JP2022128581A - 変調器メンテナンスユニットを有する電気回路検査システム - Google Patents

Abstract

【課題】変調器のより効率的な清掃及び／又は検出を行えるようにする。
【解決手段】本件開示の電気回路検査システムは、電気回路を支持するよう構成されたチャックと、そのチャックの上方にて動かせるよう且つそれら電気回路の上方に位置決めされそれら電気回路の欠陥を検出するよう構成されている変調器３１と、その変調器の表面から異物を除去する清掃手段及びその変調器の表面の平坦度を検出する検出手段のうち少なくとも一方を備える変調器メンテナンスユニット５０を備え、その変調器３１が可動であり変調器メンテナンスユニット５０の隣に位置決めされうるものである。
【選択図】図５

Description

本件開示は、変調器メンテナンスユニットを有する電気回路検査システムに関する。

液晶表示（ＬＣＤ）パネルには、電界依存性光変調特性を呈する液晶が組み込まれている。それらパネルは、ファクシミリ機やラップトップコンピュータ画面から大画面高品位ＴＶに至る様々な装置にて、画像その他の情報を表示させるのにしばしば用いられている。アクティブマトリクスＬＣＤパネルは複雑な多層構造であり幾つかの機能層、例えば偏向膜や、薄膜トランジスタ、ストレージキャパシタ、画素電極及び相互接続配線が組み込まれたＴＦＴガラス基板や、ブラックマトリクス及び色フィルタアレイ並びに透明共通電極が組み込まれた色フィルタガラス基板や、ポリイミド製の配向膜や、適正なＬＣＤセル厚を保つためのプラスチック／ガラススペーサが組み込まれた実液晶素材で、構成されている。

特表２０１２－５１９３９０号公報

ＬＣＤパネル及びＯＬＥＤパネルは、歩留まりを最大にするため、クリーンルーム環境内の高度制御条件下で製造される。それにもかかわらず、製造不首尾により、多数のＬＣＤパネル及びＯＬＥＤパネルの廃棄を余儀なくされている。

先に述べた通り複雑な電子デバイスの生産歩留まりを改善するため、様々な検査段階を実行することで、製造プロセスの様々な段階にて生じうる様々な欠陥の識別が図られている。そうした検査段階を、製造段階同士の間や、製造プロセス全体の完了後に実行することができる。それら検査プロセスの一例が、電気的欠陥に関するＬＣ及びＯＬＥＤディスプレイ用ＴＦＴアレイの試験である。その試験を実行するため様々な検査装置が用いられている。この目的で用いられうる装置の例としては、Ｏｒｂｏｔｅｃｈ Ｌｔｄ．から商業的に入手可能なＡｒｒａｙ Ｃｈｅｃｋｅｒ（商品名）がある。

本件開示の１個又は複数個の実施形態によれば、電気回路を支持するよう構成されたチャックと、そのチャックの上方にて動かせるよう且つそれら電気回路の上方に位置決めされそれら電気回路の欠陥を検出するよう構成されている変調器と、その変調器の表面から異物を除去する清掃手段及びその変調器の表面の平坦度を検出する検出手段のうち少なくとも一方を備える変調器メンテナンスユニットと、を備え、その変調器が可動であり変調器メンテナンスユニットの隣に位置決めされうる電気回路検査システムを、提供することができる。

ある実施形態によれば、ｉ）前記電気回路の検査が始まる前、ｉｉ）それら電気回路の検査が完了した後、或いはｉｉｉ）それら電気回路の検査動作中に、前記変調器メンテナンスユニットの隣に位置決めされるよう、前記変調器を構成することができる。

ある実施形態によれば、前記清掃手段を、１個又は複数個のエアナイフを備えるものとすることができる。

ある実施形態によれば、前記検出手段を、レーザ発光ユニット及びレーザ受光ユニットを有するレーザセンサを１個又は複数個備えるものとすることができる。

ある実施形態によれば、前記変調器であり前記レーザ発光ユニット・前記レーザ受光ユニット間に位置決めされているものの表面に対し平行な方向にレーザ光を発するよう前記レーザ発光ユニットを構成すること、並びにそのレーザ発光ユニットから発せられるレーザ光をその変調器の表面に部分的に重ねることができる。

ある実施形態によれば、前記変調器であり前記レーザ発光ユニット・前記レーザ受光ユニット間に位置決めされているものの横方向運動によるレーザ光強度変化を検出するよう、そのレーザ受光ユニットを構成することができる。

ある実施形態によれば、本システムを更に、前記変調器の表面上に凸部及び凹部のうち少なくとも一方が存在しているか否かを、前記レーザ受光ユニットにより検出されたレーザ光強度変化に基づき判別する、制御ユニットを備えるものとすることができる。

ある実施形態によれば、前記変調器の表面上に凸部が存在していると前記制御ユニットが判別した場合に前記清掃手段によりその変調器の表面から異物を除去するよう、本システムを構成することができる。

ある実施形態によれば、前記変調器の表面上に凸部及び凹部のうち少なくとも一方が存在していると前記制御ユニットが判別した場合にその制御ユニットにより異常信号を生成するよう、本システムを構成することができる。

