JP2011040464A - 異物除去装置、露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】マスクに付着した異物の除去に有利な異物除去装置を提供する。
【解決手段】本発明の異物除去装置8aは、マスク1のパターン面に付着した異物2a、2bを除去する異物除去装置であって、マスク1のパターン面に対向配置される電極5、6と、マスク1のパターン面と電極5、6との間に正及び負の電圧を交互に印加する電源3を有する。
【選択図】図1
【解決手段】本発明の異物除去装置8aは、マスク1のパターン面に付着した異物2a、2bを除去する異物除去装置であって、マスク1のパターン面に対向配置される電極5、6と、マスク1のパターン面と電極5、6との間に正及び負の電圧を交互に印加する電源3を有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、マスク上の異物を除去する異物除去装置に関する。
例えば特許文献1には、露光装置におけるマスク上の異物を帯電又は誘電分極させて除去する方法が開示されている。この方法は、正又は負の電圧を印加した電極をマスクの近傍で走査し、マスク表面に不均一電界を発生させる。そして、異物を誘電分極させることにより異物を電極に付着させて除去するものである。不均一電界を発生させて異物を除去する場合には、帯電していない異物を除去することもできるため、異物を帯電させる必要はない。
また、特許文献2には、光学素子の表面近傍の電極と光学素子の表面との間に電界を発生させ、レーザーを対象物に照射することにより、光学素子の表面をクリーニングする方法が開示されている。特許文献3には、電界近傍に洗浄粒子を供給する手段を設け、電界を発生させることにより光学素子の表面をクリーニングする方法が開示されている。
しかしながら、マスクに付着する異物が小さくなるにつれて、マスクの表面に対する異物の付着力は増大する。これは、異物は体積の三乗に比例して小さくなるのに対し、異物の表面積は二乗で小さくなるため、ファンデルワールス力や静電気力が、異物の体積に対して増大するからである。
不均一電界で非帯電の異物を除去する方法によれば、マスク表面と電極との間の距離を小さくすることにより、マスクから異物を除去する吸引力が増大する。そのため、小さい異物を除去しようとすると、電極をマスク表面に近づければよい。しかしながら、電極をマスク表面から数10μm程度に近づけて電極を走査させようとすると、異物除去装置には精密な制御が必要になる。ところが、露光装置内の特にマスク近傍には光学系等が設けられており、スペース的にも余裕がない。
また、不均一電界で非帯電の異物を除去する方法によれば、マスク表面は導電体であり、マスク表面は同電位であるため、表面の極近傍では、平行電界になる。このため、マスク表面では、異物を離脱させる力が生じることはなく、異物が小さくなると、原理的に異物を離脱させる力が急激に弱まる。さらに、電極と異物との間の距離を小さくする場合、電極に印加する電圧も小さくする必要がある。このため、電極と異物との間の距離を小さくしても、大きな離脱力を得ることは困難である。さらに、帯電した異物は、マスクに対する静電気力が働いて付着力が増加するため、異物を除去することは困難である。
そこで本発明は、マスクに付着した異物の除去に有利な異物除去装置を提供することを例示的目的とする。
本発明の一側面としての異物除去装置は、原版のパターン面に付着した異物を除去する異物除去装置であって、前記パターン面に対向配置される電極と、前記パターン面と前記電極との間に正及び負の電圧を交互に印加する第1電源とを有する。
本発明の他の側面としての露光装置は、前記異物除去装置を備えている。また、本発明の他の側面としてのデバイス製造方法は、前記露光装置を用いて基板を露光する工程と、前記工程で露光された基板を現像する工程とを有する。
本発明の他の目的及び特徴は、以下の発明を実施するための形態において説明される。
本発明によれば、例えば、マスクに付着した異物の除去に有利な異物除去装置を提供することができる。
以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら詳細に説明する。各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
