JP2022169804A

JP2022169804A - 塗布装置

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Publication number: JP2022169804A
Application number: JP2022140490A
Authority: JP
Inventors: 辰巳菱川; Tatsumi Hishikawa
Original assignee: STAR TECHNO CO Ltd
Current assignee: STAR TECHNO CO Ltd
Priority date: 2020-11-19
Filing date: 2022-09-05
Publication date: 2022-11-09
Anticipated expiration: 2040-11-19
Also published as: JP7274795B2

Abstract

【課題】基材の状態に拘わらず、テーブル上に載置された基材に流体または紛体を均一に塗布することができる塗布装置を提供する。【解決手段】塗布装置１は、テーブル３と、テーブル３上に載置された基材Ｐの表面に接着剤Ｃを塗布するヘッド部５と、テーブル３とヘッド部５との間隔を調整する昇降機構８０と、を備えたものと対象として、特に、昇降機構８０は、ヘッド部５が基材Ｐを押圧するように、テーブル３とヘッド部５との間隔を調整可能であって、ヘッド部５は、ヘッド部５が基材Ｐを押圧するときに生ずる、ヘッド部５と基材Ｐとの隙間に接着剤Ｃを塗布可能であるので、テーブル３上に載置された基材Ｐに接着剤Ｃを均一に塗布することができる。【選択図】図１４

Description

本発明は、基材の表面に接着剤等の材料を塗布する塗布装置に関する。

従来から、基材の表面に接着剤等の材料を塗布する塗布装置が知られている。

例えば、特許文献１には、平板状のステージ２と、そのステージ２に載置された塗布対象物Ｋの表面にペーストを塗布する塗布ヘッド５と、を備えたペースト塗布装置１が記載されていると認められる（図１等参照）。

特開２００９－０３９６６１号公報

しかしながら、特許文献１に記載のペースト塗布装置１は、塗布ヘッド５のノズル５ａと塗布対象物Ｋの表面との間に所定のギャップが生じている状態で、塗布ヘッド５が塗布対象物Ｋの表面にペーストを塗布するものであるため、塗布対象物Ｋの表面状態によっては、ペーストを均一に塗布することができないという問題があった。

特許文献１に記載のペースト塗布装置１は、塗布ヘッド５のノズル５ａと塗布対象物Ｋ（以下、「基材」と記す）の表面との間のギャップの変動に対応するために、回転するスクリューのネジ部による機械的な押し出しにより一定量のペーストをノズル５ａから吐出するようにしているが、ノズル５ａからの吐出量を一定にすることが、一義的にペーストの塗布状態を良好にするものではない。

本発明は、従来技術が有する上述した問題に対応してなされたものであり、基材の状態に拘わらず、テーブル上に載置された基材に流体または紛体を均一に塗布することができる塗布装置を提供することを目的とする。

上述した課題を解決するために、本発明の第１の態様は、テーブルと、前記テーブル上に載置された基材の表面に流体または紛体を塗布するヘッドと、前記テーブルと前記ヘッドとの間隔を調整する間隔調整部と、を備えた塗布装置において、前記間隔調整部は、前記ヘッドが前記基材を押圧するように、前記テーブルと前記ヘッドとの間隔を調整可能であって、前記ヘッドは、前記ヘッドが前記基材を押圧するときに生ずる、前記ヘッドと前記基材との隙間に前記流体または前記紛体を塗布可能であることを特徴とする。

また、本発明の第２の態様は、第１の態様の塗布装置において、前記ヘッドは、流体または紛体を吐出するノズルと、そのノズルに対して前記ヘッドの移動する方向側を形成するヘッド前部と、前記ノズルに対して前記ヘッドの移動する方向とは反対側を形成するヘッド後部と、を備え、前記ヘッド後部は、前記ヘッド前部よりも前記テーブルに対して離間しており、前記間隔調整部は、少なくとも前記ヘッド前部が前記基材を押圧するように、前記テーブルと前記ヘッドとの間隔を調整可能であって、前記ヘッドは、前記ヘッド前部が前記基材を押圧するときに生ずる、前記ヘッドと前記基材との隙間に前記流体または前記紛体を塗布可能であることを特徴とする。

さらに、本発明の第３の態様は、テーブルと、前記テーブル上に載置された基材の表面に流体または紛体を塗布するヘッドと、前記テーブルと前記ヘッドとの間隔を調整する間隔調整部と、
を備えた塗布装置において、前記ヘッドは、流体または紛体を吐出するノズルと、そのノズルに対して前記ヘッドの移動する方向側を形成するヘッド前部と、前記ノズルに対して前記ヘッドの移動する方向とは反対側を形成するヘッド後部と、を備え、前記ヘッド後部は、前記ヘッド前部よりも前記テーブルに対して離間しており、前記間隔調整部は、少なくとも前記ヘッド前部が前記基材に当接するように、前記テーブルと前記ヘッドとの間隔を調整可能であって、前記ヘッドは、前記ヘッド前部が前記基材に当接された状態で、前記基材に前記流体または前記紛体を塗布可能であることを特徴とする。

本発明の第１の態様によれば、テーブルと、テーブル上に載置された基材の表面に流体または紛体を塗布するヘッドと、テーブルとヘッドとの間隔を調整する間隔調整部と、を備えた塗布装置において、間隔調整部は、ヘッドが基材を押圧するように、テーブルとヘッドとの間隔を調整可能であって、ヘッドは、ヘッドが基材を押圧するときに生ずる、ヘッドと基材との隙間に流体または紛体を塗布可能であるので、テーブル上に載置された基材に流体または紛体を均一に塗布することができる。

また、本発明の第２の態様によれば、第１の態様の塗布装置において、ヘッドは、流体または紛体を吐出するノズルと、そのノズルに対してヘッドの移動する方向側を形成するヘッド前部と、ノズルに対してヘッドの移動する方向とは反対側を形成するヘッド後部と、を備え、ヘッド後部は、ヘッド前部よりもテーブルに対して離間しており、間隔調整部は、少なくともヘッド前部が基材を押圧するように、テーブルとヘッドとの間隔を調整可能であって、ヘッドは、ヘッド前部が基材を押圧するときに生ずる、ヘッドと基材との隙間に流体または紛体を塗布可能であるので、テーブル上に載置された基材に流体または紛体をさらに均一に塗布することができる。

