(SEMI standards E57)로 규정된 운동학적 핀(기준 핀)의 위에 적재되지만, 현재 상태로는, 핀의 형상이 전부 동일한 것을 전제로서 설계하고 있기 때문에, 핀의 형상으로 변동이 있으면 웨이퍼 플레인(웨이퍼(기판)의 위치)를 일정하게 할 수 없다고 하는 문제점이 있었다. 이것이 제2 문제점이다.

한편, 기판 수납 지그(웨이퍼 캐리어)측은, 핀의 형상이 SEMI standards E57에 준하고 있는 것을 전제로 하여 설계하고 있어, 운동학적 핀(기준 핀)과의 접속부인 V홈(1')의 형상 등에 대한 설계 자유도가 크고, 종합적으로 웨이퍼(기판) 반송을 보증하기 위해서는 각 기구부의 평가 수법의 확립이 필수라고 하는 문제점이 있었다. 이것이 제3 문제점이다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위해 이루어진 것으로, 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 웨이퍼(기판) 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 기판 수납 지그, 평가 조정 지그 및 지그 교정 방법을 얻는 것을 목적으로 한다.

도1은 본 발명의 실시 형태 1에 관한 FOUP 도어 개폐기 조정 지그(로드 포트 조정용 지그)를 설명하기 위한 구성도.

도2는 도1의 운동학적 핀(기준 핀)과의 접속부인 V홈의 각도를 설명하기 위한 측면도.

도3은 레지스트레이션 핀 평가용 기준 로드의 변위량을 읽어내는 동작을 도시한 도면.

도4는 본 발명의 실시 형태 2에 관한 FOUP 포드 평가용 지그를 설명하기 위한 구성도.

도5는 본 발명의 실시 형태 3에 관한 핀 형상의 평가 조정 지그를 설명하기 위한 구성도.

도6은 본 발명의 실시 형태 3에 관한 핀 형상의 평가 조정 지그의 다른 형태를 설명하기 위한 구성도.

도7은 본 발명의 실시 형태 4에 관한 운동학적 핀(기준 핀)의 위치의 평가 조정 지그를 설명하기 위한 구성도.

도8은 본 발명의 실시 형태 4에 관한 운동학적 핀(기준 핀)의 위치의 평가 조정 지그를 설명하기 위한 구성도.

도9는 종래의 기판 수납 지그(웨이퍼 캐리어)를 설명하기 위한 사시도.

＜도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명＞

1 : V홈 ,

2 : 마이크로미터,

3 : 압박 핀,

4 : 레지스트레이션 핀 평가용 기준 로드,

4A : 레지스트레이션 핀,

5 : 운동학적 핀(기준 핀),

5A : 슬라이드 테이블,

6 : 의사 FIMS면,

7 : 현미경,

8 : 스케일 부착 투명판,

8A : 스케일,

9 : 운동학적 핀 배치 구멍,

10 : 레지스트레이션 핀 홀,

11 : 래치 키,

12 : 인터페이스 도어,

13 : 래치 키 홀,

14 : 포드 셸( 포드 본체),

30 : FOUP 도어 개폐기 조정 지그,

40 : FOUP 포드 평가용 지그(FOUP 평가용 의사 FIMS),

50 : 핀 형상의 평가 조정 지그,

60 : 운동학적 핀(기준 핀)의 형상의 평가 조정 지그,

70 : 운동학적 핀5(기준 핀)가 종합적인 평가 조정 지그,

BD : 양측 가상 기준면,

θ: V홈(1)의 각도.

FD : 정면 가상 기준면,

HD : 수평 가상 기준면

본 발명의 청구항 1에 기재된 발명에 관한 기판 수납 지그는, 개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 기판 수납 지그로서, 기준 핀과의 접속부에 V홈 구조를 갖고, 그 기준 핀의 중앙 부분이 그 V홈 구조의 홈 측면에 접하도록 그 홈 측면 사이의 각도가 항상 일정각으로 유지되도록 구성되어 있는 것이다.

청구항 2에 기재된 발명에 관한 기판 수납 지그는, 개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 기판 수납 지그로서, 기준 핀과의 접속부에 V홈 구조를 갖고, 그 기준 핀의 중앙 부분이 그 V홈 구조의 홈 측면에 접하도록 그 홈 측면 사이의 각도가 항상 96도 내지 97도로 유지되도록 구성되어 있는 것이다.

청구항 3에 기재된 발명에 관한 기판 수납 지그는, 개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 기판 수납 지그로서, 기준 핀과의 접속부에 그 기준 핀을 협지 가능한 홈 구조를 갖고, 그 기준 핀의 중앙 부분이 그 홈 구조의 홈 측면에 접하도록 그 협지 측면 사이의 각도가 항상 일정각으로 유지되도록 구성되어 있는 것이다.

청구항 4에 기재된 발명에 관한 기판 수납 지그는, 개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 기판 수납 지그로서, 기준 핀과의 접속부에 그 기준 핀을 협지 가능한 홈 구조를 갖고, 그 기준 핀의 중앙 부분이 그 V홈 구조의 홈 측면에 접하도록 그 협지 측면 사이의 각도가 항상 96도 내지 97도로 유지되도록 구성되어 있는 것이다.

청구항 5에 기재된 발명에 관한 기판 수납 지그는, 개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 기판 수납 지그로서, 운동학적 핀과의 접속부에 V홈 구조를 갖고, 그 운동학적 핀의 중앙 부분이 그 V홈 구조의 홈 측면에 접하도록 그 홈 측면 사이의 각도가 항상 일정각으로 유지되도록 구성되어 있는 것이다.

청구항 6에 기재된 발명에 관한 기판 수납 지그는, 개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 기판 수납 지그로서, 운동학적 핀과의 접속부에 V홈 구조를 갖고, 그 운동학적 핀의 중앙 부분이 그 V홈 구조의 홈 측면에 접하도록 그 홈 측면 사이의 각도가 항상 96도 내지 97도로 유지되도록 구성되어 있는 것이다.

청구항 7에 기재된 발명에 관한 기판 수납 지그는, 개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 기판 수납 지그로서, 운동학적 핀과의 접속부에 그 운동학적 핀을 협지 가능한 홈 구조를 갖고, 그 운동학적 핀의 중앙 부분이 그 홈 구조의 홈 측면에 접하도록 그 홈 측면 사이의 각도가 항상 일정각으로 유지되도록 구성되어 있는 것이다.

청구항 8에 기재된 발명에 관한 기판 수납 지그는, 개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 기판 수납 지그로서, 운동학적 핀과의 접속부에 그 운동학적 핀을 협지 가능한 홈 구조를 갖고, 그 운동학적 핀의 중앙 부분이 그 홈 구조의 홈 측면에 접하도록 그 협지 측면 사이의 각도가 항상 96도 내지 97도로 유지되도록 구성되어 있는 것이다.

