KR20030013249A

KR20030013249A - 기판 수납 용기 측정 장치 및 기판 수납 용기 측정용 지그

Info

Publication number: KR20030013249A
Application number: KR1020020042813A
Authority: KR
Inventors: 세이따히사하루
Original assignee: 가부시끼가이샤 한도따이 센단 테크놀로지스
Priority date: 2001-08-06
Filing date: 2002-07-22
Publication date: 2003-02-14
Also published as: KR100930768B1; JP3697477B2; JP2003051526A; US20030046998A1; US6943899B2

Abstract

본 발명은 기판의 반송에 이용되는 FOUP의 외형치수를 측정하기 위한 기판 수납 용기 측정 장치에 관한 것으로, 높은 측정 정밀도의 실현 및 측정 작업의 간단화를 목적으로 한다. SEMI 규격으로 정해진 위치에 고정핀(12)을 구비한 키네마틱 평판(10)을 구비한다. 키네마틱 평판(10)과의 상대 위치 관계가 고정된 광학식 거리 측정 센서(14)를 설치한다. 키네마틱 평판(10) 위에 기판 수납 용기 측정용 지그(20)를 배치한다. 기판 수납 용기 측정용 지그(20)는 키네마틱 평판(10) 위에 탑재되는 기부판(22)과, 기부판(22)에 대하여 활주 가능한 활주판(24)을 포함한다. 기부판(22)은 고정핀(12)과 끼워맞춤됨으로써 기부판(22)과 키네마틱 평판(10)과의 상대 위치 관계를 일의적으로 결정하는 일 군의 홈을 구비한다.

Description

기판 수납 용기 측정 장치 및 기판 수납 용기 측정용 지그 {BOARD RECEIVING CONTAINER MEASUREMENT DEVICE AND JIG FOR MEASURING BOARD RECEIVING CONTAINER }

본 발명은 기판 수납 용기 측정 장치 및 기판 수납 용기 측정용 지그에 관한 것이고, 특히 반도체 장치나 액정 표시 장치의 제조 공장에 있어서 기판의 반송에 이용되는 기판 수납 용기의 외형 치수를 정밀도 좋게 측정하는데 유용한 기판 수납 용기 측정 장치 및 기판 수납 용기 측정용 지그에 관한 것이다.

반도체 장치나 액정 표시 장치의 제조 공장에 있어서, 기판은 일반적으로 기판 수납 용기에 수납된 상태로 반송된다. 이러한 용도로 이용되는 용기로서는 300 mm 이후에서는 FOUP(Front Opening Unified Pod)의 사용이 고려되고 있다. FOUP는전면에 개폐 가능한 도어를 구비하고 있으며, 그 내부에 복수의 기판을 수납하고, 밀봉하여, 고속 자동 반송할 수 있다.

기판은 FOUP에 수납됨으로써, 청정도가 낮은 분위기에 노출되어지는 일없이 기판 처리 장치까지 반송된다. 그리고, 개개의 프로세스 장치에서는 FOUP의 내부 공간이 기판 처리 장치의 내부 공간에만 통하도록 FOUP의 도어가 오프너(로드 포트)로 개폐된다. 기판 처리 장치의 외피 내부는 높은 청정도로 유지된다. 이 때문에, FOUP를 사용하는 상기의 반송 수법에 따르면, 소형 환경에 의해 기판을 청정도가 낮은 분위기에 노출시키는 일 없이 복수의 공정을 순차로 진행할 수 있다.

그런데, 저클래스 환경으로부터 기반을 높은 청정도로 유지하여, 또한, 개폐나 자동 반송에 문제가 없이 FOUP의 관리를 적절히 행하기 위해서는 그 외형의 치수를 정밀도 좋게 측정할 필요가 생긴다. FOUP와 같이 3차원의 형상을 갖는 대상물의 외형을 측정하는 방법으로는 예를 들면 측정용 프로브를 로보트 등으로 움직여 기계적으로 치수 측정을 행하는 접촉식 측정 방법이 알려져 있다.

그러나, 상술한 접촉식 측정 방법으로 높은 측정 정밀도를 얻기 위해서는 여러 가지의 곤란함이 수반된다. 이 때문에, FOUP의 관리에 필요한 측정 정밀도가 높아지는 것에 수반하여 기계적인 접촉식 프로브의 측정 방법을 사용하여 FOUP의 관리를 행하는 것이 어렵게 되고 있다.

