JP2021513644A

JP2021513644A - 電力インタフェース

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Publication number: JP2021513644A
Application number: JP2020541510A
Authority: JP
Inventors: ジョンベキム; ジョンべキム; ミンジョンクム; ヨンテユン; ギョングクイ
Original assignee: ジュソンエンジニアリングカンパニーリミテッド
Priority date: 2018-02-09
Filing date: 2019-02-07
Publication date: 2021-05-27
Anticipated expiration: 2039-02-07
Also published as: US11293943B2; JP7236444B2; CN111684289B; TW201935779A; CN111684289A; WO2019156490A1; US20210033641A1; TWI825070B; KR20190096582A; KR102447833B1

Abstract

本発明は、電力インタフェースに係り、さらに詳しくは、被検査体と試験駆動機器とを電気的に接続するための電力インタフェースに関する。本発明の実施形態に係る電力インタフェースは、支持部材と、前記支持部材に固定されて、上下方向に弾性力を与えるための弾性部材と、前記弾性部材の上に配置される第１の接続端子と、前記第１の接続端子と電気的に接続される第２の接続端子と、前記弾性部材の歪み範囲を制限するように、一方の側は前記弾性部材に固定され、他方の側は前記支持部材に固定される可撓性シートと、を備える。

Description

本発明は、電力インタフェースに係り、さらに詳しくは、被検査体と試験駆動機器とを電気的に接続するための電力インタフェースに関する。

発光素子とは、化合物半導体の特性を用いて、電気的信号を赤外線または光に変換して信号を授受したり光源として用いられたりする装置のことをいう。

発光素子は、照明及び薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ（ＴＦＴ−ＬＣＤ：ｔｈｉｎｆｉｌｍｔｒａｎｓｉｓｔｏｒｌｉｑｕｉｄｃｒｙｓｔａｌｄｉｓｐｌａｙ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ：ｐｌａｓｍａｄｉｓｐｌａｙｐａｎｅｌ）、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ：ｏｒｇａｎｉｃｌｉｇｈｔｅｍｉｔｔｉｎｇｄｉｏｄｅｓ）などをはじめとするディスプレイパネルなど種々さまざまな応用製品に適用されている。この種の発光素子は、基板の上に写真（ｐｈｏｔｏ）、拡散（ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ）、蒸着（ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、エッチング（ｅｔｃｈｉｎｇ）及びイオン注入（ｉｏｎｉｍｐｌａｎｔ）などの工程が繰り返し行われて製造される。

一般に、発光素子の製造過程の最中には、製造された発光素子が正常に駆動されるか否かを予め確認するために、信頼性テストのためのエージング工程を経る。

このようなエージング工程には、基本的なパーティクル検査が含まれ、エージングチャンバ内に発光素子を搬送して据え付けた状態で、所定の時間の間に電気的な信号を印加して正常に作動するか否かを検査する。

発光素子が正常に作動するか否か検査するために、被検査体である発光素子と試験駆動機器とを電気的に接続するための電力インタフェースが用いられる。このような電力インタフェースとして、従来より、バネを組み込んだ本体にピンが取り付けられる形態を有するポゴピン（ｐｏｇｏｐｉｎ）を主として用いてきた。

しかしながら、従来より発光素子の検査のために用いられてきたポゴピンは、本体内においてバネによりピンが移動することにつれて、本体とピンとが面対面で接触してしまい、このような面対面接触に伴う擦れ合いにより持続的にパーティクルが生じ続けるという不都合があった。これにより、製造される発光素子の接触不良の発生率及び検査時間が増加し、パーティクルを除去するための追加工程にも長時間がかかってしまう結果、発光素子の歩留まり率が低下してしまうという問題があった。

大韓民国公開特許第１０−２００５−００１７７５９号公報

本発明は、被検査体を弾性支持して試験駆動機器と電気的に接続することのできる電力インタフェースを提供する。

本発明の実施形態に係る電力インタフェースは、支持部材と、前記支持部材に固定されて、上下方向に弾性力を与えるための弾性部材と、前記弾性部材の上に配置される第１の接続端子と、前記第１の接続端子と電気的に接続される第２の接続端子と、前記弾性部材の歪み範囲を制限するように、一方の側は前記弾性部材に固定され、他方の側は前記支持部材に固定される可撓性シートと、を備え、前記可撓性シートは、前記弾性部材及び支持部材にそれぞれ固定される領域を除く残りの領域において前記弾性部材及び支持部材と接触されないように配置される。

