JP2021527955A - 被加工材の露光後ベーク処理のための方法および装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、“Methods and Apparatus for Post Exposure Bake Processing of a Workpiece”なるタイトルにて2018年9月24日付提出の米国仮出願第62/735244号の優先権の利益を主張し、この出願は引用によって本明細書に組み込まれるものとする。本出願は、“Methods and Apparatus for Post Exposure Bake Processing of a Workpiece”なるタイトルにて2018年6月15日付提出の米国仮出願第62/685608号の優先権の利益を主張し、この出願は引用によって本明細書に組み込まれるものとする。
本開示は、概して、例えば半導体処理に関連するリソグラフィプロセス中の、被加工材の露光後ベーク処理のための方法に関する。
半導体処理では、デバイスの作製は、幾つかのリソグラフィステップを含むことができる。また、被加工材の臨界寸法(CD)は縮小し続けており、深紫外および極紫外(EUV)のリソグラフィが多くの先進デバイスの製造および開発の主流となっている。多くの先進フォトリソグラフィの手法(例えば深紫外および極紫外)が、化学強化レジスト(CAR)を採用している。CARのための化学強化は、露光に対して化学的に安定な触媒化合物の生成を基礎とする。後続の露光後ベーク(PEB)プロセス中、光生成触媒が連鎖反応を開始することができ(例えば1つの光化学変換が幾つかの化学反応を生じさせることができ)、フォトレジストの感応性の大幅な改善が得られる。
本開示の実施形態の態様および利点を以下の説明の一部として記載するが、または説明から、または実施形態の実施によって、教説を得ることができる。
以下に、実施形態、すなわち図面に示した1つもしくは複数の実施例を詳細に説明する。各実施例は実施形態の説明のために設けたものであって、本開示を限定するものではない。実際に、当業者には、本開示の範囲および思想から逸脱することなく、実施形態に対して種々の修正および変更が行われうることは明らかであろう。例えば、1つの実施形態の一部として図示または説明する特徴は、別の実施形態と共に使用して、さらに別の実施形態を生じさせることができる。このように、本開示の態様がこうした修正および変更をカバーすることが意図されている。
Claims (20)
- 被加工材を処理する方法であって、該方法は、
処理チャンバ内に配置された被加工材支持部上に、フォトレジストの層を有する被加工材を配置することと、
前記フォトレジストを、フォトマスクを通して所定の波長の光子に露光させることと、
前記フォトレジストの層を有する前記被加工材に対し、露光後ベーク加熱プロセスを行うことと
を含み、ここで、前記露光後ベーク加熱プロセスは、放射熱源と前記被加工材支持部内に配置された第2の熱源との双方により、前記被加工材の温度が露光後ベーク設定温度に達するまで、前記被加工材を加熱することを含む、方法。 - 前記露光後ベーク加熱プロセスは、約15秒未満で、おおよそ前記露光後ベーク設定温度まで前記被加工材を加熱するものである、
請求項1記載の方法。 - 前記露光後ベーク加熱プロセスは、約5秒未満で、おおよそ前記露光後ベーク設定温度まで前記被加工材を加熱するものである、
請求項1記載の方法。 - 前記被加工材が前記露光後ベーク設定温度に達した後に1つもしくは複数の前記放射熱源をパワーオフし、一方、前記第2の熱源による前記被加工材の加熱を維持することをさらに含む、
請求項1記載の方法。 - 前記露光後ベーク設定温度は、約60℃〜約150℃である、
請求項1記載の方法。 - 前記放射熱源は、1つもしくは複数の白熱ランプを含む、
請求項1記載の方法。 - 前記露光後ベーク加熱プロセス中、前記放射熱源と前記被加工材との間に、前記所定の波長の光子の透過に対して少なくとも部分的に不透明なフィルタが配置されている、
請求項1記載の方法。 - 前記放射熱源は、1つもしくは複数の発光ダイオードを含む、
請求項1記載の方法。 - 前記第2の熱源は、前記被加工材支持部内に配置された1つもしくは複数の抵抗加熱要素を含む、
請求項1記載の方法。 - 前記第2の熱源は、前記被加工材支持部内に配置された1つもしくは複数の流体ベース加熱要素を含む、
請求項1記載の方法。 - 前記第2の熱源内の前記1つもしくは複数の流体ベース加熱要素は熱交換器に流体接続されており、流体は、前記露光後ベーク加熱プロセス中、前記第2の熱源内の前記1つもしくは複数の流体ベース加熱要素と前記熱交換器との間を循環する、
請求項10記載の方法。 - 前記流体は、水、油およびグリコールのうちの1つもしくは複数を含む作動液流体である、
請求項11記載の方法。 - 前記フォトレジストの層は、化学強化レジスト層である、
請求項1記載の方法。 - 被加工材を処理する方法であって、該方法は、
被加工材のフォトレジストの層を、フォトマスクを通して所定の波長の光子に露光させることと、
処理チャンバ内に配置された、1つもしくは複数の流体ベース加熱要素を含む被加工材支持部上に、前記フォトレジストの層を有する前記被加工材を配置することと、
前記流体ベース加熱要素を含む前記被加工材支持部上の前記被加工材の前記フォトレジストの層に対し、おおよそ露光後ベーク設定温度で、露光後ベーク加熱プロセスを行うことと
を含む、方法。 - 前記被加工材支持部内の前記流体ベース加熱要素は熱交換器に流体接続されており、流体は、前記露光後ベーク加熱プロセス中、前記被加工材支持部内の前記流体ベース加熱要素と前記熱交換器との間を循環する、
請求項14記載の方法。 - 前記流体は、水、油およびグリコールのうちの1つもしくは複数を含む作動液流体である、
請求項14記載の方法。 - 前記露光後ベーク設定温度は、約60℃〜約150℃の範囲にある、
請求項14記載の方法。 - 前記露光後ベーク加熱プロセスは、約15秒未満で、おおよそ前記露光後ベーク設定温度まで前記被加工材を加熱するものである、
請求項14記載の方法。 - 前記露光後ベーク加熱プロセスは、約5秒未満で、おおよそ前記露光後ベーク設定温度まで前記被加工材を加熱するものである、
請求項14記載の方法。 - 前記フォトレジストの層は、化学強化レジスト層である、
請求項14記載の方法。
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