3차원 형상을 갖는 대상물을 높은 정밀도로 측정하기 위해서는 광학적인 거리 측정 센서를 사용한 비접촉 측정 방법을 이용하는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 거리 측정 센서를 사용하는 측정 방법에 있어서는 거리 측정 센서의 초점심도와, 치수 측정 정밀도가 트레이드 오프 관계로 된다. 이 때문에, 거리 측정 센서를 사용하는 방법을 FOUP의 치수 측정에 응용하는 경우 측정 가능한 영역이 극히 좁은 범위로 되어 측정 대상물을 그 범위 내에 두는 것이 매우 어렵게 된다고 하는 문제가 생긴다.

본 발명은 상기와 같은 과제를 해결하기 위한 것으로, 광학적인 거리 측정 센서를 사용하는 것으로 기판 수납 용기의 외형 치수를 매우 정밀도 좋게 측정할 수 있고, 또한, 거리 측정 센서의 얕은 초점심도 안에 측정 대상물을 두는 작업을 용이하게 하는 것이 가능한 기판 수납 용기 측정 장치를 제공하는 것을 제1 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 범용적인 측정 장치를 사용하여 상기의 기판 수납 용기 측정 장치를 실현하기 위한 기판 수납 용기 측정용 지그를 제공하는 것을 제2 목적으로 한다.

도1은 본 발명의 실시 형태 1의 기판 수납 용기 측정 장치의 주요부의 구조를 설명하기 위한 도면.

도2는 실시 형태 1에 사용된 기부판을 도1에 표시된 Ⅱ-Ⅱ 방향에서 본 도면.

도3은 실시 형태 1에 사용되는 FOUP의 사시도.

도4는 도3에 도시된 FOUP에 기판을 수납한 상태를 도시한 단면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 키네마틱 평판

12, 42 : 고정핀

14 : 거리 측정 센서

20 : 기판 수납 용기 측정용 지그

22 : 기부판

24 : 활주판

26, 44 : 홈

27 : 범위 표시 부재

28 : 창

30 : FOUP

31 : 멈춤부

32 : 쉘

34 : 도어

36 : 클램프

38 : 기판

40 : 로드 포트

46 : 개폐 기구

청구항 1에 기재된 발명은, 기판을 수납하는 기판 수납 용기 측정 장치로서, 소정의 위치에 고정핀을 구비한 키네마틱 평판과, 상기 키네마틱 평판과의 상대 위치 관계를 고정할 수 있고, 소정의 측정 방향으로 존재하는 목적물까지의 거리를 측정하는 것이 가능한 광학식 거리 측정 센서와, 상기 키네마틱 평판 위에 탑재되는 기판 수납 용기 측정용 지그를 구비하고, 상기 기판 수납 용기 측정용 지그는 상기 키네마틱 평판 위에 탑재된 기부판과, 상기 기판 수납 용기를 탑재한 상태에서 상기 기부판에 대하여 활주 가능한 활주판을 포함하고, 상기 기부판은 상기 고정핀과 끼워맞춤됨으로써, 상기 기부판과 상기 키네마틱 평판과의 상대 위치 관계를 일의적으로 결정하는 일 군의 홈을 구비하는 것을 특징으로 한다.

청구항 2에 기재된 발명은 청구항 1에 기재된 기판 수납 용기 측정 장치에 있어서, 상기 기판 수납 용기 측정용 지그는 상기 활주판의 제1 방향으로의 활주를 가능하게 하는 제1 활주 기구를 구비하고, 상기 제1 방향은 상기 기판 수납 용기 측정용 지그가 상기 키네마틱 평판 상에 탑재된 경우에 상기 광학식 거리 측정 센서의 측정 방향과 일치하는 방향인 것을 특징으로 한다.

청구항 3에 기재된 발명은 청구항 2에 기재된 기판 수납 용기 측정 장치에 있어서, 상기 기판 수납 용기 측정용 지그가 상기 활주판의 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로의 활주를 가능하게 하는 제2 활주 기구를 구비하는 것을 특징으로 한다.

