JP2022103731A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022103731A5 JP2022103731A5 JP2020218543A JP2020218543A JP2022103731A5 JP 2022103731 A5 JP2022103731 A5 JP 2022103731A5 JP 2020218543 A JP2020218543 A JP 2020218543A JP 2020218543 A JP2020218543 A JP 2020218543A JP 2022103731 A5 JP2022103731 A5 JP 2022103731A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- cleaning
- cleaning tool
- fluid cylinder
- force
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 79
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 56
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 25
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 5
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020218543A JP7653785B2 (ja) | 2020-12-28 | 2020-12-28 | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
| TW110144172A TWI841883B (zh) | 2020-12-28 | 2021-11-26 | 基板洗淨裝置及基板洗淨方法 |
| CN202111571492.6A CN114695186B (zh) | 2020-12-28 | 2021-12-21 | 衬底洗净装置及衬底洗净方法 |
| KR1020210187137A KR102653153B1 (ko) | 2020-12-28 | 2021-12-24 | 기판 세정 장치 및 기판 세정 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020218543A JP7653785B2 (ja) | 2020-12-28 | 2020-12-28 | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2022103731A JP2022103731A (ja) | 2022-07-08 |
| JP2022103731A5 true JP2022103731A5 (https=) | 2023-06-30 |
| JP7653785B2 JP7653785B2 (ja) | 2025-03-31 |
Family
ID=82136388
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020218543A Active JP7653785B2 (ja) | 2020-12-28 | 2020-12-28 | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7653785B2 (https=) |
| KR (1) | KR102653153B1 (https=) |
| CN (1) | CN114695186B (https=) |
| TW (1) | TWI841883B (https=) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7843692B2 (ja) * | 2022-12-23 | 2026-04-10 | 株式会社Screenホールディングス | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
| JP2024091091A (ja) * | 2022-12-23 | 2024-07-04 | 株式会社Screenホールディングス | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
| JP2025135997A (ja) * | 2024-03-06 | 2025-09-19 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10340873A (ja) * | 1997-06-10 | 1998-12-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
| JP2000188274A (ja) * | 1998-12-21 | 2000-07-04 | Sony Corp | 基板洗浄装置 |
| JP3953716B2 (ja) | 2000-08-01 | 2007-08-08 | 株式会社荏原製作所 | 基板洗浄装置 |
| JP4824664B2 (ja) * | 2007-03-09 | 2011-11-30 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
| JP4928343B2 (ja) * | 2007-04-27 | 2012-05-09 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
| JP5385537B2 (ja) * | 2008-02-26 | 2014-01-08 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
| CN102592961A (zh) * | 2011-01-12 | 2012-07-18 | 柏连企业股份有限公司 | 晶片下片排片机 |
| JP5878441B2 (ja) * | 2012-08-20 | 2016-03-08 | 株式会社荏原製作所 | 基板洗浄装置及び基板処理装置 |
| JP5904169B2 (ja) * | 2013-07-23 | 2016-04-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板洗浄装置、基板洗浄方法及び記憶媒体 |
| JP6210935B2 (ja) * | 2013-11-13 | 2017-10-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 研磨洗浄機構、基板処理装置及び基板処理方法 |
| JP2015220402A (ja) * | 2014-05-20 | 2015-12-07 | 株式会社荏原製作所 | 基板洗浄装置および基板洗浄装置で実行される方法 |
| JP6740065B2 (ja) * | 2016-09-13 | 2020-08-12 | 株式会社Screenホールディングス | 基板洗浄装置、基板処理装置、基板洗浄方法および基板処理方法 |
| JP6810631B2 (ja) * | 2017-02-14 | 2021-01-06 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
| TWI834489B (zh) * | 2017-12-13 | 2024-03-01 | 日商東京威力科創股份有限公司 | 基板處理裝置 |
| JP2019216153A (ja) * | 2018-06-12 | 2019-12-19 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法及び洗浄装置 |
| JP6895565B2 (ja) | 2019-02-27 | 2021-06-30 | 株式会社荏原製作所 | 基板洗浄装置および基板洗浄装置で実行される方法 |
-
2020
- 2020-12-28 JP JP2020218543A patent/JP7653785B2/ja active Active
-
2021
- 2021-11-26 TW TW110144172A patent/TWI841883B/zh active
- 2021-12-21 CN CN202111571492.6A patent/CN114695186B/zh active Active
- 2021-12-24 KR KR1020210187137A patent/KR102653153B1/ko active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2022103731A5 (https=) | ||
| CN103192575B (zh) | 粘膜机构及应用其的撕膜机 | |
| KR20110046782A (ko) | 마스크 용접장치용 클램프 유닛 | |
| CN108908299A (zh) | 一种机器人手臂 | |
| JP3918556B2 (ja) | 貼付けウエハ分離装置および貼付けウエハ分離方法 | |
| TW201739527A (zh) | 擦拭機構及使用該擦拭機構之晶圓殘膠清潔裝置 | |
| CN110757089A (zh) | 一种适应于不同管径管件的夹持装置 | |
| CN107121434B (zh) | 一种汽车阀套内孔缺陷检测的送检机构、系统及方法 | |
| CN219649665U (zh) | 显示屏生产用翻转夹具 | |
| CN109967416A (zh) | 一种板材表面擦净装置 | |
| CN119245592A (zh) | 一种多功能发动机罩盖检具 | |
| JP3726927B2 (ja) | シリンダ式ワーク押付け固定装置 | |
| CN111318516A (zh) | 板材清洗机的自动调节升降结构 | |
| CN222079287U (zh) | 一种抓取轴承的机械爪 | |
| CN210427476U (zh) | 一种超声波检测用探头支架 | |
| CN113770708A (zh) | 一种缝纫机机壳底板自动拼装线 | |
| CN224129030U (zh) | 机械制造用零部件夹持装置 | |
| CN221984860U (zh) | 一种管状零件固定夹具 | |
| CN219051398U (zh) | 载玻片夹取装置 | |
| CN216608123U (zh) | 一种双头螺栓加工夹具 | |
| CN211438622U (zh) | 一种汽车饰件的定位标识机构 | |
| CN221280909U (zh) | 一种视觉检测装置的安装结构 | |
| CN220740786U (zh) | 一种汽车零部件检测用定位夹具 | |
| KR101716222B1 (ko) | 인장시험기의 장력 부과장치 | |
| CN223940256U (zh) | 一种软包电池厚度测量工装 |