さらに、本発明の第３の態様によれば、テーブルと、テーブル上に載置された基材の表面に流体または紛体を塗布するヘッドと、テーブルとヘッドとの間隔を調整する間隔調整部と、を備えた塗布装置において、ヘッドは、流体または紛体を吐出するノズルと、そのノズルに対してヘッドの移動する方向側を形成するヘッド前部と、ノズルに対してヘッドの移動する方向とは反対側を形成するヘッド後部と、を備え、ヘッド後部は、ヘッド前部よりもテーブルに対して離間しており、間隔調整部は、少なくともヘッド前部が基材に当接するように、テーブルとヘッドとの間隔を調整可能であるので、テーブル上に載置された基材に流体または紛体を均一に塗布することができる。

本発明の第１実施形態の塗布装置の全体平面図である。第１実施形態の塗布装置の全体左側面図である。第１実施形態の塗布装置に使用されるヘッド部の左側面図である。第１実施形態の塗布装置に使用されるヘッド部の正面図である。第１実施形態の塗布装置のブロック図である。第１実施形態の塗布装置のメインコントローラのブロック図である。第１実施形態の塗布装置における基材塗布プログラムのフローチャートである。第１実施形態の塗布装置の初期状態を示す左側面図である。図８のＡ－Ａ断面図である。第１実施形態の塗布装置のヘッド部を下降させた状態を示す左側面図である。図１０においてエアシリンダー部の構造を説明するための説明図である。第１実施形態の塗布装置のヘッド部を下降させた後、エアシリンダー部を動作させた状態を示す図であり、エアシリンダー部の動作を説明するための説明図である。第２実施形態の塗布装置に使用されるヘッド部の左側面図である。第２実施形態の塗布装置の塗布状態を示す左側面図である。第３実施形態の塗布装置に使用されるヘッド部の左側面図である。第４実施形態の塗布装置に使用されるヘッド部の左側面図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。

（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態の塗布装置の全体平面図であり、図２は、その全体左側面図あり、図３は、第１実施形態の塗布装置に使用されるヘッド部の左側面図であり、図４は、その正面図である。

図１及び図２に示すように、本実施形態の塗布装置１は、テーブル３と、そのテーブル３上に載置された基材Ｐの表面に接着剤Ｃ（図１２参照）を塗布するヘッド部５（本発明の「ヘッド」に相当）と、そのヘッド部５に接着剤Ｃを供給するための接着剤供給部７と、を備え、接着剤供給部７から供給された接着剤Ｃを、ヘッド部５から吐出して、テーブル３上に載置された基材Ｐの表面に塗布する装置である。

なお、テーブル３に載置される基材Ｐの形状及び大きさについては、テーブル３に載置可能な形状及び大きさであれば特に問題はないが、本実施形態においては、便宜上、長さ（Ｘｎ－Ｘ０）ｃｍ、幅（Ｙｎ－Ｙ０）ｃｍの長方形と仮定して説明する。

そして、本実施形態の塗布装置１は、片方向塗布（図面上＋Ｘ方向移動時のみ塗布）の場合には、ヘッド部５を基材Ｐに当接させた状態でＸ０位置からＸｎ位置まで片方向（図面上＋Ｘ方向）に塗布した後、ヘッド部５を一旦上方に移動させ基材Ｐから離間させて、＋Ｙ方向または－Ｙ方向にＹｈ分移動させ、その後、Ｘ０位置まで戻って、再度、ヘッド部５を基材Ｐに当接させた状態でＸ０位置からＸｎ位置まで片方向（図面上＋Ｘ方向）に塗布することを図面上Ｙ１から、Ｙ２、Ｙ３、Ｙ４及びＹ５まで繰り返して、基材Ｐの全面に接着剤Ｃを塗布するように構成されている。

また、本実施形態の塗布装置１は、両方向塗布（図面上＋Ｘ方向及び－Ｘ方向移動時に塗布）の場合には、ヘッド部５を基材Ｐに当接させた状態でＸ０位置からＸｎ位置まで片方向（図面上＋Ｘ方向）に塗布した後、ヘッド部５を一旦上方に移動させ基材Ｐから離間させて、＋Ｙ方向または－Ｙ方向にＹｈ分移動させ、その後、Ｘｎ位置からＸ０位置まで片方向（図面上－Ｘ方向）に塗布することを図面上Ｙ１から、Ｙ２、Ｙ３、Ｙ４及びＹ５まで繰り返して、基材Ｐの全面に接着剤Ｃを塗布するように構成されている。

テーブル３は、平面視略長方形を呈し、基台３１と、その基台３１の上に配置されたプレート３３とを備える。また、プレート３３の表面には、基材Ｐを吸引するための多数の吸引孔４３が形成されており、それら吸引孔４３のすべては、エアコンプレッサー１１（図５参照）に連通されている。

したがって、テーブル３の上に載置された基材Ｐは、エアコンプレッサー１１（図５参照）によって吸引孔４３から吸引され、テーブル３に固定される。

ヘッド部５は、テーブル３の短辺を横切るキャリアバー３５に設けられ、Ｙ軸モータ３７の回転により、Ｙ軸モータ３７のモータギアに噛合されたタイミングベルト（図示せず）が回転することによって、図面上±Ｙ方向に移動可能なように構成されている。

ヘッド部５は、後述する接着剤供給部７から供給された接着剤Ｃをヘッド部５に内蔵されたヒータによって溶融し、その溶融された接着剤Ｃを、幅Ｙｈ＋α（αは、ヘッド部５が複数列走査する際に、隣接する塗布領域と重なる部分の長さに相当する）でノズル５１から吐出して、基材Ｐ上に塗布するものである。

本実施形態のヘッド部５は、図３及び図４に示すように、幅Ｙｈ＋αの長さの塗布幅を確保するために、４つの電磁弁５７（第１電磁弁５７ａ、第２電磁弁５７ｂ、第３電磁弁５７ｃ及び第４電磁弁５７ｄ）と、それぞれの電磁弁に電気的に接続された４つの電磁弁コントローラ５９（第１電磁弁コントローラ５９ａ、第２電磁弁コントローラ５９ｂ、第３電磁弁コントローラ５９ｃ及び第４電磁弁コントローラ５９ｄ）とを使用している。