청구항 4에 기재된 발명은 청구항 2 또는 3에 기재된 기판 수납 용기 측정 장치에 있어서, 상기 기판 수납 용기 측정용 지그가 상기 활주판의 회전 방향으로의 활주를 가능하게 하는 제3 활주 기구를 구비하는 것을 특징으로 한다.

청구항 5에 기재된 발명은 청구항 1 내지 4 중 어느 한 항에 기재된 기판 수납 용기 측정 장치에 있어서, 상기 활주판이 상기 기판 수납 용기의 상기 제1 방향에 있어서의 위치를 결정하는 멈춤부 및 클램프 기구를 구비하는 것을 특징으로 한다.

청구항 6에 기재된 발명은 청구항 1 내지 5 중 어느 한 항에 기재된 기판 수납 용기 측정 장치에 있어서, 상기 활주판이 상기 키네마틱 평판 위에 탑재되는 경우 상기 광학식 거리 측정 센서의 측정 가능 범위 내에 있는 영역을 표시하는 범위 표시 부재를 구비하는 것을 특징으로 한다.

청구항 7에 기재된 발명은 청구항 1 내지 6 중 어느 한 항에 기재된 기판 수납 용기 측정 장치에 있어서, 상기 범위 표시 부재가 상기 측정 가능 범위와 동일한 두께를 갖고, 상기 기부판에 고정된 창틀 부재인 것을 특징으로 한다.

청구항 8에 기재된 발명은 기판을 수납하는 기판 수납 용기의 치수 측정에 사용되는 기판 수납 용기 측정용 지그로서, 배면에 일 군의 홈을 갖는 기부판과, 상기 기판 수납 용기를 탑재한 상태에서 상기 기부판에 대하여 활주 가능한 활주판을 포함하고, 상기 일 군의 홈은 키네마틱 평판이 구비한 고정핀과 끼워맞춤됨으로써 상기 기부판과 상기 키네마틱 평판과의 상대 위치 관계를 고정하는 것이 가능하게 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 9에 기재된 발명은 청구항 8에 기재된 기판 수납 용기 측정용 지그에 있어서, 상기 활주판의 제1 방향으로의 활주를 가능하게 하는 제1 활주 기구를 구비하는 것을 특징으로 한다.

청구항 10에 기재된 발명은 청구항 9에 기재된 기판 수납 용기 측정용 지그에 있어서, 상기 활주판의 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로의 활주를 가능하게 하는 제2 활주 기구를 구비하는 것을 특징으로 한다.

청구항 11에 기재된 발명은 청구항 9 또는 10에 기재된 기판 수납 용기 측정용 지그에 있어서, 상기 활주판의 회전 방향으로의 활주를 가능하게 하는 제3 활주기구를 구비하는 것을 특징으로 한다.

청구항 12에 기재된 발명은 청구항 8 내지 11 중 어느 한 항에 기재된 기판 수납 용기 측정용 지그에 있어서, 상기 활주판이 상기 기판 수납 용기의 상기 제1 방향에 있어서 위치를 결정하는 멈춤부 및 클램프 기구를 구비하는 것을 특징으로 한다.

청구항 13에 기재된 발명은 청구항 8 내지 12 중 어느 한 항에 기재된 기판 수납 용기 측정용 지그에 있어서, 상기 기부판이 상기 활주판 위의 공간 내에 상기 제1 방향으로 소정 폭을 갖는 소정의 범위를 표시하는 범위 표시 부재를 구비하는 것을 특징으로 한다.

청구항 14에 기재된 발명은 청구항 8 내지 13 중 어느 한 항에 기재된 기판 수납 용기 측정용 지그에 있어서, 상기 범위 표시 부재는 상기 소정의 범위와 동일한 두께를 갖고, 상기 기부판에 고정된 창틀 부재인 것을 특징으로 한다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시 형태에 관하여 설명한다. 또한, 각 도면에 있어서 공통인 요소에는 동일한 부호를 부여하여 중복된 설명을 생략한다.

(실시 형태 1)

도1은 본 발명의 실시 형태 1의 기판 수납 용기 측정 장치의 주요부의 구조를 설명하기 위한 도면이다.

