JP2022023378A - 加工装置 - Google Patents
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- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 56
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 56
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 52
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 14
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 238000004904 shortening Methods 0.000 abstract 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 42
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 11
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
- 210000000689 upper leg Anatomy 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
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- B24B37/27—Work carriers
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
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- B24B41/005—Feeding or manipulating devices specially adapted to grinding machines
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- B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
- B24B41/06—Work supports, e.g. adjustable steadies
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- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/02—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation according to the instantaneous size and required size of the workpiece acted upon, the measuring or gauging being continuous or intermittent
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- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G51/00—Conveying articles through pipes or tubes by fluid flow or pressure; Conveying articles over a flat surface, e.g. the base of a trough, by jets located in the surface
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Abstract
Description
このように、搬送手段100では、移動手段110による保持部140の一度の動作で、仮置き手段200に仮置きされた複数の板状ワーク2を受け取り、第1保持面12に搬送する。
また、本実施形態では、第2レーン215の第3レール216は、第1レーン211の第2レール213に隣接している。
なお、第1レール212は、基台229上に固定されている。
なお、板状ワーク2の大きさ(長さおよび幅)を設定(取得)する大きさ設定部を備えていてもよい。
このようにして、仮置き手段200の仮置きレーン部210における搬送手段100の受取位置に、2枚の板状ワーク2が支持される。
なお、仮置き手段500も、図5に示した案内レーン250を有している。図13では、案内レーン250の図示を省略している。
また、第3レーン205の第5レール206は、第1レーン211の第1レール212に隣接している。
つまり、第1レーン211の幅を変更するために第1レール212の移動方向と同一方向に第3レーン205を移動させるとともに第3レーン205の幅を変更する。また、第1レーン211の幅を変更するために第2レール213の移動方向と同一方向に第2レーン215を移動させるとともに第2レーン215の幅を変更する。
このため、シャフト222における時計回りの回転に伴って、第6レール207が、+X方向に、第5レール206の3倍の距離を移動する。したがって、この第6レール207と第5レール206との間の距離である第3レーン205の幅が、第1レーン211と同様に広がる。
3:第1の装置ベース,5:第2の装置ベース,7:制御部,
10:粗研削部,11:粗研削送り手段,12:第1保持面,
13:第1チャックテーブル,15:粗研削手段,18:粗研削砥石,
30:仕上げ研削部,31:仕上げ研削送り手段,32:第2保持面,
33:第2チャックテーブル,35:仕上げ研削手段,38:仕上げ研削砥石,
40:カセットステージ,41:カセット,
180:カセット搬送空間,60:カセット搬送機構,
61:筐体板,62:移動機構,70:支持機構,
170:搬送空間,100:搬送手段,101:筐体板,110:移動手段,
120:Y軸移動機構,130:Z軸移動機構,
140:保持部,141:保持板,142:吸引パッド,
152:中継手段,153:移動手段,154:中継テーブル,
155:ロボット,
190:仮置き空間,200:仮置き手段,
201:基台,210:仮置きレーン部,
211:第1レーン,212:第1レール,213:第2レール,
214:ストッパ,253:押し機構,
215:第2レーン,216:第3レール,217:第4レール,
205:第3レーン,206:第5レール,207:第6レール,
250:案内レーン,251:第1案内レール,252:第2案内レール,
260:段部,
225:第1雄ネジ,226:第2雄ネジ,
227:第1逆雄ネジ,228:第2逆雄ネジ,
220:幅変更手段,221:ガイドレール,222:シャフト,
241:第1雌ネジ,242:第2雌ネジ,243:第3雌ネジ,
245:第1逆雌ネジ,246:第2逆雌ネジ,247:第3逆雌ネジ
P1~3:ネジピッチ,
229:基台,230:位置調整手段,
261:第1エア噴射孔,262:第2エア噴射孔,263:第3エア噴射孔,
270:エア源,
400:第1ベルト移動手段,401:無端ベルト,
402:回転機構,403:従動ローラ,404:駆動ローラ,
405:モータ,407:エンコーダ,410:先端センサ,
420:第2ベルト移動手段,421:検知センサ,
423:時間測定部,425:速度設定部,427:設定部,
429:算出部,431:判断部,
500:仮置き手段
Claims (7)
- 保持面によって板状ワークを保持する保持手段と、該保持面に保持された板状ワークを加工する加工手段と、上下方向に隙間をあけて複数の板状ワークを収容する棚を備えたカセットを載置するためのカセットステージと、該カセットから取り出された板状ワークを仮置きするための仮置き手段と、該仮置き手段に仮置きされた板状ワークを該保持面に搬送する搬送手段とを少なくとも備える加工装置であって、
該保持手段は、該保持面を複数備え、
該仮置き手段は、該保持面の数に対応した枚数の板状ワークを仮置き可能であって、
該搬送手段は、複数の板状ワークを同時に保持する保持部と、該保持部を該仮置き手段から該保持手段へ移動させる移動手段とを備え、
該移動手段による該保持部の一度の動作で、該仮置き手段に仮置きされた複数の板状ワークを受け取り、該保持面に搬送する、
