JP2021508593A - 装置の構成要素から汚染粒子を除去する装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図6a
Description
本出願は、2017年12月28日に出願された欧州出願17210857.3および2018年3月6日に出願された欧州出願18160148.5の優先権を主張し、それらの全体が参照により本書に組み込まれる。
本開示は、装置(選択的に計測装置)の構成要素から汚染粒子を除去する方法および装置に関する。
(項1)装置の構成要素から汚染粒子を除去するための装置であって、前記汚染粒子は、周囲電場を発生させるものであり、前記装置は、
粒子を引きつけるための収集領域であって、前記構成要素と前記収集領域の少なくとも間に前記周囲電場がある収集領域と、
前記収集領域と前記構成要素の間に印加電場を形成して前記構成要素から前記収集領域への前記粒子の輸送を生じさせるよう構成される電場発生器と、を備え、
前記電場発生器は、前記周囲電場に基づいて前記印加電場の極性を決定するよう構成される装置。
(項2)前記印加電場の極性は、前記周囲電場の極性と逆である、項1に記載の装置。
(項3)前記電場発生器は、前記周囲電場の大きさ、前記粒子を前記構成要素に保持する接着力の推定値、および、前記粒子を前記構成要素に保持するファンデルワールス力の推定値のうちの一以上に基づいて、前記印加電場の大きさを決定するよう構成される、項1または2に記載の装置。
(項4) 前記収集領域の少なくとも一部が導電性であり、前記電場発生器は、前記収集領域の前記少なくとも一部に電圧を印加することにより前記印加電場を形成するように構成される電圧源を備える、上記項のいずれかに記載の装置。
(項5)前記印加電場を形成する前に前記周囲電場の極性を検知するよう構成される電場センサをさらに備え、前記センサは、選択的に前記印加電場を形成する前に前記周囲電場の大きさを検知するよう構成される、上記項のいずれかに記載の装置。
(項6)前記電場センサは、導電性要素を備え、前記周囲電場を検知することは、前記周囲電場により前記導電性要素に誘起される電圧を監視することを備える、項5に記載の装置。
(項7)前記周囲電場を検知する際に前記導電性要素の電圧を浮遊可能にするよう構成される、項6に記載の装置。
(項8)前記印加電場の大きさは、前記検知される周囲電場の大きさ、および、前記構成要素と前記導電性要素および/または前記収集領域との間の距離の少なくとも一方に基づいて決定される、項5から7のいずれかに記載の装置。
(項9)前記収集領域は、前記導電性要素を備える、項5から8のいずれかに記載の装置。
(項10)前記印加電場を形成する前に、選択的に前記収集領域が前記汚染粒子と接触する間、前記収集領域と前記構成要素の間の領域に別の電場を誘起させるよう構成される電場誘起器をさらに備える、上記項のいずれかに記載の装置。
(項11)前記構成要素は、光学システムの対物レンズである、上記項のいずれかに記載の装置。
(項12)前記印加電圧の大きさは、0Vから10kVの範囲内である、項4を直接または間接的に引用する上記項のいずれかに記載の装置。
(項13)前記印加電圧の大きさは、前記構成要素と前記収集領域の間の電気的破壊を防ぐように決定される、項12に記載の装置。
(項14)前記構成要素は、グランド電位に保持される、上記項のいずれかに記載の装置。
(項15)前記構成要素の粒子を検査する初期ステップを実行するよう構成される検査ユニットをさらに備え、前記電場発生器は、前記構成要素上で検出される粒子の閾値の数に応じて印加電場を形成するよう構成される、上記項のいずれかに記載の装置。
(項16)前記電場発生器は、前記周囲電場の極性および/または大きさを入力として取得し、実験データによるライブラリの参照および/または装置の静電的有限要素モデルに基づいて、前記印加電場の極性および/または極性を決定するよう構成される、上記項のいずれかに記載の装置。