まず、本実施例における露光装置の概略について説明する。図10は、本実施例における露光装置のブロック図である。図10において、41はマスク用ロードロック室、42は搬送室、43は露光室、44はマスク保管室である。45はウエハロード室、46はウエハアンロード室で、ウエハロード室45から露光装置内にウエハが取り込まれ、露光されたウエハがウエハアンロード室46から露光装置外に取り出される。47は露光室43に隣接した専用チャンバーである。マスク用ロードロック室41は、露光装置内の真空雰囲気を維持しながら露光装置内部と露光装置外部との間でマスク1の受け渡しを行うために設けられている。搬送室42にはマスクハンドリング装置29(搬送手段)が配置されている。
次に、本実施例における異物除去装置の原理について説明する。本実施例における異物除去装置は、マスク(原版)に付着した異物を除去するように構成される。マスクに付着した塵や粒子等の異物は、正又は負に帯電しているか又は電気的に中性のいずれかの状態にある。マスクには、これら三状態の異物が混在して付着している。しかしながら、マスク上に付着したある異物が三状態のいずれの状態にあるかを知ることはできない。このため、その異物が三状態のいずれの状態にある場合でも、一つの方法でこれを除去する必要がある。以下、まず帯電した異物を除去する原理について説明し、次に電気的に中性の異物を除去する原理について説明する。
本実施例の異物除去装置は、好ましくは、極紫外光(EUV光)を用いてマスク(原版)のパターンを基板上に転写するEUV露光装置に備えられる。ただし、本実施例の異物除去装置はこれに限定されるものではなく、他の露光光を用いる露光装置に適用することもできる。EUV露光装置ではEUV光のエネルギーは高いため、EUV光が塵等の異物に照射され吸収されると、その異物から二次電子が放出される。このため、EUV光の照射経路に存在する異物は、帯電している場合が多い。
図5は、本実施例において、正に帯電した異物を除去する場合の説明図である。図5(a)〜図5(d)は、異物の状態を時系列に並べて描かれたものである。図5(a)は、正に帯電した異物2aがマスク1に近づいた状態を示している。マスク1の表面には、例えばSi/Moのような多層膜(導体)が形成されているため、マスクの近傍に異物2aが存在することにより、静電誘導によって導体の表面に負電荷が集まる。このため、図5(b)に示されるように、正に帯電した異物2aは、マスク1に引き付けられ、マスク1の表面に付着する。なお、異物2aがより小さい場合、異物2aの体積に対する表面積の割合が大きくなる。このため、マスク1に付着した異物2aが重力によって落下する力に比べて、マスク1に対する付着力は増大する。
ここで、図5(c)に示されるように、マスク1の近傍においてマスク1の表面(導体面)と対向するように基板18を配置し、マスク1に正電圧を印加する。このとき、マスク1の表面には正電荷が集まる。異物2aは正に帯電しているため、異物2aとマスク1との間には斥力Fが発生する。また、対向配置した基板18には静電誘導により負電荷が集まり、マスク1と基板18との間には電界Eが生じる。このため、図5(d)に示されるように、異物2aは基板18に引き付けられ、基板18に付着する。基板18に一旦付着した異物2aは、基板18と異物2aとの間に生じる引力により、基板18から容易に離れることはない。基板18をクリーニングする場合には、例えば基板18に正電圧を印加すればよい。
次に、上述とは逆に、負に帯電した異物2bがマスク1の表面に付着している場合に、この異物2bをマスク1から除去する方法について説明する。図6は、本実施例において、負に帯電した異物2bを除去する場合の説明図である。図6に示されるように、負に帯電した異物2bがマスク1に付着している場合、マスク1に負電圧を印加すると、異物2bはマスク1から離脱して基板18に付着する。例えば、二枚の基板18を設け、一方に正電圧を印加し、他方に負電圧を印加すれば、正又は負に帯電した異物2a、2bの両方を除去することができる。
また、基板18をマスク1の近傍においてマスク1に対向するように配置し、マスク1に正及び負の電圧を交互に印加することにより、マスク1の表面に付着した正又は負に帯電した異物2a、2bを除去することができる。ここで、正に帯電した異物2aが基板18に付着した状態で、マスク1に所定値以下の大きさの負の電圧を印加した場合でも、正に帯電した異物2aと基板18との間に働く引力が大きいため、異物2aが基板18から離脱することはない。
