KR20220013900A

KR20220013900A - 가공 장치

Info

Publication number: KR20220013900A
Application number: KR1020210081072A
Authority: KR
Inventors: 히로키 미야모토; 사토시 야마나카; 히데토시 마나미
Original assignee: 가부시기가이샤 디스코
Priority date: 2020-07-27
Filing date: 2021-06-22
Publication date: 2022-02-04
Also published as: TW202204087A; JP2022023378A; JP7509596B2; CN114055265A

Abstract

(과제) 연삭 수단의 대기 시간을 단축하여, 연삭 장치에 있어서의 생산성을 향상시킨다.
(해결 수단) 반송 수단 (100) 은, 이동 수단 (110) 에 의한 유지부 (140) 에 대한 한 번의 동작으로, 임시 거치 수단에 임시 거치된 복수의 판상 워크를 수취하여, 조연삭부의 제 1 유지면에 반송한다. 즉, 임시 거치 수단에 임시 거치되어 있는 복수의 판상 워크를, 1 회의 반송 동작으로 제 1 유지면에 반송할 수 있다. 따라서, 제 1 유지면에 복수의 판상 워크를 반송하기 위한 반송 시간을 단축하는 것이 가능하다. 이로써, 조연삭부의 대기 시간을 단축할 수 있다. 따라서, 가공 장치의 생산성을 높이는 것이 가능하다.

Description

가공 장치{PROCESSING APPARATUS}

본 발명은, 가공 장치에 관한 것이다.

판상 워크를 척 테이블의 유지면에 의해 유지하고, 판상 워크의 상면을 연삭 지석에 의해 연삭하는 연삭 장치에서는, 예를 들어 특허문헌 1 에 개시된 바와 같이, 유지면에 의해, 복수의 판상 워크를 유지하는 경우가 있다.

일본 공개특허공보 2020-55080호

유지면에 의해 복수의 판상 워크를 유지할 때에는, 반송 수단에 의해, 판상 워크가, 한 장씩, 복수 회에 걸쳐서, 유지면에 반송된다.

그 때문에, 연삭 가공에 걸리는 연삭 가공 시간보다, 연삭 후의 판상 워크를 유지면으로부터 반출하는 것, 및, 그 후에 유지면에 새로운 판상 워크를 반입하는 것에 걸리는 반송 시간이 길어진다. 이 때문에, 연삭 수단에 대기 시간이 발생하고 있다.

따라서, 본 발명의 목적은, 연삭 수단의 대기 시간을 단축하여, 연삭 장치에 있어서의 생산성을 향상시키는 것에 있다.

본 발명의 가공 장치 (본 가공 장치) 는, 유지면에 의해 판상 워크를 유지하는 유지 수단과, 그 유지면에 유지된 판상 워크를 가공하는 가공 수단과, 상하 방향으로 간극을 두고 복수의 판상 워크를 수용하는 선반을 구비한 카세트를 재치 (載置) 하기 위한 카세트 스테이지와, 그 카세트로부터 취출된 판상 워크를 임시 거치하기 위한 임시 거치 수단과, 그 임시 거치 수단에 임시 거치된 판상 워크를 그 유지면에 반송하는 반송 수단을 적어도 구비하는 가공 장치로서, 그 유지 수단은, 그 유지면을 복수 구비하고, 그 임시 거치 수단은, 그 유지면의 수에 대응한 매수의 판상 워크를 임시 거치 가능하고, 그 반송 수단은, 복수의 판상 워크를 동시에 유지하는 유지부와, 그 유지부를 그 임시 거치 수단으로부터 그 유지 수단으로 이동시키는 이동 수단을 구비하고, 그 이동 수단에 의한 그 유지부의 한 번의 동작으로, 그 임시 거치 수단에 임시 거치된 복수의 판상 워크를 수취하여, 그 유지면에 반송한다.

본 가공 장치에서는, 그 임시 거치 수단은, 에어를 통하여 판상 워크의 하면을 비접촉으로 지지하기 위해서, 상면에 개구된 에어를 분출하는 에어 분사공을 갖고, 그 카세트로부터 그 반송 수단의 수취 위치에 연장되는 에어 슬라이더와, 그 에어를 통하여 그 에어 슬라이더의 그 상면에 비접촉으로 지지된 판상 워크를, 그 에어 슬라이더의 연장 방향으로 이동시키는 슬라이더 이동 수단과, 그 슬라이더 이동 수단에 의해 이동되는 판상 워크를, 그 반송 수단의 그 수취 위치에서 정지시키는 정지 수단을 구비해도 된다.

이 경우, 그 슬라이더 이동 수단은, 그 에어 슬라이더의 상면에 비접촉으로 지지된 판상 워크의 일방의 가장자리를 그 수취 위치를 향해 누르는 누름 기구를 구비해도 되고, 그 정지 수단은, 그 수취 위치로 이동한 판상 워크의 타방의 가장자리에 접촉하는 스토퍼를 구비해도 된다.

혹은, 그 에어 분사공은, 에어가 판상 워크의 이동 방향으로 흐르도록, 그 에어 슬라이더의 그 상면에 수직인 방향으로부터 이동 방향으로 기울어져 형성된, 그 슬라이더 이동 수단으로서의 순에어 분사공과, 그 순에어 분사공으로부터 분사된 에어의 흐름에 대향하는 에어의 흐름을 형성하도록, 그 순에어 분사공의 기울기에 대향하는 기울기를 갖는, 그 정지 수단으로서의 역에어 분사공을 구비해도 되고, 그 임시 거치 수단은, 그 순에어 분사공으로부터 분사된 에어의 흐름과 그 역에어 분사공으로부터 분사된 에어의 흐름에 의해, 그 수취 위치에 있어서 비접촉으로 판상 워크를 지지해도 된다.

혹은, 그 임시 거치 수단은, 판상 워크의 양측 하면을 각각 지지하는 제 1 레일 및 제 2 레일로 이루어지는 제 1 레인과, 그 제 1 레인에 병렬로 배치되고, 그 제 1 레인과 동일하게 판상 워크의 양측 하면을 각각 지지하는 제 3 레일 및 제 4 레일로 이루어지는 제 2 레인와, 그 제 1 레인 및 그 제 2 레인의 폭을 동시에 조정 가능한 폭 변경 수단을 구비해도 되고, 그 폭 변경 수단은, 그 제 2 레일에 형성되는 제 1 암나사와, 그 제 3 레일에 그 제 1 암나사와 동일한 나사 피치로 형성되는 제 2 암나사와, 그 제 4 레일에 그 제 1 암나사 및 그 제 2 암나사의 나사 피치의 배의 나사 피치로 형성되는 제 3 암나사와, 그 제 1 암나사 및 그 제 2 암나사에 나사 결합하는 제 1 수나사, 및, 그 제 3 암나사에 나사 결합하는 제 2 수나사를 구비하는 샤프트와, 그 샤프트를 회전시키는 회전 수단을 구비해도 되고, 그 폭 변경 수단은, 그 샤프트를 회전시키는 것에 의해, 그 제 1 레인 및 그 제 2 레인의 폭을 동시에 넓히거나 좁히거나 하는 것을 가능하게 하도록 구성되어 있어도 된다.

또, 본 가공 장치에서는, 그 임시 거치 수단은, 무단 벨트와, 그 무단 벨트를 회전시키는 회전 기구와, 그 무단 벨트의 상면에 재치된 판상 워크가 그 반송 수단의 수취 위치에 도달한 것을 검지하는 선단 센서를 구비해도 된다.

이 경우, 본 가공 장치는, 그 카세트로부터 취출되어 그 무단 벨트에 재치된 판상 워크를 검지하는 검지 센서와, 판상 워크의 크기 (길이 및 폭) 를 설정하는 크기 설정부와, 그 회전 기구에 의해 그 무단 벨트를 소정의 회전 속도로 회전시키는 속도 설정부와, 그 크기 설정부에 의해 크기가 설정된 판상 워크가, 그 속도 설정부에 의해 설정된 속도로 이동했을 때에, 그 검지 센서가 그 판상 워크의 일방의 가장자리를 검지하고 나서 타방의 가장자리를 검지할 때까지의 시간을 측정하는 시간 측정부와, 그 속도 설정부에 의해 설정된 그 무단 벨트의 회전 속도와 그 시간 측정부에 의해 측정된 시간으로부터, 판상 워크의 크기를 산출하는 크기 산출부와, 그 크기 설정부에 의해 설정된 판상 워크의 크기보다, 그 크기 산출부에 의해 산출된 판상 워크의 크기가 작을 때에, 그 무단 벨트의 회전에 문제가 있는 것으로 판단하는 판단부를 추가로 구비해도 된다.

본 가공 장치에서는, 반송 수단은, 이동 수단에 의한 유지부의 한 번의 동작으로, 임시 거치 수단에 임시 거치된 복수의 판상 워크를 수취하여, 유지면에 반송한다. 즉, 본 가공 장치에서는, 임시 거치 수단에 임시 거치되어 있는 복수의 판상 워크를, 1 회의 반송 동작으로 유지면에 반송할 수 있다. 따라서, 유지면에 복수의 판상 워크를 반송하기 위한 반송 시간을 단축하는 것이 가능하다. 이로써, 본 가공 장치에서는, 가공 수단의 대기 시간을 단축할 수 있다. 따라서, 가공 장치는, 높은 생산성을 가질 수 있다.

도 1 은, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 가공 장치의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2 는, 임시 거치 수단의 위치를 나타내는 사시도이다.
도 3 은, 반송 수단의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 4 는, 카세트 반송 기구의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 5 는, 임시 거치 수단의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 6(a) 는, 제 2 레일에 형성되는 제 1 암나사를 나타내는 단면도이고, 도 6(b) 는, 제 4 레일에 형성되는 제 3 암나사의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 7(a) 는, 제 1 안내 레일의 구성을 나타내는 사시도이고, 도 7(b) 는, 제 1 안내 레일의 구성을 나타내는 설명도이다.
도 8 은, 제 1 안내 레일 상을 판상 워크가 이동하는 모습을 나타내는 설명도이다.
도 9 는, 제 1 레일 상을 판상 워크가 이동하는 모습을 나타내는 설명도이다.
도 10 은, 제 1 레일 상에 있어서 판상 워크가 정지하는 모습을 나타내는 설명도이다.
도 11 은, 제 1 벨트 이동 수단의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 12 는, 제 2 벨트 이동 수단의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 13 은, 임시 거치 수단의 다른 예를 나타내는 사시도이다.

도 1 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 는, 조 (粗) 연삭부 (10), 마무리 연삭부 (30) 및 제어부 (7) 를 구비하고, 제어부 (7) 에 의한 제어에 의해, 조연삭부 (10) 및 마무리 연삭부 (30) 에 의해, 사각형의 판상 워크 (2) 를 연삭 가공하는 것이다.

가공 장치 (1) 는, 제 1 장치 베이스 (3) 와, 제 1 장치 베이스 (3) 의 후방 (＋Y 방향측) 에 배치된 제 2 장치 베이스 (5) 를 가지고 있다. 제 1 장치 베이스 (3) 상에서는, 판상 워크 (2) 의 반출입 등이 실시된다. 제 2 장치 베이스 (5) 상에서는, 조연삭부 (10) 또는 마무리 연삭부 (30) 에 의해, 판상 워크 (2) 가 가공된다.

