JP2022168862A - 磁性流体自己補充型磁性流体シール装置 - Google Patents
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Abstract
Description
1 筐体
2 軸
3 軸スリーブ
31 第1の貫通穴
311 流体入口
312 流体出口
32 第2の貫通穴
33 取付溝
4 多孔質媒体
5 シールユニット
51 ポールピース
52 永久磁石
6 ピストンロッド
7 第1のシール部材
8 第2のシール部材
9 磁気スペーサリング
91 第1の磁気スペーサリング
92 第2の磁気スペーサリング
10 第1の軸受
101 第2の軸受
Claims (10)
- チャンバを有する筐体と、
前記チャンバ内に回転可能に設けられ、その少なくとも一端が前記チャンバ内から突出する軸と、
前記軸に外嵌され且つ前記チャンバ内に位置する軸スリーブであって、前記軸スリーブの内周面及び前記軸の外周面の少なくとも一方に取付溝が設けられ、前記軸スリーブには、その径方向に沿って前記軸スリーブを貫通する第1の貫通穴が設けられ、前記第1の貫通穴が流体入口及び流体出口を有し、前記流体入口が前記取付溝に連通する軸スリーブと、
前記取付溝内に設けられ、その内部に磁性流体が充填されている多孔質媒体と、
前記軸スリーブに外嵌され、前記軸の径方向において前記流体出口に対向しているシールユニットと、を含む、ことを特徴とする磁性流体自己補充型磁性流体シール装置。 - 前記軸スリーブの一端及び前記軸の一端の少なくとも一方には、その軸方向に延在する第2の貫通穴が設けられ、前記第2の貫通穴の一端は前記取付溝に連通し、前記磁性流体自己補充型磁性流体シール装置は、前記第2の貫通穴の他端に嵌合されて前記多孔質媒体内の磁性流体を前記シールユニット内に吹き込むための吸気アセンブリをさらに含む、ことを特徴とする請求項1に記載の磁性流体自己補充型磁性流体シール装置。
- 前記吸気アセンブリは、その少なくとも一部が第2の貫通穴内に挿設され且つ前記第2の貫通穴の長さ方向に沿って移動可能なピストンロッドを含む、ことを特徴とする請求項2に記載の磁性流体自己補充型磁性流体シール装置。
- 前記多孔質媒体の外周面が前記取付溝の内周面に接着されることにより、前記多孔質媒体は前記軸スリーブと同期して回転する、ことを特徴とする請求項1に記載の磁性流体自己補充型磁性流体シール装置。
- 前記シールユニットは、少なくとも2つのポールピースと、永久磁石とを含み、少なくとも2つの前記ポールピースは、前記軸スリーブに外嵌され且つ前記軸スリーブの軸方向に離間して設けられ、前記ポールピースの内周面と前記軸スリーブの外周面とは、前記軸スリーブの径方向に離間して設けられ、前記軸スリーブと前記ポールピースとの間に磁性流体が充填されており、
前記永久磁石は、前記軸スリーブに外嵌され且つ隣接する前記ポールピースの間に設けられる、ことを特徴とする請求項1に記載の磁性流体自己補充型磁性流体シール装置。 - 前記第1の貫通穴の前記流体出口は、前記ポールピースの内周面に対向している、ことを特徴とする請求項5に記載の磁性流体自己補充型磁性流体シール装置。
- 前記多孔質媒体は、前記ポールピースに対向している、ことを特徴とする請求項5に記載の磁性流体自己補充型磁性流体シール装置。
- 前記第1の貫通穴の内径は、0.1mm~0.2mmである、ことを特徴とする請求項1~7のいずれか一項に記載の磁性流体自己補充型磁性流体シール装置。
- 前記軸スリーブ及び前記軸を一体に取り付ける留め具をさらに含む、ことを特徴とする請求項1~7のいずれか一項に記載の磁性流体自己補充型磁性流体シール装置。
- 前記軸スリーブと前記軸との間に設けられる第1のシール部材をさらに含む、ことを特徴とする請求項1~7のいずれか一項に記載の磁性流体自己補充型磁性流体シール装置。
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