ある実施形態によれば、前記変調器メンテナンスユニットを、前記清掃手段及び前記検出手段を備えるものとすることができ、その変調器メンテナンスユニットを、前記変調器がその変調器メンテナンスユニットの隣に位置決めされているときにその清掃手段による清掃動作とその検出手段による検出動作とを同時実行するよう、構成することができる。

ある実施形態によれば、前記変調器メンテナンスユニットを、前記清掃手段と、その清掃手段により前記変調器の表面から除去された異物を吸引する吸引手段と、を備えるものとすることができる。

ある実施形態によれば、前記変調器メンテナンスユニットを２個の清掃手段が備わるものとし、前記吸引手段をそれら２個の清掃手段の間に所在させることができる。

ある実施形態によれば、前記変調器メンテナンスユニットを前記チャックの側辺上に配置することができる。

ある実施形態によれば、前記変調器メンテナンスユニットを前記チャックの一側辺上、特にそのチャックの諸側辺のうち本検査システムの前部に隣り合う側辺上に配置することができる。

ある実施形態によれば、前記変調器メンテナンスユニットを前記チャックの一側辺上、特にそのチャックの諸側辺のうち本検査システムの後部に隣り合う側辺上に配置することができる。

ある実施形態によれば、前記変調器メンテナンスユニットを前記チャックの一側辺上、特にそのチャックの諸側辺のうち前記変調器が前記電気回路の検査を始める点に隣り合う側辺上に配置することができる。

以下の添付図面を参照することで、本件技術分野に習熟した者（いわゆる当業者）であれば、本件開示の数多な長所をより良好に理解できよう。

本件開示の１個又は複数個の実施形態に係る検査システム（１００）を描いた概念図である。 本件開示の１個又は複数個の実施形態における電気光学センサユニット（３０）を描いた概念図である。 本件開示の１個又は複数個の実施形態における変調器メンテナンスユニット（５０）を描いた概念図である。 本件開示の１個又は複数個の実施形態に従い検出手段（５２）により変調器（３１）の表面の平坦度を検出する動作を模式的に示す図である。 本件開示の１個又は複数個の実施形態に係る検査システム（１００’）を描いた概念図である。 本件開示の１個又は複数個の実施形態に従い変調器メンテナンスユニットの検出手段により変調器の表面状態を検出した結果を示すグラフである。 本件開示の１個又は複数個の実施形態に従い変調器メンテナンスユニットの検出手段により別の変調器の表面状態を検出した結果を示すグラフである。 本件開示の１個又は複数個の実施形態における変調器メンテナンスユニット（５０’）を描いた概念図である。

以下、添付図面に描かれている被開示主題を詳細に参照する。ある種の実施形態及びその具体的特徴との関連で本件開示を具体的に図示及び記述してある。本願中で説明されている諸実施形態は限定ではなく例証であると把握されるべきである。いわゆる当業者には直ちに察せられるべきことに、本件開示の神髄及び技術的範囲から離隔することなく形態及び細部に様々な改変及び修正を施すことができる。

以下、図１～図８を参照し、本件開示の１個又は複数個の実施形態に係る検査システム１００についてより詳細に記述する。

図１は、本件開示の１個又は複数個の実施形態に係る検査システム（１００）を描いた概念図である。

図１に描かれている検査システム（１００）は、電気光学センサユニット（変調器）を用いて電気回路を検査するよう、構成することができる。検査システム（１００）は、例えばフラットパネルディスプレイの電気回路を検査するのに用いることができるが、これに限られるものではなく、他の何れの好適種類の基板側電気回路の検査にも、用いることができる。

検査システム（１００）はシャーシを備えるものとすることができ、例えば、Ｏｒｂｏｔｅｃｈ Ｌｔｄ．から商業的に入手可能なＡＲＲＡＹ ＣＨＥＣＫＥＲ（商品名）システム等、自動フラットパネルディスプレイ検査システムのシャーシ（１０）を以てそれとすることができる。広いエリアに亘り剛性を保つため、花崗岩、ポリマキャスティング、鋼又は炭素繊維といった素材を、その検査システム（１００）のシャーシ（１０）向けに用いることができる。

検査システム（１００）はガラスシート（別称、基板又はプレート）を支持するチャック（２０）、特に検査対象電気回路が備わるガラスシートを支持するそれを備えるものとすることができる。チャック（２０）は、そのガラスシート（図示せず）を支持すると共に、そのガラスシート向けに堅固な参照平面を提供している。一例としては、チャック（２０）の表面全体に空気を吹き付けることで、それらチャック（２０）・ガラスシート間にエアクッションを形成させる。本実施形態によれば、そのガラスシートをそのエアクッション上に浮かせた上で、グリッパ、スクラバ等といった機械的装置を用い整列させることができる。整列後にその空気をターンオフさせ真空を適用することで、そのガラスシートを処理向けの場所にクランプすることができる。チャック（２０）用素材の例としては陽極酸化アルミニウム（アルマイト）、セラミクス、ガラス及び／又は金属がある。

