KR100887023B1 - 스탠더드 메커니컬 인터페이스 시스템의 파드 락 핀 지그 - Google Patents

스탠더드 메커니컬 인터페이스 시스템의 파드 락 핀 지그 Download PDF

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Abstract

스탠더드 메커니컬 인터페이스 시스템의 파드 락 핀 지그는 웨이퍼를 수납하는 웨이퍼 캐리어, 상기 웨이퍼 캐리어가 배치되는 파드 플레이트, 상기 파드 플레이트와 결합 되는 파드 커버를 포함하는 파드의 상기 파드 플레이트에 배치되어 상기 파드를 체결하는 파드 락 핀 및 파드의 위치를 결정하는 파드 위치 결정 핀들을 포함하는 SMIF 시스템에 있어서, 지그 몸체, 상기 지그 몸체에 형성되며, 상기 각 파드 위치 결정 핀에 끼워지는 고정 홀, 상기 지그 몸체에 형성되며, 잠금 상태의 상기 파드 락 핀의 위치에서 상기 파드 락 핀과 결합 되는 파드 락 핀 홀 및 상기 지그 몸체에 형성되며, 락킹된 상기 파드 락 핀의 위치를 상기 파드 플레이트에 표시하기 위한 기준 위치 표시 홀을 포함한다.