(項17)前記印加電場の形成前に、前記構成要素を前記収集領域の真上に位置するように移動させる、または、前記収集領域を前記構成要素の真下に位置するように移動させる、上記項のいずれかに記載の装置。
(項18)前記粒子を前記収集領域から除去するよう構成される粒子除去器をさらに備える、上記項のいずれかに記載の装置。
(項19)前記粒子除去器は、真空ポンプを備え、前記収集領域からの前記粒子の除去は、吸引による、項18に記載の装置。
(項20)前記収集領域の上方に配置されるキャップをさらに備え、前記キャップは、前記真空ポンプと流体的に連通する通気口を有し、前記真空ポンプの動作時に前記収集領域を横切って前記真空ポンプに向かうガスを前記通気口を通じて引き込むよう構成される、項19に記載の装置。
(項21)前記電場発生器は、前記真空ポンプの動作前または動作中に前記印加電場の大きさを低減するように構成される、項18から20のいずれかに記載の装置。
(項22)前記電場発生器は、前記真空ポンプの動作前または動作中に前記印加電場を解除するよう構成される、項21に記載の装置。
(項23)前記電場発生器は、前記真空ポンプの動作前または動作中に前記印加電場の極性を反転するよう構成される、項21に記載の装置。
(項24)前記収集領域の周縁にあるガードをさらに備え、前記ガードは、前記収集領域に隣接する領域内に前記印加電場を保持するよう構成される、上記項のいずれかに記載の装置。
(項25)前記ガードの少なくとも一部は導電性であり、グランド電位に保持される、項24に記載の装置。
(項26)前記構成要素は、計測装置のものである、項1から25のいずれかに記載の装置。
(項27)装置の構成要素から汚染粒子を除去する方法であって、前記汚染粒子は、周囲電場を発生させるものであり、前記装置は、前記粒子を引きつけるための収集領域を備え、前記周囲電場は、前記構成要素と前記収集領域の少なくとも間にあり、前記方法は、
前記周囲電場に基づいて印加電場の極性を決定することと、
電場発生器により前記収集領域と前記構成要素の間に前記印加電場を形成して前記構成要素から前記収集領域への前記粒子の輸送を生じさせることと、を備える方法。
(項28)前記印加電場の極性および/または大きさを決定することは、前記周囲電場の大きさ、前記粒子を前記構成要素に保持する接着力の推定値、および、粒前記子を前記構成要素に保持するファンデルワールス力の推定値の少なくとも一つに基づく、項27に記載の方法。
(項29)前記電場発生器は、電圧源を備え、前記印加電場を形成することは、導電性である前記収集領域の一部に前記電圧源が電圧を印加することを備える、項27または28に記載の方法。
(項30)前記印加電場を形成する前に前記周囲電場の極性を電場センサによって検知することをさらに備え、選択的に、前記印加電場を形成する前に前記周囲電場の大きさを電場センサによって検知することをさらに備える、項27から29のいずれかに記載の方法。
(項31)前記電場センサは、導電性要素を備え、前記周囲電場を検知することは、前記周囲電場によって前記導電性要素に誘起される電圧を監視することを備える、項30に記載の方法。
(項32)前記周囲電場を検知する際に前記導電性要素の電圧を浮遊可能にすることをさらに備える、項31に記載の方法。
(項33)前記検知される周囲電場の大きさ、および、前記構成要素と前記導電性要素および/または前記収集領域との間の距離のうちの少なくとも一方に基づいて、前記印加電場の大きさを決定することをさらに備える、項30から32のいずれかに記載の方法。
(項34)前記印加電場を形成する前に、選択的に前記収集領域が前記汚染粒子に接触可能となる間、前記収集領域と前記構成要素の間の領域に別の電場を電場誘起器によって誘起させることをさらに備える、項27から33のいずれかに記載の方法。
(項35)前記印加電場の大きさは、0Vから10kVの範囲内である、項27から34のいずれかに記載の方法。
(項36)前記構成要素と前記収集領域の間の電気的破壊を防ぐように前記印加電場の大きさを決定することをさらに備える、項35に記載の方法。
(項37)前記構成要素をグランド電位に保持することをさらに備える、項27から36のいずれかに記載の方法。