前記ガラスシートは、工場ロボットアームによりチャック（２０）上へと動かすことができる。チャック（２０）により支持されるガラスシートには、１個又は複数個のフラットパネルディスプレイに係る複数個の電気回路を組み込むことができる。通常は、ガラスシート上の複数個の電気回路を互いにそっくりなものとするが、形状及び設計が互いに異なる電気回路群が１枚のガラスシート内にあってもよい。例えば、そのサイズが２ｍ×２ｍ～３ｍ×３ｍに及ぶガラスシートを、検査の後に、それら電気回路各々が備わる多数の部分へと細分する。この細分を経た電気回路が備わるディスプレイを、例えば、テレビジョン、電話機その他の小表示サイズアプリケーションにて用いることができる。各検査対象電気回路内に、例えば、少なくとも１個の均一間隔平行導電体アレイを設けることができる。均一間隔導体群では、通常、全体として平行な構成の態で間隔決めされうるが、察せられる通り、均一間隔導体群が何れの好適な幾何学的構成であってもよい。当該少なくとも１個のアレイが一次元的なものであっても二次元的なものであってもよい。当該少なくとも１個のアレイ内の各導電体を、そのフラットパネルディスプレイ内電気回路に備わる少なくとも１個の個別画素に関連付けすればよい。例えば、電気回路内に二次元アレイをなす個別画素群を設けること、並びに各画素を個別導体と見なしそれを回路により電気的に制御することができる。その電気回路それぞれを、複数個の導電素子、絶縁素子及び半導体素子を備えるものとすることができる。各画素を、画素アレイを一次元又は二次元平行導体アレイに対応付けうるよう、電気信号で以て駆動することができる。

具体的には図示されていないが、検査システム（１００）は、現在検査中の電気回路に備わる個別導体に電圧を印加する、電圧ドライバを備えるものとすることができる。これは、例えば短絡バーの使用により好適に達成されるものであるが、二次元アレイ探触システムを用いることもできる。

図１に示す通り、電気光学センサユニット（３０）、例えば電気光学変調器を備える１個又は複数個の電気光学センサユニットを、ガントリ（４０）その他の可動構造上に実装することができる。ガントリ（４０）は、電気光学センサユニット（３０）を電気回路群の上方で上下／横方向に動かせるよう、シャーシ（１０）上に可動実装することができる。例えば、ガラスシートに備わる電気回路群を検査するには、そのガラスシートの一部分の上方で電気光学センサユニット（３０）を横方向に動かした上で、そのガラスシートの表面から数十μｍ以内に所在することとなるよう下降させればよい。検査完了後には、電気光学センサユニット（３０）を持ち上げて、そのガラスシートの表面から遠ざければよい。

図２は、本件開示の１個又は複数個の実施形態における電気光学センサユニット（３０）を描いた概念図である。電気光学センサユニット（３０）は、前記ガラスシート上の電気回路群の電気的欠陥を検出するよう、構成することができる。図２に示す通り、電気光学センサユニット（３０）は、変調器（３１）を備えるものとすることができる。そのガラスシート上の電極に駆動信号を印加し、それら電気回路を検査することができる。それらガラスシート・変調器（３１）間のギャップ（３２）により、その上に電気回路群が形成されているガラスシート上の各画素電極からの電界を、変調器（３１）に結合させることができ、それによりそのガラスシートについての一時的可視表示を生成することができる。この可視表示をカメラ（３３）により捉え、欠陥識別に供することができる。ある領域について検査した後に、変調器（３１）を持ち上げてそのガラスシート上の別の領域へと動かし、このプロセスを反復することができる。このステップアンドリピートプロセスを通じ、それら電気回路を欠陥との関連で検査することができる。ある実施形態によれば、変調器（３１）を、ＬＣ素材（３１－１）及びフラットガラス（３１－２）を備えるものとすることができる。とはいえ、電気光学センサユニット（３０）の構成は図２に示した形態に限られず、電気光学センサユニットは、ガラスシート上の電気的欠陥を検出しうる様々な形態にて適宜構成することができ、例えば光源、ビームエクスパンダ、ビームスプリッタ等々を有していてそれによりガラスシート上の各画素電極からの電界を変調器に結合させるものとすることができる。

ある実施形態によれば、本件開示の検査システム（１００）にて、「ＶＯＬＴＡＧＥ ＩＭＡＧＩＮＧ」（登録商標）と呼ばれる方法であり、個々のＴＦＴアレイ画素上の電圧を計測するよう構成された反射型液晶ベースの変調器を利用する方法を、採用することができる。ＴＦＴアレイ検査時には、諸駆動電圧パターンを試験下ＴＦＴパネルに印加し、それにより生じたパネル画素電圧を、先に述べた電気光学変調器を試験下ＴＦＴアレイの至近（通常は約５０μｍのところ）に位置決めし、その変調器を高電圧矩形波電圧パターンにさらすことで、計測すればよい。変調器に印加される電圧矩形波パターンの振幅は検査条件次第で変更されうる。例えば、変調器に印加される電圧矩形波パターンの振幅を３００Ｖ、周波数を６０Ｈｚとすることができよう。駆動電圧が印加されている試験下ＴＦＴアレイの諸画素に近いことが原因で、その検査システムの電気光学変調器上に形成される電位により、その変調器内の液晶の電界依存性空間配向が強制的に変更され、それを受けその変調器上におけるそれら液晶の光透過率が局所的に変化する。言い換えれば、変調器の光透過率が、その付近にあるアレイ画素上の電圧を表すものとなる。変化した変調器透過率を捉える際には、その変調器を光パルスで照明し、パネル電圧の供給を受けている変調器により反射された光による像を電圧撮像光学サブシステム（ＶＩＯＳ）カメラ上に形成し、生じた像をそのシステムにより捉えてディジタイズする。