제 1 장치 베이스 (3) 의 정면측 (―Y 방향측) 에는, 카세트 스테이지 (40) 및 스토커 (50) 가 형성되어 있다. 카세트 스테이지 (40) 에는, 가공 전의 판상 워크 (2) 가 수용되어 있는 카세트 (41) 가 재치되어 있다. 스토커 (50) 에는, 가공 전의 판상 워크 (2) 가 수용되어 있는 동일한 카세트 (41) 가, 복수, 재치되는 것이 가능하다.

카세트 (41) 는, 상하 방향으로 간극을 두고 복수의 판상 워크 (2) 를 수용하는 선반을 구비하고 있다. 각 선반에 한 장씩, 판상 워크 (2) 가 수용되어 있다.

카세트 (41) 는, ＋Y 방향측을 향하는 개구를 가지고 있다. 이 개구의 ＋Y 방향측에는, 로봇 (155) 이 배치 형성되어 있다. 로봇 (155) 은, 가공 후의 판상 워크 (2) 를, 도시되지 않은 가공이 완료된 워크 수용용의 카세트에 반입 (수납) 한다.

또, 로봇 (155) 은, 카세트 (41) 로부터 가공 전의 판상 워크 (2) 를 취출하여, 도 2 에 나타내는 임시 거치 수단 (200) 에 재치한다. 임시 거치 수단 (200) 은, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 카세트 스테이지 (40) 의 ＋Y 방향측의, 파선에 의해 나타내는 임시 거치 공간 (190) 에 구비되어 있다. 임시 거치 수단 (200) 은, 카세트 (41) 로부터 취출된 판상 워크 (2) 를 임시 거치하기 위해서 사용된다.

또, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 임시 거치 공간 (190) 의 ＋Y 방향측에 있어서의 제 2 장치 베이스 (5) 상에는, 조연삭부 (10) 및 마무리 연삭부 (30) 가 배치되어 있다.

조연삭부 (10) 는, 판상 워크 (2) 를 유지하기 위한 제 1 척 테이블 (13) 을 구비하고 있다. 제 1 척 테이블 (13) 은, 판상 워크 (2) 를 유지하기 위한 유지 수단의 일례이며, 판상 워크 (2) 를 흡인 유지하는 2 개의 제 1 유지면 (12) 을 구비하고 있다. 각 제 1 유지면 (12) 은, 도시되지 않은 흡인원에 연통되어, 1 장의 판상 워크 (2) 를 흡인 유지하는 것이 가능하다. 따라서, 본 실시형태에서는, 제 1 척 테이블 (13) 은, 2 개의 제 1 유지면 (12) 에 의해, 2 장의 판상 워크 (2) 를 동시에 유지하는 것이 가능하다.

제 1 척 테이블 (13) 은, 제 1 유지면 (12) 에 의해 판상 워크 (2) 를 흡인 유지한 상태에서, 제 1 유지면 (12) 의 중심을 지나 Z 축 방향으로 연장되는 중심축을 중심으로 하여, 회전 가능하다.

또, 제 2 장치 베이스 (5) 상의 후방 (＋Y 방향측) 에는, 제 1 칼럼 (14) 이 세워 형성되어 있다. 그리고, 조연삭부 (10) 는, 제 1 칼럼 (14) 의 전면에, 판상 워크 (2) 를 조연삭하는 조연삭 수단 (15), 및, 조연삭 수단 (15) 을 연삭 이송하는 조연삭 이송 수단 (11) 을 구비하고 있다.

조연삭 수단 (15) 은, 제 1 유지면 (12) 에 유지된 판상 워크 (2) 를 가공하는 가공 수단의 일례이며, 조연삭 지석 (18) 을 갖는 조연삭 휠 (17) 을 구비하고 있다. 조연삭 지석 (18) 은, 가공구의 일례이며, 비교적 큰 지립을 포함하는 지석이다.

또한, 조연삭부 (10) 는, 제 1 척 테이블 (13) 의 제 1 유지면 (12) 에 유지된 판상 워크 (2) 의 두께를 측정하기 위한 제 1 하이트 게이지 (19) 를 구비하고 있다.

조연삭부 (10) 에서는, 조연삭 수단 (15) 의 스핀들 (16) 의 회전에 의해 회전되는 조연삭 지석 (18) 에 의해, 제 1 척 테이블 (13) 의 제 1 유지면 (12) 에 유지된 판상 워크 (2) 가 조연삭된다.

마무리 연삭부 (30) 는, 판상 워크 (2) 를 유지하기 위한 제 2 척 테이블 (33) 을 구비하고 있다. 제 2 척 테이블 (33) 은, 판상 워크 (2) 를 유지하기 위한 유지 수단의 일례이며, 판상 워크 (2) 를 흡인 유지하는 2 개의 제 2 유지면 (32) 을 구비하고 있다. 각 제 2 유지면 (32) 은, 도시되지 않은 흡인원에 연통되어, 1 장의 판상 워크 (2) 를 흡인 유지하는 것이 가능하다. 따라서, 본 실시형태에서는, 제 2 척 테이블 (33) 은, 2 개의 제 2 유지면 (32) 에 의해, 2 장의 판상 워크 (2) 를 동시에 유지하는 것이 가능하다.

제 2 척 테이블 (33) 은, 제 2 유지면 (32) 에 의해 판상 워크 (2) 를 흡인 유지한 상태에서, 제 2 유지면 (32) 의 중심을 지나 Z 축 방향으로 연장되는 중심축을 중심으로 하여, 회전 가능하다.

또, 제 2 장치 베이스 (5) 상의 후방에서는, 제 1 칼럼 (14) 에 인접하도록, 제 2 칼럼 (34) 이 세워 형성되어 있다. 그리고, 마무리 연삭부 (30) 는, 제 2 칼럼 (34) 의 전면에, 판상 워크 (2) 를 마무리 연삭하는 마무리 연삭 수단 (35), 및, 마무리 연삭 수단 (35) 을 연삭 이송하는 마무리 연삭 이송 수단 (31) 을 구비하고 있다.

마무리 연삭 수단 (35) 은, 제 2 유지면 (32) 에 유지된 판상 워크 (2) 를 가공하는 가공 수단의 일례이며, 마무리 연삭 지석 (38) 을 갖는 마무리 연삭 휠 (37) 을 구비하고 있다. 마무리 연삭 지석 (38) 은, 가공구의 일례이며, 비교적 작은 지립을 포함하는 지석이다.

또한, 마무리 연삭부 (30) 는, 제 2 척 테이블 (33) 의 제 2 유지면 (32) 에 유지된 판상 워크 (2) 의 두께를 측정하기 위한 제 2 하이트 게이지 (39) 를 구비하고 있다.

마무리 연삭부 (30) 에서는, 마무리 연삭 수단 (35) 의 스핀들 (36) 의 회전에 의해 회전되는 마무리 연삭 지석 (38) 에 의해, 제 2 척 테이블 (33) 의 제 2 유지면 (32) 에 유지된 판상 워크 (2) 가 마무리 연삭된다.

또, 제 2 장치 베이스 (5) 상의 조연삭부 (10) 와 마무리 연삭부 (30) 사이에 있어서의, 도 1 에 있어서 파선에 의해 나타내는 반송 공간 (170) 에는, 조연삭부 (10) 용 및 마무리 연삭부 (30) 용의, 2 대의 반송 수단 (100) (도 3 참조) 이 구비되어 있다.

도 3 에는, 조연삭부 (10) 용의 반송 수단 (100) 을 나타내고 있다. 조연삭부 (10) 용의 반송 수단 (100) 은, Y 축 방향으로 연장되는 케이싱판 (101) 에 있어서의 ―X 방향측의 면에, 복수의 판상 워크 (2) 를 동시에 유지하는 유지부 (140), 및, 유지부 (140) 를 이동시키는 이동 수단 (110) 을 구비하고 있다.

이동 수단 (110) 은, 유지부 (140) 를 Z 축 방향으로 이동시키기 위한 Z 축 이동 기구 (130), 그리고, 유지부 (140) 및 Z 축 이동 기구 (130) 를 Y 축 방향으로 이동시키기 위한 Y 축 이동 기구 (120) 를 구비하고 있다.

Y 축 이동 기구 (120) 는, Y 축 방향으로 연장되는 1 쌍의 가이드 레일 (123), 가이드 레일 (123) 에 재치된 Y 축 테이블 (124), 가이드 레일 (123) 과 평행하게 연장되는 볼 나사 (125), 및, 볼 나사 (125) 를 회전시키는 구동 모터 (126) 를 포함하고 있다.

1 쌍의 가이드 레일 (123) 은, Y 축 방향으로 평행하게, 케이싱판 (101) 의 전면에 배치되어 있다. Y 축 테이블 (124) 은, 1 쌍의 가이드 레일 (123) 상에, 이들의 가이드 레일 (123) 을 따라 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. Y 축 테이블 (124) 상에는, Z 축 이동 기구 (130) 및 유지부 (140) 가 장착되어 있다.

볼 나사 (125) 는, Y 축 테이블 (124) 에 형성된 너트부 (도시 생략) 에 나사 결합되어 있다. 구동 모터 (126) 는, 볼 나사 (125) 의 일단부에 연결되어 있고, 볼 나사 (125) 를 회전 구동시킨다. 볼 나사 (125) 가 회전 구동됨으로써, Y 축 테이블 (124), Z 축 이동 기구 (130) 및 유지부 (140) 가, 가이드 레일 (123) 을 따라, Y 축 방향으로 이동한다.

Z 축 이동 기구 (130) 는, 장착판 (134), Z 축 방향으로 연장되는 가이드 레일 (131), 가이드 레일 (131) 상에 재치된 Z 축 테이블 (132), 가이드 레일 (131) 과 평행하게 연장되는 볼 나사 (133), 볼 나사 (133) 를 회전시키는 구동 모터 (135), 및, 유지부 (140) 를 지지하는 아암 (137) 을 구비하고 있다.

장착판 (134) 은, Y 축 테이블 (124) 의 측면에 배치되어 있다. 가이드 레일 (131) 은, Z 축 방향으로 평행하게, 장착판 (134) 에 배치되어 있다. Z 축 테이블 (132) 은, 가이드 레일 (131) 상에, 가이드 레일 (131) 을 따라 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. Z 축 테이블 (132) 상에는, 아암 (137) 이 장착되어 있다.

볼 나사 (133) 는, Z 축 테이블 (132) 에 형성된 너트부 (도시 생략) 에 나사 결합되어 있다. 구동 모터 (135) 는, 볼 나사 (133) 의 일단부에 연결되어 있고, 볼 나사 (133) 를 회전 구동시킨다. 볼 나사 (133) 가 회전 구동됨으로써, Z 축 테이블 (132), 아암 (137), 및, 아암 (137) 에 지지된 유지부 (140) 가, 가이드 레일 (131) 을 따라, Z 축 방향으로 이동한다.

아암 (137) 은, Z 축 테이블 (132) 에 장착되어 있고, X 축 방향을 따라 연장되어 있다.