そして、本実施形態のヘッド部５は、ヘッド部５の前方を構成するヘッド前部５５と、ヘッド部５の後方を構成するヘッド後部５３と、ヘッド前部５５とヘッド後部５３との間の間隙であって、溶融された接着剤Ｃを吐出するノズル５１と、接着剤Ｃをノズル５１から吐出するためのエアを吸入するためのヘッドエア吸入口６５と、ヘッドエア吸入口６５から吸入されたエアのノズルへの連通をＯＮ／ＯＦＦするための第１電磁弁５７ａ、第２電磁弁５７ｂ、第３電磁弁５７ｃ及び第４電磁弁５７ｄと、各電磁弁のＯＮ／ＯＦＦを制御するための第１電磁弁コントローラ５９ａ、第２電磁弁コントローラ５９ｂ、第３電磁弁コントローラ５９ｃ及び第４電磁弁コントローラ５９ｄと、ヘッド部５に供給された接着剤Ｃを溶融するためにヒータに通電するためのコードセット６３と、接着剤Ｃをヘッド部５へ供給するための接着剤吸入口６１と、後述するヘッド部５を±Ｚ方向に移動させるためのＺ軸モータ９９と、同じく後述するヘッド部５を+Ｚ方向へ付勢するためのエアシリンダー部６７と、を備える。

また、ヘッド部５のヘッドエア吸入口６５には、接続チューブ８１が接続され、コードセット６３には、電線コード７７が接続され、接着剤吸入口６１には、供給チューブ７９が接続されている。

また、キャリアバー３５は、テーブル３の短辺を横切るように設けられ、Ｘ軸モータ３９の回転により、Ｘ軸モータ３９がテーブル３下のラック(図示せず)上を移動することによって、図面上±Ｘ方向に移動可能なように構成されている。

また、Ｘ軸モータ３９及びＹ軸モータ３７は、接続ケーブル４１を介して、夫々Ｘ軸モータドライバー１７及びＹ軸モータドライバー１９（図５参照）に電気的に接続されている。

接着剤供給部７は、三つ又の基部７１と、基部７１に接続された支柱部７３と、支柱部７３の先端からテーブル３の上部を横切って延びる支持部７５と、基部７１、支柱部７３及び支持部７５に支持され、接着剤貯留タンク（図示せず）とヘッド部５との間を連通し、接着剤Ｃを接着剤貯留タンク（図示せず）からヘッド部５へ供給するための供給チューブ７９と、基部７１、支柱部７３及び支持部７５に支持され、電源９（図５参照）に電気的に接続され、ヘッド部５に供給された接着剤Ｃを溶融するためにヒータを通電するための電線コード７７と、を備える。

次に、本実施形態の塗布装置１のブロック図について説明する。

図５は、第１実施形態の塗布装置のブロック図であり、図６は、第１実施形態の塗布装置のメインコントローラのブロック図である。

図５において、塗布装置１は、電源９に電気的に接続されたメインコントローラ１５と、そのメインコントローラ１５に電気的に接続され、吸引孔４３、エアシリンダー部６７及びヘッド部５を駆動するためのエアコンプレッサー１１と、メインコントローラ１５に電気的に接続された、X軸モータ３９を駆動するためのＸ軸モータドライバー１７、Ｙ軸モータ３７を駆動するためのＹ軸モータドライバー１９、後述するＺ軸モータ９９を駆動するためのＺ軸モータドライバー２１、第１電磁弁５７ａを制御するための第１電磁弁コントローラ５９ａ、第２電磁弁５７ｂを制御するための第２電磁弁コントローラ５９ｂ、第３電磁弁５７ｃを制御するための第３電磁弁コントローラ５９ｃ及び第４電磁弁５７ｄを制御するための第４電磁弁コントローラ５９ｄと、装置の操作者からの入力を受け付ける操作パネル１３と、を備える。

また、図６において、メインコントローラ１５は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）４５と、そのＣＰＵ４５に入出力可能に接続されたＲＡＭ（ＲａｎｄｏｍＡｃｃｅｓｓＭｅｍｏｒｙ）４７と、ＣＰＵ４５に入出力可能に接続されたＲＯＭ（ＲｅａｄＯｎｌｙＭｅｍｏｒｙ）４９とを備える。

ＲＡＭ４７は、テーブル３に載置される基材Ｐのサイズを記憶した基材サイズデータテーブル４７ａを備え、ＲＯＭ４９は、本実施形態の塗布装置１全体の動作を司る基材塗布プログラム４９ａを備える。

次に、上述した構成の塗布装置１の動作について説明する。

図７は、第１実施形態の塗布装置における基材塗布プログラムのフローチャートであり、図８は、第１実施形態の塗布装置１の初期状態を示す左側面図であり、図９は、図７のＡ－Ａ断面図である。

また、図１０は、第１実施形態の塗布装置のヘッド部を下降させた状態を示す左側面図であり、図１１は、図１０においてエアシリンダー部の構造を説明するための説明図であり、図１２は、第１実施形態の塗布装置のヘッド部を下降させた後、エアシリンダー部を動作させた状態を示す図であり、エアシリンダー部の動作を説明するための説明図である。

本実施形態の塗布装置１は、上述した通り、接着剤供給部７から供給された接着剤Ｃを、ヘッド部５に内蔵されたヒータによって溶融した後、ヘッド部５から吐出して、テーブル３上に載置された基材Ｐの表面に塗布する装置である。

図７において、先ず、装置の操作者が装置の電源スイッチを入れた後、操作パネル１３上の操作ボタンによって基材Ｐのサイズを入力するとともに、塗布装置１に片方向塗布（＋Ｘ方向移動時のみに塗布）をさせるか、両方向塗布（＋Ｘ方向及び－Ｘ方向移動時に塗布）をさせるかの選択ボタンを押下して、スタートボタンを押下すると、塗布装置１は、初期状態にセットされ（Ｓ１）、ＲＡＭ４７の基材サイズデータテーブル４７ａに記憶された基材Ｐのサイズ情報を取得する（Ｓ３）。

なお、図８は、塗布装置１の初期状態を図示している。初期状態において、ヘッド部５は、Ｘ方向位置Ｘ０、及びＹ方向位置Ｙ０の位置（図１参照）にセットされており、ヘッド部５の先端（ヘッド前部５５及びヘッド後部５３のうちより下方に突出した部分）は、テーブル３上に載置された基材Ｐから上方に所定距離離間した位置にセットされている。