前記第１の接続端子は、前記弾性部材の歪みにつれて移動自在となるように前記弾性部材の上に配置されてもよい。

前記弾性部材は、前記支持部材上において直立するように長さ及び幅が決定されてもよい。

前記可撓性シートは、前記第１の接続端子の移動につれて歪まされてもよい。

前記第１の接続端子及び第２の接続端子は、前記可撓性シートの上に所定の接触面積を有するパッド状に形成されてもよい。

前記支持部材は、前記可撓性シートの固定される位置が、前記弾性部材の固定される位置よりも上部となるように形成される段付き部を備えていてもよい。

前記可撓性シートは、前記弾性部材の上端の外側において下向きに折り曲げられて形成されてもよい。

前記弾性部材、第１の接続端子及び第２の接続端子はそれぞれ複数配備され、前記複数の第１の接続端子は、前記複数の弾性部材の上にそれぞれ配置され、前記複数の第２の接続端子は、前記複数の第１の接続端子とそれぞれ電気的に接続されてもよい。

前記可撓性シートは、前記複数の第１の接続端子の間においてそれぞれ少なくとも一部の領域が切り欠かれて形成される切欠部を備えていてもよい。

前記電力インタフェースは、前記複数の第１の接続端子の移動範囲を制限するように前記複数の第１の接続端子同士をそれぞれ連結する可撓性連結シートをさらに備えていてもよい。

前記可撓性連結シートは、前記複数の第１の接続端子同士間の長さよりも長く形成されてもよい。

前記電力インタフェースは、前記支持部材に固定されて、前記複数の第２の接続端子にそれぞれ試験電流を印加するためのプリント回路基板をさらに備えていてもよい。

本発明の実施形態に係る電力インタフェースによれば、被検査体と電気的に接続される接続端子を弾性部材と可撓性シートとにより移動自在にすることができて、接続端子の移動に伴う擦れ合いが生じないようにし、これにより、パーティクルが生じることを防ぐことができる。

また、被検査体と試験駆動機器との間の電気的な接続が可撓性シートに形成される導電パターンにより行われることから、電気的な接続経路を最短化させることができ、可撓性シートに接続端子を形成して被検査体及び試験駆動機器との間の電気的な接触面積を向上させてテスト電流の印加に伴う内部抵抗もまた効率よく低減することができる。

一般的に用いられるポゴピンの様子を示す図。本発明の一実施形態に係る電力インタフェースの様子を示す図。本発明の一実施形態に係る電力インタフェースが動作する様子を示す図。本発明の他の実施形態に係る電力インタフェースの様子を概略的に示す斜視図。

以下、添付図面に基づいて、本発明の実施形態をより詳しく説明する。しかしながら、本発明は以下に開示される実施形態に何ら限定されるものではなく、異なる様々な形態に具体化され、単にこれらの実施形態は本発明の開示を完全たるものにし、通常の知識を有する者に発明の範囲を完全に知らせるために提供されるものである。

明細書の全般に亘って、「上部」または「下部」などの相対的な言い回しは、図示のごとく、他の要素に対するある要素の相対的な関係を述べるためにこの開示において用いられてもよい。相対的な言い回しは、図中に描かれる方向に加えて、素子の他の方向を網羅することを意図するものと理解され得る。ここで、同一の符号は、同一の要素を指し示す。

図１は、一般的に用いられるポゴピンの様子を示す図である。ここで、図１（ａ）は、バネ３０が伸びた状態の様子を示し、図１（ｂ）は、バネ３０が縮んだ状態の様子を示す。

図１を参照すると、一般に用いられるポゴピンは、本体として用いられ、中空状の内部を有するバレル１０（ｂａｒｒｅｌ）と、前記バレル１０の内部の上端に配置される接触ティップ２０（ｔｉｐ）と、前記バレル１０の内部において前記接触ティップ２０と連結されて縮み及び伸びの弾性力を与えるバネ３０及び前記接触ティップ２０と連結されたバネ３０の反対側に連結されてピストン運動を行うプランジャ４０（ｐｌｕｎｇｅｒ）からなる。

このようなポゴピンは、バネ３０の縮み及び伸びによりプランジャ４０と接触ティップ２０とが機械的な衝撃を吸収しながら、被検査体、例えば、照明素子の連結端子と試験駆動機器との間を電気的に接続して電気的な機能検査を行う。

しかし、このようなポゴピンは、バネ３０の縮み及び伸びにより接触ティップ２０及びプランジャ４０が上下動しながらバレル１０の内部と面対面で接触（図１における点線の部分）する。このような接触ティップ２０及びプランジャ４０とバレル１０との内部の面対面接触により、接触ティップ２０及びプランジャ４０とバレル１０は摩耗され、接触ティップ２０及びプランジャ４０とバレル１０が摩耗されることにより、ポゴピンから持続的にパーティクルが生じ続ける。