また、基板18は、マスクハンドリング装置で移動させるため、基板18はマスク1の表面から10μm以下の距離まで近接させることが可能である。従って、マスク1に印加する電圧が数ボルトの場合でも、マスク1と基板18との間に生じる電界Eは数105(V/m)となり、帯電した異物2a、2bと基板18との間には大きな斥力が発生する。
次に、電気的に中性である異物2cがマスク1の表面に付着した場合に、この異物2cをマスク1から除去する方法について説明する。図7は、本実施例において、電気的に中性である異物2cを除去する場合の説明図である。図7(a)に示されるように、マスク1に負の電圧を印加すると、誘電分極により異物2cに表面電荷が生じる。このとき、マスク1の表面に生じる負電荷と異物2cの表面電荷(正電荷)との間のクーロン力Fにより、強い吸着力が発生する。
次に、図7(b)に示されるように、マスク1に印加する電圧を負電圧から正電圧に切り替える。このとき、マスク1の表面に形成された多層膜は導体であるため、マスク1の表面における極性は、実質的に時間的な遅れが無く変化する。一方、誘電分極により生じた異物2cの電荷の時間応答性は、マスク1の表面に生じる電荷よりも劣っている。このため、マスク1の電圧を切り替えた場合でも、誘電体である異物2c内での電荷の移動は直ちには行われない。従って、図7(b)に示されるように、異物2cがマスク1の表面に接する位置において、異物2cの正の表面電荷とマスク1の正の電荷との間で斥力Fが発生する。このため、マスク1と異物2cとの間の付着力は弱められ、異物2cがマスク1の表面から離脱することになる。
このように、マスク1に付着した異物が正又は負に帯電した異物又は電気的に中性の異物のいずれの場合でも、マスク1に交流電圧を印加することにより、これら全ての異物をマスク1から離脱させることができる。なお、本実施例において、「交流電圧」とは、正弦波状に電圧が変化する電圧やステップ状に正及び負を繰り返す所謂矩形波を含み、また、正、負、及び、接地の三状態の間で経時的に変化する電圧も含む。
さらに、マスク1の表面から除去した異物が再びマスク1に戻らないように、異物を移動させることが好ましい。正又は負に帯電した異物2a、2bの場合、マスク1に印加する交流電圧の周波数を適切に選択することにより、マスク1に対向して配置された基板18に各異物を移動させることができる。しかしながら、電気的に中性の異物2cの場合、図6に示される平行電界により形成される均一電界(電界E)の中では、力が働かないため移動できない。
電気的に中性の異物2cは、空間に対して均一電界の中では力が働かないが、不均一な電界の中では力が働く。これは、以下の理由による。帯電していない異物が電界の発生領域に置かれると、誘電分極が生じるが、正及び負の電荷量が同じであるため、空間的に均一な電界では異物に力が発生しない。しかし空間的に不均一な電界では、電界の小さい位置の力が小さいため、電界が強い方向に力が発生して移動する。
図8は、本実施例において、電気的に中性の異物がマスクに付着した状態で不均一電界が生じている場合の図である。図8に示されるように、異物2cが付着したマスク1の表面近傍に針状の電極25が配置されており、この電極25には正の電圧が印加されている。このとき、マスク1と電極25との間の電気力線は、図8中の破線のように描かれる。そして異物2c働く力Fは、次の式(1)で表される。
F=QnEn−QpEp=Q(En−Ep) … (1)
ここで、Qpは正の電荷量、Qnは負の電荷量、Epは正の電荷量Qpが受ける電界、Enは負の電荷量Qnが受ける電界である。正負の電荷量Qp、Qnはそれぞれ、誘電分極によって誘起された正負の電荷量であり、異物2cは電気的に中性であるためQn=Qp=Qとなる。また、針状の電極25から遠い場所における電界よりも電極25に近い場所における電界のほうが大きいから、En>Epとなる。このため、F>0となり、異物2cはマスク1から離脱して電極25の方向に引き付けられる。
ここで、Qpは正の電荷量、Qnは負の電荷量、Epは正の電荷量Qpが受ける電界、Enは負の電荷量Qnが受ける電界である。正負の電荷量Qp、Qnはそれぞれ、誘電分極によって誘起された正負の電荷量であり、異物2cは電気的に中性であるためQn=Qp=Qとなる。また、針状の電極25から遠い場所における電界よりも電極25に近い場所における電界のほうが大きいから、En>Epとなる。このため、F>0となり、異物2cはマスク1から離脱して電極25の方向に引き付けられる。