유지부 (140) 는, 아암 (137) 의 선단에 지지되어 있다. 유지부 (140) 는, 아암 (137) 을 사이에 두도록 형성된 1 쌍의 유지판 (141), 및, 유지판 (141) 에 2 개씩 구비된 흡인 패드 (142) 를 가지고 있다. 흡인 패드 (142) 는, 도시되지 않은 흡인원에 연통됨으로써, 판상 워크 (2) 를 흡인 유지하는 것이 가능하다. 이와 같이, 유지부 (140) 는, 1 장의 유지판 (141) 에 복수의 흡인 패드 (142) 를 구비하고 있기 때문에, 복수의 판상 워크 (2) 를 동시에 유지하는 것이 가능하다.

조연삭부 (10) 용의 반송 수단 (100) 에서는, 복수의 판상 워크 (2) 를 유지하고 있는 유지부 (140) 를, 이동 수단 (110) 에 의해, 임시 거치 수단 (200) 으로부터 제 1 척 테이블 (13) 로 이동시킨다. 즉, 이 반송 수단 (100) 은, 임시 거치 수단 (200) 에 임시 거치된 2 장의 판상 워크 (2) 를, 유지부 (140) 에 의해 동시에 유지하고, 조연삭부 (10) 의 제 1 척 테이블 (13) 의 2 개의 제 1 유지면 (12) 에 반송 및 재치한다.

이와 같이, 반송 수단 (100) 에서는, 이동 수단 (110) 에 의한 유지부 (140) 의 한 번의 동작으로, 임시 거치 수단 (200) 에 임시 거치된 복수의 판상 워크 (2) 를 수취하여, 제 1 유지면 (12) 에 반송한다.

또, 조연삭부 (10) 용의 반송 수단 (100) 은, 조연삭 후, 제 1 척 테이블 (13) 에 있어서의 2 개의 제 1 유지면 (12) 상의 2 장의 판상 워크 (2) 를, 유지부 (140) 에 의해 동시에 유지하고, 도 1 에 나타내는 중계 수단 (152) 의 중계 테이블 (154) 에 재치한다.

중계 테이블 (154) 은, 조연삭부 (10) 에 의해 조연삭된 판상 워크 (2) 를, 마무리 연삭부 (30) 로 이동시키기 위해서 사용된다. 중계 테이블 (154) 은, 2 장의 판상 워크 (2) 를 재치할 수 있도록 구성되어 있다. 중계 수단 (152) 은, 추가로, 중계 테이블 (154) 을 X 축 방향으로 이동시키기 위한 이동 수단 (153) 을 가지고 있다.

반송 수단 (100) 에 의해 판상 워크 (2) 가 중계 수단 (152) 의 중계 테이블 (154) 에 재치될 때에는, 중계 수단 (152) 은, 이동 수단 (153) 에 의해, 중계 테이블 (154) 을, ―X 방향측의 조연삭 위치 (도 1 에 나타나 있는 중계 테이블 (154) 의 위치) 에 배치해 둔다.

조연삭 후의 판상 워크 (2) 가 중계 수단 (152) 의 중계 테이블 (154) 에 재치된 후, 중계 수단 (152) 은, 이동 수단 (153) 에 의해, 중계 테이블 (154) 을, ―X 방향측의 조연삭 위치로부터, ＋X 방향측의 마무리 연삭 위치로 이동시킨다.

또, 반송 공간 (170) 에는, 조연삭부 (10) 용의 반송 수단 (100) 의 ＋X 방향측에, 마무리 연삭부 (30) 용의 반송 수단 (100) 도 배치되어 있다. 마무리 연삭부 (30) 용의 반송 수단 (100) 은, 도 3 에 나타낸 조연삭부 (10) 용의 반송 수단 (100) 의 구성에 있어서, 케이싱판 (101) 의 ＋X 방향측의 면에, 유지부 (140), 및, 반송 수단 (100) (Z 축 이동 기구 (130) 및 Y 축 이동 기구 (120)) 을 갖도록 구성되어 있다.

마무리 연삭부 (30) 용의 반송 수단 (100) 은, ＋X 방향측의 마무리 연삭 위치에 있는 중계 테이블 (154) 에 임시 거치된 2 장의 판상 워크 (2) 를, 유지부 (140) 에 의해 동시에 유지하고, 마무리 연삭부 (30) 의 제 2 척 테이블 (33) 에 있어서의 2 개의 제 2 유지면 (32) 에 반송 및 재치한다.

또, 마무리 연삭부 (30) 용의 반송 수단 (100) 은, 마무리 연삭 후, 제 2 척 테이블 (33) 에 있어서의 2 개의 제 2 유지면 (32) 상의 2 장의 판상 워크 (2) 를, 유지부 (140) 에 의해 동시에 유지하고, 도 1 에 나타내는 세정 수단 (156) 의 스피너 테이블 (157) 에 반송한다.

세정 수단 (156) 은, 판상 워크 (2) 를 세정하는 스피너 세정 유닛이다. 세정 수단 (156) 은, 판상 워크 (2) 를 유지하는 스피너 테이블 (157), 및, 스피너 테이블 (157) 을 향하여 세정수 및 건조 에어를 분사하는 노즐 (158) 을 구비하고 있다. 스피너 테이블 (157) 은, 2 장의 판상 워크 (2) 를 동시에 유지할 수 있도록 구성되어 있다.

세정 수단 (156) 에서는, 판상 워크 (2) 를 유지한 스피너 테이블 (157) 이 회전함과 함께, 판상 워크 (2) 를 향하여 세정수가 분사되어, 판상 워크 (2) 가 스피너 세정된다. 그 후, 판상 워크 (2) 에 건조 에어가 분무되어, 판상 워크 (2) 가 건조된다.

세정 수단 (156) 에 의해 세정된 판상 워크 (2) 는, 로봇 (155) 에 의해, 가공이 완료된 워크 수용용의 카세트에 반입된다.

또, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 스토커 (50) 는, 직방체상의 테이블 (51), 및, 테이블 (51) 과 카세트 (41) 사이에 개재되는 어댑터 플레이트 (52) 를 구비하고 있다. 카세트 (41) 는, 이 어댑터 플레이트 (52) 의 상면에 재치된다.

또, 테이블 (51) 상에는, 각 어댑터 플레이트 (52) 에 대응하는 3 개의 플레이트 지지부 (511) 가 형성되어 있다. 어댑터 플레이트 (52) 는, 테이블 (51) 상에 있어서, 이들 3 개의 플레이트 지지부 (511) 에 의해 위치 결정된다.

또, 가공 장치 (1) 에는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 로봇 (155) 의 상부에, 파선에 의해 나타내는 카세트 반송 공간 (180) 이 형성되어 있다. 이 카세트 반송 공간 (180) 에는, 스토커 (50) 에 재치된 카세트 (41) 를 카세트 스테이지 (40) 에 반송하기 위한, 도 4 에 나타내는 카세트 반송 기구 (60) 가 구비되어 있다.

카세트 반송 기구 (60) 는, 카세트 (41) 를 실은 어댑터 플레이트 (52) 를 지지하는 지지 기구 (70) 와, 지지 기구 (70) 를 스토커 (50) 와 카세트 스테이지 (40) 사이에서 이동시키는 이동 기구 (62) 를 구비하고 있다.

이동 기구 (62) 는, 카세트 반송 기구 (60) 의 X 축 방향으로 연장되는 케이싱판 (61) 의 전면 (―Y 방향측의 면) 에 형성되어 있다. 이동 기구 (62) 는, 지지 기구 (70) 를 X 축 방향으로 이동시키는 X 축 이동 기구 (63), 및 지지 기구 (70) 를 Z 축 방향으로 이동시키는 Z 축 이동 기구 (64) 를 구비하고 있다.

카세트 반송 기구 (60) 는, 테이블 (51) 의 어댑터 플레이트 (52) 상에 배치되어 있는 카세트 (41) 를, 지지 기구 (70) 에 의해 어댑터 플레이트 (52) 마다 지지하고, 이동 기구 (62) 에 의해 카세트 스테이지 (40) 에 반송하도록 구성되어 있다.

여기서, 상기 서술한 임시 거치 수단 (200) 의 구성에 대해 설명한다. 임시 거치 수단 (200) 은, 제 1 척 테이블 (13) (제 2 척 테이블 (33)) 이 갖는 제 1 유지면 (12) (제 2 유지면 (32)) 의 수에 대응한 매수의 판상 워크 (2) 를 임시 거치 가능하도록 구성되어 있다. 따라서, 본 실시형태에서는, 임시 거치 수단 (200) 에는, 2 장의 판상 워크 (2) 를 임시 거치하는 것이 가능하다.

도 5 에 나타내는 바와 같이, 임시 거치 수단 (200) 은, 기대 (201), 제 1 레인 (211) 및 제 2 레인 (215) 을 포함하는 임시 거치 레인부 (210), 제 1 레인 (211) 및 제 2 레인 (215) 의 폭을 조정하기 위한 폭 변경 수단 (220), 임시 거치 레인부 (210) 의 X 축 방향에 있어서의 위치를 조정하는 위치 조정 수단 (230), 및, 임시 거치 레인부 (210) 에 판상 워크 (2) 를 안내하는 안내 레인 (250) 을 구비하고 있다.

위치 조정 수단 (230) 은, 폭 변경 수단 (220) 및 임시 거치 레인부 (210) 를 지지하고 있고, 이들의 X 축 방향에 있어서의 위치를 조정한다.

위치 조정 수단 (230) 은, X 축 방향으로 연장되는 1 쌍의 가이드 레일 (231), 가이드 레일 (231) 에 재치된 X 축 테이블 (234), 가이드 레일 (231) 과 평행하게 연장되는 볼 나사 (232), 및, 볼 나사 (232) 를 회전시키는 구동 모터 (233) 를 포함하고 있다.

1 쌍의 가이드 레일 (231) 은, X 축 방향으로 평행하게, 기대 (201) 상에 배치되어 있다. X 축 테이블 (234) 은, 1 쌍의 가이드 레일 (231) 상에, 이들의 가이드 레일 (231) 을 따라 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. X 축 테이블 (234) 상에는, 폭 변경 수단 (220) 및 임시 거치 레인부 (210) 가 배치되어 있다.

볼 나사 (232) 는, X 축 테이블 (234) 에 형성된 너트부 (도시 생략) 에 나사 결합되어 있다. 구동 모터 (233) 는, 볼 나사 (232) 의 일단부에 연결되어 있고, 볼 나사 (232) 를 회전 구동시킨다. 볼 나사 (232) 가 회전 구동됨으로써, X 축 테이블 (234), 폭 변경 수단 (220) 및 임시 거치 레인부 (210) 가, 가이드 레일 (231) 을 따라, X 축 방향으로 이동한다. 이로써, 폭 변경 수단 (220) 및 임시 거치 레인부 (210) 에 있어서의 X 축 방향에서의 위치를 조정할 수 있다.

임시 거치 레인부 (210) 에 있어서의 ＋Y 방향측은, 반송 수단 (100) (도 3 참조) 의 수취 위치, 즉, 제 1 척 테이블 (13) 에 반송하기 위한 판상 워크 (2) 를 반송 수단 (100) 이 수취하는 위치에 배치되어 있다. 임시 거치 레인부 (210) 는, 제 1 레인 (211) 및 제 2 레인 (215) 을 구비하고 있다. 제 1 레인 (211) 은, 판상 워크 (2) 의 양측 하면을 각각 지지하는 제 1 레일 (212) 및 제 2 레일 (213) 을 가지고 있다. 이들 제 1 레일 (212) 및 제 2 레일 (213) 은, Y 축 방향을 따라 연장되어 있다.