도1에 도시된 바와 같이, 본 실시 형태의 기판 수납 용기 측정 장치는 키네마틱 평판(10)을 구비한다. 키네마틱 평판(10)은 기판 수납 용기 측정 장치의 본체에 고정된 부재이며, 키네마틱 평판에 관한 SEMI(Semiconductor EquipmentMaterial International) 규격(예를 들면, E-57, E-62)에 따라 설치된 고정핀(12)을 구비한다. 고정핀(12)은 후술하는 바와 같이, 키네마틱 평판(10)의 표면 위에 소정의 3각형의 각 정점에 위치하도록 3개 설치된다.

기판 수납 용기 측정 장치는 또한, 광학식의 거리 측정 센서(14)를 구비한다. 거리 측정 센서(14)는 발광부(16)와 수광부(18)를 갖추고 있고, 소정의 측정 방향(도1에 있어서 우측을 향한 수평 방향)에 존재하는 목적물까지의 거리를 측정하는 것이 가능하다. 즉, 거리 측정 센서(14)는 거리 측정 센서(14)로부터 상기 측정 방향으로 향하여 소정 길이 떨어진 영역에 측정 가능 범위를 가지고 있고, 대상물이 그 측정 범위 내에 위치하는 경우, 그 대상물까지의 거리를 측정하는 것이 가능하다. 본 실시 형태에 있어서, 거리 측정 센서(14)는 도시된 지지부에 의해, 키네마틱 평판(10)과의 상대 위치 관계가 고정되도록 유지되어 있다.

키네마틱 평판(10) 상에는 기판 수납 용기 측정용 지그(20)가 탑재되어 있다. 기판 수납 용기 측정용 지그(20)는 기부판(22)과 활주판(24)을 구비한다. 기부판(22)은 FOUP에 관하여 SEMI 규격(예를 들면, E47.1 Pods Std.)에 따라 설치된 일 군의 홈(26), 보다 구체적으로는 3 개의 홈(26)으로 이루어지는 V 그룹을 구비하고 있다.

도2는 기부판(22)을 도1에 도시된 Ⅱ-Ⅱ 화살표로 나타낸 도면을 도시한다. 기부판(22)이 구비하는 3 개의 홈(26)은 각각 V 홈이며, 도2에 도시된 바와 같은 배치로서 기부판(22)의 배면에 설치된다. 이들 홈(26)은 키네마틱 평판(10) 상의 고정핀(12)과 끼워맞춤되도록, 또한, 이들이 끼워맞춤되는 것으로 기부판(22)과 키네마틱 평판(10)의 상대 위치 관계가 일의적으로 결정되도록 설치된다.

기부판(22)에는, 또한, 범위 표시 부재(27)가 부착되어 있다. 범위 표시 부재(27)는 거리 측정 센서(14)의 측정 가능 범위를 표시하기 위한 부재이며, 본 실시 형태에서는 범위 표시 부재(27)와 기부판(22)이 도1에 도시된 바와 같이 L자 형상이 되도록 설치되어 있다. 도1에 도시된 범위 표시 부재(27)는 구체적으로는 기판 수납 용기 측정용 지그(20)가 키네마틱 평판(10) 상에 탑재될 때 거리 측정 센서(14)와 대향하는 면에 소정 크기의 창(28)을 갖는 창틀 부재로 구성되어 있다.

기판 수납 용기 측정용 지그(20)가 키네마틱 평판(10)에 탑재되면, 기부판(22)과 키네마틱 평판(10)의 상대적 위치는 상술한대로 일의적으로 결정된다. 또한, 본 실시 형태에서는 키네마틱 평판(10)과 거리 측정 센서(14)의 상대적 위치도 일의적으로 결정된다. 따라서, 기판 수납 용기 측정용 지그(20)가 키네마틱 평판(10)에 탑재된 상황에서는 거리 측정 센서(14)의 측정 가능 범위와 범위 표시 부재(27, 창틀 부재)와의 상대 위치가 고정화된다.

본 실시 형태에 있어서, 범위 표시 부재(27)는 상술된 상황에서, 그 판 두께가 거리 측정 센서(14)의 측정 가능 범위와 일치하도록 형성되어 있다. 즉, 범위 표시 부재(27)는 창(28)의 가운데 영역(창틀에 둘러싸인 영역)이 거리 측정 센서(14)의 측정 가능 범위가 되도록 형성되어 있다.