前掲の図２によれば、電気回路群を検査する際に、それら電気回路が備わるガラスシートの表面から幾分かのギャップ（３２）で以て隔て、図２に示す通り変調器（３１）を保持することができる。変調器（３１）は、一般に、ガラスシートの上方、約３０μｍ～５０μｍ離れたところに保持するのがよい。変調器（３１）とそのガラスシートとの間の距離は、副次効果、例えば短絡、熱伝達、或いは応力による機械歪が生じない現実的な範囲で、できるだけ近くなるよう制御するとよい。

とはいえ、ガラスシートと変調器（３１）とが隣り合わせに配置されるので、異物（例．粒子）がガラスシート・変調器（３１）間に存していると、検査動作中に、それらガラスシート及び／又は変調器（３１）が損傷されかねない。この損傷を防ぐため、従来は、変調器を手動で降荷し特定位置（例．ホームポジション）に配置した上で、オペレータが、その変調器の表面を直に拭う要領にてその変調器の清掃を実行していた。しかしながら、この従来方法では、検査プロセス中に装置（システム）の動作を停止させ変調器を清掃するので、プロセス効率が低下する。更に、変調器の表面上にあり検査結果に影響する粒子や損傷スポットのなかには非常に小さなサイズのものもあり、オペレータの裸眼で以てそれら小粒子又は小損傷を識別し除去するのが難儀である。

こうした問題を解決するには、図１に示した本件開示の実施形態に従い、検査システム（１００）に変調器メンテナンスユニット（５０）を設ければよい。図１に示す通り、変調器メンテナンスユニット（５０）は、ガラスシートを支持するチャック（２０）の側辺上に配置することができる。但し、変調器メンテナンスユニット（５０）の位置はこれに限定されず、変調器メンテナンスユニット（５０）が、変調器（３１）から到達可能な何れのシステム（１００）内エリアに所在してもよい。

図３は、本件開示の１個又は複数個の実施形態における変調器メンテナンスユニット（５０）を描いた概念図である。図３に示す通り、変調器メンテナンスユニット（５０）は、変調器の表面上にある異物を除去する清掃手段（５１）、並びにその変調器の表面の平坦度を検出する検出手段（５２）のうち、少なくとも一方を有するものとすることができる。

１個又は複数個の実施形態によれば、清掃手段（５１）を、図３に示す通り、１個又は複数個のエアナイフを有するものとすることができる。ガラスシートの検査動作の開始前、検査動作後又は検査動作中に、変調器（３１）をそれらエアナイフの隣を位置決めし、それらエアナイフから変調器（３１）の表面に向かい空気を吐出させることで、変調器（３１）の表面上にある粒子を除去することができる。エアナイフを清掃手段（５１）として用いることで、変調器（３１）の表面に対する損傷を最少にしつつ、変調器（３１）の表面からより効率的に異物を除去することが可能となる。図３ではエアナイフを有する態で清掃手段（５１）が描かれているが、これに限られるものではなく、清掃手段（５１）は、変調器（３１）の表面から液相、固相及び／又は気相粒子を除去することが可能な１個又は複数個のツール、例えばワイパ、ハードブラシ、ソフトブラシ、クロース等を、有するものとすることができる。

１個又は複数個の実施形態によれば、本件開示の１個又は複数個の実施形態における変調器メンテナンスユニット（５０）に更に、図３に示す通り、変調器（３１）の表面の平坦度を検出する検出手段（５２）を設けることができる。検出手段（５２）を用い変調器の表面の平坦度を検出することで、変調器（３１）の表面上に異物（粒子）があるか否か、及び／又は、その変調器（３１）の表面上に損傷個所があるか否かを点検することができる。

検出手段（５２）は、図３に示す通り、レーザ発光ユニット（５２－１）及びレーザ受光ユニット（５２－２）を有するレーザセンサが備わるものと、することができる。例えば、レーザ発光ユニット（５２－１）から約１ｍｍの円形スポットのレーザを発することができる。ガラスシートの検査動作の開始前、検査動作後又は検査動作中に変調器（３１）を検出手段（５２）の隣に位置決めし、検出手段（５２）により、その隣に位置する変調器（３１）の平坦度を検出することができる。レーザセンサを検出手段（５２）として用いることで、変調器（３１）の表面上にあり数～数十μｍのサイズを有する表面損傷又は粒子を、検出することが可能となる。図３ではスポットレーザセンサを有する態で検出手段（５２）が描かれているが、これに限られるものではなく、検出手段（５２）は、変調器（３１）の表面の平坦度を検出することが可能な１個又は複数個のツール、例えばＣＣＤカメラ、３Ｄカメラ等を有するものと、することができる。