제 2 레인 (215) 은, 제 1 레인 (211) 과 병렬로 배치되어 있다. 제 2 레인 (215) 은, 제 1 레인 (211) 과 동일하게, 판상 워크 (2) 의 양측 하면을 각각 지지하는 제 3 레일 (216) 및 제 4 레일 (217) 을 가지고 있다. 이들 제 3 레일 (216) 및 제 4 레일 (217) 은, Y 축 방향을 따라 연장되어 있다.

또, 본 실시형태에서는, 제 2 레인 (215) 의 제 3 레일 (216) 은, 제 1 레인 (211) 의 제 2 레일 (213) 에 인접하고 있다.

폭 변경 수단 (220) 은, 제 1 레인 (211) 및 제 2 레인 (215) 의 폭을 동시에 조정 가능하도록 구성되어 있다. 폭 변경 수단 (220) 은, 위치 조정 수단 (230) 의 X 축 테이블 (234) 의 상면에 장착된 기대 (229) 를 가지고 있다. 폭 변경 수단 (220) 은, 추가로, 기대 (229) 상에, X 축 방향으로 연장되는 1 쌍의 가이드 레일 (221) 을 구비하고 있다.

1 쌍의 가이드 레일 (221) 은, X 축 방향으로 평행하게, 기대 (201) 상에 배치되어 있다. 이 1 쌍의 가이드 레일 (221) 상에, 제 1 레인 (211) 의 제 2 레일 (213), 그리고, 제 2 레인 (215) 의 제 3 레일 (216) 및 제 4 레일 (217) 이, 가이드 레일 (221) 을 따라 슬라이드 가능하게 설치되어 있다.

또한, 제 1 레일 (212) 은, 기대 (229) 상에 고정되어 있다.

또한, 폭 변경 수단 (220) 은, 도 6(a) 및 도 6(b) 에 나타내는 바와 같이, 제 2 레일 (213) 에 형성되는 제 1 암나사 (241) 와, 제 3 레일 (216) 에 형성되는 제 2 암나사 (242) 와, 제 4 레일 (217) 에 형성되는 제 3 암나사 (243) 를 포함하고 있다.

도 6(a) 에 나타내는 바와 같이, 제 3 레일 (216) 의 제 1 암나사 (241) 및 제 2 레일 (213) 의 제 2 암나사 (242) 는, 동일한 나사 피치 (P1) 를 가지고 있다. 또, 도 6(b) 에 나타내는 바와 같이, 제 4 레일 (217) 의 제 3 암나사 (243) 는, 나사 피치 (P1) 의 배의 나사 피치 (P2) 를 가지고 있다 (P2 = 2 × P1).

또, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 폭 변경 수단 (220) 은, 가이드 레일 (221) 과 평행하게 연장되는 샤프트 (222) 를 가지고 있다. 샤프트 (222) 는, 제 2 레일 (213) 의 제 1 암나사 (241) 및 제 3 레일 (216) 의 제 2 암나사 (242) 에 나사 결합하는 나사 피치 (P1) 를 갖는 제 1 수나사 (225), 그리고, 제 4 레일 (217) 의 제 3 암나사 (243) 에 나사 결합하는 나사 피치 (P2) 를 갖는 제 2 수나사 (226) 를 구비하고 있다.

샤프트 (222) 는, 제 1 수나사 (225) 를 제 2 레일 (213) 의 제 1 암나사 (241) 및 제 3 레일 (216) 의 제 2 암나사 (242) 에 나사 결합시킴과 함께, 제 2 수나사 (226) 를 제 4 레일 (217) 의 제 3 암나사 (243) 에 나사 결합시킨 상태에서, 가이드 레일 (221) 과 평행하게 연장되어 있다.

또, 폭 변경 수단 (220) 은, 기대 (229) 상에 고정된, 샤프트 (222) 의 말단을 회전 가능하게 지지하는 샤프트 지지부 (224), 및, 샤프트 (222) 의 선단에 장착된, 샤프트 (222) 를 회전시키는 구동 모터 (233) 를 구비하고 있다. 구동 모터 (233) 는, 회전 수단의 일례이다.

폭 변경 수단 (220) 은, 구동 모터 (233) 에 의해 샤프트 (222) 를 회전시키는 것에 의해, 제 1 레인 (211) 및 제 2 레인 (215) 의 폭을, 동시에, 넓히거나 좁히거나 하는 것을 가능하게 한다.

즉, 제 2 레일 (213) 의 제 1 암나사 (241) 및 제 3 레일 (216) 의 제 2 암나사 (242) 는, 예를 들어, 샤프트 (222) 가 시계 방향으로 회전하는 경우, 제 2 레일 (213) 및 제 3 레일 (216) 이 가이드 레일 (221) 을 따라 ―X 방향으로 이동하도록, 샤프트 (222) 의 제 1 수나사 (225) 에 나사 결합되어 있다.

또, 제 4 레일 (217) 의 제 3 암나사 (243) 도, 샤프트 (222) 가 시계 방향으로 회전하는 경우, 제 4 레일 (217) 이 가이드 레일 (221) 을 따라 ―X 방향으로 이동하도록, 샤프트 (222) 의 제 2 수나사 (226) 에 나사 결합되어 있다. 여기서, 제 4 레일의 제 3 암나사 (243) 는, 제 1 암나사 (241) 및 제 2 암나사 (242) 의 나사 피치 (P1) 의 배의 나사 피치 (P2) 를 가지고 있다. 이 때문에, 샤프트 (222) 에 있어서의 시계 방향의 회전에 수반하는 제 4 레일 (217) 의 이동 거리는, 제 2 레일 (213) 및 제 3 레일 (216) 의 배의 거리가 된다.

따라서, 샤프트 (222) 가 시계 방향으로 회전하면, 제 2 레일 (213) 이 ―X 방향으로 이동하기 때문에, 이 제 2 레일 (213) 과 고정되어 있는 제 1 레일 (212) 사이의 거리인 제 1 레인 (211) 의 폭이 넓어진다.

또한, 샤프트 (222) 에 있어서의 시계 방향의 회전에 따라, 제 2 레일 (213) 에 인접하고 있는 제 3 레일 (216) 이, 제 2 레일 (213) 과 동일한 거리만큼 ―X 방향으로 이동한다. 이 때문에, 제 2 레일 (213) 의 이동이 저해되는 경우는 없다. 또, 제 4 레일 (217) 은, 제 3 레일 (216) 의 배의 거리를 이동한다. 이 때문에, 제 3 레일 (216) 과 제 4 레일 (217) 사이의 거리인 제 2 레인 (215) 의 폭도, 제 1 레인 (211) 과 동일하게 넓어진다.

또, 샤프트 (222) 를 반시계 방향으로 회전시킴으로써, 제 2 레일 (213) 및 제 3 레일 (216) 이 ＋X 방향으로 이동함과 함께, 제 4 레일 (217) 이, 제 2 레일 (213) 및 제 3 레일 (216) 의 배의 거리를 이동한다. 이 때문에, 제 1 레인 (211) 및 제 2 레인 (215) 의 폭이, 동일하게 좁혀진다.

이와 같이 하여, 폭 변경 수단 (220) 에서는, 샤프트 (222) 를 회전시키는 것에 의해, 제 1 레인 (211) 및 제 2 레인 (215) 의 폭을, 판상 워크 (2) 의 폭에 맞추어, 넓히거나 좁히거나 하는 것이 가능하게 되어 있다.

또한, 판상 워크 (2) 의 크기 (길이 및 폭) 를 설정 (취득) 하는 크기 설정부를 구비하고 있어도 된다.

안내 레인 (250) 은, 카세트 (41) 의 ＋Y 방향측에 위치하고 있다 (도 2 참조). 안내 레인 (250) 은, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 판상 워크 (2) 의 양측 하면을 각각 지지하는 제 1 안내 레일 (251) 및 제 2 안내 레일 (252) 을 가지고 있다. 이들 제 1 안내 레일 (251) 및 제 2 안내 레일 (252) 은, Y 축 방향을 따라 연장되어 있다. 안내 레인 (250) 의 폭인 제 1 안내 레일 (251) 과 제 2 안내 레일 (252) 사이의 거리는, 제 1 레인 (211) 및 제 2 레인 (215) 의 폭과 동일해지도록 구성되어 있다.

본 실시형태에서는, 위치 조정 수단 (230) 은, 임시 거치 레인부 (210) 에 있어서의 제 1 레인 (211) 및 제 2 레인 (215) 중 어느 것이, 안내 레인 (250) 과 정합하 (즉, Y 축 방향을 따라 안내 레인 (250) 과 늘어서) 도록, 임시 거치 레인부 (210) 의 X 축 방향에 있어서의 위치를 조정한다.

여기서, 임시 거치 수단 (200) 에 있어서의 레일의 구조에 대해 설명한다. 임시 거치 수단 (200) 에 있어서의 제 1 레일 (212), 제 2 레일 (213), 제 3 레일 (216), 제 4 레일 (217), 제 1 안내 레일 (251) 및 제 2 안내 레일 (252) 은, 암나사의 유무 및 피치를 제외하고, 동일한 구성을 가지고 있다. 그래서, 이들 레일의 구조에 대해, 제 1 안내 레일 (251) 을 예로 설명한다.

도 7(a) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 안내 레일 (251) 은, 대략 L 자상의 단면을 가지고 있고, 판상 워크 (2) 의 측단부를 지지하기 위한 단부 (260) 를 가지고 있다. 그리고, 도 7(a) 및 도 7(b) 에 나타내는 바와 같이, 이 단부 (260) 의 상면에는, 제 1 에어 분사공 (261) 이 개구되어 있다. 제 1 에어 분사공 (261) 은, 에어원 (270) 에 연통되어, 에어를 분출하는 것이 가능하도록 구성되어 있다. 제 1 안내 레일 (251) 에 의해 지지되는 판상 워크 (2) 는, 제 1 에어 분사공 (261) 으로부터 분출되는 에어에 의해, 단부 (260) 로부터 들뜬 상태가 된다. 따라서, 제 1 안내 레일 (251) 은, 에어를 통하여 판상 워크 (2) 의 하면을 비접촉으로 지지하도록 구성되어 있다.

따라서, 제 1 안내 레일 (251) 및 제 2 안내 레일 (252) 을 포함하는 안내 레인 (250) 과, 제 1 레일 (212) 및 제 2 레일 (213) 을 포함하는 제 1 레인 (211) 및 제 3 레일 (216) 및 제 4 레일 (217) 을 포함하는 제 2 레인 (215) 은, 에어를 통하여 판상 워크 (2) 의 하면을 비접촉으로 지지하기 위해서, 상면에 개구된 에어를 분출하는 제 1 에어 분사공 (261) 을 갖고, 카세트 (41) 로부터 반송 수단 (100) 의 수취 위치에 연장되는 에어 슬라이더로서 기능한다.

또, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 안내 레인 (250) 에 있어서의 제 1 안내 레일 (251) 과 제 2 안내 레일 (252) 사이에는, 누름 기구 (253) 가 형성되어 있다.