これにより、製造される照明素子の短絡及び接触不良の不良率が高くなり、基本的なパーティクル検査が含まれるエージング工程において照明素子の電気的な機能の検査にかかる時間が長引くだけではなく、パーティクルを除去するための追加工程にも長時間がかかって製造される照明素子の歩留まり率が各段に低下してしまうという不都合があった。

このため、本発明の実施形態に係る電力インタフェースは、被検査体を弾性支持して試験駆動機器と電気的に接続するに当たって、弾性運動に伴う面対面での擦れ合いを防ぎ、これによるパーティクルの発生を極力抑えることのできる技術的な特徴を提示する。

図２は、本発明の一実施形態に係る電力インタフェースの様子を示す図であり、図３は、本発明の一実施形態に係る電力インタフェースが動作する様子を示す図である。ここで、図３（ａ）は、弾性部材２００が伸びた状態の様子を示し、図３（ｂ）は、弾性部材２００が縮んだ状態の様子を示す。

図２及び図３を参照すると、本発明の一実施形態に係る電力インタフェースは、支持部材１００と、前記支持部材１００に固定されて、上下方向に弾性力を与えるための弾性部材２００と、前記弾性部材２００の上に配置される第１の接続端子３１０と、前記第１の接続端子３１０と電気的に接続される第２の接続端子３２０と、前記弾性部材２００の歪み範囲を制限するように、一方の側は前記弾性部材２００に固定され、他方の側は前記支持部材１００に固定される可撓性シート３００と、を備える。

支持部材１００は、下部に配置されて、弾性部材２００及び可撓性シート３００の一部の領域を固定する。支持部材１００は、一方向に延びるプレート状に形成されてもよく、前記支持部材１００の上面には、弾性部材２００が固定される。ここで、支持部材１００は、弾性部材２００及び可撓性シート３００の一部の領域を固定するためのものであって、伝導性を有さないプラスチックなど合成樹脂の素材から形成されてもよい。

弾性部材２００は、前記支持部材１００に下端が固定され、上部に向かって直立して上下方向に弾性力を与える。後述するように、第１の接続端子３１０は、弾性部材２００の歪みにつれて移動自由となるように弾性部材２００の上に配置されてもよい。したがって、弾性部材２００は、第１の接続端子３１０を支持し、縮み及び伸びにより前記第１の接続端子３１０を上下に移動させることができなければならないため、弾性部材２００は、支持部材１００上において直立するようにその長さ及び幅が決定される。すなわち、弾性部材２００は、長さが短くなればなるほど、かつ、幅が広くなればなるほど、支持部材１００上において側方向に離脱することなく直立可能であるため、弾性部材２００の長さ及び幅は、第１の接続端子３１０に弾性力を与える範囲内において最大限に短くなった長さと広くなった幅とを有するように決定されてもよい。

弾性部材２００としては、上部に向かって弾性力を与えるに当たって、面対面接触が行われない種々の部材が用いられてもよい。図面には、弾性部材２００としてバネが用いられる一例が示されているが、弾性部材２００としては、バネを用いることに何ら限定されることなく、屈曲形成されて、または折曲げ形成されて上部に向かって伸びたり縮んだりして弾性力を与える種々の部材を用いてもよいことはいうまでもない。

ここで、弾性部材２００の下端は、支持部材１００の上面に固定され、上端は、可撓性シート３００の底面に固定される。ここで、弾性部材２００の下端と支持部材１００の上面との間には、支持部材１００の上面に弾性部材２００を容易に結合するための第１の固定部材２１０が設けられてもよい。第１の固定部材２１０は、弾性部材２００を嵌合させるための突起状に形成されてもよく、支持部材１００の上面に対応する接触面を提供する形状に形成されてもよい。また、弾性部材２００の上端と可撓性シート３００の底面との間には、可撓性シート３００を平らに支持するための第２の固定部材２２０が設けられてもよい。これらの第１の固定部材２１０及び第２の固定部材２２０は、支持部材１００または可撓性シート３００と一体に形成されてもよく、支持部材１００または可撓性シート３００と接着されて設けられてもよいことはいうまでもない。

第１の接続端子３１０は、弾性部材２００の上に配置され、第２の接続端子３２０は、前記第１の接続端子３１０と電気的に接続される。ここで、第１の接続端子３１０は、弾性部材２００の上に延びた可撓性シート３００の一方の側の上面に配置されて弾性部材２００の歪みにつれて移動自在となるように弾性部材２００の上に配置されてもよい。ここで、「弾性部材２００の歪みにつれて移動自在」とは、移動に際して弾性部材２００の歪みの他に、移動方向を制御する別途の構造体により直接的に支持されないような構造を意味し、このように、第１の接続端子３１０を弾性部材２００の歪みにつれて移動自在とするように弾性部材２００の上に配置する場合、第１の接続端子３１０の移動に伴う擦れ合いが生じなくなり、これにより、パーティクルが生じることを防ぐことが可能になる。