ところが、異物2cが小さくなると、異物2cの体積に対する表面積の割合が大きくなるため、マスク1と異物2cとの間に引力Fsが発生する。この引力Fsは、力Fを打ち消す方向に働くため、異物2cの付着力が増大し、異物2cがマスク1から離脱しにくくなる。このため、電極25の先端をさらに尖らせるとともに、電極25をマスク1により近づけることが好ましい。すなわち、マスク1の表面の法線方向に対する電界Eの微分値が大きくなるようにすることで、異物2cの電極25に対する吸引力を増大させることができる。
次に、本発明の実施例1における異物除去装置について説明する。図1は、本実施例における異物除去装置8aの概略構成図である。
図1において、1は一方の面に所定のパターン面が形成されたマスク(原版)である。2a、2bはマスク1の表面に付着した塵や粒子等の異物である。ここで、2aは正に帯電した異物であり、2bは負に帯電した異物である。3はマスク1のパターン面に正及び負の電圧を交互に印加するように構成された電源(第1電源)である。電源3は、交流電圧すなわち正弦波状に電圧が変化する電圧やステップ状に正及び負を繰り返す矩形電圧等をマスク1のパターン面に印加する。このように、マスク1のパターン面には、露光装置の筐体等の所定の部材を基準とした交流電圧が電源3により印加される。
4はグリッド電極、5は正の電圧が印加された電極、6は負の電圧が印加された電極である。グリッド電極4は、マスク1と電極5、6との間に配置されており、接地されている。電極5、6は、マスク1の近傍に配置されている。より具体的には、電極5、6は、マスク1のパターン面に対向配置されている。また、7は基板、8aは異物除去装置、9は位置制御装置である。位置制御装置9は、例えばマスク1を搬送するマスクハンドリング装置(搬送部)である。位置制御装置9(制御部)は、電極5、6等、異物除去装置8bの少なくとも一部を搬送可能に構成されている。このように位置制御装置9は、マスク1と電極5、6との間の相対位置を制御する。上述のように、本実施例の異物除去装置8aは、電源3、グリッド電極4、電極5、6、基板7、及び、位置制御装置9を備えて構成されている。
図1に示されるように、マスク1(多層膜)の表面には正に帯電した異物2a及び負に帯電した異物2bが付着している。異物除去装置8aは、位置制御装置9によって、マスク1の近傍に搬送される。異物除去装置8がマスク1の近傍に搬送されると、マスク1とグリッド電極4との間の距離Lが0.05〜1000μm程度まで近づけられることになる。この状態で、電源3によりマスク1に正の電圧(例えば1〜5KV程度)が印加される。
電源3によりマスク1に正の電圧が印加されると、正に帯電した異物2aがマスク1から離脱し、接地されたグリッド電極4に向かって移動する。しかしながら、異物2aがグリッド電極4の近傍まで移動するか又はグリッド電極4を通過すると、異物2aはグリッド電極4の下方にある電極6に引き付けられ、電極6上に付着する。同様に、電源3によりマスク1に負の電圧が印加されると、負に帯電した異物2bは電極5に付着する。このようにして、正又は負に帯電した異物がマスクから除去される。
また、位置制御装置9によって、異物除去装置8aをマスク1の表面と平行に移動させることで、異物除去装置8aをより小さく構成することができ、また、電極5、6の間隔を大きくすることが可能となる。
本実施例において、電極6を冷却する冷却装置(不図示)を更に設けてもよい。冷却された電極6に異物2aが付着すると、異物2aは電極6から容易に離脱することができない。このため、その後に異物2aが除電された場合でも、異物2aは電極6に保持される。また、図1では、グリッド電極4は電極5、6から離れて配置されているが、リソグラフィー技術等を用いてグリッド電極4及び電極5、6を基板7の上に製作してもよい。
また本実施例において、異物除去装置8aはマスク1を搬送するマスクハンドリング装置によって搬送される。すなわち、マスクハンドリング装置が位置制御装置9を兼ねる構成を有する。マスクハンドリング装置(位置制御装置9)は、異物を除去する際に、露光装置中のマスクケースから異物除去装置8aを取り出してマスク1の近傍に搬送する。また、異物除去装置8aによりマスク1に付着していた異物が除去された後、マスクハンドリング装置は、異物除去装置8aをマスクケースに搬送して収納する。
このように異物除去装置8aは、マスクハンドリング装置等の位置制御装置9を用いて搬送可能に構成されている。このため、露光装置内に異物除去装置を設置するためのスペースを設ける必要はなく、異物2a、2bを除去する場合にマスクケースから異物除去装置8aを搬送すればよい。さらに、異物2a、2bを回収した異物除去装置8aをマスク1と同様に露光装置の外へ搬送できるため、異物除去装置8aのクリーニングも可能となる。