누름 기구 (253) 는, 에어를 통하여 제 1 안내 레일 (251) 및 제 2 안내 레일 (252) 의 단부 (260) 의 상면에 비접촉으로 지지된 판상 워크 (2) 의 일방의 가장자리 (―Y 방향측의 가장자리) 를, 반송 수단 (100) 의 수취 위치를 포함하는 임시 거치 레인부 (210) 를 향해, ＋Y 방향을 향하여 누르도록 구성되어 있다.

누름 기구 (253) 에 의해 눌림으로써, 판상 워크 (2) 는, 안내 레인 (250), 및, 안내 레인 (250) 에 정합하고 있는 제 1 레인 (211) 혹은 제 2 레인 (215) 상을, 에어에 의해 들뜬 상태에서, ＋Y 방향을 향하여, 반송 수단 (100) 의 수취 위치까지 이동한다.

이 누름 기구 (253) 는, 에어를 통하여 제 1 안내 레일 (251) 및 제 2 안내 레일 (252) 의 단부 (260) 의 상면에 비접촉으로 지지된 판상 워크 (2) 를, 안내 레인 (250) 의 연장 방향으로 이동시키는 슬라이더 이동 수단의 일례이다.

또, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 제 1 레인 (211) 및 제 2 레인 (215) 에 있어서의 ＋Y 방향측의 단부에는, 스토퍼 (214) 가 형성되어 있다. 스토퍼 (214) 는, 반송 수단 (100) 의 수취 위치에 있는 임시 거치 레인부 (210) 의 ＋Y 방향측으로 이동한 판상 워크 (2) 의 타방의 가장자리 (＋Y 방향측의 가장자리) 에 접촉하도록 구성되어 있다. 이로써, 스토퍼 (214) 는, ＋Y 방향을 향해 이동하고 있는 판상 워크 (2) 를, 임시 거치 레인부 (210) (제 1 레인 (211) 혹은 제 2 레인 (215)) 에 있어서의 반송 수단 (100) 의 수취 위치에서 정지시킨다.

이 스토퍼 (214) 는, 슬라이더 이동 수단으로서의 누름 기구 (253) 에 의해 이동되는 판상 워크 (2) 를, 반송 수단 (100) 의 수취 위치에서 정지시키는 정지 수단의 일례이다.

본 실시형태에 있어서의 가공 동작에서는, 먼저, 제어부 (7) 가, 임시 거치 수단 (200) 의 폭 변경 수단 (220) 을 제어하여, 가공되는 판상 워크 (2) 의 폭에 맞추어, 제 1 레인 (211) 및 제 2 레인 (215) 의 폭을 변경한다. 또, 제어부 (7) 는, 안내 레인 (250) 의 폭도, 동일하게 변경한다.

다음으로, 제어부 (7) 가, 임시 거치 수단 (200) 의 위치 조정 수단 (230) 을 제어함으로써, 임시 거치 레인부 (210) 에 있어서의 제 1 레인 (211) 을, 안내 레인 (250) 과 정합시킨다. 또, 제어부 (7) 는, 임시 거치 수단 (200) 에 있어서의 각 레일의 제 1 에어 분사공 (261) 을 에어원 (270) 에 연통시켜, 제 1 에어 분사공 (261) 으로부터 에어를 분사시킨다.

또한, 제어부 (7) 는, 도 1 에 나타낸 로봇 (155) 를 제어하여, 카세트 (41) 로부터 가공 전의 판상 워크 (2) 를 취출하여, 도 5 에 나타낸 임시 거치 수단 (200) 의 안내 레인 (250) 상 (제 1 안내 레일 (251) 및 제 2 안내 레일 (252) 상) 에 재치한다. 판상 워크 (2) 는, 안내 레인 (250) 의 ―Y 방향측에, 에어에 의해 들뜬 상태에서 지지된다.

제어부 (7) 는, 누름 기구 (253) 를 제어하여, 안내 레인 (250) 에 지지되어 있는 판상 워크 (2) 를, ＋Y 방향을 향하여 누르고, ＋Y 방향을 향하여 이동시킨다. 이동되고 있는 판상 워크 (2) 는, 제 1 레인 (211) 에 있어서의 스토퍼 (214) 에 접촉하여 정지한다. 이와 같이 하여, 제 1 레인 (211) 이, 반송 수단 (100) 의 수취 위치에 있어서, 판상 워크 (2) 를 지지한다.

그 후, 제어부 (7) 는, 폭 변경 수단 (220) 을 제어함으로써, 임시 거치 레인부 (210) 에 있어서의 제 2 레인 (215) 을 안내 레인 (250) 과 정합시킨다. 그 후, 제어부 (7) 는, 로봇 (155) 및 누름 기구 (253) 를 제어하여, 상기 서술과 동일하게, 제 2 레인 (215) 에 의해, 또 하나의 판상 워크 (2) 를 지지한다.

이와 같이 하여, 임시 거치 수단 (200) 의 임시 거치 레인부 (210) 에 있어서의 반송 수단 (100) 의 수취 위치에, 2 장의 판상 워크 (2) 가 지지된다.

다음으로, 제어부 (7) 는, 도 3 에 나타낸 조연삭부 (10) 용의 반송 수단 (100) 을 제어하여, 임시 거치 수단 (200) 의 임시 거치 레인부 (210) 에 있어서의 반송 수단 (100) 의 수취 위치에 임시 거치된 2 장의 판상 워크 (2) 를, 유지부 (140) 에 의해 동시에 유지하고, 도 1 에 나타낸 조연삭부 (10) 의 제 1 척 테이블 (13) 의 2 개의 제 1 유지면 (12) 에 반송 및 재치한다. 그 후, 제어부 (7) 는, 조연삭부 (10) 를 제어하여, 판상 워크 (2) 에 대한 조연삭을 실시한다.

또한, 제어부 (7) 는, 조연삭부 (10) 용의 반송 수단 (100) 을 제어하여, 조연삭된 판상 워크 (2) 를 중계 수단 (152) 에 반송하고, 마무리 연삭부 (30) 용의 반송 수단 (100) 을 제어하여, 2 장의 판상 워크 (2) 를, 마무리 연삭부 (30) 의 제 2 척 테이블 (33) 의 2 개의 제 2 유지면 (32) 에 반송 및 재치한다. 그 후, 제어부 (7) 는, 마무리 연삭부 (30) 를 제어하여, 판상 워크 (2) 에 대한 마무리 연삭을 실시한다.

다음으로, 제어부 (7) 는, 마무리 연삭부 (30) 용의 반송 수단 (100) 을 제어하여, 마무리 연삭된 2 장의 판상 워크 (2) 를, 세정 수단 (156) 에 동시에 반송한다. 또한, 제어부 (7) 는, 세정 수단 (156) 을 제어하여, 2 장의 판상 워크 (2) 를, 세정 수단 (156) 에 의해 동시에 세정한다. 그 후, 제어부 (7) 는, 로봇 (155) 을 제어하여, 세정된 판상 워크 (2) 를, 가공이 완료된 워크 수용용의 카세트에 반입한다.

이상과 같이, 본 실시형태에서는, 반송 수단 (100) 은, 이동 수단 (110) 에 의한 유지부 (140) 의 한 번의 동작으로, 임시 거치 수단 (200) 에 임시 거치된 복수의 판상 워크 (2) 를 수취하여, 조연삭부 (10) 의 제 1 유지면 (12) 에 반송한다. 즉, 본 실시형태에서는, 임시 거치 수단 (200) 에 임시 거치되어 있는 복수의 판상 워크 (2) 를, 1 회의 반송 동작으로 제 1 유지면 (12) 에 반송할 수 있다. 따라서, 제 1 유지면 (12) 에 복수의 판상 워크 (2) 를 반송하기 위한 반송 시간을 단축하는 것이 가능하다.

이로써, 본 실시형태에서는, 조연삭부 (10) 의 대기 시간을 단축할 수 있다. 따라서, 가공 장치 (1) 의 생산성을 높이는 것이 가능하다.

또, 본 실시형태에서는, 임시 거치 수단 (200) 에 있어서, 임시 거치 레인부 (210) 의 제 1 레인 (211) 및 제 2 레인 (215) 과 안내 레인 (250) 이, 에어를 통하여 판상 워크 (2) 의 하면을 비접촉으로 지지하는 에어 슬라이더로서 기능한다. 그리고, 안내 레인 (250) 에 재치된 판상 워크 (2) 를, 비접촉으로, 반송 수단 (100) 의 수취 위치를 포함하는 임시 거치 레인부 (210) 로 이동시켜, 임시 거치 레인부 (210) 에 의해 비접촉으로 지지하는 것이 가능하다.

이와 같이, 본 실시형태에서는, 판상 워크 (2) 를, 비접촉으로 임시 거치 레인부 (210) 로 이동시켜 지지하기 때문에, 판상 워크 (2) 의 하면을 손상시키는 것을 억제할 수 있다.

또, 본 실시형태에서는, 임시 거치 수단 (200) 의 폭 변경 수단 (220) 에 의해, 제 1 레인 (211) 및 제 2 레인 (215) 의 폭을, 가공되는 판상 워크 (2) 의 폭에 맞추어, 임의로 변경하는 것이 가능하다. 따라서, 본 실시형태에서는, 가공되는 판상 워크 (2) 가 변경된 경우에도, 변경 후의 판상 워크 (2) 의 폭에 대응하도록, 제 1 레인 (211) 및 제 2 레인 (215) 의 폭을 재빠르게 변경할 수 있다.

또한, 본 실시형태의 임시 거치 수단 (200) 은, 판상 워크 (2) 를 안내 레인 (250) 의 연장 방향으로 이동시키는 슬라이더 이동 수단의 일례로서, 누름 기구 (253) 를 가지고 있다. 또, 임시 거치 수단 (200) 은, 누름 기구 (253) 에 의해 이동되는 판상 워크 (2) 를 반송 수단 (100) 의 수취 위치에서 정지시키는 정지 수단의 일례로서, 스토퍼 (214) 를 구비하고 있다.

이것에 관해, 임시 거치 수단 (200) 은, 누름 기구 (253) 및 스토퍼 (214) 를 구비하지 않아도 된다. 이 경우, 예를 들어, 임시 거치 수단 (200) 에 있어서의 제 1 레일 (212), 제 2 레일 (213), 제 3 레일 (216), 제 4 레일 (217), 제 1 안내 레일 (251) 및 제 2 안내 레일 (252) 이, 도 5 에 나타낸 제 1 에어 분사공 (261) 과는 상이한 형상의 에어 분사공을 가지고 있다.

이것에 관해, 안내 레인 (250) 의 제 1 안내 레일 (251) (및 제 2 안내 레일 (252)) 은, 그 단부 (260) 에, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 제 2 에어 분사공 (262) 을 가지고 있다. 제 2 에어 분사공 (262) 은, 판상 워크 (2) 의 이동 방향인 ＋Y 방향으로 에어가 흐르도록, 제 1 안내 레일 (251) 의 단부 (260) 의 상면에 수직인 방향으로부터, 이동 방향인 ＋Y 방향으로 기울어져 형성되어 있다. 제 2 에어 분사공 (262) 은, 슬라이더 이동 수단으로서의 순에어 분사공의 일례이다.