また、第２の接続端子３２０は、前記第１の接続端子３１０と電気的に接続される。ここで、第２の接続端子３２０は、支持部材１００に固定される可撓性シート３００の他方の側の上面に配置されてもよく、第２の接続端子３２０は、第１の接続端子３１０とは、可撓性シート３００の上面または内部に形成される導電パターンにより電気的に接続されてもよい。

ここで、第１の接続端子３１０と、第２の接続端子３２０及び可撓性シート３００は、前記第１の接続端子３１０と第２の接続端子３２０とを電気的に接続する回路パターンが組み込まれた軟性プリント回路基板（ＦＰＣＢ：ＦｌｅｘｉｂｌｅＰｒｉｎｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔＢｏａｒｄ）から形成されてもよい。すなわち、第１の接続端子３１０と、第２の接続端子３２０及び可撓性シート３００は、軟性フィルムに銅箔から導電パターンが形成されて可撓性を有する軟性回路基板から形成されてもよい。

このように、本発明の一実施形態に係る電力インタフェースは、第１の接続端子３１０及び前記第１の接続端子３１０と電気的に接続される第２の接続端子３２０が可撓性シート３００の上に位置して、被検査体５０と試験駆動機器とを可撓性シート３００上において電気的に接続することにより、内部抵抗を最小化させることができる。すなわち、前述したように、ポゴピンを電力インタフェースとして用いる場合、被検査体５０と試験駆動機器とを電気的に接続する経路は、接触ティップ２０とプランジャ４０との間のバレル１０及びバネにより形成される。これに対し、本発明の一実施形態に係る電力インタフェースは、バレル１０及びバネを介して被検査体５０と試験駆動機器とを電気的に接続するわけではなく、可撓性シート３００の上に配置される第１の接続端子３１０と第２の接続端子３２０により被検査体５０と試験駆動機器を電気的に接続することから、電気的な接続経路を最短化させることができるだけではなく、これに伴う内部抵抗もまた効率よく低減することが可能になる。

第１の接続端子３１０及び第２の接続端子３２０は、接触性を向上させるために、所定の接触面積を有するパッド状に形成されてもよい。すなわち、第１の接続端子３１０は、被検査体５０の接続端子５５との接触性を向上させるためのパッド状に形成され、第２の接続端子３２０は、被検査体５０の電気的な特性を検査するための試験駆動機器のプリント回路基板との接触性を向上させるためにパッド状に形成されてもよい。図示はしないが、第１の接続端子３１０及び第２の接続端子３２０の上面には複数の突起が形成されて、被検査体５０及び試験駆動機器との接触性をさらに向上させることができる。

可撓性シート３００は、弾性部材２００の歪み範囲を制限するように、一方の側は前記弾性部材２００に固定され、他方の側は前記支持部材１００に固定される。すなわち、可撓性シート３００は、一方の側が弾性部材２００の上端に固定され、他方の側が支持部材１００に固定されるように延設される。ここで、可撓性シート３００は、弾性部材２００の縮み及び伸びに伴う第１の接続端子３１０の移動及び弾性部材２００の側方向への歪みに伴う第１の接続端子３１０の移動につれて歪まされるとともに、弾性部材２００の歪み範囲を制限する。このような可撓性シート３００は、外部から圧力が加えられる場合、柔軟に撓む性質を有するフィルム状に形成され、可撓性シート３００の素材としては、ポリプロピレン、ポリエチレンなど弾力性のある種々さまざまな合成樹脂の素子を用いることができる。

ここで、可撓性シート３００は、一方の側が弾性部材２００の上端に固定され、他方の側が支持部材１００に固定されて、弾性部材２００の上端及び支持部材１００にそれぞれ固定される領域を除く残りの領域において弾性部材２００及び支持部材１００と接触されないように配置される。可撓性シート３００は、一方の端が弾性部材２００の上端に固定され、他方の端が支持部材１００に固定されるように形成されてもよく、図示はしないが、両端が支持部材１００にそれぞれ固定され、両端間の一部の領域が弾性部材２００の上端に固定されるように形成されてもよいことはいうまでもない。なお、可撓性シート３００は、一方の端が弾性部材２００の上端に固定され、他方の端が弾性部材２００の下端における支持部材１００に固定されるように形成されるなど弾性部材２００の歪み範囲を制限する範囲内において種々に配置されてもよいことはいうまでもない。