図４に、本件開示の１個又は複数個の実施形態に従い検出手段（５２）により変調器（３１）の表面の平坦度を検出する動作を模式的に示す。図４に示す通り、変調器（３１）を検出手段（５２）のレーザ発光ユニット（５２－１）・レーザ受光ユニット（５２－２）間に配置することができ、その変調器（３１）を横方向に動かしつつ検出手段（５２）によりその変調器（３１）の表面を走査することができる。具体的には、図４に示す通り、変調器（３１）の表面に対し平行であり且つその変調器（３１）の移動方向に対し垂直な方向に沿い、レーザ発光ユニット（５２－１）からレーザ光を発すればよい。検出手段（５２）を然るべく位置決めすることで、レーザ発光ユニット（５２－１）から発せられたレーザ光を、横方向に動いている変調器（３１）の表面に対し部分的に重ならせることができる。検出手段（５２）のレーザ受光ユニット（５２－２）により、変調器（３１）の横方向運動によるレーザ光強度変化を検出することができ、それによりその変調器（３１）の表面の平坦度を検出することができる。例えば、検査システム（１００）に備わる制御ユニットにて、変調器（３１）の表面上に（異物等による）凸部や（表面損傷等による）凹部があるか否かを、レーザ受光ユニット（５２－２）により検出されたレーザ光の強度の変化に基づき、判別することができる。言い換えれば、変調器（３１）の表面を走査することで、その変調器（３１）の表面上に異物があるか否か、並びにその変調器（３１）の表面に損傷があるか否かを、判別することができる。ある実施形態によれば、変調器（３１）の表面上に異物があると制御ユニットが判別した場合に、清掃手段（５１）によりその変調器（３１）の表面から異物が除去されるよう、検査システム（１００）を構成することができる。ある実施形態によれば、変調器（３１）の表面上に凸部及び／又は凹部があると制御ユニットが判別した場合に、主システム又は相応な工場内自動設備に設備異常信号を送るよう、検査システム（１００）を構成することができる。

ある実施形態によれば、変調器（３１）が変調器メンテナンスユニット（５０）の隣に所在しているときに清掃手段（５１）及び検出手段（５２）の双方を動作させること、即ち清掃手段（５１）によりその変調器（３１）の表面上の粒子を除去すること及び検出手段（５２）によりその変調器（３１）の平坦度を検出することができる。言い換えれば、横及び／又は上下方向に動かせるよう構成されている変調器（３１）が変調器メンテナンスユニット（５０）の隣に位置決めされているときに、清掃手段（５１）によるその変調器（３１）の表面上の粒子の除去と、検出手段（５２）によるその変調器（３１）の表面状態の検出とを、実質同時に実行することができる。実施形態によっては、変調器（３１）の移動方向に沿い検出手段（５２）よりも清掃手段（５１）の方を変調器（３１）の近くに所在させること、即ち検出手段（５２）による検出動作を清掃手段（５１）による除去動作より後に実行させることもできる。また、実施形態によっては、変調器（３１）の移動方向に沿い清掃手段（５１）よりも検出手段（５２）の方を変調器（３１）の近くに所在させること、即ち清掃手段（５１）による除去動作を検出手段（５２）による検出動作より後に実行させることもできる。

上述の実施形態では、変調器（３１）が変調器メンテナンスユニット（５０）の隣に所在しているときに清掃手段（５１）及び検出手段（５２）の双方が動作しているが、これに限られるものではなく、変調器（３１）が変調器メンテナンスユニット（５０）の隣に所在しているときに清掃手段（５１）及び検出手段（５２）のうち一方だけが動作するよう構成してもよい。更に、図３では清掃手段（５１）及び検出手段（５２）の双方を有する態で変調器メンテナンスユニット（５０）が描かれているが、これに限られるものではなく、変調器メンテナンスユニット（５０）が清掃手段（５１）及び検出手段（５２）のうち一方だけを有するのでもよい。

図３によれば、本件開示の１個又は複数個の実施形態に係る変調器メンテナンスユニット（５０）は、更に、清掃手段（５１）及び検出手段（５２）を支持するシリンダ（５３）を有するものとすることができる。シリンダ（５３）により清掃手段（５１）及び検出手段（５２）の位置を上下方向に沿い調整することができ、それにより、検査システム（検査機器）動作時の機械的干渉を排することができる。