활주판(24)은 기부판(22) 상에 활주 가능하게 탑재되어 있다. 보다 구체적으로는, 활주판(24)은 도1에 있어서 좌우 방향(제1 방향)으로의 활주가 가능한 제1 활주 기구(도시 생략)에 의해 활주판 위에 유지되어 있다. 그 때문에, 활주판(24)의 거리 측정 센서(14)에 대한 상대 위치는 거리 측정 센서(14)의 측정 방향(도1에 있어서 좌우 방향)에 한정된 소정 범위 내에서 임의로 조정하는 것이 가능하다.

또한, 본 실시 형태에서는, 활주판(24)의 활주 방향을 상술된 제1 방향만으로 한정하고 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 즉, 활주판(24)의 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로의 활주 가능한 제2 활주 기구나, 활주판(24)의 회전 방향으로 활주를 가능하게 하는 제3 활주 기구를 상술된 제1 활주 기구와 함께 기판 수납 용기 측정용 지그(20)에 조립해도 좋다.

활주판(24) 상에는 기판을 수납하기 위한 FOUP(30)이 탑재되어 있다. 활주판(24)은 거리 측정 센서(14) 측의 단부에 멈춤부(31)를 구비한다. 멈춤부(31)는 멈춤부(31)를 포함하는 활주판(24)의 형상이 도1에 도시된 바와 같이 측면에서 볼 때 L자 형상이 되도록 설치되어 있다. FOUP(30)은 그 모서리부가 멈춤부(31)에 맞닿도록 활주판(24) 상에 탑재된다. 활주판(24)은 또한 그 상태로 FOUP(30)의 위치를 고정하는 클램프 기구(도시 생략)를 구비한다. 활주판(24) 상의 FOUP(30)의 위치는 상술된 멈춤부(30)와 클램프 기구에 의해 고정된다.

이하, 도3 및 도4를 참조하여, FOUP(30)의 구조를 간단하게 설명한다.

도3은 FOUP(30)의 사시도를 도시한다. 또한, 도4는 기판을 수납한 FOUP(30)의 단면도이다.

도3에 도시된 바와 같이, FOUP(30)은 쉘(32)과, 쉘(32)의 전면을 막는 개폐 가능한 도어(34)를 구비한다. 쉘(32)의 상부에는, FOUP(30)의 자동 반송 등의 경우에 손잡이로 이용되는 클램프(36)가 설치된다.

도4에 도시된 바와 같이, FOUP(30)의 내부에는 다수의 기판(38)이 소정 간격을 두고 수납된다. FOUP(30)은 이와 같이 다수의 기판(38)을 수납한 상태로 반도체 제조 공장의 내부에 있어서 반송된다. 기판 처리 장치의 전면에는 FOUP(30)을 취급하기 위한 로드 포트(40)가 설치되어 있다.

로드 포트(40)는 SEMI 규격(예를 들면, E-57 Kinematic coupling Std.)에 정해진 사양을 만족하는 고정핀(42)을 구비한다. 한편, FOUP(30)의 저면에는 SEMI 규격(예를 들면, E47.1 Pods Std.)에 정해진 사양을 만족하는 홈(44, V 그룹)이 설치되어 있다. FOUP(30)은 이들 홈(44)이 상기 고정핀(42) 각각과 끼워맞춤되도록 로드 포트(40)의 위에 놓인다. 그 결과, 로드 포트(40) 상에서의 FOUP(30)의 위치는 항상 일정한 적정 위치로 결정된다.

로드 포트(40)는 FOUP(30)의 도어(34)를 개폐시키는 개폐 기구(46)를 구비한다. 도4에 도시된 바와 같이, FOUP(30)의 도어(34)는 쉘(32)이 제조 장치의 외벽(48)과 밀착된 상태에서 개폐 기구(46)에 의해 개폐된다. 이 때문에, FOUP(30)의 내부에 수납된 기판(38)은 제조 장치 외부의 분위기(예를 들면 클래스 1 ∼ 100000)에 노출되어지는 일이 없이 제조 장치의 내부(예를 들면 클래스 1)에 반입되고, 또한 그 내부로부터 반출된다.