청구항 9에 기재된 발명에 관한 평가 조정 지그는, 기판을 수납, 운반 및 보관하는 가로 도어 개폐 일체형 평가 조정 지그 개폐 장치에 대하여 개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 평가 조정 지그로서, 로드 포트에 배치된 레지스트레이션 핀 위치를 측정하는 길이 측정 수단과, 정면 가상 기준면에서 상기 인터페이스 도어까지의 거리를 측정하는 길이 측정 게이지 수단과, 그 길이 측정 수단 및 그 길이 측정 게이지 수단을 이용하여 그 로드 포트를 소정 위치 내에 조정하는 수단과, 그 인터페이스 도어의 개폐에 따르는 수평 가상 기준면과 그 인터페이스 도어면과의 각도를 일정하게 하는 수단을 갖는 것이다.

청구항 10에 기재된 발명에 관한 평가 조정 지그는, 기판을 수납, 운반 및 보관하는 가로 도어 개폐 일체형 평가 조정 지그인 FOUP에 대하여 개폐 도어부인 FOUP 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 평가 조정 지그로서, 레지스트레이션 핀 위치를 측정하는 길이 측정 수단과, 정면 가상 기준면-상기 FOUP 인터페이스 도어 사이의 거리 및/또는 수직도를 측정하는 길이 측정 게이지 수단과, 그 길이 측정 수단 및 그 길이 측정 게이지 수단을 이용하고, 그 FOUP 인터페이스 도어의 도어면의 편차량을 측정하는 수단과, 그 FOUP 인터페이스 도어의 도어면과 수평 가상 기준면과의 직교도 및/또는 평행도를 측정하는 수단과, 그 FOUP 인터페이스 도어의 도어면과 정면 가상 기준면과의 직교도 및/또는 평행도를 측정하는 수단을 갖는 것이다.

청구항 11에 기재된 발명에 관한 평가 조정 지그는, 기판을 수납, 운반 및 보관하는 평가 조정 지그의 위치 결정 기준 핀의 형상 평가를 실행하여 개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 평가 조정 지그로서, 상기 기준 핀의 형상의 투영 형상에 따른 소정 형상의 홈부가 형성된 구조를 갖는 것이다.

청구항 12에 기재된 발명에 관한 평가 조정 지그는, 기판을 수납, 운반 및 보관하는 평가 조정 지그의 위치 결정 기준 핀의 형상 평가를 실행하여 개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 평가 조정 지그로서, 상기 기준 핀의 형상의 투영 형상에 따른 소정 형상의 홈부가 형성된 직방체구조를 갖는 것이다.

청구항 13에 기재된 발명에 관한 평가 조정 지그는, 기판을 수납, 운반 및 보관하는 평가 조정 지그의 기준 핀의 위치 관계의 평가를 실행하여 개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 평가 조정 지그로서, 정면 가상 기준면 평가용 선과, 양측 가상 기준면 평가용 선과, 그 정면 가상 기준면 평가용 선 및 그 양측 가상 기준면 평가용 선을 참조하여 기준점에서의 핀 배치의 편차량을 측정하는 수단을 갖는 것이다.

청구항 14에 기재된 발명에 관한 평가 조정 지그는, 기판을 수납, 운반 및 보관하는 평가 조정 지그의 기준 핀의 위치 관계의 평가를 실행하여 개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 평가 조정 지그로서, 슬라이드 테이블 면에 그려진 정면 가상 기준면 평가용 선 및 양측 가상 기준면 평가용 선과, 로드 포트 면에 설치된 운동학적 핀과 그 정면 가상 기준면 평가용 선 및/또는 그 양측 가상 기준면 평가용 선과의 상대 위치를 계측하고 기준점에서의 핀 배치의 편차량을 측정하는 수단을 갖고, 그 정면 가상 기준면 평가용 선과 그 양측 가상 기준면 평가용 선이 중복되는 경우에 그 운동학적 핀의 배치 및 형상이 옳다고 판정하고, 그 정면 가상 기준면 평가용 선과 그 양측 가상 기준면 평가용 선이 중복되지 않는 경우에 그 운동학적 핀의 형상 또는 배치의 적어도 어느 것에 문제가 있다고 판정하는 구성을 갖는 것이다.

청구항 15에 기재된 발명에 관한 지그 교정 방법은, 기판을 수납, 운반 및 보관하는 가로 도어 개폐 일체형 기판 수납 지그 개폐 장치에 대하여 개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 지그 교정 방법으로서, 로드 포트에 배치된 레지스트레이션 핀 위치를 측정하는 길이 측정 공정과, 정면 가상 기준면에서 상기 인터페이스 도어까지의 거리를 측정하는 길이 측정 게이지 공정과, 그 길이 측정 공정 및 그 길이 측정 게이지 공정을 이용하여 그 레지스트레이션 핀 위치의 기준점에서의 편차량이 최소가 되도록 그 로드 포트를 소정 위치 내에 조정하는 공정과, 그 인터페이스 도어의 개폐에 따르는 수평 가상 기준면과 그 인터페이스 도어면의 각도를 일정하게 하는 공정을 갖는 것이다.

청구항 16에 기재된 발명에 관한 지그 교정 방법은, 기판을 수납, 운반 및 보관하는 가로 도어 개폐 일체형 기판 수납 지그인 FOUP에 대하여 개폐 도어부인 FOUP 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 지그 교정 방법으로서, 레지스트레이션 핀 위치를 측정하는 길이 측정 공정과, 정면 가상 기준면-상기 FOUP 인터페이스 도어 사이의 거리 및/또는 수직도를 측정하는 길이 측정 게이지 공정과, 그 길이 측정 공정 및 그 길이 측정 게이지 공정을 이용하여, 그 FOUP 인터페이스 도어의 도어면의 편차량을 측정하는 공정과, 그 FOUP 인터페이스 도어의 도어면과 수평 가상 기준면과의 직교도 및/또는 평행도를 측정하는 공정과, 그 FOUP 인터페이스 도어의 도어면과 정면 가상 기준면과의 직교도 및/또는 평행도를 측정하는 공정을 갖는 것이다.

청구항 17에 기재된 발명에 관한 지그 교정 방법은, 기판을 수납, 운반 및 보관하는 기판 수납 지그의 위치 결정 기준 핀의 형상 평가를 실행하여 개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 지그 교정 방법으로서, 상기 기준 핀의 형상의 투영 형상에 따른 소정 형상의 홈부가 형성된 직방체 구조를 형성하는 공정과, 그 홈부를 로드 포트 상의 핀에 덮은 상태로 슬라이드시키면서 회전하는 공정과 그 핀 곡면과 지그 곡면과의 차를 평가하고 그 핀의 곡면, 높이, 굵기 중 적어도 하나 이상을 포함하는 형상 마무리를 조사하는 공정을 갖는 것이다.