さらに、可撓性シート３００は、一部の領域が支持部材１００の上面に固定されてもよい。すなわち、支持部材１００において、弾性部材２００が固定される領域を第１の領域Ａとし、可撓性シート３００が固定される領域を第２の領域Ｂとしたとき、第１の領域Ａ及び第２の領域Ｂは、それぞれ支持部材１００の上面に形成されてもよい。この場合、可撓性シート３００は、弾性部材２００に固定される領域と、支持部材１００に固定される領域とが側方向に配置されて、弾性部材２００が縮んだり伸びたりする場合であっても、弾性部材２００と接触されないことが可能になる。

ここで、可撓性シート３００は、弾性部材２００の縮みまたは伸びを許容する範囲内において弾性部材２００が側方向に歪んだり離脱したりすることを制限する役割を果たす。このため、支持部材１００は、可撓性シート３００が固定される位置である第２の領域Ｂが弾性部材２００が固定される位置である第１の領域Ａに比べて上部に位置するように形成される段付き部１１０を備えていてもよい。段付き部１１０は、支持部材１００の上面から上部へと突設され、このように、支持部材１００に第２の領域Ｂが第１の領域Ａに比べて上部に位置するように段付き部１１０が形成される場合、第２の領域Ｂが第１の領域Ａと面一になるように配置される場合に比べて、弾性部材２００及び支持部材１００の間において延びる可撓性シート３００の長さを短くすることができ、これにより、弾性部材２００が側方向に歪んだり離脱したりすることをさらに容易に制限することが可能になる。

すなわち、図２の場合において、可撓性シート３００は、弾性部材２００が左側の向きに傾く場合、引っ張り力を与えて歪んだり離脱したりすることを防ぐ。図示はしないが、可撓性シート３００の両端が支持部材１００に固定され、両端間の一部の領域が弾性部材２００の上端に固定されるように形成される場合、可撓性シート３００は、弾性部材２００が左側及び右側の向きに傾く場合、引っ張り力を与えて歪んだり離脱したりすることを防ぐことができる。また、可撓性シート３００は、一定の幅を有するように形成されるので、弾性部材２００が前面または後面に傾く場合であっても引っ張り力を与えることが可能になる。この場合、可撓性シート３００は、弾性部材２００の側方向への歪みを完全に防ぐことはできないが、パーティクルの発生によるより深刻な問題が引き起こされ、被検査体５０の接続端子５５の幅及びピッチが比較的に大きく形成される照明素子などに適用するに当たっては、弾性部材２００の歪み範囲を所定の範囲に制限することにより、むしろ構成の単純化及び製造コストの節減化を両立させることが可能になる。

さらにまた、可撓性シート３００は、弾性部材２００の上端の外側において下向きに折り曲げられて形成されてもよい。すなわち、第１の接続端子３１０は、弾性部材２００の上端の上に配置されて上部に露出されるため、第１の接続端子３１０のみを上部に露出させ、第１の接続端子３１０と第２の接続端子３２０とを電気的に接続する導電パターンが上部に露出されることを極力抑えて、被検査体５０の接続端子５５と第１の接続端子３１０とが接続されるように、可撓性シート３００は、弾性部材２００の上端の外側、すなわち、第１の接続端子３１０の外側において下向きに折り曲げられるように形成されてもよい。

このような本発明の一実施形態に係る電力インタフェースは、弾性部材２００の縮みまたは伸びにつれて可撓性シート３００の上に形成された第１の接続端子３１０が上下に移動するに当たって、面対面接触が省略されたような構造を有する。

すなわち、第１の接続端子３１０は、可撓性シート３００により移動範囲が制限された状態で支持部材１００が載置される治具Ｚなどが被検査体５０を押し付けることにより、前記可撓性シート３００の下部に配置された弾性部材２００の弾性力により上下に移動し、第１の接続端子３１０の移動につれて弾性部材２００及び支持部材１００とのいかなる面対面接触も行われない。これにより、弾性部材２００の弾性力により第１の接続端子３１０が移動するに当たって、擦れ合いに起因してパーティクルが生じることを防ぐことが可能になる。

また、前述した本発明の一実施形態に係る電力インタフェースは複数配備され、複数の電力インタフェースは隣り合うように配置されてもよい。すなわち、被検査体５０の複数の接続端子５５とそれぞれ電気的に接続されるために、前記電力インタフェースは、一定の間隔を隔てて複数配置されてもよく、この場合、それぞれの電力インタフェースは、支持部材１００が嵌着されるための溝が刻設される別途の構造物に嵌入して配置されてもよい。なお、電力インタフェースは、一部の構造が一体に形成されて被検査体５０の複数の接続端子５５とそれぞれ電気的に接続されるように形成されてもよく、これに伴う本発明の他の実施形態に係る電力インタフェースについては、以下において詳しく説明する。