ここで、塗布装置１のヘッド部５を＋Ｚ方向及び－Ｚ方向に移動させるための昇降機構８０（本発明の「間隔調整部」に相当）について説明する。

図８及び図９に示すように、昇降機構８０は、基部９７に設けられた２本のガイドレール６９ａ及び６９ｂと、２本のガイドレール６９ａ及び６９ｂに対して＋Ｚ方向及び－Ｚ方向に移動可能なように、２本のガイドレール６９ａ及び６９ｂに勘合されたヘッド部基部９５と、基部９７に設けられたＺ軸モータ９９と、そのＺ軸モータ９９のモータ軸に接続されたカップリング８９と、そのカップリング８９に接続されたウォームギア８５と、ヘッド部基部９５に接続され、ウォームギア８５の回転によって＋Ｚ方向及び－Ｚ方向に移動可能な移動部材８７と、を備える。

このように、塗布装置１の基部９７には、２本のガイドレール６９ａ及び６９ｂと、ヘッド部基部９５を基部９７に対して＋Ｚ方向及び－Ｚ方向に移動させるためのＺ軸モータ９９と、そのＺ軸モータ９９のモータ軸に接続されたカップリング８９と、そのカップリング８９に接続されたウォームギア８５とが設けられており、ヘッド部基部９５は、基部９７に対して＋Ｚ方向及び－Ｚ方向に移動可能なように、基部９７に設けられた２本のガイドレール６９ａ及び６９ｂに勘合し、ヘッド部基部９５に接続された移動部材８７が、ウォームギア８５の回転によって＋Ｚ方向及び－Ｚ方向に移動可能なようにウォームギア８５に勘合されている。

したがって、Ｚ軸モータ９９の回転によって、カップリング８９及びウォームギア８５が回転し、その回転に伴って移動部材８７及びその移動部材８７に接続されたヘッド部基部９５が＋Ｚ方向及び－Ｚ方向に移動し、ヘッド部基部９５が基部９７に対して昇降するように構成されている。

次に、塗布装置１のヘッド部５を、ヘッド部５の重量に抗するように、基部９７に対して＋Ｚ方向に付勢し、ヘッド部５のノズル５１と基材Ｐとの当接圧を軽減するためのエアシリンダー部６７（本発明の「ヘッド付勢部」に相当）について説明する。

図８において、エアシリンダー部６７は、ヘッド部基部９５にエアシリンダー部６７のシリンダー本体６７ａを接続し、基部９７にエアシリンダー部６７のピストン６７ｂの下端に接続されたピストン軸９３を接続し、エアコンプレッサー１１に接続された接続チューブ８３からエアシリンダー部６７内にエアが注入されると、エアシリンダー部６７の作用により、ヘッド部５が基部９７に対して＋Ｚ方向に付勢され、ヘッド部５の先端（ヘッド前部５５及びヘッド後部５３のうちより下方に突出した部分）と基材Ｐとの当接圧が軽減されるように構成されている。

次に、基材塗布プログラムに戻ると、装置の操作者によって両方向塗布が選択されたか否かが判断され（Ｓ５）、両方向塗布が選択されておらず、片方向塗布が選択されている場合には（Ｓ５：Ｎｏ）、そのままＳ９の処理が実行され、両方向塗布が選択されている場合には（Ｓ５：Ｙｅｓ）、両方向塗布フラグがＯＮされた後（Ｓ７）Ｓ９の処理が実行される。

その後、塗布装置１は、ヘッド部５を上述した昇降機構８０によって－Ｚ方向（下方）に移動させ、ヘッド部５の先端（ヘッド前部５５及びヘッド後部５３のうちより下方に突出した部分）を基材Ｐに当接させ（Ｓ９）、ヘッド部５の位置を安定させるために、所定時間待つ（Ｓ１１）。

なお、本実施形態において、ヘッド部５は、その先端が基材Ｐの表面よりもＺ１μｍ（約５００μｍ）下方に位置するまで移動するように設定されている。すなわち、ヘッド部５の先端は、基材Ｐ表面を押し付けた状態である。

図１０は、塗布装置１が、ヘッド部５を上述した昇降機構８０によって－Ｚ方向（下方）に移動させ、ヘッド部５の先端が基材Ｐの表面よりもＺ１μｍ（約５００μｍ）下方に位置した状態を示している。図１０において、エアシリンダー部６７の部分のみの内部を示したのが図１１である。

エアシリンダー部６７は、中空円筒状のシリンダー本体６７ａと、そのシリンダー本体６７ａの内部に移動可能に配置されたピストン６７ｂと、からなり、エアコンプレッサー１１に接続された接続チューブ８３からエアシリンダー部６７の空隙部９１にエアが注入されると、空隙部９１内のエア圧によって、ピストン６７ｂと、ピストン６７ｂの下端に接続されたピストン軸９３とを基準として、シリンダー本体６７ａに接続されたヘッド部基部９５が押し上げられるように構成されている。

すなわち、ヘッド部５は、上述したように、ヘッド部基部９５にエアシリンダー部６７のシリンダー本体６７ａが接続され、基部９７にエアシリンダー部６７のピストン軸９３が接続され、エアコンプレッサー１１に接続された接続チューブ８３からエアシリンダー部６７の空隙部９１にエアが注入されると、空隙部９１内のエア圧によって、ヘッド部５が基部９７に対して＋Ｚ方向に付勢され、ヘッド部５の先端と基材Ｐとの当接圧が軽減される。

一方、エアコンプレッサー１１に接続された接続チューブ８３からエアシリンダー部６７の空隙部９１にエアが注入されない場合には、ヘッド部５は、上述した昇降機構によって昇降された位置に、ヘッド部５の自重で押し下げられた状態となるように構成されている。

なお、図１１は、エアコンプレッサー１１に接続された接続チューブ８３からエアシリンダー部６７の空隙部９１にエアが注入されていな状態を示している。したがって、ヘッド部５の先端はヘッド部５の自重によって基材Ｐの表面を押し付けられた状態である。

その後、エアシリンダー部６７をＯＮさせ（Ｓ１３）、ヘッド部５を押し上げた後、ヘッド部５の位置を安定させるために、所定時間待ち（Ｓ１５）、ヘッド部５の先端の基材Ｐの表面に対する押圧力を略０になるように設定する。

なお、図１２は、塗布装置１のヘッド部５を下降させた後、エアシリンダー部６７をＯＮさせ、ヘッド部５を押し上げ、ヘッド部５の先端の基材Ｐの表面に対する押圧力が略０になった状態を示す図である。