청구항 18에 기재된 발명에 관한 지그 교정 방법은, 기판을 수납, 운반 및 보관하는 기판 수납 지그의 기준 핀의 위치 관계의 평가를 실행하여 개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 지그 교정 방법으로서, 슬라이드 테이블면에 그려진 정면 가상 기준면 평가용 선 및/또는 양측 가상 기준면 평가용 선과 로드 포트면에 설치된 운동학적 핀과의 상대 위치를 계측하여 기준점에서의 핀 배치의 편차량을 측정하는 공정과, 그 정면 가상 기준면 평가용 선과 그 양측 가상 기준면 평가용 선이 중복되는 경우에 그 운동학적 핀의 배치 및 형상이 옳다고 판정하고, 그 정면 가상 기준면 평가용 선과 그 양측 가상 기준면 평가용 선이 중복되지 않는 경우에 그 운동학적 핀의 형상 또는 배치의 적어도 어느 것에 문제가 있다고 판정하는 공정을 갖는 것이다.

실시 형태1.

이하, 본 발명의 실시 형태 1(FOUP 도어 개폐기 조정 지그(30)(로드 포트 조정용 지그)을 도면을 기초로 하여 상세히 설명한다. 도1은 본 발명의 실시 형태 (1)에 관한 FOUP 도어 개폐기 조정 지그(30)(로드 포트 조정용 지그)를 설명하기 위한 구성도으로서, 도1의 (a)는 상면도, 도1의 (b)는 정면도, 도1의 (c)는 측면도이다. 도1에 있어서, 1은 V홈 , 2는 대향상태로 설치된 마이크로미터, 3은 압박 핀, 4는 레지스트레이션 핀 평가용 기준 로드, 5는 운동학적 핀(기준 핀), 5A는 슬라이드 테이블, 30은 FOUP 도어 개폐기 조정 지그, FD(Facial Datum plane)는 정면 가상 기준면, BD(Bilateral Datum plane)은 양측 가상 기준면, HD (Horizontal Datum plane)는 수평 가상 기준면을 도시하고 있다. 도1을 참조하면, 본 실시 형태의 FOUP 도어 개폐기 조정 지그(30)는, 포토레티클(reticle: 회로 원판)용 기판, 액정 디스플레이 패널용 기판이나 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 등의 표시 패널 기판, 하드 디스크용 기판, 반도체 장치 등의 전자 디바이스용 웨이퍼 등의 기판에 적용 가능한 로드 포트 조정용 지그이며, 운동학적 핀(5)(기준 핀)과의 접속부인 V홈(1)(각도(θ), 도2참조), 레지스트레이션 핀 위치 평가용으로 2조 대향 상태로 합계 8개(도1의 (b)참조) 설치된 마이크로미터(2), 인터페이스 도어(121) 정면 가상 기준면(FD) 사이의 거리 측정용 길이 측정 게이지인 압박 핀(3), 레지스트레이션 핀 평가용 기준 로드(4), 운동학적 핀(5)(기준 핀), 슬라이드 테이블(5A)를 구비하고, 그 지그를 이용하여 로드 포트(FIMS면)를 조정함으로써, 후술하는 레지스트레이션 핀(4A)나 전술의 래치 키가 배치되어 있는 로드 포트(FIMS면)을 확실하게 동작시킬 수 있게 되는 점에 특징을 갖고 있다. 이하의 설명에서는, 포토레티클(reticle: 회로 원판)용 기판, 액정 디스플레이 패널용 기판이나 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 등의 표시 패널 기판, 하드 디스크용 기판, 반도체 장치 등의 전자 디바이스용 웨이퍼 등의 기판의 중으로부터, 특히 반도체 장치 등의 전자 디바이스용 웨이퍼(이하, 웨이퍼)를 예로 들어 설명을 행하기로 한다.

포토레티클(reticle: 회로 원판)용 기판, 액정 디스플레이 패널용 기판이나 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 등의 표시 패널 기판, 하드 디스크용 기판, 반도체 장치 등의 전자 디바이스용 웨이퍼 등의 기판을 수납, 운반 및 보관하는 차세대의 기판 수납 지그인 FOUP(Front Open Unified Pod)는, 보통, 전술한 인터페이스 도어(12)와 포드가 분리된 구조를 갖고, 인터페이스 도어(12)의 개폐에 의해 도어면이 움직이기 때문에, 도어 각도나 구멍 위치가 변하고 조정 원기(原器)로서 사용할 수 없다. 이에 반해 본 실시 형태의 FOUP 도어 개폐기 조정 지그(30)(로드 포트 조정용 지그)는, 일체 구조를 갖기 때문에, 인터페이스 도어(12)의 개폐에 따르는 수평 가상 기준면(HD)와 인터페이스 도어면의 각도를 일정하게 할 수 있고, 그 결과, 인터페이스 도어(12)의 도어 각도나 구멍 위치의 변화를 없앨 수 있다.

도2는 도1의 운동학적 핀(5)(기준 핀)과의 접속부인 V홈(1)의 각도(θ)를 설명하기 위한 측면도이다. 도2에 있어서, θ는 V홈(1)의 각도를 도시하고 있다. 도2를 참조하면, 본 실시 형태에서는, V홈(1)(운동학적 핀(5)(기준 핀)과의 접속부)의 각도(θ)는 96도 30분 정도(즉, 한 쪽 48도 15분)에 최적화하고 있다. 이 각도(θ)는, 운동학적 핀5(기준 핀)의 중앙 부분(즉, 배의 부분)으로 V홈(1)(운동학적 핀(5)(기준 핀)과의 접속부)에 접하는 각도이며, 가장 마진이 넓은 각도이다. 운동학적 핀(5)(기준 핀)의 형상은 전술의 SEMI standards E57에서 규정되어 있지만, V홈(1)(운동학적 핀(5)(기준 핀)과의 접속부)의 각도(θ)는 스탠다드(표준)로 규정되어 있지 않고 자유(임의)에 설정할 수 있다. 이 때문에, 핀의 형상의 변동이 큰 경우나 기준외 형상인 경우에, FOUP 적재 정밀도가 악화하고, 반송 에러나 인터페이스 도어(12)(도9 참조)의 개폐 불량의 원인이 된다. 본 실시 형태에서는, V홈(1)(운동학적 핀(5)(기준 핀)과의 접속부)의 형상을 최적화함으로써, 적재 마진의 확대를 실현할 수 있다. 또, 그 V홈(1)(운동학적 핀(5)(기준 핀)과의 접속부)의 각도(θ)는, 기준 지그 이외의 모든 기판 수납 지그(웨이퍼 캐리어)에서 사용해야 함은 물론이다.