안내 레인 (250) 상 (제 1 안내 레일 (251) 및 제 2 안내 레일 (252) 상) 에 재치된 판상 워크 (2) 는, 도 8 에 화살표 301 에 의해 나타내는 바와 같이 제 2 에어 분사공 (262) 으로부터 분사되는 에어에 의해, 화살표 302 에 의해 나타내는 바와 같이, 들뜬 상태에서 ＋Y 방향으로 이동된다. 이와 같이, 제 2 에어 분사공 (262) 은, 판상 워크 (2) 를 안내 레인 (250) 의 연장 방향으로 이동시키는 슬라이더 이동 수단으로서 기능한다.

또, 임시 거치 레인부 (210) 의 제 1 레일 (212) (제 2 레일 (213), 제 3 레일 (216) 및 제 4 레일 (217)) 은, 그 단부 (260) 의 ―Y 방향측에, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 제 1 안내 레일 (251) 과 동일한 제 2 에어 분사공 (262) 을 구비하고 있다. 또한, 제 1 레일 (212) 은, 그 단부 (260) 의 ＋Y 방향측에, 제 3 에어 분사공 (263) 을 가지고 있다. 제 1 레일 (212) 에 있어서의 제 3 에어 분사공 (263) 의 형성 위치는, 반송 수단 (100) 의 수취 위치에 포함되어 있다.

제 3 에어 분사공 (263) 은, 제 2 에어 분사공 (262) 으로부터 분사된 에어의 흐름에 대향하는 에어의 흐름을 형성하도록, 제 2 에어 분사공 (262) 의 기울기에 대향하는 기울기를 갖도록, ―Y 방향으로 기울어져 형성되어 있다. 제 3 에어 분사공 (263) 은, 정지 수단으로서의 역에어 분사공의 일례이다.

안내 레인 (250) 으로부터 이동되어 온 판상 워크 (2) 는, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 제 1 유지면 (12) 에 형성되어 있는 제 1 에어 분사공 (261) 으로부터 분사되는 에어에 의해, 제 1 레일 (212) 의 단부 (260) 의 상면에 있어서, 들뜬 상태에서 ＋Y 방향으로 이동된다. 그리고, 판상 워크 (2) 는, 제 1 레일 (212) 의 ＋Y 방향측에 도달하면, 도 10 에 나타내는 바와 같이, 제 2 에어 분사공 (262) 및 제 3 에어 분사공 (263) 의 쌍방으로부터 분사되는 에어를 수용한다.

제 2 에어 분사공 (262) 으로부터 분사되는 에어는, 화살표 301 에 의해 나타내는 바와 같이, ＋Y 방향의 성분을 가지고 있다. 한편, 제 3 에어 분사공 (263) 으로부터 분사되는 에어는, 화살표 303 에 의해 나타내는 바와 같이, ―Y 방향의 성분을 가지고 있다. 이 때문에, 제 1 레일 (212) 의 ＋Y 방향측에 있어서, 제 2 에어 분사공 (262) 및 제 3 에어 분사공 (263) 의 쌍방으로부터 분사되는 에어를 받은 판상 워크 (2) 는, 이 위치에서 정지한다.

이와 같이, 이 구성에서는, 임시 거치 수단 (200) 은, 제 2 에어 분사공 (262) 으로부터 분사된 에어의 흐름과 제 3 에어 분사공 (263) 으로부터 분사된 에어의 흐름에 의해, 반송 수단 (100) 의 수취 위치인 제 3 에어 분사공 (263) 의 형성 위치에 있어서, 비접촉으로 판상 워크 (2) 를 지지한다.

이 구성에서는, 임시 거치 수단 (200) 에, 도 5 에 나타낸 누름 기구 (253) 및 스토퍼 (214) 를 형성할 필요가 없다. 이 때문에, 임시 거치 수단 (200) 의 비용을 저감시킬 수 있다. 또, 판상 워크 (2) 를 이동 및 정지시키기 위해서, 판상 워크 (2) 에 부재를 접촉시킬 필요가 없다. 이 때문에, 판상 워크 (2) 가 손상되는 것을, 보다 효과적으로 억제할 수 있다.

또, 본 실시형태에서는, 임시 거치 수단 (200) 에 있어서의 제 1 레일 (212), 제 2 레일 (213), 제 3 레일 (216), 제 4 레일 (217), 제 1 안내 레일 (251) 및 제 2 안내 레일 (252) 에, 판상 워크 (2) 를 지지하기 위해서, 제 1 에어 분사공 (261), 제 2 에어 분사공 (262) 혹은 제 3 에어 분사공 (263) 이 형성되어 있다.

이것에 관해, 임시 거치 수단 (200) 은, 이들 에어 분사공을 각 레일에 갖는 것 대신에, 도 11 에 나타내는 바와 같은 제 1 벨트 이동 수단 (400), 및, 도 12 에 나타내는 바와 같은, 제 2 벨트 이동 수단 (420) 을 구비해도 된다.

제 1 벨트 이동 수단 (400) 은, 안내 레인 (250), 제 1 레인 (211) 및 제 2 레인 (215) 의 각각의 레일 사이에 형성되어 있고, 각 레인에 있어서 판상 워크 (2) 를 이동시키기 위해서 형성되어 있다.

도 11 에 나타내는 제 1 벨트 이동 수단 (400) 은, 제 1 레인 (211) 및 제 2 레인 (215) 의 레일 사이에 구비된다. 제 1 벨트 이동 수단 (400) 은, 무단 벨트 (401) 와, 무단 벨트 (401) 를 회전시키는 회전 기구 (402) 를 구비하고 있다.

회전 기구 (402) 는, 무단 벨트 (401) 에 있어서의 ―Y 방향측의 단부에 형성된 종동 롤러 (403), 무단 벨트 (401) 에 있어서의 ＋Y 방향측의 단부에 형성된 구동 롤러 (404), 구동 롤러 (404) 를 구동시키는 모터 (405), 및, 모터 (405) 의 회전 각도를 검출하는 인코더 (407) 를 구비하고 있다.

무단 벨트 (401) 는, 그 내주면에 접촉하도록 형성된 종동 롤러 (403) 및 구동 롤러 (404) 에 가교되어 있다. 또, 무단 벨트 (401) 는, 그 상면에 판상 워크 (2) 가 재치되도록 구성되어 있다.

이와 같은 구성을 갖는 제 1 벨트 이동 수단 (400) 에서는, 안내 레인 (250) 으로부터 반송되어 온 판상 워크 (2) 가, 무단 벨트 (401) 의 상면에 있어서의 ―Y 방향측의 단부에 재치된다. 이 상태에서, 모터 (405) 에 의해 구동 롤러 (404) 가 회전됨으로써, 무단 벨트 (401) 가, 구동 롤러 (404) 및 종동 롤러 (403) 를 회전축으로 하여 회전한다. 이로써, 무단 벨트 (401) 의 상면에 재치된 판상 워크 (2) 가, 화살표 310 에 의해 나타내는 바와 같이, ―Y 방향측에 반송된다.

또, 제 1 벨트 이동 수단 (400) 은, 도 11 에 나타내는 바와 같이, 선단 센서 (410) 를 구비하고 있다. 선단 센서 (410) 는, 무단 벨트 (401) 의 상면에 재치된 판상 워크 (2) 의 선단 (＋Y 방향측의 단부) 이, 무단 벨트 (401) (제 1 레인 (211) 및 제 2 레인 (215)) 의 ＋Y 방향측의 단부에 도달한 것을 검지한다. 이로써, 선단 센서 (410) 는, 판상 워크 (2) 가, 반송 수단 (100) 의 수취 위치에 도달한 것을 검지한다.

예를 들어, 제어부 (7) 는, 판상 워크 (2) 를 반송 수단 (100) 의 수취 위치로 옮기기 위해서, 모터 (405) 에 의해, 판상 워크 (2) 를 실은 무단 벨트 (401) 를 회전시킨다. 제어부 (7) 는, 판상 워크 (2) 의 선단이 무단 벨트 (401) 의 ＋Y 방향측의 단부에 도달한 것을 선단 센서 (410) 가 검지했을 때에, 판상 워크 (2) 가 수취 위치에 도달한 것으로 판단하여, 모터 (405) 의 구동을 정지시켜, 무단 벨트 (401) 의 회전을 정지시킨다.

또, 도 12 에 나타내는 제 2 벨트 이동 수단 (420) 은, 안내 레인 (250) 의 레일 사이에 구비된다. 제 2 벨트 이동 수단 (420) 은, 선단 센서 (410) 와 동일하게, 무단 벨트 (401) 및 회전 기구 (402) 를 구비하고 있다. 제 2 벨트 이동 수단 (420) 에 있어서는, 도 1 에 나타낸 로봇 (155) 에 의해 카세트 (41) 로부터 취출된 판상 워크 (2) 가, 무단 벨트 (401) 의 상면에 있어서의 ―Y 방향측에 재치된다. 이 상태에서, 모터 (405) 에 의해 구동 롤러 (404) 가 회전됨으로써, 무단 벨트 (401) 가, 구동 롤러 (404) 및 종동 롤러 (403) 를 회전축으로 하여 회전한다. 이로써, 무단 벨트 (401) 의 상면에 재치된 판상 워크 (2) 가, 화살표 310 에 의해 나타내는 바와 같이, ＋Y 방향측에, 제 1 레인 (211) 혹은 제 2 레인 (215) 을 향하여 반송된다.

또, 제 2 벨트 이동 수단 (420) 은, 도 12 에 나타내는 바와 같이, 판상 워크 (2) 를 검지하는 검지 센서 (421) 를 구비하고 있다. 검지 센서 (421) 는, 카세트 (41) 로부터 취출되어 무단 벨트 (401) 에 재치된 판상 워크 (2) 를 검지한다. 구체적으로는, 검지 센서 (421) 는, 무단 벨트 (401) 에 의해 ＋Y 방향을 향하여 반송되고 있는 판상 워크 (2) 의 일방의 가장자리 (일방의 단부) 및 타방의 가장자리 (타방의 단부) 를 검지한다.

또, 제 2 벨트 이동 수단 (420) 은, 판상 워크 (2) 의 크기 (길이 및 폭) 를 설정 (취득) 하는 크기 설정부 (427), 및, 무단 벨트 (401) 의 회전 속도를 설정 (제어) 하는 속도 설정부 (425) 를 구비하고 있다.

크기 설정부 (427) 는, 예를 들어 제어부 (7) (도 1 참조) 로부터의 정보에 기초하여, 카세트 (41) 로부터 취출되어 무단 벨트 (401) 상에 재치되어 있는 카세트 (41) 의 크기를 취득한다. 속도 설정부 (425) 는, 예를 들어 제어부 (7) 로부터의 지시에 기초하여, 무단 벨트 (401) 의 회전 속도를 제어한다. 즉, 속도 설정부 (425) 는, 회전 기구 (402) 에 의해, 무단 벨트 (401) 를 소정의 회전 속도로 회전시킨다.

또한, 제 2 벨트 이동 수단 (420) 은, 검지 센서 (421) 에 접속된 시간 측정부 (423), 판상 워크 (2) 의 크기를 산출하는 크기 산출부 (429), 및, 문제의 유무를 판단하는 판단부 (431) 를 구비하고 있다.

시간 측정부 (423) 는, 크기 설정부 (427) 에 의해 크기가 설정되고, 무단 벨트 (401) 에 재치된 판상 워크 (2) 가, 속도 설정부 (425) 에 의해 설정된 속도로 이동했을 때에, 검지 센서 (421) 가 판상 워크 (2) 의 일방의 가장자리를 검지하고 나서 타방의 가장자리를 검지할 때까지의 시간을 측정한다.