図１２において、エアコンプレッサー１１に接続された接続チューブ８３からエアシリンダー部６７の空隙部９１にエアが注入されると、空隙部９１内のエア圧ｆ１によって、ピストン６７ｂと、ピストン６７ｂの下端に接続されたピストン軸９３とを基準として、シリンダー本体６７ａに接続されたヘッド部基部９５が押し上げられ、ヘッド部５の先端の基材Ｐの表面に対する押圧力が略０（ヘッド部５は基材Ｐの表面に当接しているが、基材Ｐへの押し付けが無い状態：Ｚ１≒０）になっている。

なお、本実施形態の塗布装置１においては、ヘッド部５の先端の基材Ｐの表面に対する押圧力を略０に設定しているが、略０にしない場合であっても良く、空隙部９１内のエア圧によって、ヘッド部５の先端と基材Ｐの表面との当接圧を軽減するものであれば、テーブル３上に載置された基材Ｐに接着剤Ｃを相当均一に塗布することができる。

そして、図１２に示すように、塗布装置１は、ヘッド部５のノズル５１から、ヒータによって溶融された接着剤Ｃを基材Ｐの表面に吐出させながら（Ｓ１７）、ヘッド部５を+Ｘ方向に移動させ（Ｓ１９）、Ｙ方向１行目のＹ１領域（図１参照）の塗布が完了したか否かが判断される（Ｓ２１）。

Ｙ方向１行目のＹ１領域（図１参照）の塗布が完了していない場合には（Ｓ２１：Ｎｏ）、Ｙ１領域（図１参照）の塗布が完了するまで、Ｓ１７及びＳ１９の処理を繰り返し、Ｙ方向１行目のＹ１領域（図１参照）の塗布が完了している場合には（Ｓ２１：Ｙｅｓ）、ノズル５１からの接着剤Ｃの吐出をＯＦＦさせ（Ｓ２３）、ヘッド部５を上昇させた後（Ｓ２５）、ヘッド部５を+Ｙ方向にさらに１行移動させ（Ｓ２７）、両方向塗布フラグがＯＮしているか否かが判断される（Ｓ２９）。

両方向塗布フラグがＯＮしている場合には（Ｓ２９：Ｙｅｓ）、両方向塗布と判断され、その後、Ｙ方向全体の塗布が完了したか否かが判断され（Ｓ３３）、両方向塗布フラグがＯＮしていない場合には（Ｓ２９：Ｎｏ）、片方向塗布と判断され、ヘッド部５をＸ方向のＸ０位置に移動させた後（Ｓ３１）、Ｙ方向全体の塗布が完了したか否かが判断される（Ｓ３３）。

そして、Ｙ方向全体の塗布が完了していない場合には（Ｓ３３：Ｎｏ）、ヘッド部５を再度下降させ（Ｓ３５）、２行目のＹ２領域から５行目のＹ５領域（図１参照）までの塗布が完了するまで、Ｓ１７乃至Ｓ３３の処理を繰り返し、Ｙ方向全体の塗布が完了している場合には（Ｓ３３：Ｙｅｓ）、エアシリンダー部６７をＯＦＦさせ（Ｓ３７）、ヘッド部５の先端を基材Ｐの表面から離間するように上昇させた後（Ｓ３９）、ヘッド部５を初期位置（Ｘ方向位置Ｘ０、Ｙ方向位置Ｙ０の位置）に移動させ（Ｓ４１）、両方向塗布フラグをＯＦＦして（Ｓ４３）処理を終了する（Ｓ４５）。

なお、本実施形態の塗布装置１においては、接着剤Ｃをテーブル３上に載置された基材Ｐの表面に塗布する装置を説明してきたが、塗布する材料は、接着剤に限られるものではなく、接着剤以外の流体または紛体を塗布する塗布装置であっても適用可能である。

本実施形態の塗布装置１によれば、テーブル３と、そのテーブル３上に載置された基材Ｐの表面に接着剤Ｃを塗布するヘッド部５と、テーブル３とヘッド部５との間隔を調整する昇降機構８０と、を備えたものを対象として、特に、昇降機構８０は、ヘッド部５が基材Ｐに当接するように、テーブル３とヘッド部５との間隔を調整し、ヘッド部５は、基材Ｐに当接された状態で、接着剤Ｃを塗布するので、テーブル３上に載置された基材Ｐに接着剤Ｃを均一に塗布することができる。

また、本実施形態の塗布装置１によれば、ヘッド部５をそのヘッド部５の重量に抗して付勢するエアシリンダー部６７を備えているので、接着剤Ｃを吐出する吐出孔に対する負荷を軽減して、テーブル３上に載置された基材Ｐに接着剤Ｃをさらに均一に塗布することができる。

（第２実施形態）
図１３は、第２実施形態の塗布装置に使用されるヘッド部の左側面図であり、図１４は、第２実施形態の塗布装置の塗布状態を示す左側面図である。

以下、本発明の第２実施形態を説明するが、本実施形態の塗布装置１に使用するヘッド部１０５のうち、第１実施形態のヘッド部５と共通する部分については、同じ符号を付し説明を省略する。

ヘッド部１０５は、第１実施形態のヘッド部５と同様に、テーブル３の短辺を横切るキャリアバー３５に設けられ、Ｙ軸モータ３７の回転により、Ｙ軸モータ３７のモータギアに噛合されたタイミングベルト（図示せず）が回転することによって、図面上±Ｙ方向に移動可能なように構成されている。

また、ヘッド部１０５は、第１実施形態のヘッド部５と同様に、後述する接着剤供給部７から供給された接着剤Ｃをヘッド部１０５に内蔵されたヒータによって溶融し、その溶融された接着剤Ｃを、幅Ｙｈ＋α（αは、ヘッド部１０５が複数列走査する際に、隣接する塗布領域と重なる部分の長さに相当する）でノズル１５１から吐出して、基材Ｐ上に塗布するものである。

また、ヘッド部１０５は、第１実施形態のヘッド部５と同様に、幅Ｙｈ＋αの長さの塗布幅を確保するために、４つの電磁弁５７（第１電磁弁５７ａ、第２電磁弁５７ｂ、第３電磁弁５７ｃ及び第４電磁弁５７ｄ）と、図１３に示すように、それぞれの電磁弁に電気的に接続された４つの電磁弁コントローラ１５９（第１電磁弁コントローラ１５９ａ、第２電磁弁コントローラ１５９ｂ、第３電磁弁コントローラ１５９ｃ及び第４電磁弁コントローラ１５９ｄ）とを使用している。