다음에 FOUP 도어 개폐기 조정 지그(30)(로드 포트 조정용 지그)의 사용 방법(지그 교정 방법)에 관해서 설명한다. 도3은 레지스트레이션 핀 평가용 기준 로드(4)의 변위량을 읽어내는 동작을 도시하고 있고, 도3의 (a)는 판독 전의 상태, 도3의 (b)는 판독 후의 형태를 도시하고 있다. 도3을 참조하면, 본 실시 형태로서는, 우선, 도3의 (a)에 도시한 바와 같이, FOUP 도어 개폐기 조정 지그(30)(로드 포트 조정용 지그)를 조정하는 로드 포트(FIMS (Front-opening Interface Mechanical Standard))면에 셋트한다. 계속해서, FOUP 도어 개폐기 조정 지그(30)(로드 포트 조정용 지그)를 FIMS와의 도킹 위치까지 이동한다. 그 FOUP 도어 개폐기 조정 지그(30)(로드 포트 조정용 지그)의 이동에 의해, 로드 포트(FIMS면)의 레지스트레이션 핀(4A)이 레지스트레이션 핀 평가용 기준 로드(4)를 밀어 젖힌다. 마이크로미터(2)는 레지스트레이션 핀 평가용 기준 로드(4)의 표면에 접촉하고 있어, 이 위치를 기준점(제로점)으로 한다. 본 실시 형태로서는, 레지스트레이션 핀 평가용 기준 로드(4)를 굵기(직경) 9㎜ 정도로 핀 중심을 스탠다드(표준)의 값(표준치)으로 설정하고 있다. 이어서, 도3 (b)에 도시한 바와 같이, 조정되는 로드 포트(FIMS면)의 FIMS의 레지스트레이션 핀(4A)이 마이크로미터(2)의 선단에 있어서, 기준점(제로점)부터의 편차량이 표시된다. 계속해서, 이 표시량이 최소이 되도록, 로드 포트(FIMS면, 구체적으로는, FIMS면 핀 배치, 운동학적 핀(5)(기준 핀)높이 등)을 조정한다. 이 때, 복수(구체적으로는, 10개 정도)의 압박 핀(3)이 로드 포트(FIMS면)에 접촉하여 이동량 만큼 슬라이드한다. FOUP 도어 개폐기 조정 지그(30)(로드 포트 조정용 지그)의 인터페이스 도어면과 로드 포트(FIMS면)이 완전히 평행하면, 각 핀 이동량이 같아진다. 본 실시 형태에서는, 각핀의 변위량이 같고, 또 정면 가상 기준면(FD)-로드 포트(FIMS면) 사이의 거리가, 165.5±0.5㎜ 정도 되도록 도킹 스트로크량 및 로드 포트(FIMS면)를 조정한다. 이러한 지그 교정 방법을 이용하여 FOUP 도어 개폐기 조정 지그(30)(로드 포트 조정용 지그)로 조정을 한 FIMS를 이용함으로써 복수 종류의 FOUP를 사용하더라도, 확실하게 기준 위치를 알 수 있기 때문에 인터페이스 도어(12)의 개폐 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

이상 설명한 바와 같이 실시 형태 1에 따르면, 이하에 게재한 효과를 발휘한다. 우선 제1 효과는, 지그의 표준화, 측정의 통일화, 운동학적 핀(5)(기준 핀)과의 접속부인 V홈(1)의 각도(θ)의 통일화를 도모할 수 있는 결과, 인터페이스 도어(12)의 개폐 신뢰성 및 호환성을 향상시켜 개폐 불량을 해소할 수 있는 것이다. 그리고 제2 효과는, 지그의 표준화, 측정의 통일화, 운동학적 핀(5)(기준 핀)과의 접속부인 V홈(1)의 각도(θ)의 통일화를 꾀할 수 있는 결과, 웨이퍼 이동 탑재 신뢰성(기판 이동 탑재 신뢰성)을 향상시켜 개폐 불량을 해소할 수 있는 것이다.

실시 형태 2

이하, 본 발명의 실시 형태 2 (FOUP 포드 평가용 지그(40))을 도면을 기초로 하여 상세히 설명한다. 또, 상기 실시 형태에 있어서 이미 기술한 것으로 동일한 부분에 관하여는, 동일부호를 붙여, 중복한 설명은 생략한다. 도4는 본 발명의 실시 형태 2에 관한 FOUP 포드 평가용 지그(40)를 설명하기 위한 구성도으로서, 도4의 (a)는 상면도, 도4의 (b)는 정면도, 도4의 (c)는 측면도, 도4의 (d)는 스케일 판(8)의 확대도이다. 도4에 있어서, 3은 압박 핀, 5은 운동학적 핀(5)(기준 핀), 5A는 슬라이드 테이블, 6은 의사 FIMS면, 7은 래치 키 홀(13)(도9 참조)의 위치 평가용 현미경, 8은 스케일 부착 투명판, 8A는 스케일, 40은 FOUP 포드 평가용 지그(FOUP 평가용 의사 FIMS), BD는 양측 가상 기준면, FD는 정면 가상 기준면, HD는 수평 가상 기준면을 도시하고 있다. 도4를 참조하면, 본 실시 형태의 FOUP 포드 평가용 지그(40)(FOUP 평가용 의사 FIMS)는, 포토 레티클(reticle: 회로 원판)용 기판, 액정 디스플레이 패널용 기판이나 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 등의 표시 패널 기판, 하드 디스크용 기판, 반도체 장치 등의 전자 디바이스용 웨이퍼 등의 기판을 수납, 운반 및 보관하는 기판 수납 지그에 적용 가능하고, FOUP 인터페이스 도어(12)-정면 가상 기준면(FD) 사이의 거리의 측정이나 수직도의 측정에 이용하는 길이 측정 게이지인 압박 핀(3), 운동학적 핀(5)(기준 핀), 슬라이드 테이블(5A), 수평 가상 기준면(HD)와의 수직도가 정확히 정해져 있는 의사 FIMS면(6), 의사 FIMS면(6)에 설치한 현미경(7), 스케일(8A) 부착 투명판(8)을 갖추고, 동일한 위치에 투명판에 스케일(8A)를 기입한 스케일 부착 투명판(8)을 넣었기 때문에 돌기는 존재하지 않고 평탄한 구조로 되어 있고, 전술의 래치 키 홀(13)(도9 참조) 또는 레지스트레이션 핀 홀(10)(도9 참조)을 거쳐서 현미경(7)을 이용하여 평가되는 FOUP 인터페이스 도어(12)(도9참조)의 도어면의 본래 있어야 할 위치와의 편차량을 스케일 부착 투명판(8)의 스케일(8A)을 이용하여 판독, 수평 가상 기준면(HD)와의 직교도 및 평행도를 압박 핀(3)의 슬라이드량으로부터 판독하고, 정면 가상 기준면(FD)와의 직교도 및 평행도를 압박 핀(3)의 슬라이드량으로부터 판독하도록 구성되어 있는 점에 특징을 갖고 있다. 이에 따라, 배치 어긋남을 평가하여 금형을 수정함으로써, 어떠한 종류의 FOUP라도 사용 할 수 있고, 호환성이 향상된다.