図４は、本発明の他の実施形態に係る電力インタフェースの様子を概略的に示す斜視図である。

図４を参照すると、本発明の他の実施形態に係る電力インタフェースは、前述した本発明の一実施形態に係る電力インタフェースにおいて、弾性部材２００、第１の接続端子３１０及び第２の接続端子３２０はそれぞれ複数配備され、前記複数の第１の接続端子３１２、３１４、３１６は、前記複数の弾性部材２００の上にそれぞれ配置され、前記複数の第２の接続端子３２２、３２４、３２６は、前記複数の第１の接続端子３１２、３１４、３１６とそれぞれ電気的に接続されて構成される。

すなわち、本発明の他の実施形態に係る電力インタフェースは、前述した本発明の一実施形態に係る電力インタフェースと比較するとき、一体化した支持部材１００及び可撓性シート３００を有する点で相違点がある。前記一体化した支持部材１００及び可撓性シート３００と関連する内容を除いては、本発明の一実施形態に係る電力インタフェースと関連して前述した内容がそのまま適用可能であるため、これについての重複する説明は省略する。

支持部材１００は、下部に配置されて、複数の弾性部材２００及び前記複数の弾性部材２００の上端を固定する可撓性シート３００の一部の領域を固定する。支持部材１００は、可撓性シート３００の一部の領域を固定するための一方向及び複数の弾性部材２００が配列される他方向にそれぞれ延びるプレート状に形成されてもよい。ここで、複数の弾性部材２００が固定される領域を第１の領域とし、可撓性シート３００が固定される領域を第２の領域としたとき、第１の領域は、複数の弾性部材２００が配列される方向に沿って延び、第２の領域は、複数の第２の接続端子３２０が配列される方向に沿って延設されてもよい。なお、前述したように、支持部材１００は、伝導性を有さないプラスチックなどの合成樹脂の素材から形成されてもよい。

ここで、複数の弾性部材２００は第１の領域にそれぞれ固定され、可撓性シート３００は第２の領域に固定されるため、第１の領域及び第２の領域は、それぞれ支持部材１００の上面に形成されてもよい。また、支持部材１００は、第２の領域が第１の領域に対して上部に位置するように形成される段付き部１１０を備えていてもよい。このように、既述したように、第１の領域と第２の領域とをそれぞれ支持部材１００の上面に形成することにより、複数の弾性部材２００を固定する領域と可撓性シート３００を固定する領域とを側方向に配置することが可能になって、各弾性部材２００が縮んだり伸びたりする場合であっても、可撓性シート３００が弾性部材２００と接触されないことが可能になり、第２の領域を第１の領域に比べて上部に位置させることにより、可撓性シート３００の長さを短くすることができるだけではなく、各弾性部材２００が側方向に離脱することをさらに容易に制限することができる。

弾性部材２００は、それぞれ支持部材１００に下端が固定され、上部に向かってそれぞれ弾性力を与える。弾性部材２００は、縮んだり伸びたりするに当たって、面対面接触構造を与えないバネを用いることが好ましいが、これに加えて、屈曲形成されるか、あるいは、折曲げ形成されて上部に向かって縮んだり伸びたりして弾性力を与える種々さまざまな部材を用いてもよいことはいうまでもない。なお、図４には、複数の弾性部材２００が一方向に沿って配列されて支持部材１００にそれぞれ下端が固定されることが示されているが、各弾性部材２００は、被検査体の接続端子の配列に応じて、これとは異なるように配列されて固定されてもよいことはいうまでもない。

可撓性シート３００は、複数の弾性部材２００の上端及び支持部材１００にそれぞれ固定されるように延び、可撓性シート３００の上面には、各弾性部材２００の上端の上に配置されて上部に露出される複数の第１の接続端子３１２、３１４、３１６及び前記複数の第１の接続端子３１２、３１４、３１６とそれぞれ電気的に接続される複数の第２の接続端子３２２、３２４、３２６が配置される。