また、ヘッド部１０５は、ヘッド部１０５の前方を構成するヘッド前部１５５と、ヘッド部１０５の後方を構成するヘッド後部１５３と、ヘッド前部１５５とヘッド後部１５３との間の間隙であって、溶融された接着剤Ｃを吐出するノズル１５１と、接着剤Ｃをノズル１５１から吐出するためのエアを吸入するためのヘッドエア吸入口６５と、ヘッドエア吸入口６５から吸入されたエアのノズルへの連通をＯＮ／ＯＦＦするための第１電磁弁５７ａ、第２電磁弁５７ｂ、第３電磁弁５７ｃ及び第４電磁弁５７ｄと、各電磁弁のＯＮ／ＯＦＦを制御するための第１電磁弁コントローラ１５９ａ、第２電磁弁コントローラ１５９ｂ、第３電磁弁コントローラ１５９ｃ及び第４電磁弁コントローラ１５９ｄと、ヘッド部１０５に供給された接着剤Ｃを溶融するためにヒータに通電するためのコードセット６３と、接着剤Ｃをヘッド部１０５へ供給するため接着剤吸入口１６１と、ヘッド部１０５を±Ｚ方向に移動させるためのＺ軸モータ９９と、ヘッド部１０５を+Ｚ方向へ付勢するためのエアシリンダー部６７と、を備える。

また、ヘッド部１０５のヘッドエア吸入口６５には、接続チューブ８１が接続され、コードセット６３には、電線コード７７が接続され、接着剤吸入口１６１には、供給チューブ７９が接続されている。

なお、本実施形態のヘッド部１０５は、第１実施形態のヘッド部５に比べて、ヘッド前部とヘッド後部の形状が異なる。すなわち、第１実施形態のヘッド部５におけるヘッド前部５５の先端と、ヘッド後部５３の先端とは、ほぼ同じ高さに組み付けられていたが、本実施形態のヘッド部１０５におけるヘッド前部１５５の先端は、ヘッド後部１５３の先端よりもＺ２μｍ（約３００μｍ）先端側（基材Ｐ側）に突出している。

したがって、本実施形態のヘッド部１０５は、その先端、具体的には、ヘッド前部１５５の先端がＺ３μｍ（約５００μｍ）基材Ｐに押し付けられたとしても、ヘッド前部１５５とヘッド後部１５３との高さの差によって、ヘッド部１０５の後ろ側に、基材Ｐとヘッド後部１５３との間に空隙が生じ、ノズル１５１から吐出する接着剤Ｃが基材Ｐ上にスムーズに均一に塗布されることとなる。なお、図１４は、ヘッド部１０５による塗布状態を示している。

本実施形態のヘッド部１０５を使用した塗布装置１によれば、テーブル３と、そのテーブル３上に載置された基材Ｐの表面に接着剤Ｃを塗布するヘッド部１０５と、テーブル３とヘッド部１０５との間隔を調整する昇降機構８０と、を備えたものを対象として、特に、昇降機構８０は、ヘッド部１０５が基材Ｐに当接するように、テーブル３とヘッド部１０５との間隔を調整し、ヘッド部１０５は、基材Ｐに当接された状態で、接着剤Ｃを塗布するので、テーブル３上に載置された基材Ｐに接着剤Ｃを均一に塗布することができる。

また、本実施形態のヘッド部１０５を使用した塗布装置１によれば、ヘッド部１０５をそのヘッド部１０５の重量に抗して付勢するエアシリンダー部６７を備えているので、接着剤Ｃを吐出する吐出孔に対する負荷を軽減して、テーブル３上に載置された基材Ｐに接着剤Ｃをさらに均一に塗布することができる。

さらに、本実施形態のヘッド部１０５を使用した塗布装置１によれば、ヘッド部１０５は、接着剤Ｃを吐出するノズル１５１と、そのノズル１５１の前部を形成するヘッド前部１５５と、ノズル１５１の後部を形成するヘッド後部１５３と、を備え、ヘッド後部１５３は、ヘッド前部１５５よりもテーブル３に対して離間しているので、ヘッド部１０５の１方向移動時の接着剤Ｃのノズル１５１に対する負荷をさらに軽減して、テーブル３上に載置された基材Ｐに接着剤Ｃをさらに均一に塗布することができる。

（第３実施形態）
図１５は、第３実施形態の塗布装置に使用されるヘッド部の左側面図である。

以下、本発明の第３実施形態を説明するが、本実施形態の塗布装置１に使用するヘッド部２０５のうち、第１実施形態のヘッド部５と共通する部分については、同じ符号を付し説明を省略する。

ヘッド部２０５は、第１実施形態のヘッド部５と同様に、テーブル３の短辺を横切るキャリアバー３５に設けられ、Ｙ軸モータ３７の回転により、Ｙ軸モータ３７のモータギアに噛合されたタイミングベルト（図示せず）が回転することによって、図面上±Ｙ方向に移動可能なように構成されている。

また、ヘッド部２０５は、第１実施形態のヘッド部５と同様に、後述する接着剤供給部７から供給された接着剤Ｃをヘッド部２０５に内蔵されたヒータによって溶融し、その溶融された接着剤Ｃを、幅Ｙｈ＋α（αは、ヘッド部２０５が複数列走査する際に、隣接する塗布領域と重なる部分の長さに相当する）でノズル２５１から吐出して、基材Ｐ上に塗布するものである。

また、ヘッド部２０５は、第１実施形態のヘッド部５と同様に、幅Ｙｈ＋αの長さの塗布幅を確保するために、４つの電磁弁５７（第１電磁弁５７ａ、第２電磁弁５７ｂ、第３電磁弁５７ｃ及び第４電磁弁５７ｄ）と、図１５に示すように、それぞれの電磁弁に電気的に接続された４つの電磁弁コントローラ２５９（第１電磁弁コントローラ２５９ａ、第２電磁弁コントローラ２５９ｂ、第３電磁弁コントローラ２５９ｃ及び第４電磁弁コントローラ２５９ｄ）とを使用している。