실제의 로드 포트(FIMS면)에서는, 레지스트레이션 핀(4A)이나 전술의 래치 키(11)가 돌기로서 설치되어 있다. 본 실시 형태의 FOUP 포드 평가용 지그(40)(FOUP 평가용 의사 FIMS)에서는, 동일한 위치에 투명판에 스케일(8A)을 기입한 스케일 부착 투명판(8)을 넣었기 때문에 이러한 돌기는 존재하지 않고 평탄한 구조로 되어있다.

다음에 FOUP 포드 평가용 지그(40)(FOUP 평가용 의사 FIMS)의 사용 방법(지그 교정 방법)에 관해서 설명한다. 본 실시 형태에서는, 우선, 슬라이드 테이블(5A)에 FOUP 인터페이스 도어(12)를 붙인 형태의 피평가 FOUP를 둔다. 계속해서, 슬라이드 테이블(5A)을 도킹 위치까지 이동한다. 계속해서, 레지스트레이션 핀 홀(10)(도9참조)의 위치와 스케일 부착 투명판(8)에 넣은 게이지와의 차를, 현미경(7)으로 측정한다. 계속해서, 래치 키 홀(13)(도9참조)의 위치와 스케일 부착 투명판(8)에 넣은 게이지와의 차를, 현미경(7)으로 측정한다. 계속해서, 구멍 위치의 규격치와의 어긋남을 평가하는 동시에, FOUP 인터페이스 도어(12)의 금형설계를 최적화한다. 이와 같이 압박 핀(3)의 변위량을 읽음으로써 FOUP 인터페이스 도어(12)의 도어면과 로드 포트(FIMS면)의 평행도를 측정하는 동시에, 정면 가상 기준면(FD)-인터페이스 도어면 사이의 거리를 측정할 수 있다. 본 실시 형태로서는, 특히 정면 가상 기준면(FD)-FOUP 인터페이스 도어(12) 사이의 거리, 정면 가상 기준면(FD)-시일부 사이의 거리가 165.5±0.5㎜ 정도로 되도록 금형(FOUP 인터페이스 도어(12)의 설계)를 최적화한다. 계속해서, FOUP 인터페이스 도어(12)의 레지스트레이션 핀 홀(10)(도9 참조)의 위치, 래치 키 홀(13)(도9 참조)의 구멍 위치, 정면 가상 기준면(FD)-FOUP 인터페이스 도어(12)의 도어면 사이의 거리(바꾸어 말하면, 평행도, 수평 가상 기준면(HD)와의 직교도)를 평가하여 기준량이 되도록 금형을 수정한다. 이에 따라, 호환성 및 FOUP 인터페이스 도어(12)의 개폐 신뢰성, 호환성을 향상할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이 실시 형태 2에 따르면, 지그의 표준화, 측정의 통일화를 꾀할 수 있는 결과, FOUP 인터페이스 도어(12)의 개폐 신뢰성 및 호환성을 향상시켜 개폐 불량을 해소 할 수 있고, 웨이퍼 이동 탑재 신뢰성(기판 이동 탑재 신뢰성)을 향상시켜 개폐 불량을 해소할 수 있게 되는 효과를 발휘한다.

실시 형태 3.

이하, 본 발명의 실시 형태 3(핀 형상의 평가 조정 지그(50))을 도면을 기초로 하여 상세히 설명한다. 또, 상기 실시 형태에 있어서 이미 기술한 바와 동일한 부분에 관하여는, 동일 부호를 붙이고, 중복 설명은 생략한다. 도5는, 본 발명의 실시 형태 3에 관한 핀 형상의 평가 조정 지그(50)를 설명하기 위한 구성도로서, 도5의 (a)는 측면도, 도5의 (b)는 정면도이다. 도6은, 본 발명의 실시 형태 (3)에 관한 핀 형상의 평가 조정 지그(50)의 다른 형태를 설명하기 위한 구성도로서, 도6의 (a)는 측면도, 도6의 (b)는 정면도이다. 도5, 6에 있어서, 50은 핀 형상의 평가 조정 지그이다. 도5에 도시한 핀 형상의 평가 조정 지그(50)는, 포토레티클(reticle: 회로 원판)용 기판, 액정 디스플레이 패널용 기판이나 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 등의 표시 패널 기판, 하드 디스크용 기판, 반도체 장치 등의 전자 디바이스용 웨이퍼 등의 기판을 수납, 운반 및 보관하는 기판 수납 지그에 적용 가능하고, 핀의 투영 형상(단면 형상)을 도5의 (a), (b)에 도시한 바와 같이 직방체로부터 파낸 구조를 갖추고 있다. 핀의 형상은 SEMI standards E57에서 규정되어 있지만, 가공 및 형상 평가가 어렵고 종래 고가의 3차원 측정기를 이용하여 평가하고 있었다. 이에 반해 본 실시 형태의 핀 형상의 평가 조정 지그(50)는 핀의 형상을 간이적으로 평가할 수 있다. 또, 핀이 1개씩인 경우, 확대 투영 등으로도 형상 평가할 수 있지만, 실제 로드 포트(FIMS면) 상의 현품에서의 평가에는 사용할 수 없다. 이에 반하여 도5의 (a), (b)에 도시한 핀 형상의 평가 조정 지그(50)는, 12㎜ 정도 이상의 두께가 두꺼운 판에 핀의 단면 투영 형상을 그리고, 투영 형상을 두꺼운 판으로부터 파낸다.

도6에 도시한 핀 형상의 평가 조정 지그(50)와 같이 직접 핀 형상을 깎는 경우는, 핀의 반경 15㎜ 정도의 구면 형상 평가가 어렵다. 한편, 도5에 도시한 핀 형상의 평가 조정 지그(50)와 같이 투영 형상을 깎는 경우는, 단순히 직선과 반경 15㎜ 정도의 원으로 형상을 만들 수 있기 때문에 평가가 용이하다.