マスクハンドリング装置(位置制御装置9)によって、マスク1の表面の近傍にグリッド電極4を配置することができるため、小さい電圧で異物2a、2bの離脱力を増加させることが可能となる。特に、マスクハンドリング装置は、衝撃を与えることなくマスク1を高精度にマスクチャックに取り付けるために用いられる。このように、マスクハンドリング装置は、異物除去装置8aをマスク1の近傍に搬送してマスク1の表面に近接させる機能を予め備えている。このため、精密な駆動機構を別途設ける必要はない。また本実施例によれば、マスク1に形成されているパターンの静電破壊を防ぐために、マスク1と電極5、6との間に印加される電圧を例えば10V以下にすることも可能である。マスク1に形成されているパターンが堅牢である場合には、電圧を1kV以上にしてもよい。
なお、本実施例のグリッド電極4は、線状電極、格子状電極(メッシュ状電極)、又は、薄膜の基板に開口を設けた形状の電極でもよい。また、本実施例において、グリッド電極4の代わりに、図5(c)、(d)に示されるような基板18を用いてもよい。このとき、基板18が不図示の冷却手段により冷却されてもよい。
本実施例によれば、マスクのパターン面に正及び負の電圧を交互に印加して異物とマスクとの間の付着力を小さくすることにより、マスクに付着している異物を効果的に除去することが可能となる。
次に、本発明の実施例2における異物除去装置について説明する。図2は、本実施例における異物除去装置8bの概略構成図である。本実施例の異物除去装置8bは、帯電していない誘電物である異物2cをマスク1から除去するものである。
図2に示されるように、本実施例の異物除去装置8bは、異物除去装置8aの電極5、6の代わりにグリッド電極11、12が設けられている点で、実施例1とは異なる。また、異物除去装置8bを搬送するマスクハンドリング装置(位置制御装置19)には大きな開口19aが形成されており、露光装置中の不図示の光源からのEUV光(極紫外光)はマスクハンドリング装置を透過する。光源(照射手段)は、電源3がマスク1のパターン面に正及び負の電圧を交互に印加するのと並行して、EUV光をマスク1のパターン面に照射する。このように、本実施例では、このような光源は異物除去装置8bの一部を構成する。グリッド電極4、11、12は細い線状の電極で構成されているため、通常の露光光と同様に、EUV光をマスク1上に照射することができる。そのため、本来、帯電していない誘電物の異物2cを正又は負に帯電させてマスク1の表面から除去することが可能となる。
なお、本実施例のグリッド電極4、11、12は、線状、格子状、又は、薄膜の基板に開口を設けた形状でもよい。また、本実施例においては、グリッド電極11、12を設けなくてもよい。この場合、マスク1の表面から離脱した異物は、グリッド電極4に付着するか、又は、グリッド電極4を通過して露光装置のチャンバー壁に付着する。また、本実施例では、EUV光がマスク1以外の位置に照射されないように投影光学系の入射側又は光路の途中を遮蔽して、基板(ウエハ)等の被露光体にEUV光が照射されないように構成してもよい。
本実施例の異物除去装置によれば、帯電していない異物を効果的に除去することができる。
次に、本発明の実施例3における異物除去装置について説明する。図3は、本実施例における異物除去装置8cの概略構成図である。本実施例の異物除去装置8cは、帯電していない誘電物である異物2cをマスク1から除去するものである。
図3に示されるように、異物除去装置8cは、基板7の上に先鋭化した針状の電極15を複数有する。また、マスク1には、正及び負の電圧を交互に印加する電源3(交流電源)が接続されている。実施例1と同様に、異物除去装置8cは、搬送手段としてのマスクハンドリング装置(位置制御装置9)によってマスク1の近傍に搬送され、マスク1のパターン面に対向配置される。このとき、電極15は、マスクハンドリング装置によりマスク1に対して位置決めされる。異物除去装置8cがマスク1の近傍に搬送されると、電極15に例えば数V〜数10kVの電圧が第2電源により印加される。この電圧は、マスク1と電極15との間の距離Lによって決定される。しかし、異物2cと電極15との間の位置関係に応じて異物2c働く力は異なる。このため、異物2cがマスク1の表面のいずれの場所に付着している場合でも異物2cを電極15に引き付けることができるように、マスクハンドリング装置(位置制御装置9)をマスク1に平行に移動させる。