크기 산출부 (429) 는, 속도 설정부 (425) 에 의해 설정된 무단 벨트 (401) 의 회전 속도와, 시간 측정부 (423) 에 의해 측정된 시간으로부터, 무단 벨트 (401) 상에 재치되어 이동되고 있는 판상 워크 (2) 의 크기를 산출한다.

판단부 (431) 는, 크기 설정부 (427) 에 의해 설정 (취득) 된 판상 워크 (2) 의 크기와, 크기 산출부 (429) 에 의해 산출된 판상 워크 (2) 의 크기를 비교한다. 판단부 (431) 는, 크기 설정부 (427) 에 의해 설정된 판상 워크 (2) 의 크기보다, 크기 산출부 (429) 에 의해 산출된 판상 워크 (2) 의 크기가 작을 때에, 무단 벨트 (401) 의 회전에 문제가 있는 것으로 판단한다.

이것에 관해, 무단 벨트 (401) 는, 느슨함이 발생함으로써 정상적으로 회전하지 않는 경우가 있다. 상기의 구성에서는, 판단부 (431) 에 의해, 무단 벨트 (401) 가 정상적으로 회전하고 있는지의 여부를 확인할 수 있다.

또한, 판단부 (431) 는, 크기 설정부 (427) 에 의해 설정된 판상 워크 (2) 의 크기와, 크기 산출부 (429) 에 의해 산출된 판상 워크 (2) 의 크기가, 서로 상이할 때 (전자가 후자보다가 작을 때, 및, 전자가 후자보다 클 때) 에, 무단 벨트 (401) 의 회전에 문제가 있는 것으로 판단해도 된다.

또, 도 11 에 나타낸 제 1 벨트 이동 수단 (400) 에, 도 12 에 나타낸 검지 센서 (421), 시간 측정부 (423), 속도 설정부 (425), 크기 설정부 (427), 크기 산출부 (429) 및 판단부 (431) 가 형성되어 있어도 된다. 이 경우, 제 1 벨트 이동 수단 (400) 에 의해 이동되고 있는 판상 워크 (2) 를 사용하여, 제 1 벨트 이동 수단 (400) 의 무단 벨트 (401) 의 회전에 문제가 있는지의 여부를 판단하는 것이 가능해진다.

또, 도 12 에 나타낸 제 2 벨트 이동 수단 (420) 을 사용하는 경우, 로봇 (155) 대신에, 제 2 벨트 이동 수단 (420) 의 무단 벨트 (401) 에 의해, 카세트 (41) 로부터 판상 워크 (2) 를 취출해도 된다. 이 구성에서는, 무단 벨트 (401) 의 ―Y 방향측의 단부를, 카세트 (41) 에 수용되어 있는 판상 워크 (2) 아래에 진입시키고, 이 단부에 의해 판상 워크 (2) 의 하면을 지지한다. 이 상태에서 무단 벨트 (401) 를 회전시킴으로써, 카세트 (41) 에 수용되어 있는 판상 워크 (2) 가, 카세트 (41) 로부터 인출된다.

또, 본 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 는, 도 5 에 나타낸 임시 거치 수단 (200) 대신에, 도 13 에 나타내는 바와 같은 임시 거치 수단 (500) 을 구비하고 있어도 된다. 이 임시 거치 수단 (500) 은, 임시 거치 수단 (200) 의 구성에 있어서, 임시 거치 레인부 (210) 에, 제 1 레인 (211) 및 제 2 레인 (215) 에 추가로, 제 3 레인 (205) 을 갖는 구성을 가지고 있다.

또한, 임시 거치 수단 (500) 도, 도 5 에 나타낸 안내 레인 (250) 을 가지고 있다. 도 13 에서는, 안내 레인 (250) 의 도시를 생략하고 있다.

제 3 레인 (205) 은, 제 1 레인 (211) 의 ＋X 방향측에, 제 1 레인 (211) 에 인접하도록 배치되어 있다. 제 3 레인 (205) 은, 판상 워크 (2) 의 양측 하면을 각각 지지하는 제 5 레일 (206) 및 제 6 레일 (207) 을 가지고 있다. 이들 제 5 레일 (206) 및 제 6 레일 (207) 은, Y 축 방향을 따라 연장되어 있다.

또, 제 3 레인 (205) 의 제 5 레일 (206) 은, 제 1 레인 (211) 의 제 1 레일 (212) 에 인접하고 있다.

또, 이 구성에서는, 폭 변경 수단 (220) 의 한 쌍의 가이드 레일 (221) 상에, 제 1 레인 (211) 의 제 1 레일 (212) 및 제 2 레일 (213), 제 2 레인 (215) 의 제 3 레일 (216) 및 제 4 레일 (217), 그리고, 제 3 레인 (205) 의 제 5 레일 (206) 및 제 6 레일 (207) 이, 가이드 레일 (221) 을 따라 슬라이드 가능하게 설치되어 있다.

요컨대, 제 1 레인 (211) 의 폭을 변경하기 위해서 제 1 레일 (212) 의 이동 방향과 동일 방향으로 제 3 레인 (205) 을 이동시킴과 함께 제 3 레인 (205) 의 폭을 변경한다. 또, 제 1 레인 (211) 의 폭을 변경하기 위해서 제 2 레일 (213) 의 이동 방향과 동일 방향으로 제 2 레인 (215) 을 이동시킴과 함께 제 2 레인 (215) 의 폭을 변경한다.

따라서, 제 1 레일 (212) 의 이동 방향에 반하는 방향으로 제 2 레일 (213) 을 이동시켜 샤프트 (222) 를 회전시키면, 제 1 레인 (211), 제 2 레인 (215), 및 제 3 레인 (205) 의 폭이, 동시에 변경된다.

또한, 이 구성에서는, 제 2 레일 (213) 에 제 1 암나사 (241) 가 형성되고, 제 3 레일 (216) 에 제 2 암나사 (242) 가 형성되고, 제 4 레일 (217) 에 제 3 암나사 (243) 가 형성되어 있다. 상기 서술한 바와 같이, 제 2 레일 (213) 의 제 1 암나사 (241) 및 제 3 레일 (216) 의 제 2 암나사 (242) 는, 나사 피치 (P1) 를 가지고 있다 (도 6(a) 참조). 한편, 제 4 레일 (217) 의 제 3 암나사 (243) 는, 이 구성에서는, 나사 피치 (P1) 의 3 배의 나사 피치 (P3) 를 가지고 있다 (P3 = 3 × P1).

또, 이 구성에서는, 제 1 레일 (212) 에 제 1 역암나사 (245) 가 형성되고, 제 5 레일 (206) 에 제 2 역암나사 (246) 가 형성되고, 제 6 레일 (207) 에 제 3 역암나사 (247) 가 형성되어 있다. 제 1 레일 (212) 의 제 1 역암나사 (245) 및 제 5 레일 (206) 의 제 2 역암나사 (246) 는, 나사 피치 (P1) 를 가지고 있다. 제 6 레일 (207) 의 제 3 역암나사 (247) 는, 나사 피치 (P1) 의 3 배의 나사 피치 (P3) 를 가지고 있다. 또한, 제 1 역암나사 (245), 제 2 역암나사 (246), 및 제 3 역암나사 (247) 는, 제 1 암나사 (241) 와는 역방향의 암나사이다.

또, 이 구성에서도, 샤프트 (222) 는, 제 2 레일 (213) 의 제 1 암나사 (241) 및 제 3 레일 (216) 의 제 2 암나사 (242) 에 나사 결합하는 나사 피치 (P1) 를 갖는 제 1 수나사 (225), 그리고, 제 4 레일 (217) 의 제 3 암나사 (243) 에 나사 결합하는 나사 피치 (P3) 를 갖는 제 2 수나사 (226) 를 구비하고 있다. 또한, 샤프트 (222) 는, 제 1 레일 (212) 의 제 1 역암나사 (245) 및 제 5 레일 (206) 의 제 2 역암나사 (246) 에 나사 결합하는 나사 피치 (P1) 의 제 1 역수나사 (227) 와, 제 6 레일 (207) 의 제 3 역암나사 (247) 에 나사 결합하는 나사 피치 (P3) 의 제 2 역수나사 (228) 를 가지고 있다.

샤프트 (222) 는, 제 1 수나사 (225) 를 제 2 레일 (213) 의 제 1 암나사 (241) 및 제 3 레일 (216) 의 제 2 암나사 (242) 에 나사 결합시키고, 제 2 수나사 (226) 를 제 4 레일 (217) 의 제 3 암나사 (243) 에 나사 결합시키고, 제 1 역수나사 (227) 를 제 1 레일 (212) 의 제 1 역암나사 (245) 및 제 5 레일 (206) 의 제 2 역암나사 (246) 에 나사 결합시키고, 제 2 역수나사 (228) 를 제 6 레일 (207) 의 제 3 역암나사 (247) 에 나사 결합시킨 상태에서, 가이드 레일 (221) 과 평행하게 연장되어 있다.

이 구성에서는, 제 2 레일 (213) 의 제 1 암나사 (241) 및 제 3 레일 (216) 의 제 2 암나사 (242) 는, 예를 들어, 샤프트 (222) 가 시계 방향으로 회전하는 경우, 제 2 레일 (213) 및 제 3 레일 (216) 이 가이드 레일 (221) 을 따라 ―X 방향으로 이동하도록, 샤프트 (222) 의 제 1 수나사 (225) 에 나사 결합되어 있다.

또, 제 4 레일 (217) 의 제 3 암나사 (243) 도, 샤프트 (222) 가 시계 방향으로 회전하는 경우, 제 4 레일 (217) 이 가이드 레일 (221) 을 따라 ―X 방향으로 이동하도록, 샤프트 (222) 의 제 2 수나사 (226) 에 나사 결합되어 있다. 여기서, 제 4 레일 (217) 의 제 3 암나사 (243) 는, 제 1 암나사 (241) 및 제 2 암나사 (242) 의 나사 피치 (P1) 의 3 배의 나사 피치 (P3) 를 가지고 있다. 이 때문에, 샤프트 (222) 에 있어서의 시계 방향의 회전에 수반하는 제 4 레일 (217) 의 이동 거리는, 제 2 레일 (213) 및 제 3 레일 (216) 의 3 배의 거리가 된다.

또, 제 1 레일 (212) 의 제 1 역암나사 (245) 및 제 5 레일 (206) 의 제 2 역암나사 (246) 는, 샤프트 (222) 가 시계 방향으로 회전하는 경우, 제 1 레일 (212) 및 제 5 레일 (206) 이 가이드 레일 (221) 을 따라 ＋X 방향으로 이동하도록, 샤프트 (222) 의 제 1 역수나사 (227) 에 나사 결합되어 있다.

따라서, 샤프트 (222) 가 시계 방향으로 회전하면, 제 2 레일 (213) 이 ―X 방향으로 이동하는 한편, 제 1 레일 (212) 이 ＋X 방향으로 이동한다. 이 때문에, 이들 제 2 레일 (213) 과 제 1 레일 (212) 사이의 거리인 제 1 레인 (211) 의 폭이 넓어진다. 또, 제 4 레일 (217) 은, ―X 방향으로, 제 3 레일 (216) 의 3 배의 거리를 이동한다. 이 때문에, 제 3 레일 (216) 과 제 4 레일 (217) 사이의 거리인 제 2 레인 (215) 의 폭도, 제 1 레인 (211) 과 동일하게 넓어진다.