すなわち、可撓性シート３００は、一部の領域が各弾性部材２００の上端に一体に固定され、他の一部の領域が支持部材１００に固定され、各弾性部材２００の上端及び支持部材１００にそれぞれ固定される領域を除く残りの領域において弾性部材２００及び支持部材１００と離れるように配置される。ここで、可撓性シート３００は、弾性部材２００の縮みまたは伸びを許容する範囲内において弾性部材２００が側方向に離脱することを制限する役割を果たす。なお、可撓性シート３００は、外部から圧力が加えられる場合、柔軟に撓む性質を有するフィルム状に形成され、可撓性シート３００の上に露出される複数の第１の接続端子３１２、３１４、３１６及び第２の接続端子３２２、３２４、３２６は、導電パターン３３２、３３４、３３６によりそれぞれ電気的に接続される。ここで、複数の第１の接続端子３１２、３１４、３１６は、図示のごとく、複数の第２の接続端子３２２、３２４、３２６とそれぞれ一対一で対応するように電気的に接続されてもよいが、複数の第１の接続端子３１２、３１４、３１６の一部が一つの第２の接続端子に電気的に接続されるように導電パターンが形成されてもよいことはいうまでもない。なお、このように、可撓性シート３００の上に複数の第１の接続端子３１２、３１４、３１６、複数の第２の接続端子３２２、３２４、３２６及び各導電パターン３３２、３３４、３３６を容易に形成するために、回路パターンが組み込まれた軟性プリント回路基板を用いることができることは上述した通りである。

ここで、第１の接続端子が各弾性部材２００の上端の上に配置される場合、可撓性シート３００は各弾性部材２００の上端に一体に固定されるため、各第１の接続端子は、下部に配置される弾性部材２００の縮み及び伸びにつれて他の第１の接続端子に対して個別的に上下動するに当たって制約を受けてしまう。このため、可撓性シート３００は、複数の第１の接続端子３１２、３１４、３１６の間の少なくとも一部の領域が切り欠かれるように形成される複数の切欠部３５０を備えていてもよい。ここで、各切欠部３５０は、隣り合う第１の接続端子の間において可撓性シート３００を一部切り欠くことにより形成されてもよく、これにより、各第１の接続端子３１２、３１４、３１６は、下部に配置される弾性部材２００の縮み及び伸びにつれて個別的に上下動することが可能になる。

また、複数の切欠部３５０は、弾性部材２００の上端から下向きに延設されてもよい。すなわち、複数の切欠部３５０は、複数の第１の接続端子３１２、３１４、３１６の間の少なくとも一部の領域から下部に向かって延びた領域に対して可撓性シート３００を切り欠くことにより形成されてもよい。ここで、可撓性シート３００は、複数の弾性部材２００の上端、すなわち、複数の第１の接続端子３１２、３１４、３１６の外側において下向きに折り曲げられて形成されてもよく、この場合、複数の第１の接続端子３１２、３１４、３１６が一方向に沿って配置されない場合であっても、複数の切欠部３５０を弾性部材２００の上端から下向きに延設することにより、可撓性シート３００が弾性部材２００の上端においてそれぞれ下向きに折り曲げられるように形成することが可能になる。

さらに、本発明の実施形態に係る電力インタフェースは、複数の第１の接続端子３１０の間をそれぞれ連結する可撓性連結シート４００をさらに備えていてもよい。すなわち、複数の切欠部３５０により可撓性シート３００の複数の第１の接続端子３１２、３１４、３１６の間の少なくとも一部の領域が切り欠かれる場合、可撓性連結シート４００は、切り欠かれた一部の領域内において複数の第１の接続端子３１２、３１４、３１６同士間をそれぞれ連結する。ここで、可撓性連結シート４００は、第１の接続端子の移動範囲を制限するように、すなわち、各第１の接続端子が弾性部材２００の側方向に傾くことにつれて側方向に移動することを防ぐために配備され、この場合、可撓性連結シート４００は、複数の第１の接続端子３１２、３１４、３１６同士間のそれぞれの長さよりも長く形成されてもよく、この場合、前記可撓性連結シート４００は、前記複数の第１の接続端子３１２、３１４、３１６の間においてそれぞれ下向きに屈曲するように形成されてもよい。すなわち、可撓性連結シート４００を複数の第１の接続端子３１２、３１４、３１６同士間の長さに等しくする場合、複数の第１の接続端子３１２、３１４、３１６の間に切欠部３５０が形成されない状態と同様になり、この場合、各第１の接続端子は、それぞれ別々に移動する上で制約を受けてしまう。しかしながら、可撓性連結シート４００を複数の第１の接続端子３１２、３１４、３１６同士間の長さよりもそれぞれ長く形成することにより、各第１の接続端子は、他の第１の接続端子との干渉なしにそれぞれ別々に移動することが可能になり、可撓性連結シート４００の長さを調節して各第１の接続端子が側方向に移動することを所定の範囲において制限することが可能になる。このように、本発明の実施形態に係る電力インタフェースによれば、可撓性シート３００の一部の領域を弾性部材２００の側方向へと離間させて固定し、複数の第１の接続端子３１２、３１４、３１６の間に形成される切欠部３５０の一部の領域を可撓性連結シート４００により連結することにより、各第１の接続端子の両側面だけではなく、前面と背面への移動まで制限することが可能になって、各第１の接続端子が捩じれたり離脱したりすることを防ぐことが可能になる。