また、ヘッド部２０５は、ヘッド部２０５の前方を構成するヘッド前部２５５と、ヘッド部２０５の後方を構成するヘッド後部２５３と、ヘッド前部２５５とヘッド後部２５３との間の間隙であって、溶融された接着剤Ｃを吐出するノズル２５１と、接着剤Ｃをノズル２５１から吐出するためのエアを吸入するためのヘッドエア吸入口６５と、ヘッドエア吸入口６５から吸入されたエアのノズルへの連通をＯＮ／ＯＦＦするための第１電磁弁５７ａ、第２電磁弁５７ｂ、第３電磁弁５７ｃ及び第４電磁弁５７ｄと、各電磁弁のＯＮ／ＯＦＦを制御するための第１電磁弁コントローラ２５９ａ、第２電磁弁コントローラ２５９ｂ、第３電磁弁コントローラ２５９ｃ及び第４電磁弁コントローラ２５９ｄと、ヘッド部２０５に供給された接着剤Ｃを溶融するためにヒータに通電するためのコードセット６３と、接着剤Ｃをヘッド部２０５へ供給するため接着剤吸入口２６１と、ヘッド部２０５を±Ｚ方向に移動させるためのＺ軸モータ９９と、るヘッド部１２５を+Ｚ方向へ付勢するためのエアシリンダー部６７と、を備える。

また、ヘッド部２０５のヘッドエア吸入口６５には、接続チューブ８１が接続され、コードセット６３には、電線コード７７が接続され、接着剤吸入口２６１には、供給チューブ７９が接続されている。

なお、本実施形態のヘッド部２０５は、第２実施形態のヘッド部１０５に比べて、ヘッド前部とヘッド後部の形状が異なる。すなわち、第２実施形態のヘッド部１０５におけるヘッド前部１５５の先端は、ヘッド後部１５３の先端よりもＺ２μｍ（約３００μｍ）先端側（基材Ｐ側）に突出していたが、本実施形態のヘッド部２０５におけるヘッド前部２５５の先端は、ヘッド後部２５３の先端よりもＺ２μｍ（約３００μｍ）先端側（基材Ｐ側）に突出していることに加え、ヘッド部２０５におけるヘッド前部２５５の傾斜角θ２は、ヘッド後部２５３の傾斜角θ１よりも小さく、かつヘッド前部２５５の断面２５７が流線形となっている。

したがって、本実施形態のヘッド部２０５は、その先端、具体的には、ヘッド前部２５５の先端がＺ３μｍ（約５００μｍ）基材Ｐに押し付けられたとしても、ヘッド前部２５５とヘッド後部２５３との高さの差によって、ヘッド部２０５の後ろ側に、基材Ｐとヘッド後部２５３との間に空隙が生じ、ノズル２５１から吐出する接着剤Ｃが基材Ｐ上にスムーズに均一に塗布されることに加え、ヘッド前部２５５の少ない傾斜角θ２と流線断面２５７とによって、基材Ｐがスムーズに撓み、ヘッド後部２５３の大きな傾斜角θ１によって接着剤Ｃがスムーズにヘッド後部２５３か離間するため、テーブル３上に載置された基材Ｐに接着剤Ｃをさらに均一に塗布することができる。

本実施形態のヘッド部２０５を使用した塗布装置１によれば、テーブル３と、そのテーブル３上に載置された基材Ｐの表面に接着剤Ｃを塗布するヘッド部２０５と、テーブル３とヘッド部２０５との間隔を調整する昇降機構８０と、を備えたものを対象として、特に、昇降機構８０は、ヘッド部２０５が基材Ｐに当接するように、テーブル３とヘッド部２０５との間隔を調整し、ヘッド部２０５は、基材Ｐに当接された状態で、接着剤Ｃを塗布するので、テーブル３上に載置された基材Ｐに接着剤Ｃを均一に塗布することができる。

また、本実施形態のヘッド部２０５を使用した塗布装置１によれば、ヘッド部２０５をそのヘッド部２０５の重量に抗して付勢するエアシリンダー部６７を備えているので、接着剤Ｃを吐出するノズル２５１に対する負荷を軽減して、テーブル３上に載置された基材Ｐに接着剤Ｃをさらに均一に塗布することができる。

また、本実施形態のヘッド部２０５を使用した塗布装置１によれば、ヘッド部２０５は、接着剤Ｃを吐出するノズル２５１と、そのノズル２５１の前部を形成するヘッド前部２５５と、ノズル２５１の後部を形成するヘッド後部２５３と、を備え、ヘッド後部２５３は、ヘッド前部２５５よりもテーブル３に対して離間しているので、ヘッド部２０５の１方向移動時の接着剤Ｃのノズル２５１に対する負荷をさらに軽減して、テーブル３上に載置された基材Ｐに接着剤Ｃをさらに均一に塗布することができる。

さらに、本実施形態のヘッド部２０５を使用した塗布装置１によれば、ヘッド前部２５５の傾斜角θ２は、ヘッド後部２５３の傾斜角θ１よりも小さく、かつヘッド前部２５５の断面２５７が流線形であるので、テーブル３上に載置された基材Ｐに接着剤Ｃをさらに均一に塗布することができる。

（第４実施形態）
図１６は、第４実施形態の塗布装置に使用されるヘッド部の左側面図である。

以下、本発明の第４実施形態を説明するが、本実施形態の塗布装置１に使用するヘッド部３０５のうち、第１実施形態のヘッド部５と共通する部分については、同じ符号を付し説明を省略する。

ヘッド部３０５は、第１実施形態のヘッド部５と同様に、テーブル３の短辺を横切るキャリアバー３５に設けられ、Ｙ軸モータ３７の回転により、Ｙ軸モータ３７のモータギアに噛合されたタイミングベルト（図示せず）が回転することによって、図面上±Ｙ方向に移動可能なように構成されている。

また、ヘッド部３０５は、第１実施形態のヘッド部５と同様に、後述する接着剤供給部７から供給された接着剤Ｃをヘッド部３０５に内蔵されたヒータによって溶融し、その溶融された接着剤Ｃを、幅Ｙｈ＋α（αは、ヘッド部２０５が複数列走査する際に、隣接する塗布領域と重なる部分の長さに相当する）でノズル３５１から吐出して、基材Ｐ上に塗布するものである。

また、ヘッド部３０５は、第１実施形態のヘッド部５と同様に、幅Ｙｈ＋αの長さの塗布幅を確保するために、４つの電磁弁５７（第１電磁弁５７ａ、第２電磁弁５７ｂ、第３電磁弁５７ｃ及び第４電磁弁５７ｄ）と、図１６に示すように、それぞれの電磁弁に電気的に接続された４つの電磁弁コントローラ３５９（第１電磁弁コントローラ３５９ａ、第２電磁弁コントローラ３５９ｂ、第３電磁弁コントローラ３５９ｃ及び第４電磁弁コントローラ３５９ｄ）とを使用している。