반도체 제조 공장에 있어서 FOUP(30)를 이용하기 위해서는, FOUP(30)의 외형 치수를 미크론 ㎛ 정도로 관리할 필요가 있다. 그리고 그 치수는 쉘(32), 도어(34) 및 플랜지(36) 등, FOUP(30)의 각부에서 측정할 필요가 있다.

상술된 요구 정밀도로 FOUP(30)의 치수를 측정하기 위해서는 광학적인 비접촉식 측정 방법을 사용하는 것이 효과적이다. 따라서, 본 실시 형태의 기판 수납 용기 측정 장치는 높은 측정 정밀도를 확보할 수 있는 거리 측정 센서(14)를 사용하고, 또한, 상기의 요구 정밀도를 만족하는 정도로 그 초점심도를 얕게 설정하고 있다.

본 실시 형태의 측정 장치에 있어서, 키네마틱 평판(10) 위에는 로드 포트(40) 상의 고정핀(42)과 같은 SEMI 규격에 따라 고정핀(12)이 설치되어 있다. 따라서, 키네마틱 평판(10) 위에는 기판 수납 용기 측정용 지그(20)를 사용하는 일없이 V 그룹(42)의 각 홈이 고정핀(12)에 끼워맞춤되도록 FOUP(30)을 직접 탑재하는 것이 가능하다.

키네마틱 평판(10) 및 거리 측정 센서(14)는 FOUP(30)이 상기한 바와 같이 키네마틱 평판(10) 위에 직접 탑재된 경우에 FOUP(30)의 도어(34)의 면이 거리 측정 센서(14)의 측정 가능 범위 내에 수납되도록 구성되어 있다. 이 때문에, 본 실시 형태의 기판 수납 용기 측정 장치에 의하면, 거리 측정 센서(14)의 초점심도가 극히 얕아도 관계없이 FOUP(30)의 도어면의 주변을 용이하고 정밀도 좋게 측정할 수 있다.

그러나, 키네마틱 평판(10) 상에 FOUP(30)가 직접 탑재된 상태에서는, 도어면의 주변을 제외하고, FOUP(30)의 치수를 정밀도 좋게 측정할 수 없다. 그래서 본 실시 형태에서는 도어면의 주변을 제외한 나머지 부분의 측정을 용이하게 하기 위해 기판 수납 용기 측정용 지그(20)를 구비하고 있으나, 기판 수납 용기 측정용 지그(20)를 사용하는 경우는, 그 위에 FOUP(30)를 도1에 도시한 것과 같은 자세로얹음으로써, 플랜지(36)를 거리 측정 센서(14)에 대향시킬 수 있다. 그리고, 그 상태에서, 플랜지(36)가 범위 표시 부재(27)의 창(28) 가운데(창틀에 둘러싸인 영역)에 수납되도록 활주부(24)를 활주시키면 플랜지(36)를 거리 측정 센서(14)의 측정 가능 범위 내에 들게 할 수 있다.

마찬가지로, 본 실시 형태의 측정 장치에 의하면, 기판 수납 용기 측정용 지그(20) 위에 원하는 자세로 FOUP(30)을 탑재한 후, 측정 대상이 되는 부분이 창(28)의 가운데(창틀에 둘러싸인 영역)에 수납되도록 활주부(24)를 활주시킴으로써, 그 측정 대상인 부분을 용이하고 확실하게 거리 측정 센서(14)의 측정 가능 범위 내에 놓이게 할 수 있다. 이 때문에, 본 실시 형태의 기판 수납 용기 측정 장치 및 기판 수납 용기 측정용 지그(20)에 의하면, 거리 측정 센서(14)의 초점심도를 얕게 하여 높은 측정 정밀도를 확보하고, FOUP(30)의 모든 부분의 측정을 용이하게 할 수 있다.