さらにまた、本発明の他の実施形態に係る電力インタフェースは、可撓性シート３００の上に配置された複数の第２の接続端子３２２、３２４、３２６にそれぞれ試験電流を印加するための回路パターンが組み込まれたプリント回路基板（図示せず）をさらに備えていてもよい。ここで、プリント回路基板は、試験駆動機器から印加される試験電流を複数の第２の接続端子３２２、３２４、３２６に印加するための構成要素であり、プリント回路基板は、組み込まれた回路パターンが支持部材１００上において可撓性シート３００の上に配置された複数の第２の接続端子３２２、３２４、３２６に電気的に接続されるように支持部材１００に固定されてもよい。プリント回路基板は、ボルトなどにより支持部材１００の上に締め付けられてもよく、支持部材１００にプリント回路基板を直接的に締め付けることにより、プリント回路基板が第２の接続端子３２２、３２４、３２６との電気的な接続を保ちながら強固に結合されることが可能になる。

このように、本発明の実施形態に係る電力インタフェースによれば、被検査体と電気的に接続される接続端子を弾性部材２００と可撓性シート３００とにより移動自在にすることができて、接続端子の移動に伴う擦れ合いが生じないようにし、これにより、パーティクルが生じることを防ぐことができる。

また、被検査体と試験駆動機器との間の電気的な接続が可撓性シート３００に形成される導電パターンにより行われることから、電気的な接続経路を最短化させることができ、可撓性シート３００に接続端子を形成して被検査体及び試験駆動機器との間の電気的な接触面積を向上させてテスト電流の印加に伴う内部抵抗もまた効率よく低減することができる。

以上、本発明の好適な実施形態が特定の用語を用いて説明及び図示されたが、これらの用語は、単に本発明を明確に説明するためのものに過ぎず、本発明の実施形態及び記述された用語は、特許請求の範囲の技術的思想及び範囲から逸脱することなく、種々の変更及び変化が加えられるということは明らかである。これらの変形された実施形態は、本発明の思想及び範囲から個別的に理解されてはならず、本発明の特許請求の範囲内に属するものといえるべきである。

Claims

支持部材と、
前記支持部材に固定されて、上下方向に弾性力を与えるための弾性部材と、
前記弾性部材の上に配置される第１の接続端子と、
前記第１の接続端子と電気的に接続される第２の接続端子と、
前記弾性部材の歪み範囲を制限するように、一方の側は前記弾性部材に固定され、他方の側は前記支持部材に固定される可撓性シートと、
を備え、
前記可撓性シートは、前記弾性部材及び支持部材にそれぞれ固定される領域を除く残りの領域において前記弾性部材及び支持部材と接触されないように配置される電力インタフェース。
前記第１の接続端子は、前記弾性部材の歪みにつれて移動自在となるように前記弾性部材の上に配置される請求項１に記載の電力インタフェース。
前記弾性部材は、前記支持部材上において直立するように長さ及び幅が決定される請求項１に記載の電力インタフェース。
前記可撓性シートは、前記第１の接続端子の移動につれて歪まされる請求項１に記載の電力インタフェース。
前記第１の接続端子及び第２の接続端子は、前記可撓性シートの上に所定の接触面積を有するパッド状に形成される請求項１に記載の電力インタフェース。
前記支持部材は、
前記可撓性シートの固定される位置が、前記弾性部材の固定される位置よりも上部となるように形成される段付き部を備える請求項１に記載の電力インタフェース。
前記可撓性シートは、
前記弾性部材の上端の外側において下向きに折り曲げられて形成される請求項１に記載の電力インタフェース。
前記弾性部材、第１の接続端子及び第２の接続端子はそれぞれ複数配備され、
前記複数の第１の接続端子は、前記複数の弾性部材の上にそれぞれ配置され、
前記複数の第２の接続端子は、前記複数の第１の接続端子とそれぞれ電気的に接続される請求項１に記載の電力インタフェース。
前記可撓性シートは、
前記複数の第１の接続端子の間においてそれぞれ少なくとも一部の領域が切り欠かれて形成される切欠部を備える請求項８に記載の電力インタフェース。
前記複数の第１の接続端子の移動範囲を制限するように前記複数の第１の接続端子同士をそれぞれ連結する可撓性連結シートをさらに備える請求項９に記載の電力インタフェース。
前記可撓性連結シートは、
前記複数の第１の接続端子同士間の長さよりも長く形成される請求項１０に記載の電力インタフェース。
前記支持部材に固定されて、前記複数の第２の接続端子にそれぞれ試験電流を印加するためのプリント回路基板をさらに備える請求項８に記載の電力インタフェース。