また、ヘッド部３０５は、ヘッド部３０５の前方を構成するヘッド前部３５５と、ヘッド部３０５の後方を構成するヘッド後部３５３と、ヘッド前部３５５とヘッド後部３５３との間の間隙であって、溶融された接着剤Ｃを吐出するノズル３５１と、接着剤Ｃをノズル３５１から吐出するためのエアを吸入するためのヘッドエア吸入口６５と、ヘッドエア吸入口６５から吸入されたエアのノズルへの連通をＯＮ／ＯＦＦするための第１電磁弁５７ａ、第２電磁弁５７ｂ、第３電磁弁５７ｃ及び第４電磁弁５７ｄと、各電磁弁のＯＮ／ＯＦＦを制御するための第１電磁弁コントローラ３５９ａ、第２電磁弁コントローラ３５９ｂ、第３電磁弁コントローラ３５９ｃ及び第４電磁弁コントローラ３５９ｄと、ヘッド部３０５に供給された接着剤Ｃを溶融するためにヒータに通電するためのコードセット６３と、接着剤Ｃをヘッド部３０５へ供給するため接着剤吸入口３６１と、ヘッド部３０５を±Ｚ方向に移動させるためのＺ軸モータ９９と、ヘッド部３０５を+Ｚ方向へ付勢するためのエアシリンダー部６７と、を備える。

また、ヘッド部３０５のヘッドエア吸入口６５には、接続チューブ８１が接続され、コードセット６３には、電線コード７７が接続され、接着剤吸入口３６１には、供給チューブ７９が接続されている。

なお、本実施形態のヘッド部３０５は、両方向塗布（+Ｘ方向及び－Ｘ方向に塗布する方法）に使用されるものであり、ヘッド前部とヘッド後部の形状が同じである。

すなわち、本実施形態のヘッド部３０５におけるヘッド前部３５５の先端と、ヘッド後部３５３の先端は同じ高さであり、ヘッド部３０５におけるヘッド前部３５５の傾斜角とヘッド後部３５３の傾斜角は同じ角度θ３であり、ヘッド前部３５５の断面３５７とヘッド後部３５３の断面３５９は共に流線形である。

本実施形態のヘッド部３０５を使用した塗布装置１によれば、テーブル３と、そのテーブル３上に載置された基材Ｐの表面に接着剤Ｃを塗布するヘッド部３０５と、テーブル３とヘッド部３０５との間隔を調整する昇降機構８０と、を備えたものを対象として、特に、昇降機構８０は、ヘッド部３０５が基材Ｐに当接するように、テーブル３とヘッド部３０５との間隔を調整し、ヘッド部３０５は、基材Ｐに当接された状態で、接着剤Ｃを塗布するので、テーブル３上に載置された基材Ｐに接着剤Ｃを均一に塗布することができる。

また、本実施形態のヘッド部３０５を使用した塗布装置１によれば、ヘッド部３０５をそのヘッド部３０５の重量に抗して付勢するエアシリンダー部６７を備えているので、接着剤Ｃを吐出するノズル３５１に対する負荷を軽減して、テーブル３上に載置された基材Ｐに接着剤Ｃをさらに均一に塗布することができる。

以上、本発明の実施形態における塗布装置１について説明してきたが、本発明は上記実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更して実施することが可能である。

例えば、上述の実施形態において、ヘッド部の基材Ｐに対する当接圧をヘッド付勢部の１例としてエアシリンダー部６７によって調整するように説明したが、ヘッド付勢部による調整はエアシリンダー部による方法限られるものではなく、モータ等のアクチュエータによって構成することも可能である。

１・・・塗布装置
３・・・テーブル
５，１０５，２０５，３０５・・・ヘッド部
７・・・接着剤供給部
１１・・・エアコンプレッサー
１３・・・操作パネル
１５・・・メインコントローラ
３７・・・Ｙ軸モータ
３９・・・Ｘ軸モータ
３３・・・プレート
４３・・・吸入孔
５１，１５１，２５１，３５１・・ノズル
５３，１５３，２５３，３５３・・・ヘッド後部
５５，１５５，２５５，３５５・・・ヘッド前部
５７ａ・・・第１電磁弁
５７ｂ・・・第２電磁弁
５７ｃ・・・第３電磁弁
５７ｄ・・・第４電磁弁
６７・・・エアシリンダー部
９９・・・Ｚ軸モータ
Ｃ・・・接着剤
Ｐ・・・基材

Claims

テーブルと、
前記テーブル上に載置された基材の表面に流体または紛体を塗布するヘッドと、
前記テーブルと前記ヘッドとの間隔を調整する間隔調整部と、
を備えた塗布装置において、
前記間隔調整部は、前記ヘッドが前記基材を押圧するように、前記テーブルと前記ヘッドとの間隔を調整可能であって、
前記ヘッドは、前記ヘッドが前記基材を押圧するときに生ずる、前記ヘッドと前記基材との隙間に前記流体または前記紛体を塗布可能であることを特徴とする塗布装置。
前記ヘッドは、流体または紛体を吐出するノズルと、そのノズルに対して前記ヘッドの移動する方向側を形成するヘッド前部と、前記ノズルに対して前記ヘッドの移動する方向とは反対側を形成するヘッド後部と、を備え、
前記ヘッド後部は、前記ヘッド前部よりも前記テーブルに対して離間しており、
前記間隔調整部は、少なくとも前記ヘッド前部が前記基材を押圧するように、前記テーブルと前記ヘッドとの間隔を調整可能であって、
前記ヘッドは、前記ヘッド前部が前記基材を押圧するときに生ずる、前記ヘッドと前記基材との隙間に前記流体または前記紛体を塗布可能であることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
テーブルと、
前記テーブル上に載置された基材の表面に流体または紛体を塗布するヘッドと、
前記テーブルと前記ヘッドとの間隔を調整する間隔調整部と、
を備えた塗布装置において、
前記ヘッドは、流体または紛体を吐出するノズルと、そのノズルに対して前記ヘッドの移動する方向側を形成するヘッド前部と、前記ノズルに対して前記ヘッドの移動する方向とは反対側を形成するヘッド後部と、を備え、
前記ヘッド後部は、前記ヘッド前部よりも前記テーブルに対して離間しており、
前記間隔調整部は、少なくとも前記ヘッド前部が前記基材に当接するように、前記テーブルと前記ヘッドとの間隔を調整可能であって、
前記ヘッドは、前記ヘッド前部が前記基材に当接された状態で、前記基材に前記流体または前記紛体を塗布可能であることを特徴とする塗布装置。