JP2022051027A5 - - Google Patents
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Description
この場合、第１の基板保持部により保持された基板の下面の洗浄時に、気流発生部から発生される気流により、基板の下面から除去された汚染物質が第２の基板保持部に向かって飛散することが低減される。それにより、第２の基板保持部における汚染の発生が低減される。
この場合、洗浄具と第２の基板保持部との間に気体カーテンが形成されるので、洗浄具により基板の下面から除去された汚染物質が第２の基板保持部に向かって飛散することが防止される。それにより、第２の基板保持部における汚染の発生がさらに低減される。
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