다음에 핀 형상의 평가 조정 지그(50)의 사용 방법(지그 교정 방법)에 관해서 설명한다. 본 실시 형태에서는, 우선, 도5, 6에 도시한 핀 형상의 평가 조정 지그(50)의 홈부(파선으로 표시)를 로드 포트(FIMS면) 상의 핀에 덮은 상태로 슬라이드시키면서 회전시킨다. 이어서, 핀 곡면과 지그 곡면과의 차를 평가함으로써 핀의 형상 마무리를 조사한다. 이 때, 지그의 저면의 높이가 수평 가상 기준면(HD)까지의 거리이며 간극이 생긴 경우는 수평 가상 기준면(HD)와의 거리가 부족함을 알 수 있다. 이러한 구조에 의해, 고가의 3차원 측정기를 이용하지 않더라도 간편히 핀의 형상(곡면, 높이, 굵기)을 평가할 수 있게 된다.

이상 설명한 바와 같이 실시 형태 3에 따르면, 지그의 표준화, 측정의 통일화를 꾀할 수 있는 결과, 인터페이스 도어(12)의 개폐 신뢰성 및 호환성을 향상시켜 개폐 불량을 해소 할 수 있고, 웨이퍼 이동 탑재 신뢰성(기판 이동 탑재 신뢰성)을 향상시켜 개폐 불량을 해소할 수 있게 되는 효과를 발휘한다.

실시 형태 4

이하, 본 발명의 실시 형태 4(운동학적 핀(5)(기준 핀)의 위치의 평가 조정 지그(60))를 도면을 기초로 하여 상세히 설명한다. 또, 상기 실시 형태에 있어서 이미 기술한 바와 동일한 부분에 관하여는, 동일 부호를 붙이고, 중복 설명은 생략한다. 도7은 본 발명의 실시 형태 (4)에 관한 운동학적 핀(5)(기준 핀)의 위치의 평가 조정 지그(60)를 설명하기 위한 구성도, 도8은 본 발명의 실시 형태 (4)에 관한 운동학적 핀(5)(기준 핀)의 종합적인 평가 조정 지그(70)를 설명하기 위한 구성도이다. 도7에 있어서, 5A는 슬라이드 테이블, 7은 현미경, 9는 운동학적 핀 배치 구멍, 60은 운동학적 핀(5)(기준 핀)의 위치의 평가 조정 지그, BD는 양측 가상 기준면, FD는 정면 가상 기준면을 도시하고 있다. 도8에 있어서, 1은 V홈 , 5는 운동학적 핀(기준 핀), 5A는 슬라이드 테이블, 70은 운동학적 핀(5)(기준 핀)의 종합적인 평가 조정 지그, BD는 양측 가상 기준면, FD는 정면 가상 기준면, HD는 수평 가상 기준면을 도시하고 있다. 일반적으로, 운동학적 핀(5)(기준 핀)의 형상이 정확하더라도, 운동학적 핀(5)(기준 핀)의 위치가 부정확한 경우는, 기판 수납 지그(웨이퍼 캐리어) 및 수납되어 있는 웨이퍼 플레인(웨이퍼(기판)의 위치)이 어긋난다. 그래서, 운동학적 핀(5)(기준 핀)의 위치의 평가 조정 지그(60)는, 도7에 도시한 바와 같이, 슬라이드 테이블(5A)의 운동학적 핀(5)(기준 핀)의 위치에 12㎜ 정도의 직경의 원형 운동학적 핀 배치 구멍(9)을 3곳에 형성하고, 가상면인 정면 가상 기준면(FD), 양측 가상 기준면(BD)을 선형(정면 가상 기준면 평가용 선, 양측 가상 기준면 평가용 선)에 그린 구조에 특징을 갖고 있다. 도8에 도시한 운동학적 핀(5)(기준 핀)의 종합적인 평가 조정 지그(70)는, 도8의 (b)에 도시한 바와 같이, 슬라이드 테이블(5A)에 96도 30분 정도의 V홈(1)(운동학적 핀(5)(기준 핀)과의 접속부)을 형성하고, 도8의 (a)에 도시한 바와 같이, 정면 가상 기준면(FD), 양측 가상 기준면 BD를 나타내는 직선을 그린 구조에 특징을 갖고 있다. 운동학적 핀(5)(기준 핀)의 위치의 평가 조정 지그(60)를 이용함 으로써 운동학적 핀(5)(기준 핀)의 배치를 종합적으로 평가할 수 있다. 또한, 운동학적 핀(5)(기준 핀)의 종합적인 평가 조정 지그(70)를 로드 포트(FIMS면)위의 운동학적 핀(5)(기준 핀)에 적재하여 사용함으로써 비로소 가상면인 수평 가상 기준면(HD)의 바닥 면에서의 높이, 수평도를 평가할 수 있다.

다음에 운동학적 핀(5)(기준 핀)의 위치의 평가 조정 지그(60)의 사용 방법(지그 교정 방법)에 관해서 설명한다. 본 실시 형태로서는, 우선, 로드 포트(FIMS면)위의 운동학적 핀(5)(기준 핀)에 도7에 도시한 운동학적 핀5(기준 핀)의 위치의 평가 조정 지그(60)를 셋트한다. 핀 배치가 부정확한 경우 3개의 핀이 운동학적 핀 배치 구멍(9)에 수습되지 않는 경우, 또는, 셋트가 완성된 경우에도, 정면 가상 기준면(FD), 양측 가상 기준면 BD를 도시하는 선(정면 가상 기준면 평가용 선, 양측 가상 기준면 평가용 선)이, 로드 포트(FIMS면)에 대하여 어긋날 때는 핀 배치가 부적절하다고 판정한다.

계속해서, 운동학적 핀(5)(기준 핀)의 위치의 평가 조정 지그(60)를 셋트한 다음에, 운동학적 핀(5)(기준 핀)의 종합적인 평가 조정 지그(70)를 운동학적 핀(5)(기준 핀)을 거쳐서 적재한다. 이 때, 핀 배치 및 핀의 형상이 옳은 경우는, 운동학적 핀(5)(기준 핀)의 위치의 평가 조정 지그(60) 및 운동학적 핀(5)(기준 핀)가 종합적인 평가 조정 지그(70)의 정면 가상 기준면(FD) 및 양측 가상 기준면 BD의 선(정면 가상 기준면 평가용 선, 양측 가상 기준면 평가용 선)이 중복된다. 한편, 운동학적 핀(5)(기준 핀)의 위치의 평가 조정 지그(60) 및 운동학적 핀(5)(기준 핀)가 종합적인 평가 조정 지그(70)의 정면 가상 기준면(FD) 및 양측 가상 기준면 BD의 선(정면 가상 기준면 평가용 선, 양측 가상 기준면 평가용 선)이 중복되지 않는 경우는, 핀의 형상 또는 배치의 적어도 어느 것에 문제가 있다고 판정한다.