前掲の図１によれば、本件開示の１個又は複数個の実施形態に係る変調器メンテナンスユニット（５０）を、チャック（２０）の一側辺上に配置することができる。変調器メンテナンスユニット（５０）がチャック（２０）の一側辺上に配置されているので、そのチャック（２０）により支持されているガラスシートを検査する動作の開始前、動作後又は動作中に変調器（３１）をそのチャック（２０）のその側辺上に動かし、その変調器（３１）の表面に対する清掃及び／又は検出動作を変調器メンテナンスユニット（５０）により実行することができる。実施形態によっては、チャック（２０）の側辺以外で検査システム（１００）内にある何れかの変調器（３１）到達可能点に、変調器メンテナンスユニット（５０）を所在させることもある。その場合は、変調器（３１）の動きで以て、その変調器（３１）を変調器メンテナンスユニット（５０）の隣に位置決めし、変調器メンテナンスユニット（５０）の隣に所在している変調器（３１）の表面に係る清掃及び／又は検出動作を実行すればよい。変調器メンテナンスユニット（５０）の動作の頻度、回数、時点等々は、オペレータによる設定により制御することができる。ある実施形態によれば、変調器（３１）が変調器メンテナンスユニット（５０）の隣に位置決めされるたびに動作するよう、検査システム（１００）に備わる制御ユニットにより変調器メンテナンスユニット（５０）を制御することができる。実施形態によっては、ガラスシートが交換されるたびに、ガラスシートが所定枚数交換されるたびに、予め定められている時間間隔で、或いはガラスシートの検査の前及び／又は後に動作するよう、検査システム（１００）に備わる制御ユニットにより変調器メンテナンスユニット（５０）が制御されることもある。

図１ではチャック（２０）の一側辺上に位置する態で２個の変調器メンテナンスユニット（５０）が描かれているが、変調器メンテナンスユニット（５０）の個数はこれに限られず、検査システム（１００）に備わる変調器メンテナンスユニット（５０）は１個にも複数個にもすることができる。ある実施形態によれば、検査システム（１００）に備わる変調器メンテナンスユニット（５０）の個数を変調器（３１）と同数とすることができる。この場合、複数個の変調器（３１）に係る清掃及び／又は検出を、それら複数個の変調器（３１）にそれぞれ対応している都合複数個のメンテナンスユニット（５０）により、同時実行することができるので、変調器（３１）に係る清掃及び／又は検出動作をより効率的に実行することができる。実施形態によっては、複数個の変調器（３１）に係る清掃及び／又は検出が、同じ変調器メンテナンスユニット（５０）により順次実行されることもある。

図１では、チャック（２０）の側辺のうち検査システム（１００）の前部に隣り合う一側辺（即ちガラスシートが装荷／降荷される側辺）上に所在する態で変調器メンテナンスユニット（５０）が描かれているが、変調器メンテナンスユニット（５０）の所在個所はこれに限られるものではなく、変調器メンテナンスユニット（５０）は、チャック（２０）の諸側辺上のどの点にも所在させることができる。加えて、都合複数個の変調器メンテナンスユニット（５０）をチャック（２０）の複数個の側辺上に所在させることもできる。

図５は、本件開示の１個又は複数個の実施形態に係る検査システム（１００’）を描いた概念図である。図５に示す検査システム（１００’）では、その構成のうち変調器メンテナンスユニット（５０）の所在個所を除いた構成が、図１に示した検査システムと同じ要領で適用されうるので、当該同じ構成に関する記述は行わない。図５では、図１にて示されていた電気光学センサユニット（３０）及びガントリ（４０）が描かれていないが、これは変調器メンテナンスユニット（５０）の所在個所をより明瞭に示すためである。

図５によれば、図１に記した検査システム（１００）とは異なり、チャック（２０）の側辺のうち検査システム（１００′）の後部に隣り合う一側辺上に、変調器メンテナンスユニット（５０）を配置することができる。ある実施形態によれば、チャック（２０）の側辺のうち検査システム（１００’）の後部に隣り合う一側辺から電気回路群の検査を開始するよう電気光学センサユニット（３０）を構成することができ、またその変調器メンテナンスユニット（５０）を、その電気光学センサユニット（３０）の検査開始位置の隣に所在させることができる。この場合、変調器（３１）の表面の清掃及び／又は平坦度検出を、それら電気回路についての検査動作の開始点にて変調器メンテナンスユニット（５０）により自動実行することができる。従って、清掃及び／又は検出のための付加的な変調器（３１）移動無しで、その変調器のより効率的な清掃及び／又は検出が可能となる。

図６は、本件開示のある実施形態に従い変調器メンテナンスユニットの検出手段により変調器の表面状態を検出した結果を示すグラフである。具体的には、図６に示されているのは、図３に記したスポットレーザセンサを前記検出手段として用い清掃前後にその変調器の表面を走査した結果である。変調器の表面を清掃するため、図３に記したエアナイフを前記清掃手段として用いた。更に、変調器の表面を走査するため、図３に記したレーザセンサのレーザ発光ユニット・レーザ受光ユニット間で、その変調器を横方向に動かし、その変調器の移動による（即ち経時的な）レーザ強度変化を、そのレーザ受光ユニットにより検出した。変調器の表面の平坦度は、経時的なレーザ強度変化を通じて検出することができる。図６には、変調器の表面を清掃する前におけるレーザ強度変化の検出結果（「清掃前」）と、その変調器の表面を清掃した後におけるそれ（「清掃後」）とが描かれている。図６のグラフに記されている通り、この変調器が非平坦な表面を有していることを、変調器清掃前における表面走査結果を示すグラフ中に見出すことができる。更に、その清掃により変調器の表面上の粒子が除去され、その変調器が平坦な（円滑な）表面を有するものになったことを、変調器清掃後の表面走査結果を示すグラフ中に見出すことができる。