Description

스탠더드 메커니컬 인터페이스 시스템의 파드 락 핀 지그{POD ROCK PIN ZIG FOR STANDARD MECHANICAL INTERFACE SYSTEM}
본 발명은 스탠더드 메커니컬 인터페이스 시스템의 파드 락 핀 지그에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 스탠더드 메커니컬 인터페이스 시스템의 파드 락 핀의 락킹 위치를 확인 및 조절하기에 적합한 스탠더드 메커니컬 인터페이스 시스템의 파드 락 핀 지그에 관한 것이다.
일반적으로, 스탠더드 메커니컬 인터페이스 시스템(Standard Mechanical Interface system, 이하 SMIF 시스템이라 칭함)은 좁은 공간의 청정실 등에서의 대기 컨트롤 및 프로세스 처리시에 인위적인 실수 등을 방지하고, 반도체 소자의 제조 공정을 수행하는 제조 장비의 주변 장치로서 웨이퍼 또는 웨이퍼가 저장된 웨이퍼 카세트를 제조 장비에 로딩 또는 언로딩하는데 이용된다.
상술한 SMIF 시스템에는 웨이퍼 카세트를 수납하기 위한 SMIF 파드를 포함하는 SMIF 파드는 SMIF 플레이트 상에 설치된다.
SMIF 플레이트는 SMIF 받침대와 연결되어 있으며, SMIF 받침대는 상부에 SMIF 가이드와 연결되고 SMIF 가이드에는 파드 락(Pod Lock)과 연결된다.
파드 락은 SMIF 파드의 파드 플레이트 및 파드 커버를 고정 및 분리하는데 사용된다. 파드 락은 회전에 의하여 파드 플레이트로부터 돌기가 돌출되도록 하여 파드 플레이트 및 파드 커버를 고정한다. 또한 파드 락의 반대로의 회전에 의하여 돌출된 돌기를 파드 플레이트로 들어가도록 하여 파드 플레이트 및 파드 커버를 분리한다.
파드 락이 완전히 잠김 상태가 되지 못할 경우 파드 플레이트가 예상치 못하게 파드 커버로부터 분리되어 파드 플레이트에 수납된 웨이퍼 카세트가 낙하되는 등의 문제점을 발생한다.
이와 같은 문제점에도 불구하고 파드 락이 완전 잠금 상태인지 아니면 파드 락이 불완전한 잠금 상태인지 작업자가 인식하기가 어려워 파드 락 불량에 따른 웨이퍼의 파손이 빈번하게 발생 되고 있다.
본 발명은 파드 락의 잠금 상태를 작업자가 정확하게 인식 및 파드 락의 정확한 위치를 표시할 수 있도록 하여 파드 락의 위치를 정확하게 조절할 수 있도록 한 스탠더드 메커니컬 인터페이스 시스템의 파드 락 핀 지그를 제공한다.
본 발명에 따르면 스탠더드 메커니컬 인터페이스 시스템의 파드 락 핀 지그는 웨이퍼를 수납하는 웨이퍼 캐리어, 상기 웨이퍼 캐리어가 배치되는 파드 플레이트, 상기 파드 플레이트와 결합 되는 파드 커버를 포함하는 파드의 상기 파드 플레이트에 배치되어 상기 파드를 체결하는 파드 락 핀 및 파드의 위치를 결정하는 파 드 위치 결정 핀들을 포함하는 SMIF 시스템에 있어서, 지그 몸체, 상기 지그 몸체에 형성되며, 상기 각 파드 위치 결정 핀에 끼워지는 고정 홀, 상기 지그 몸체에 형성되며, 잠금 상태의 상기 파드 락 핀의 위치에서 상기 파드 락 핀과 결합 되는 파드 락 핀 홀 및 상기 지그 몸체에 형성되며, 락킹 된 상기 파드 락 핀의 위치를 상기 파드 플레이트에 표시하기 위한 기준 위치 표시 홀을 포함한다.
본 발명은 SMIF 시스템에서 파드 플레이트를 커버에 결합하는 파드 락 핀의 위치를 정밀하게 인식 및 파드 락 핀의 위치를 정확하게 조절할 수 있도록 하여 파드 락 핀의 위치 불량에 따른 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 스탠더드 메커니컬 인터페이스 시스템의 파드 락 핀 지그에 대하여 상세하게 설명하지만, 본 발명이 하기의 실시예들에 제한되는 것은 아니며, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양한 다른 형태로 구현할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 파드 락 핀 지그를 적용하기에 적합한 스탠더드 메커니컬 인터페이스 시스템을 도시한 사시도이다.
도 1을 참조하면, SMIF 파드(10)는 SMIF 파드(10)의 하부에 마련된 파드 도어(11), 파드 도어(11)의 상부에 탑재되며 웨이퍼들이 각 슬롯(13)에 정렬되어 있는 웨이퍼 카세트(12)와 커버(14)를 포함한다.
또한, SMIF 파드(10)의 내부는 진공 상태를 유지해야 하므로 파드 도어(11)에는 SMIF 파드(10)의 내부에 공기의 주입을 방지하기 위한 고무재질로 이루어지는 밀봉재(미도시)가 마련되어 있다.
그리고, SMIF 포트(20)는 포트 도어(21), 파드 래치(22)와 L자 형상의 가이드 레일(26)을 구비한다.
포트 도어(21)는 파드 도어(11)상의 웨이퍼 카세트(12)를 상/하로 운반하는 역할을 하며, 파드 센서(23), 파드 위치 결정핀(24) 및 파드 락 핀(25)으로 이루어져 있다. 이때, 파드 센서(23)는 SMIF 파드(10)가 정위치에 배치되었는가를 체크하고, 파드 위치 결정핀(24)은 포트 도어(21)의 소정 위치에 배치되어 파드 도어(11)에 형성된 3개의 삽입 구멍에 각각 삽입되는 것에 의해 SMIF 파드(10)를 원하는 정위치에 배치시키도록 하고, 파드 락 핀(25)은 포트 도어(21)의 중앙부에 위치하여 파드 도어(11)를 커버(14)와 결합 및/또는 분리시키는 역할을 한다.
또한, 파드 플레이트(27)는 SMIF 포트(20)상에 SMIF 파드(10)가 위치할 때 SMIF 파드(10)의 하면을 수평으로 유지시키고, 가이드 레일(26)은 파드 플레이트(27)의 각 꼭지점을 중심으로 마련되어 SMIF 포트(20)상의 원하는 정위치에 SMIF 파드(10)를 안내하는 역할을 하며, 파드 래치(22)는 가이드 레일(26)의 코너부에 마련되어 SMIF 파드(10)를 SMIF 포트(20)상의 원하는 정위치에 기계적으로 고정된다.
다음, SMIF 포트(20)의 파드 센서(23)가 SMIF 파드(10)의 위치를 체크하여 SMIF 파드(10)가 정위치에 위치된 경우, 파드 락 핀(25)은 파드 도어(11)의 회전판(미도시)을 회전시켜 파드 도어(11)를 SMIF 파드(10)의 커버(14)로부터 분리시켜 SMIF 포트(20)의 포트 도어(21)가 이동할 때 SMIF 파드(10)의 파드 도어(11)도 함께 이동할 수 있게 한다.