さらに、電源3からマスク1に数V〜1kV程度の交流電圧を印加することで、通常除去することが困難な小さな異物をも除去することができる。異物2cの誘電分極による電荷の移動時間は、異物2cの種類によって異なる。このため、電源3により印加される交流電圧の周波数は、例えば数100Hzから100KHzの範囲で可変に設定されることが望ましい。このように、電源3は、マスク1のパターン面に周波数可変の交流電流を印加することができる。なお、本実施例における電極15の先端部の形状は、針状に限定されるものではない。電極15は、不均一電界を発生させることが可能な構造であれば、例えば線状電極等、いかなる形状でもよい。
本実施例の異物除去装置によれば、異物除去装置の電極をマスクに近づけることができるため、比較的小さな電圧を電極に印加するだけで、電気的に中性の異物をマスクから除去することができる。また、交流電圧をマスクに印加することで、より付着力の大きい異物をマスクから除去することが可能である。
次に、本発明の実施例4における異物除去装置について説明する。図4は、本実施例における異物除去装置8dの概略構成図である。異物除去装置8dは、実施例2及び3と同様に、帯電していない誘電物の異物2cを除去するものである。
図4に示されるように、異物除去装置8dは、先端部が針状の電極15、16(第2電極)をそれぞれ複数有する。電極15、16は、マスクハンドリング装置によりマスク1に対して位置決めされる。電極15、16は、マスク1のパターン面に対向配置され、マスク1に対して空間的に不均一な電界を発生させる。電極15には正の電圧が第3電源により印加され、電極16には負の電圧が第3電源により印加されている。異物除去装置8dは、さらに、グリッド電極17を有する。グリッド電極17は、交番電界を発生できるように、正及び負の電圧を交互に印加するための電源3(交流電源)が接続されている。このように、グリッド電極17は、マスク1のパターン面に対向配置され、交流電圧が印加される。グリッド電極17は、電極15、16のように局所的に強い不均一電界を発生させるのではなく、電極15、16よりも空間的に均一な電界を発生させる。また、電源3によりグリッド電極17に印加される交流電圧の周波数は、例えば100Hz〜100kHzの間で可変である。
グリッド電極17によって生じる交番電界によって、マスク1のパターン面には表面電荷が発生する。また、マスク1に生じる表面電荷は、所定の周波数に応じて変化するため、異物2cとマスク1との間に働く反発力を生じさせ、又は、静電気力による付着力を弱めることができる。このため、複数の電極15、16によって生じる不均一電界によって、マスク1の表面に付着した異物2cを効果的に除去することができる。
なお、本実施例において、グリッド電極17を電極15、16よりも下側(マスク1から遠ざかる側)に設け、そのグリッド電極17の表面から電極15、16の先端部が突出するように構成してもよい。
本実施例の異物除去装置によれば、グリッド状の電極は高い周波数で電圧を変化させることができるため、誘電分極の時間応答性が比較的速い誘電物(異物)に対しても有効である。
次に、本発明の実施例5における異物除去装置について説明する。図9は、本実施例における異物除去装置8eの概略構成図である。異物除去装置8eは、帯電していない誘電物である異物2cをマスク1から除去するものである。異物除去装置8eにおいては、上述のような正及び負の電圧を交互に印加する工程に加えて、マスク1を接地する工程が更に含まれる。また、マスク1に対向配置された針状の電極15を接地する工程が含まれる。
まず、図9(a)に示されるように、電源3aを用いて、マスク1に負の電圧を印加する。また、電極15に正の電圧を印加する。このとき、マスク1の表面には負の電荷が現れ、異物2cを誘電分極させる。次に、図9(b)に示されるように、電源3aを用いて、マスク1に正の電圧が印加されるように切り替える。これと同時に、正の電圧が印加されていた電極15を接地する。このとき、マスク1の表面には正の電荷が現れるが、異物2cの誘電分極により現れた電荷は、しばらく図9(a)の状態を維持する。このため、マスク1と異物2cとの間には斥力が発生し、異物2cはマスク1から離脱する。