또, 운동학적 핀(5)(기준 핀)의 위치의 평가 조정 지그(60)로서는, 미리 로드 포트(FIMS면) 상에 정면 가상 기준면(FD) 및 양측 가상 기준면 BD가 그려져 있는 경우, 핀 위치를 평가하는 뿐으로, 도8에 도시한 운동학적 핀(5)(기준 핀)가 종합적인 평가 조정 지그(70)와의 겹치기는 불필요하며, 로드 포트(FIMS면) 상에 그려진 선과 운동학적 핀(5)(기준 핀)이 종합적인 평가 조정 지그(70)의 정면 가상 기준면(FD) 및 양측 가상 기준면(BD)을 직접 겹쳐서 평가한다.

이상 설명한 바와 같이 실시 형태 4에 따르면, 이하에 게재한 효과를 발휘한다. 우선 제1 효과는, 지그의 표준화, 측정의 통일화, 운동학적 핀(5)(기준 핀)과의 접속부인 V홈(1)의 각도(θ)의 통일화를 도모할 수 있는 결과, 인터페이스 도어(12)의 개폐 신뢰성 및 호환성을 향상시켜 개폐 불량을 해소할 수 있는 것이다. 그리고 제2 효과는, 지그의 표준화, 측정의 통일화, 운동학적 핀(5)(기준 핀)과의 접속부인 V홈(1)의 각도(θ)의 통일화를 도모할 수 있는 결과, 웨이퍼 이동 탑재 신뢰성(기판 이동 탑재 신뢰성)을 향상시켜 개폐 불량을 해소할 수 있는 것이다.

또, 상기 각 실시 형태는, 반도체 장치에 이용되는 웨이퍼에 특히 한정되는 일없이, 포토 레티클(reticle: 회로 원판)용 기판, 액정 디스플레이 패널용 기판이나 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 등의 표시 패널 기판, 하드 디스크용 기판, 반도체 장치 등의 전자 디바이스용 기판 등의 각종의 기판을 수납, 운반 및 보관하는 기판 수납 지그, 이러한 기판 수납 지그에 관한 평가 조정 지그 및 지그 교정 방법에 적용 가능하다. 또, 본 발명이 상기 각 실시 형태에 한정되지 않고, 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서, 각 실시 형태는 적절하게 변경될 수 있는 것은 분명하다. 또한 상기 구성 부재의 수, 위치, 형상 등은 상기 실시 형태에 한정되지 않고, 본 발명을 실시하는 데에 있어서 적합한 수, 위치, 형상 등으로 할 수 있다. 또한, 각 도면에 있어서, 동일 구성 요소에는 동일 부호를 부하고 있다.

본 발명은 이상과 같이 구성되어 있기 때문에, 이하에 게재한 효과를 발휘한다. 우선 제1 효과는, 지그의 표준화, 측정의 통일화, 운동학적 핀(기준 핀)과의 접속부인 V홈의 각도의 통일화를 꾀할 수 있는 결과, 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성 및 호환성을 향상시켜 개폐 불량을 해소할 수 있는 것이다. 그리고 제2 효과는, 지그의 표준화, 측정의 통일화, 운동학적 핀(기준 핀)과의 접속부인 V홈의 각도의 통일화를 꾀할 수 있는 결과, 기판 이동 탑재 신뢰성을 향상시켜 개폐 불량을 해소할 수 있는 것이다.

Claims

개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 기판 수납 지그로서,

기준 핀과의 접속부에 V홈 구조를 갖고, 그 기준 핀의 중앙 부분이 그 V홈 구조의 홈 측면에 접하도록 그 홈 측면 사이의 각도가 항상 일정각으로 유지되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 수납 지그.
개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 기판 수납 지그로서, 기준 핀과의 접속부에 V홈 구조를 갖고, 그 기준 핀의 중앙 부분이 그 V홈 구조의 홈 측면에 접하도록 그 홈 측면 사이의 각도가 항상 96도내지 97도로 유지되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 수납 지그.
개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 기판 수납 지그로서, 기준 핀과의 접속부에 그 기준 핀을 협지 가능한 홈 구조를 갖고, 그 기준 핀의 중앙 부분이 그 홈 구조의 협지 측면에 접하도록 그 홈 측면 사이의 각도가 항상 일정각으로 유지되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 수납 지그.
개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 기판 수납 지그로서, 기준 핀과의 접속부에 그 기준 핀을 협지 가능한 홈 구조를 갖고, 그 기준 핀의 중앙 부분이 그 홈 구조의 협지 측면에 접하도록 그 홈 측면 사이의 각도가 항상 96도 내지 97도로 유지되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 수납 지그.
개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 기판 수납 지그로서,

운동학적 핀과의 접속부에 V홈 구조를 갖고, 그 운동학적 핀의 중앙 부분이 그 V홈 구조의 홈 측면에 접하도록 그 홈 측면 사이의 각도가 항상 일정각으로 유지되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 수납 지그.
개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 기판 수납 지그로서, 운동학적 핀과의 접속부에 V홈 구조를 갖고, 그 운동학적 핀의 중앙 부분이 그 V홈 구조의 홈 측면에 접하도록 그 홈 측면 사이의 각도가 항상 96도 내지 97도로 유지되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 수납 지그.
개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 기판 수납 지그로서, 운동학적 핀과의 접속부에 그 운동학적 핀을 협지 가능한 홈 구조를 갖고, 그 운동학적 핀의 중앙 부분이 그 홈 구조의 협지 측면에 접하도록 그 홈 측면 사이의 각도가 항상 일정각으로 유지되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 수납 지그.
개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 기판 수납 지그로서, 운동학적 핀과의 접속부에 그 운동학적 핀을 협지 가능한 홈 구조를 갖고, 그 운동학적 핀의 중앙 부분이 그 홈 구조의 홈 측면에 접하도록 그 홈 측면 사이의 각도가 항상 96도 내지 97도로 유지되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 수납 지그.
기판을 수납, 운반 및 보관하는 가로 도어 개폐 일체형 기판 수납 지그 개폐 장치에 대하여 개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 평가 조정 지그로서,

로드 포트에 배치된 레지스트레이션 핀 위치를 측정하는 길이 측정 수단과 정면 가상 기준면에서 상기 인터페이스 도어까지의 거리를 측정하는 길이 측정 게이지 수단과, 그 길이 측정 수단 및 그 길이 측정 게이지 수단을 이용하여 그 로드 포트를 소정 위치 내에 조정하는 수단과, 그 인터페이스 도어의 개폐에 따르는 수평 가상 기준면과 그 인터페이스 도어면과의 각도를 일정하게 하는 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 평가 조정 지그.
기판을 수납, 운반 및 보관하는 가로 도어 개폐 일체형 기판 수납 지그인 FOUP에 대하여 개폐 도어부인 FOUP 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 평가 조정 지그로서,