(項38)検査ユニットによって前記構成要素の粒子を検査する初期ステップをさらに備え、前記電場発生器は、前記構成要素上で検出される粒子の閾値の数に応じて前記印加電場を形成する、項27から37のいずれかに記載の方法。
(項39)前記周囲電場の極性および/または大きさを入力として取得し、実験データによるライブラリの参照および/または前記装置の静電的有限要素モデルに基づいて、前記印加電場の極性および/または大きさを前記電場発生器が決定することをさらに備える、項27から38のいずれかに記載の方法。
(項40)前記印加電場の形成前に、前記構成要素を前記収集領域の真上に位置するよう移動させること、または、代替的に前記収集領域を前記構成要素の真下に位置するよう移動せることをさらに備える、項27から39のいずれかに記載の方法。
(項41)粒子除去器が前記収集領域から前記粒子を除去することをさらに備える、項27から40のいずれかに記載の方法。
(項42)前記粒子除去器は、真空ポンプを備え、前記収集領域からの前記粒子の除去は、吸引による、項41に記載の方法。
(項43)前記収集領域の上方にキャップを配置することをさらに備え、前記キャップは、前記真空ポンプと流体的に連通する通気口を有し、前記収集領域を横切って前記真空ポンプに向かうガスを前記通気口を通じて引き込むように真空ポンプを動作させる、項42に記載の方法。
(項44)前記真空ポンプの動作前または動作中に前記電場発生器が前記印加電場の大きさを低減することをさらに備える、項41から43のいずれかに記載の方法。
(項45)前記真空ポンプの動作前または動作中に前記電場発生器が前記印加電場を解除することをさらに備える、項44に記載の方法。
(項46)前記真空ポンプの動作前または動作中に前記電場発生器が前記印加電場の極性を反転することをさらに備える、項44に記載の方法。
(項47)前記収集領域の周縁に配置されるガードをグランド電位に保持し、前記収集領域に隣接する領域内の前記印加電場を保持することをさらに備える、項27から46のいずれかに記載の方法。
(項48)前記構成要素は、計測装置のものである、項27から47のいずれかに記載の方法。
(項49)少なくとも一つのプロセッサ上で実行される際、前記少なくとも一つのプロセッサに装置を制御させて項27から48のいずれかに記載の方法を実行させる命令を備えるコンピュータプログラム。
(項50)項49に記載のコンピュータプログラムを含む担体であって、電気信号、光信号、無線信号または非一時的なコンピュータ可読記憶媒体のうちの一つである担体。
(項51)項1から26のいずれかに記載の装置を備える計測装置。
(項52)項1から26または項51のいずれかに記載の装置を備えるリソグラフィ装置。
(項53)項52に記載の装置を備えるリソグラフィセル。
(項54)装置の構成要素から汚染粒子を除去するための装置であって、前記汚染粒子は、周囲電場を発生させるものであり、前記装置は、
粒子を引きつけるための収集領域であって、前記構成要素と前記収集領域の少なくとも間に前記周囲電場がある収集領域と、
電場発生器と、
プロセッサと、を備え、
前記プロセッサは、
前記周囲電場に基づいて印加電場の極性を決定するステップと、
前記電場発生器により前記収集領域と前記構成要素の間に前記印加電場を形成して前記構成要素から前記収集領域への前記粒子の輸送を生じさせるステップと、を実行するよう構成される装置。
Claims (15)
- 装置の構成要素から汚染粒子を除去するための装置であって、前記汚染粒子は、周囲電場を発生させるものであり、前記装置は、
前記粒子を引きつけるための収集領域であって、前記構成要素と前記収集領域の少なくとも間に前記周囲電場がある収集領域と、
前記収集領域と前記構成要素の間に印加電場を形成して前記構成要素から前記収集領域への前記粒子の輸送を生じさせるよう構成される電場発生器と、を備え、