이후, SMIF 아암(30)에 포함되며 포트 도어(21)와 연결되어 포트 도어(21)를 상, 하 방향으로 이송시키는 역할을 하는 Z축 아암(31)의 이송에 의해 SMIF 포트(20)의 포트 도어(21)와 SMIF 파드(10)의 파드 도어(11)가 동시에 아래로 이송되며, 파드 도어(11)상의 웨이퍼 카세트(12)는 도시되지 않은 웨이퍼 캐리어 이송 아암의 픽업 위치로 이송된다.
소정의 반도체 공정을 수행한 후 다른 공정을 수행하기 위하여 상기한 바와 같은 SMIF 시스템을 이용하여 웨이퍼를 다른 반도체 장비로 이송할 경우 웨이퍼 슬롯(13)을 인식하는 센서에 의하여 SMIF 파드(10)의 웨이퍼 카세트(12)의 각 슬롯(13)에 웨이퍼를 안착시키게 된다.
도 2는 도 1에 도시된 파드 락 핀의 잠금 상태를 인식 및 조절하기 위한 파드 락 핀 지그를 도시한 평면도이다.
도 2를 참조하면, 파드 락 핀 지그(40)는 지그 몸체(42), 고정 홀(48), 파드 락 핀 홀(44) 및 기준 위치 표시 홀(46)을 포함한다.
지그 몸체(42)는, 예를 들어, 플레이트 형상을 갖는다. 지그 몸체(42)는 도 1에 도시된 포트 도어(21) 상에 배치된다. 지그 몸체(42)를 포트 도어(21) 상에 쉽게 배치 및 분리하기 위하여 지그 몸체(42)는, 평면상에서 보았을 때, 사다리꼴 형상을 가질 수 있다.
고정 홀(48)은 지그 몸체(42)에 형성된다. 고정 홀(48)은 지그 몸체(42)를 관통한다. 이와 다르게, 고정 홀(48)은 지그 몸체(42)에 리세스 형상으로 형성될 수 있다.
고정 홀(48)은 지그 몸체(42)가 도 1에 도시된 포트 도어(21)의 지정된 위치에 고정되도록 한다. 예를 들어, 고정 홀(48)은 도 1에 도시된 포트 도어(21)에 3 개가 형성된 각 파드 위치 결정 핀(24)과 대응하는 위치에 형성된다.
파드 락 핀 홀(44)은 고정 홀(48)이 파드 위치 결정 핀(24)에 끼워진 상태에서 도 1에 도시된 파드 락 핀(25)이 완전 잠금 된 위치에 형성된다. 파드 락 핀 홀(44)은 파드 락 핀(25)이 꼭 맞게 끼워지기에 적합한 홀 사이즈를 갖는다. 파드 락 핀 홀(44)의 사이즈가 파드 락 핀(25) 보다 지나치게 클 경우 파드 락 핀(25)이 완전 잠금 상태인가를 정확하게 판단할 수 없다.
본 실시예에서, 파드 락 핀 홀(44)은 도 1에 도시된 파드 락 핀(25)의 개수와 대응하는 개수로 형성된다.
기준 위치 표시 홀(46)은 각 파드 락 핀 홀(44)의 바깥쪽, 즉 기준 위치 표시 홀(46)의 사이에 파드 락 핀 홀(44)이 배치되며, 기준 위치 표시 홀(46)은 파드 락 핀 홀(44)과 일직선상에 배치된다. 기준 위치 표시 홀(46)은 파드 락 핀(25)이 불완전한 잠금 상태일 경우, 필기구 등을 이용하여 포트 도어(21) 상에 파드 락 핀(25)이 배치될 위치를 표시할 수 있도록 한다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일실시예에 의한 파드 락 핀 지그의 동작을 설명하기 위한 평면도들이다.
도 3을 참조하면, 파드 락 핀(25)의 잠금 상태를 확인하기 위하여, 파드 락 핀 지그(40)의 고정 홀(48)을 포트 도어(21)의 파드 위치 결정 핀(24)에 끼워 넣는다.
도 3에 도시된 바와 같이 파드 락 핀(25)이 지정된 위치로부터 벗어난 곳에 배치된 경우, 파드 락 핀(25)은 파드 락 핀 홀(44)에 끼워지지 못하게 된다.
파드 락 핀(25)이 파드 락 핀 홀(44)에 끼워지지 못할 경우, 작업자는 필기구 등을 이용하여 기준 위치 표시 홀(46)을 통해 포트 도어(21)상에 파드 락 핀(25)이 배치될 위치를 표시한다.
이어서, 작업자는 파드 락 핀 지그(40)를 포트 도어(21)로부터 분리한 후, 기준 위치 표시 홀(46)을 통해 포트 도어(21) 상에 표시된 위치를 참조하여, 즉 파드 센서(23)를 기준으로 파드 센서(23)와 수직이 되도록 기준 위치 표시 홀(46)들을 정렬하고, 이 정렬된 기준 위치 표시 홀(46)들과 수직이 되도록 파드 락 핀(25)의 위치를 조절한다.
이후, 작업자는 다시 파드 락 핀 지그(40)의 고정홀(48)에 파드 위치 결정 핀(24)을 삽입한다. 이때, 파드 락 핀(25)의 위치는 정확하게 조절된 상태이기 때문에 파드 락 핀(25)은 파드 락 핀 홀(44)에 정확하게 끼워지게 된다.
이상에서 상세하게 설명한 바에 의하면, SMIF 시스템에서 파드 플레이트를 커버에 결합하는 파드 락 핀의 위치를 정밀하게 인식 및 파드 락 핀의 위치를 정확하게 조절할 수 있도록 하여 파드 락 핀의 위치 불량에 따른 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식 을 갖는 자라면 후술 될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 파드 락 핀 지그를 적용하기에 적합한 스탠더드 메커니컬 인터페이스 시스템을 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 파드 락 핀의 잠금 상태를 인식 및 조절하기 위한 파드 락 핀 지그를 도시한 평면도이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일실시예에 의한 파드 락 핀 지그의 동작을 설명하기 위한 평면도들이다.
<도면의 주요부에 대한 부호의 설명>
10 : SMIF 파드 11 : 파드 도어
12 : 웨이퍼 카세트 13 : 슬롯
14 : 커버 20 : SMIF 포트
21 : 포트 도어 22 : 파드 래치
23 : 파드 센서 24 : 파드 위치 결정 핀
25 : 파드 락 핀 26 : 가이드 레일
27 : 파드 플레이트 30 : SMIF 아암
31 : Z축 아암 40 : 파드 락 핀 지그
42 : 지그 몸체 44 : 파드 락 핀 홀
46 : 기준 위치 표시 홀 48 : 고정홀