図７は、本件開示のある実施形態に従い検出手段により別の変調器の表面状態を検出した結果を示すグラフである。具体的には、図７に示されているのは、図３に記したエアナイフを前記清掃手段として、また図３に記したスポットレーザセンサを前記検出手段として用い、その変調器の表面を走査した結果である。図７中に描かれているグラフが示すところによれば、清掃後の変調器は、幾つかのエリアでは清掃前より平坦な表面コンディションを有しているものの、他の幾つかのエリアでは、清掃後でもなお、非平坦な表面コンディションを有している。これら検出結果からは、清掃では除去できない損傷がその変調器の表面上にあることを、確認することができる。

図８は、本件開示の１個又は複数個の実施形態における変調器メンテナンスユニット（５０’）を描いた概念図である。図８に示す通り、変調器メンテナンスユニット（５０’）は、変調器（３１）の表面上の粒子を除去する清掃手段（５１’）、変調器（３１）の表面状態を検出する検出手段（５２’）、並びに変調器（３１）の表面から除去された粒子を吸引する吸引手段（５４）を、有するものとすることができる。例えば、清掃手段（５１’）を、図８に示す通り、検出手段（５２’）の両側辺上に配置された都合２個のエアナイフを有するものとし、変調器（３１）の表面の方へと空気を吐出するようそれらエアナイフを構成することができる。それら２個のエアナイフに備わる空気吐出ポートを、それら２個のエアナイフの間にあるエリアに向くよう位置決めすることで、変調器（３１）の表面から除去された粒子を、それら２個のエアナイフ間のエリアに寄せ集めることができる。加えて、変調器（３１）の表面から除去された粒子を吸引する吸引手段（５４）をも、図８に示す通りそれら２個のエアナイフの間に設けることで、変調器（３１）の表面から除去された粒子により変調器（３１）の表面が再び汚染されることを、防ぐことができる。図８では２個の清掃手段（５１’）及び１個の吸引手段（５４）を有する態で変調器メンテナンスユニット（５０’）が描かれているが、清掃手段（５１’）及び吸引手段（５４）の配列及び個数はこれに限られず、１個又は複数個の清掃手段と１個又は複数個の吸引手段を相応な位置に配置すればよい。

本件開示の１個又は複数個の実施形態に係る検査システムの各構成部材を、制御ユニットにより制御することができる。ある実施形態によれば、１個又は複数個の変調器メンテナンスユニットを、その制御ユニットにより個別的又は集合的に制御することができる。加えて、本件開示の１個又は複数個の実施形態における変調器メンテナンスユニットを、清掃手段及び検出手段のうち少なくとも一方を有するものとすることができ、またその清掃手段及び検出手段の動作を、その制御ユニットにより個別的又は集合的に制御することができる。本件開示のある実施形態によれば、その変調器メンテナンスユニットの動作条件、例えば動作時点、動作時点数、動作周波数、動作周期、動作手順等々を、オペレータ（ユーザ）が設定することができ、この設定に基づき、変調器メンテナンスユニットの動作を制御ユニットにより自動制御することができる。

本件開示のある実施形態に従い検査システムにより集められた情報を、１個又は複数個のプロセッサによりソフトウェアを実行することで、順次処理することができる。本件開示の検査システムにて用いられるソフトウェアは、変調器メンテナンスユニットにより変調器の表面を走査した結果を受け取って分析し、その結果をユーザに通知するよう、構成することができる。更に、その検査システムにて用いられるソフトウェアを、変調器の表面を走査した結果を分析することで、閾値（例．所定個数及び／又はサイズ）を上回る損傷がその変調器の表面上に生じたか否かを判別するよう、またこの場合はユーザ向けの警報を発行するよう、構成することができる。

本願記載の主題は、ときに、他部材内に組み込まれ又は他部材に接続・連結された様々な部材を以て描出されている。ご理解頂けるように、それら図示アーキテクチャは単なる例示であり、実のところは、他の多くのアーキテクチャを実施し同じ機能を実現することが可能である。概念的には、どのような部材配置であれ同じ機能が実現されるなら、その部材配置は、実質的に「連携」することでその所望機能を実現しているのである。従って、本願中の何れの二部材であれ、ある特定の機能を実現すべく組み合わされているものは、その所望機能が実現されるよう互いに「連携」していると見なせるのであり、アーキテクチャや介在部材の如何は問われない。同様に、何れの二部材であれそのように連携しているものはその所望機能を実現すべく互いに「接続・連結され」又は「結合され」ているとも見ることができ、また何れの二部材であれそのように連携させうるものはその所望機能を実現すべく互いに「結合可能」であるとも見ることができる。結合可能、の具体例としては、これに限られないが、物理的に相互作用可能な及び／又は物理的に相互作用する諸部材、及び／又は無線的に相互作用可能な及び／又は無線的に相互作用する諸部材、及び／又は論理的に相互作用可能な及び／又は論理的に相互作用する諸部材がある。