레지스트레이션 핀 위치를 측정하는 길이 측정 수단과, 정면 가상 기준면-상기 FOUP 인터페이스 도어 사이의 거리 및/또는 수직도를 측정하는 길이 측정 게이지 수단과, 그 길이 측정 수단 및 그 길이 측정 게이지 수단을 이용하여, 그 FOUP 인터페이스 도어의 도어면의 편차량을 측정하는 수단과, 그 FOUP 인터페이스 도어의 도어면과 수평 가상 기준면과의 직교도 및/또는 평행도를 측정하는 수단과, 그 FOUP 인터페이스 도어의 도어면과 정면 가상 기준면과의 직교도 및/또는 평행도를 측정하는 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 평가 조정 지그.
기판을 수납, 운반 및 보관하는 기판 수납 지그의 위치 결정 기준 핀의 형상 평가를 실행하여 개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 평가 조정 지그로서,

상기 기준 핀의 형상의 투영 형상에 따른 소정 형상의 홈부가 형성된 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 평가 조정 지그.
기판을 수납, 운반 및 보관하는 기판 수납 지그의 위치 결정 기준 핀의 형상 평가를 실행하여 개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 평가 조정 지그로서,

상기 기준 핀의 형상의 투영 형상에 따른 소정 형상의 홈부가 형성된 직방체구조를 갖는 것을 특징으로 하는 평가 조정 지그.
기판을 수납, 운반 및 보관하는 기판 수납 지그의 기준 핀의 위치 관계의 평가를 실행하여 개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 평가 조정 지그로서,

정면 가상 기준면 평가용 선과, 양측 가상 기준면 평가용 선과, 그 정면 가상 기준면 평가용 선 및 그 양측 가상 기준면 평가용 선을 참조하여 기준점에서의 핀 배치의 편차량을 측정하는 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 평가 조정 지그.
기판을 수납, 운반 및 보관하는 기판 수납 지그의 기준 핀의 위치 관계의 평가를 실행하여 개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 평가 조정 지그로서,

슬라이드 테이블면에 그려진 정면 가상 기준면 평가용 선 및 양측 가상 기준면 평가용 선과, 로드 포트면에 설치된 운동학적 핀과 그 정면 가상 기준면 평가용 선 및/또는 그 양측 가상 기준면 평가용 선과의 상대 위치를 계측하고 기준점에서의 핀 배치의 편차량을 측정하는 수단을 갖고, 그 정면 가상 기준면 평가용 선과 그 양측 가상 기준면 평가용 선이 중복되는 경우에 그 운동학적 핀의 배치 및 형상이 옳다고 판정하여, 그 정면 가상 기준면 평가용 선과 그 양측 가상 기준면 평가용 선이 중복되지 않는 경우에 그 운동학적 핀의 형상 또는 배치의 적어도 어느 것에 문제가 있다고 판정하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 평가 조정 지그.
기판을 수납, 운반 및 보관하는 가로 도어 개폐 일체형 기판 수납 지그 개폐 장치에 대하여 개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 지그 교정 방법으로서,

로드 포트에 배치된 레지스트레이션 핀 위치를 측정하는 길이 측정 공정과, 정면 가상 기준면에서 상기 인터페이스 도어까지의 거리를 측정하는 길이 측정 게이지 공정과, 그 길이 측정 공정 및 그 길이 측정 게이지 공정을 이용하여 그 레지스트레이션 핀 위치의 기준점에서의 편차량이 최소이 되도록 그 로드 포트를 소정 위치 내에 조정하는 공정과, 그 인터페이스 도어의 개폐에 따르는 수평 가상 기준면과 그 인터페이스 도어면과의 각도를 일정하게 하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 지그 교정 방법.
기판을 수납, 운반 및 보관하는 가로 도어 개폐 일체형 기판 수납 지그인 FOUP에 대하여 개폐 도어부인 FOUP 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 지그 교정 방법으로서,

레지스트레이션 핀 위치를 측정하는 길이 측정 공정과, 정면 가상 기준면-상기 FOUP 인터페이스 도어 사이의 거리 및/또는 수직도를 측정하는 길이 측정 게이지 공정과, 그 길이 측정 공정 및 그 길이 측정 게이지 공정을 이용하여, 그 FOUP 인터페이스 도어의 도어면의 편차량을 측정하는 공정과, 그 FOUP 인터페이스 도어의 도어면과 수평 가상 기준면과의 직교도 및/또는 평행도를 측정하는 공정과, 그 FOUP 인터페이스 도어의 도어면과 정면 가상 기준면과의 직교도 및/또는 평행도를 측정하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 지그 교정 방법.
기판을 수납, 운반 및 보관하는 기판 수납 지그의 위치 결정 기준 핀의 형상 평가를 실행하여 개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 지그 교정 방법으로서,

상기 기준 핀의 형상의 투영 형상에 따른 소정 형상의 홈부가 형성된 직방체 구조를 형성하는 공정과, 그 홈부를 로드 포트 상의 핀에 덮은 상태로 슬라이드시키면서 회전하는 공정과,

그 핀 곡면과 지그 곡면과의 차를 평가하고 그 핀의 곡면, 높이, 굵기 중 적어도 하나 이상을 포함하는 형상 마무리를 조사하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 지그 교정 방법.
기판을 수납, 운반 및 보관하는 기판 수납 지그의 기준 핀의 위치 관계의 평가를 실행하여 개폐 도어부인 인터페이스 도어의 개폐 신뢰성의 향상 및 호환성의 향상 및 기판 이동 탑재 신뢰성의 향상을 도모하는 지그 교정 방법으로서, 슬라이드 테이블면에 그려진 정면 가상 기준면 평가용 선 및/또는 양측 가상 기준면 평가용 선과 로드 포트면에 설치된 운동학적 핀과의 상대 위치를 계측하여 기준점에서의 핀 배치의 편차량을 측정하는 공정과, 그 정면 가상 기준면 평가용 선과 그 양측 가상 기준면 평가용 선이 중복되는 경우에 그 운동학적 핀의 배치 및 형상이 옳다고 판정하고, 그 정면 가상 기준면 평가용 선과 그 양측 가상 기준면 평가용 선이 중복되지 않는 경우에 그 운동학적 핀의 형상 또는 배치의 적어도 어느 것에 문제가 있다고 판정하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 지그 교정 방법.