前記電場発生器は、前記周囲電場に基づいて前記印加電場の極性を決定するよう構成されることを特徴とする装置。 - 前記印加電場の極性は、前記周囲電場の極性と逆であることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記電場発生器は、前記周囲電場の大きさ、前記粒子を前記構成要素に保持する接着力の推定値、および、前記粒子を前記構成要素に保持するファンデルワールス力の推定値のうちの一以上に基づいて、前記印加電場の大きさを決定するよう構成されることを特徴とする請求項1または2に記載の装置。
- 前記収集領域の少なくとも一部が導電性であり、前記電場発生器は、前記収集領域の前記少なくとも一部に電圧を印加することにより前記印加電場を形成するように構成される電圧源を備えることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の装置。
- 前記印加電場を形成する前に前記周囲電場の極性を検知するよう構成される電場センサをさらに備えることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の装置。
- 前記電場センサは、導電性要素を備え、前記周囲電場を検知することは、前記周囲電場によって前記導電性要素に誘起される電圧を監視することを備え、選択的に、前記装置は、前記周囲電場を検知する際に前記導電性要素の電圧を浮遊可能にするよう構成されることを特徴とする請求項5に記載の装置。
- 前記印加電場の大きさは、前記検知される周囲電場の大きさ、および、前記構成要素と前記導電性要素および/または前記収集領域との間の距離の少なくとも一方に基づいて決定されることを特徴とする請求項5または6に記載の装置。
- 前記印加電場を形成する前に、選択的に前記収集領域が前記汚染粒子と接触する間、前記収集領域と前記構成要素の間の領域に別の電場を誘起させるよう構成される電場誘起器をさらに備えることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の装置。
- 前記粒子を前記収集領域から除去するよう構成される粒子除去器をさらに備えることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の装置。
- 前記粒子除去器は、真空ポンプを備え、前記収集領域からの前記粒子の除去は、吸引によることを特徴とする請求項9に記載の装置。
- 前記収集領域の上方に配置されるキャップをさらに備え、前記キャップは、前記真空ポンプと流体的に連通する通気口を有し、前記真空ポンプの動作時に前記収集領域を横切って前記真空ポンプに向かうガスを前記通気口を通じて引き込むよう構成されることを特徴とする請求項10に記載の装置。
- 前記電場発生器は、前記真空ポンプの動作前または動作中に前記印加電場の大きさを低減するよう構成され、選択的に、
前記電場発生器は、前記真空ポンプの動作前または動作中に前記印加電場を解除するよう構成され、または、
前記電場発生器は、前記真空ポンプの動作前または動作中に前記印加電場の極性を反転するよう構成されることを特徴とする請求項9から11のいずれか一項に記載の装置。 - 前記収集領域の周縁にあるガードをさらに備え、前記ガードは、前記収集領域に隣接する領域内に前記印加電場を保持するよう構成され、選択的に前記ガードの少なくとも一部は、導電性であり、グランド電位に保持されることを特徴とする請求項1から12のいずれか一項に記載の装置。
- 装置の構成要素から汚染粒子を除去する方法であって、前記汚染粒子は、周囲電場を発生させるものであり、前記装置は、前記粒子を引きつけるための収集領域を備え、前記周囲電場は、前記構成要素と前記収集領域の少なくとも間にあり、前記方法は、
前記周囲電場に基づいて印加電場の極性を決定することと、
電場発生器により前記収集領域と前記構成要素の間に前記印加電場を形成して前記構成要素から前記収集領域への前記粒子の輸送を生じさせることと、を備えることを特徴とする方法。 - 請求項1から13のいずれか一項に記載の装置を備えることを特徴とする計測装置。
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