本件開示及びそれに付随する長所の多くについては上掲の記述により理解し得るであろうし、開示されている主題から離隔することなく或いはその主要な長所全てを損なうことなく諸部材の形態、構成及び配置に様々な改変を施せることも明らかであろう。述べられている形態は単なる説明用のものであり、後掲の特許請求の範囲の意図はそうした改変を包括、包含することにある。更に、理解し得るように、本発明を定義しているのは別項の特許請求の範囲である。

１００，１００’ 検査システム、１０ シャーシ、２０ チャック、３０ 電気光学センサユニット、３１ 変調器、３２ ギャップ、３３ カメラ、４０ ガントリ、５０，５０’ 変調器メンテナンスユニット、５１，５１’ 清掃手段、５２，５２’ 検出手段、５２－１ レーザ発光ユニット、５２－２ レーザ受光ユニット、５３ シリンダ、５４ 吸引手段。

Claims (16)

1. 電気回路を検査するシステムであって、
   前記電気回路を支持するよう構成されたチャックと、
   前記チャックの上方にて動かせるよう且つ前記電気回路の上方に位置決めされそれら電気回路の欠陥を検出するよう構成されている変調器と、
   前記変調器の表面から異物を除去する清掃手段及びその変調器の表面の平坦度を検出する検出手段のうち、少なくとも一方を備える変調器メンテナンスユニットと、
   を備え、前記変調器が可動であり前記変調器メンテナンスユニットの隣に位置決めされうるシステム。
2. 請求項１に記載のシステムであって、ｉ）前記電気回路の検査が始まる前、ｉｉ）それら電気回路の検査が完了した後、或いはｉｉｉ）それら電気回路の検査動作中に、前記変調器メンテナンスユニットの隣に位置決めされるよう、前記変調器が構成されているシステム。
3. 請求項１に記載のシステムであって、前記清掃手段が１個又は複数個のエアナイフを備えるシステム。
4. 請求項１に記載のシステムであって、前記検出手段が、レーザ発光ユニット及びレーザ受光ユニットを有するレーザセンサを１個又は複数個備えるシステム。
5. 請求項４に記載のシステムであって、前記変調器であり前記レーザ発光ユニット・前記レーザ受光ユニット間に位置決めされているものの表面に対し平行な方向にレーザ光を発するよう、そのレーザ発光ユニットが構成されており、そのレーザ発光ユニットから発せられたレーザ光がその変調器の表面に部分的に重なるシステム。
6. 請求項４に記載のシステムであって、前記変調器であり前記レーザ発光ユニット・前記レーザ受光ユニット間に位置決めされているものの横方向運動によるレーザ光強度変化を検出するよう、そのレーザ受光ユニットが構成されているシステム。
7. 請求項６に記載のシステムであって、更に、
   前記変調器の表面上に凸部及び凹部のうち少なくとも一方が存在しているか否かを、前記レーザ受光ユニットにより検出されたレーザ光強度変化に基づき判別する、制御ユニットを備えるシステム。
8. 請求項７に記載のシステムであって、前記変調器の表面上に凸部が存在していると前記制御ユニットが判別した場合に前記清掃手段によりその変調器の表面から異物を除去するよう、構成されているシステム。
9. 請求項７に記載のシステムであって、前記変調器の表面上に凸部及び凹部のうち少なくとも一方が存在していると前記制御ユニットが判別した場合にその制御ユニットにより異常信号を生成するよう、構成されているシステム。
10. 請求項１に記載のシステムであって、前記変調器メンテナンスユニットが前記清掃手段及び前記検出手段を備え、その変調器メンテナンスユニットが、前記変調器がその変調器メンテナンスユニットの隣に位置決めされているときにその清掃手段による清掃動作とその検出手段による検出動作とを同時実行するよう、構成されているシステム。
11. 請求項１に記載のシステムであって、前記変調器メンテナンスユニットが、前記清掃手段と、その清掃手段により前記変調器の表面から除去された異物を吸引する吸引手段と、を備えるシステム。
12. 請求項１１に記載のシステムであって、前記変調器メンテナンスユニットが２個の清掃手段を備え、前記吸引手段がそれら２個の清掃手段の間に所在しているシステム。
13. 請求項１に記載のシステムであって、前記変調器メンテナンスユニットが前記チャックの側辺上に配置されているシステム。
14. 請求項１に記載のシステムであって、前記変調器メンテナンスユニットが前記チャックの一側辺上に配置されており、その側辺が、そのチャックの諸側辺のうち本検査システムの前部に隣り合う側辺であるシステム。
15. 請求項１に記載のシステムであって、前記変調器メンテナンスユニットが前記チャックの一側辺上に配置されており、その側辺が、そのチャックの諸側辺のうち本検査システムの後部に隣り合う側辺であるシステム。
16. 請求項１に記載のシステムであって、前記変調器メンテナンスユニットが前記チャックの一側辺上に配置されており、その側辺が、そのチャックの諸側辺のうち前記変調器が前記電気回路の検査を始める点に隣り合う側辺であるシステム。
    

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