Claims (2)

  1. 웨이퍼를 수납하는 웨이퍼 캐리어, 상기 웨이퍼 캐리어가 배치되는 파드 플레이트, 상기 파드 플레이트와 결합 되는 파드 커버를 포함하는 파드의 상기 파드 플레이트에 배치되어 상기 파드를 체결하는 파드 락 핀 및 파드의 위치를 결정하는 파드 위치 결정 핀들을 포함하는 SMIF 시스템에 있어서,
    지그 몸체;
    상기 지그 몸체에 형성되며, 상기 각 파드 위치 결정 핀에 끼워지는 고정 홀;
    상기 지그 몸체에 형성되며, 잠금 상태의 상기 파드 락 핀의 위치에서 상기 파드 락 핀과 결합 되는 파드 락 핀 홀; 및
    상기 지그 몸체에 형성되며, 락킹 된 상기 파드 락 핀의 위치를 상기 파드 플레이트에 표시하기 위한 기준 위치 표시 홀을 포함하는 스탠더드 메커니컬 인터페이스 시스템의 파드 락 핀 지그.
  2. 제1항에 있어서, 상기 파드 락 핀 홀은 상기 기준 위치 표시 홀사이에 상기 기준 위치 표시 홀과 일직선상에 배치되는 것을 특징으로 하는 파드 락 핀 지그.
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