加工装置。 - 該仮置き手段は、
エアを介して板状ワークの下面を非接触で支持するために、上面に開口されたエアを噴出するエア噴射孔を有し、該カセットから該搬送手段の受取位置に延在するエアスライダと、
該エアを介して該エアスライダの該上面に非接触で支持された板状ワークを、該エアスライダの延在方向に移動させるスライダ移動手段と、
該スライダ移動手段によって移動される板状ワークを、該搬送手段の該受取位置で停止させる停止手段と、を備える、
請求項1記載の加工装置。 - 該スライダ移動手段は、該エアスライダの上面に非接触で支持された板状ワークの一方の縁を該受取位置に向かって押す押し機構を備え、
該停止手段は、該受取位置に移動した板状ワークの他方の縁に接触するストッパを備える、
請求項2記載の加工装置。 - 該エア噴射孔は、
エアが板状ワークの移動方向に流れるように、該エアスライダの該上面に垂直な方向から移動方向に傾けられて形成された、該スライダ移動手段としての順エア噴射孔と、
該順エア噴射孔から噴射されたエアの流れに対向するエアの流れを形成するように、該順エア噴射孔の傾きに対向する傾きを有する、該停止手段としての逆エア噴射孔と、を備え、
該仮置き手段は、該順エア噴射孔から噴射されたエアの流れと該逆エア噴射孔から噴射されたエアの流れとによって、該受取位置において非接触で板状ワークを支持する、
請求項2記載の加工装置。 - 該仮置き手段は、
板状ワークの両側下面を各々支持する第1レールおよび第2レールからなる第1レーンと、
該第1レーンに並列に配置され、該第1レーンと同様に板状ワークの両側下面を各々支持する第3レールおよび第4レールからなる第2レーンと、
該第1レーンおよび該第2レーンの幅を同時に調整可能な幅変更手段とを備え、
該幅変更手段は、
該第2レールに形成される第1雌ネジと、
該第3レールに該第1雌ネジと同じネジピッチで形成される第2雌ネジと、
該第4レールに該第1雌ネジおよび該第2雌ネジのネジピッチの倍のネジピッチで形成される第3雌ネジと、
該第1雌ネジおよび該第2雌ネジに螺合する第1雄ネジ、および、該第3雌ネジに螺合する第2雄ネジを備えるシャフトと、
該シャフトを回転させる回転手段と、を備え、
該幅変更手段は、該シャフトを回転させることによって、該第1レーンおよび該第2レーンの幅を同時に広げたり狭めたりすることを可能とする、
請求項2記載の加工装置。 - 該仮置き手段は、
無端ベルトと、
該無端ベルトを回転させる回転機構と、
該無端ベルトの上面に載置された板状ワークが該搬送手段の受取位置に到達したことを検知する先端センサと、を備える、
請求項1記載の加工装置。 - 該カセットから取り出され該無端ベルトに載置された板状ワークを検知する検知センサと、
板状ワークの大きさ(長さおよび幅)を設定する大きさ設定部と、
該回転機構によって該無端ベルトを所定の回転速度で回転させる速度設定部と、
該大きさ設定部によって大きさが設定された板状ワークが、該速度設定部によって設定された速度で移動した際に、該検知センサが該板状ワークの一方の縁を検知してから他方の縁を検知するまでの時間を測定する時間測定部と、
該速度設定部によって設定された該無端ベルトの回転速度と該時間測定部によって測定された時間とから、板状ワークの大きさを算出する大きさ算出部と、
該大きさ設定部によって設定された板状ワークの大きさよりも、該大きさ算出部によって算出された板状ワークの大きさが小さいときに、該無端ベルトの回転に不具合があると判断する判断部と、をさらに備える、
請求項6記載の加工装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020126287A JP7509596B2 (ja) | 2020-07-27 | 2020-07-27 | 加工装置 |
KR1020210081072A KR20220013900A (ko) | 2020-07-27 | 2021-06-22 | 가공 장치 |
CN202110824283.1A CN114055265A (zh) | 2020-07-27 | 2021-07-21 | 加工装置 |
TW110126948A TW202204087A (zh) | 2020-07-27 | 2021-07-22 | 加工裝置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020126287A JP7509596B2 (ja) | 2020-07-27 | 2020-07-27 | 加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022023378A true JP2022023378A (ja) | 2022-02-08 |
JP7509596B2 JP7509596B2 (ja) | 2024-07-02 |
Family
ID=80226182
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020126287A Active JP7509596B2 (ja) | 2020-07-27 | 2020-07-27 | 加工装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7509596B2 (ja) |
KR (1) | KR20220013900A (ja) |
CN (1) | CN114055265A (ja) |
TW (1) | TW202204087A (ja) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5129002B2 (ja) | 2008-04-10 | 2013-01-23 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP2011008876A (ja) | 2009-06-26 | 2011-01-13 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置 |
JP5604489B2 (ja) | 2012-09-26 | 2014-10-08 | 株式会社 ハリーズ | 薄板状ワーク研削装置及び薄板状部材の製造方法 |
JP6360762B2 (ja) | 2014-09-26 | 2018-07-18 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP2017112227A (ja) | 2015-12-16 | 2017-06-22 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP7193969B2 (ja) | 2018-10-03 | 2022-12-21 | 株式会社ディスコ | 矩形基板の研削方法 |
-
2020
- 2020-07-27 JP JP2020126287A patent/JP7509596B2/ja active Active
-
2021
- 2021-06-22 KR KR1020210081072A patent/KR20220013900A/ko active Search and Examination
- 2021-07-21 CN CN202110824283.1A patent/CN114055265A/zh active Pending
- 2021-07-22 TW TW110126948A patent/TW202204087A/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW202204087A (zh) | 2022-02-01 |
KR20220013900A (ko) | 2022-02-04 |
CN114055265A (zh) | 2022-02-18 |
JP7509596B2 (ja) | 2024-07-02 |
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Legal Events
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A621 | Written request for application examination |
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|
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