그런데, 상술한 실시 형태에서는, 거리 측정 센서(14)의 측정 가능 범위를 창틀 형상의 범위 표시 부재(27)로 도시한 것으로 하고 있지만, 측정 가능 범위를 표시하는 부재는 창틀 형상의 부재에 한정되지 않는다. 즉, 범위 표시 부재(27)는 거리 측정 센서(14)의 측정 가능 범위를 나타내는 것이라면 어떠한 형상이라도 좋다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 기판 수납 용기 측정용 지그를 사용하여 기판 수납 용기의 임의의 부분을 용이하고 확실하게 거리 측정 센서의 측정 가능 범위 내에 놓이도록 할 수 있다. 이 때문에, 본 발명에 의하면, 기판 수납 용기의 모든 부분을 간단한 작업으로 정밀도 좋게 측정할 수 있다.

Claims

기판을 수납하는 기판 수납 용기 측정 장치로서,

소정의 위치에 고정핀을 구비한 키네마틱 평판과,

상기 키네마틱 평판과의 상대 위치 관계를 고정할 수 있고, 소정의 측정 방향으로 존재하는 목적물까지의 거리를 측정하는 것이 가능한 광학식 거리 측정 센서와,

상기 키네마틱 평판 위에 탑재되는 기판 수납 용기 측정용 지그를 구비하고,

상기 기판 수납 용기 측정용 지그는,

상기 키네마틱 평판 위에 탑재되는 기부판과,

상기 기판 수납 용기를 탑재한 상태에서 상기 기부판에 대하여 활주 가능한 활주판을 포함하고,

상기 기부판은 상기 고정핀과 끼워맞춤됨으로써, 상기 기부판과 상기 키네마틱 평판과의 상대 위치 관계를 일의적으로 결정하는 일 군의 홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기 측정 장치.
제1항에 있어서, 상기 기판 수납 용기 측정용 지그는 상기 활주판의 제1 방향으로의 활주를 가능하게 하는 제1 활주 기구를 구비하고,

상기 제1 방향은 상기 기판 수납 용기 측정용 지그가 상기 키네마틱 평판 상에 탑재된 경우에 상기 광학식 거리 측정 센서의 측정 방향과 일치하는 방향인 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기 측정 장치.
제2항에 있어서, 상기 기판 수납 용기 측정용 지그는 상기 활주판의 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로의 활주를 가능하게 하는 제2 활주 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기 측정 장치.
제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 기판 수납 용기 측정용 지그는 상기 활주판의 회전 방향으로의 활주를 가능하게 하는 제3 활주 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기 측정 장치.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 활주판은 상기 기판 수납 용기의 상기 제1 방향에 있어서 위치를 결정하는 멈춤부 및 클램프 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기 측정 장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 활주판은 상기 키네마틱 평판 위에 탑재되었을 경우 상기 광학식 거리 측정 센서의 측정 가능 범위 내로 되는 영역을 표시하는 범위 표시 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기 측정 장치.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 범위 표시 부재는 상기 측정 가능 범위와 동일한 두께를 갖고, 상기 기부판에 고정된 창틀 부재인 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기 측정 장치.
기판을 수납하는 기판 수납 용기의 치수 측정에 사용되는 기판 수납 용기 측정용 지그로서,

배면에 일 군의 홈을 갖는 기부판과,

상기 기판 수납 용기를 탑재한 상태에서 상기 기부판에 대하여 활주 가능한 활주판을 포함하고,

상기 일 군의 홈은 키네마틱 평판이 구비한 고정핀과 끼워맞춤됨으로써 상기 기부판과 상기 키네마틱 평판과의 상대 위치 관계를 고정하는 것이 가능하게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기 측정용 지그.
제8항에 있어서, 상기 활주판의 제1 방향으로의 활주를 가능하게 하는 제1 활주 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기 측정용 지그.
제9항에 있어서, 상기 활주판의 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로의 활주를 가능하게 하는 제2 활주 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기 측정용 지그.
제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 활주판의 회전 방향으로의 활주를 가능하게 하는 제3 활주 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기 측정용 지그.
제8항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 활주판은 상기 기판 수납 용기의 상기 제1 방향에 있어서 위치를 결정하는 멈춤부 및 클램프 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기 측정용 지그.
제8항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기부판은 상기 활주판 위의 공간 내에 상기 제1 방향으로 소정 폭을 갖는 소정의 범위를 표시하는 범위 표시 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기 측정용 지그.
제8항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 범위 표시 부재는 상기 소정의 범위와 동일한 두께를 갖고, 상기 기부판에 고정된 창틀 부재인 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기 측정용 지그.