또한, 이 구성에서는, 제 6 레일 (207) 의 제 3 역암나사 (247) 도, 샤프트 (222) 가 시계 방향으로 회전하는 경우, 제 6 레일 (207) 이 가이드 레일 (221) 을 따라 ＋X 방향으로 이동하도록, 샤프트 (222) 의 제 2 역수나사 (228) 에 나사 결합되어 있다. 여기서, 제 6 레일 (207) 의 제 3 역암나사 (247) 는, 나사 피치 (P1) 의 3 배의 나사 피치 (P3) 를 가지고 있다. 이 때문에, 샤프트 (222) 의 시계 방향의 회전에 수반하는 제 6 레일 (207) 의 ＋X 방향에 대한 이동 거리는, 제 1 레일 (212) 및 제 5 레일 (206) 의 3 배의 거리가 된다.

이 때문에, 샤프트 (222) 에 있어서의 시계 방향의 회전에 수반하여, 제 6 레일 (207) 이, ＋X 방향으로, 제 5 레일 (206) 의 3 배의 거리를 이동한다. 따라서, 이 제 6 레일 (207) 과 제 5 레일 (206) 사이의 거리인 제 3 레인 (205) 의 폭이, 제 1 레인 (211) 과 동일하게 넓어진다.

또, 샤프트 (222) 를 반시계 방향으로 회전시킴으로써, 제 2 레일 (213) 및 제 3 레일 (216) 이 ＋X 방향으로 이동함과 함께, 제 4 레일 (217) 이, 제 2 레일 (213) 및 제 3 레일 (216) 의 3 배의 거리를 ＋X 방향으로 이동한다. 또한, 제 1 레일 (212) 및 제 5 레일 (206) 이 ―X 방향으로 이동함과 함께, 제 6 레일 (207) 이, 제 1 레일 (212) 및 제 5 레일 (206) 의 3 배의 거리를 ―X 방향으로 이동한다. 이 때문에, 제 1 레인 (211), 제 2 레인 (215) 및 제 3 레인 (205) 의 폭이, 동일하게 좁혀진다.

이와 같이 하여, 이 구성에 있어서도, 샤프트 (222) 를 회전시키는 것에 의해, 제 1 레인 (211), 제 2 레인 (215) 및 제 3 레인 (205) 의 폭을, 판상 워크 (2) 의 폭에 맞추어, 넓히거나 좁히거나 하는 것이 가능하게 되어 있다.

1 : 가공 장치
2 : 판상 워크
3 : 제 1 장치 베이스
5 : 제 2 장치 베이스
7 : 제어부
10 : 조연삭부
11 : 조연삭 이송 수단
12 : 제 1 유지면
13 : 제 1 척 테이블
15 : 조연삭 수단
18 : 조연삭 지석
30 : 마무리 연삭부
31 : 마무리 연삭 이송 수단
32 : 제 2 유지면
33 : 제 2 척 테이블
35 : 마무리 연삭 수단
38 : 마무리 연삭 지석
40 : 카세트 스테이지
41 : 카세트
180 : 카세트 반송 공간
60 : 카세트 반송 기구
61 : 케이싱판
62 : 이동 기구
70 : 지지 기구
170 : 반송 공간
100 : 반송 수단
101 : 케이싱판
110 : 이동 수단
120 : Y 축 이동 기구
130 : Z 축 이동 기구
140 : 유지부
141 : 유지판
142 : 흡인 패드
152 : 중계 수단
153 : 이동 수단
154 : 중계 테이블
155 : 로봇
190 : 임시 거치 공간
200 : 임시 거치 수단
201 : 기대
210 : 임시 거치 레인부
211 : 제 1 레인
212 : 제 1 레일
213 : 제 2 레일
214 : 스토퍼
253 : 누름 기구
215 : 제 2 레인
216 : 제 3 레일
217 : 제 4 레일
205 : 제 3 레인
206 : 제 5 레일
207 : 제 6 레일
250 : 안내 레인
251 : 제 1 안내 레일
252 : 제 2 안내 레일
260 : 단부
225 : 제 1 수나사
226 : 제 2 수나사
227 : 제 1 역수나사
228 : 제 2 역수나사
220 : 폭 변경 수단
221 : 가이드 레일
222 : 샤프트
241 : 제 1 암나사
242 : 제 2 암나사
243 : 제 3 암나사
245 : 제 1 역암나사
246 : 제 2 역암나사
247 : 제 3 역암나사
P1 ∼ 3 : 나사 피치
229 : 기대
230 : 위치 조정 수단
261 : 제 1 에어 분사공
262 : 제 2 에어 분사공
263 : 제 3 에어 분사공
270 : 에어원
400 : 제 1 벨트 이동 수단
401 : 무단 벨트
402 : 회전 기구
403 : 종동 롤러
404 : 구동 롤러
405 : 모터
407 : 인코더
410 : 선단 센서
420 : 제 2 벨트 이동 수단
421 : 검지 센서
423 : 시간 측정부
425 : 속도 설정부
427 : 설정부
429 : 산출부
431 : 판단부
500 : 임시 거치 수단

Claims

유지면에 의해 판상 워크를 유지하는 유지 수단과, 그 유지면에 유지된 판상 워크를 가공하는 가공 수단과, 상하 방향으로 간극을 두고 복수의 판상 워크를 수용하는 선반을 구비한 카세트를 재치하기 위한 카세트 스테이지와, 그 카세트로부터 취출된 판상 워크를 임시 거치하기 위한 임시 거치 수단과, 그 임시 거치 수단에 임시 거치된 판상 워크를 그 유지면에 반송하는 반송 수단을 적어도 구비하는 가공 장치로서,
그 유지 수단은, 그 유지면을 복수 구비하고,
그 임시 거치 수단은, 그 유지면의 수에 대응한 매수의 판상 워크를 임시 거치 가능하고,
그 반송 수단은, 복수의 판상 워크를 동시에 유지하는 유지부와, 그 유지부를 그 임시 거치 수단으로부터 그 유지 수단으로 이동시키는 이동 수단을 구비하고,
그 이동 수단에 의한 그 유지부의 한 번의 동작으로, 그 임시 거치 수단에 임시 거치된 복수의 판상 워크를 수취하여, 그 유지면에 반송하는, 가공 장치.
제 1 항에 있어서,
그 임시 거치 수단은,
에어를 통하여 판상 워크의 하면을 비접촉으로 지지하기 위해서, 상면에 개구된 에어를 분출하는 에어 분사공을 갖고, 그 카세트로부터 그 반송 수단의 수취 위치에 연장되는 에어 슬라이더와,
그 에어를 통하여 그 에어 슬라이더의 그 상면에 비접촉으로 지지된 판상 워크를, 그 에어 슬라이더의 연장 방향으로 이동시키는 슬라이더 이동 수단과,
그 슬라이더 이동 수단에 의해 이동되는 판상 워크를, 그 반송 수단의 그 수취 위치에서 정지시키는 정지 수단을 구비하는, 가공 장치.
제 2 항에 있어서,
그 슬라이더 이동 수단은, 그 에어 슬라이더의 상면에 비접촉으로 지지된 판상 워크의 일방의 가장자리를 그 수취 위치를 향해 누르는 누름 기구를 구비하고,
그 정지 수단은, 그 수취 위치로 이동한 판상 워크의 타방의 가장자리에 접촉하는 스토퍼를 구비하는, 가공 장치.
제 2 항에 있어서,
그 에어 분사공은,
에어가 판상 워크의 이동 방향으로 흐르도록, 그 에어 슬라이더의 그 상면에 수직인 방향으로부터 이동 방향으로 기울어져 형성된, 그 슬라이더 이동 수단으로서의 순에어 분사공과,
그 순에어 분사공으로부터 분사된 에어의 흐름에 대향하는 에어의 흐름을 형성하도록, 그 순에어 분사공의 기울기에 대향하는 기울기를 갖는, 그 정지 수단으로서의 역에어 분사공을 구비하고,
그 임시 거치 수단은, 그 순에어 분사공으로부터 분사된 에어의 흐름과 그 역에어 분사공으로부터 분사된 에어의 흐름에 의해, 그 수취 위치에 있어서 비접촉으로 판상 워크를 지지하는, 가공 장치.
제 2 항에 있어서,
그 임시 거치 수단은,
판상 워크의 양측 하면을 각각 지지하는 제 1 레일 및 제 2 레일로 이루어지는 제 1 레인과,
그 제 1 레인에 병렬로 배치되고, 그 제 1 레인과 동일하게 판상 워크의 양측 하면을 각각 지지하는 제 3 레일 및 제 4 레일로 이루어지는 제 2 레인과,
그 제 1 레인 및 그 제 2 레인의 폭을 동시에 조정 가능한 폭 변경 수단을 구비하고,
그 폭 변경 수단은,
그 제 2 레일에 형성되는 제 1 암나사와,
그 제 3 레일에 그 제 1 암나사와 동일한 나사 피치로 형성되는 제 2 암나사와,
그 제 4 레일에 그 제 1 암나사 및 그 제 2 암나사의 나사 피치의 배의 나사 피치로 형성되는 제 3 암나사와,
그 제 1 암나사 및 그 제 2 암나사에 나사 결합하는 제 1 수나사, 및, 그 제 3 암나사에 나사 결합하는 제 2 수나사를 구비하는 샤프트와,
그 샤프트를 회전시키는 회전 수단을 구비하고,
그 폭 변경 수단은, 그 샤프트를 회전시키는 것에 의해, 그 제 1 레인 및 그 제 2 레인의 폭을 동시에 넓히거나 좁히거나 하는 것을 가능하게 하는, 가공 장치.
제 1 항에 있어서,
그 임시 거치 수단은,
무단 벨트와,
그 무단 벨트를 회전시키는 회전 기구와,
그 무단 벨트의 상면에 재치된 판상 워크가 그 반송 수단의 수취 위치에 도달한 것을 검지하는 선단 센서를 구비하는, 가공 장치.
제 6 항에 있어서,
그 카세트로부터 취출되어 그 무단 벨트에 재치된 판상 워크를 검지하는 검지 센서와,
판상 워크의 크기 (길이 및 폭) 를 설정하는 크기 설정부와,
그 회전 기구에 의해 그 무단 벨트를 소정의 회전 속도로 회전시키는 속도 설정부와,
그 크기 설정부에 의해 크기가 설정된 판상 워크가, 그 속도 설정부에 의해 설정된 속도로 이동했을 때에, 그 검지 센서가 그 판상 워크의 일방의 가장자리를 검지하고 나서 타방의 가장자리를 검지할 때까지의 시간을 측정하는 시간 측정부와,
그 속도 설정부에 의해 설정된 그 무단 벨트의 회전 속도와 그 시간 측정부에 의해 측정된 시간으로부터, 판상 워크의 크기를 산출하는 크기 산출부와,
그 크기 설정부에 의해 설정된 판상 워크의 크기보다, 그 크기 산출부에 의해 산출된 판상 워크의 크기가 작을 때에, 그 무단 벨트의 회전에 문제가 있는 것으로 판단하는 판단부를 추가로 구비하는, 가공 장치.