次に、図9(c)に示されるように、再度、電極15に正の電圧を印加すると同時にマスク1を接地する。このとき、電極15とマスク1との間に不平等電界が発生し、異物2cは電極15の方向に強く引き寄せられる。
本実施例の異物除去装置によれば、マスクを正の電圧に切り替えるとともに対向電極を接地することにより、マスクと異物との間の斥力が増大する。さらに、マスクから異物が離れた直後にマスクを接地するとともに対向電極に正の電圧を印加することにより、対向電極が異物を強く引き寄せる。従って、本実施例によれば、マスクに付着した電気的に中性の異物を効果的に除去することが可能である。
上記各実施例における異物除去装置は、マスク表面の異物を除去するものであるが、これに限定されるものではなく、例えばマスクチャック表面の異物を除去するために用いることもできる。また、上記各実施例における異物除去装置は、マスク全面を覆う程度の大きさを備える必要はなく、小型の異物除去装置を走査してマスク全面のクリーニングをするように構成してもよい。例えば、マスクハンドリング装置を用いて異物除去装置を走査するように構成すれば、走査のための特別な装置は不要である。また、異物と電極との間の相対位置によって、異物の離脱力が異なるため、マスク平面内で異物除去装置を走査することは有効である。また、マスクの近傍位置での電界が不均一電界、すなわちマスクの垂直方向に対して電界勾配があり、その電界勾配の大きさを制御でき、マスクに交流電圧を印加することによりマスクに付着した異物の除去に有利な異物除去方法も本発明の一部を構成する。
[デバイス製造方法の実施形態]
次に、本発明の一実施形態のデバイス(半導体デバイス、液晶表示デバイス等)の製造方法について説明する。当該方法において、本発明を適用した露光装置を使用し得る。
[デバイス製造方法の実施形態]
次に、本発明の一実施形態のデバイス(半導体デバイス、液晶表示デバイス等)の製造方法について説明する。当該方法において、本発明を適用した露光装置を使用し得る。
半導体デバイスは、ウエハ(半導体基板)に集積回路を作る前工程と、前工程で作られたウエハ上の集積回路チップを製品として完成させる後工程とを経ることにより製造される。前工程は、前述の露光装置を用いて、感光剤が塗布されたウエハを露光する工程と、その工程で露光されたウエハを現像する工程とを含みうる。後工程は、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)と、パッケージング工程(封入)とを含みうる。また、液晶表示デバイスは、透明電極を形成する工程を経ることにより製造される。透明電極を形成する工程は、透明導電膜が蒸着されたガラス基板に感光剤を塗布する工程と、前述の露光装置を用いて、感光剤が塗布されたガラス基板を露光する工程と、その工程で露光されたガラス基板を現像する工程とを含みうる。
本実施形態のデバイス製造方法は、デバイスの生産性、品質および生産コストの少なくとも一つにおいて従来よりも有利である。
以上、本発明の実施例について具体的に説明した。ただし、本発明は上記実施例として記載された事項に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱しない範囲内で適宜変更が可能である。
1:マスク
2a、2b、2c:異物
3:電源
5、6、15、16:電極
8a〜8e:異物除去装置
2a、2b、2c:異物
3:電源
5、6、15、16:電極
8a〜8e:異物除去装置
Claims (11)
- 原版のパターン面に付着した異物を除去する異物除去装置であって、
前記パターン面に対向配置される電極と、
前記パターン面と前記電極との間に正及び負の電圧を交互に印加する第1電源と、
を有することを特徴とする異物除去装置。 - 前記電極は、グリッド電極であり、
前記グリッド電極は、接地され、
前記第1電源は、前記パターン面に接続される、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の異物除去装置。 - 前記電極は、グリッド電極であり、
前記パターン面は接地され、
前記第1電源は、前記グリッド電極に接続される、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の異物除去装置。 - 前記電極は、針状又は線状電極であり、
前記針状又は線状電極に正又は負の電圧を印加する第2電源を有する、
ことを特徴とする請求項1に記載の異物除去装置。 - 前記パターン面との間に前記グリッド電極を挟んで配置された第2電極と、
前記第2電極に正又は負の電圧を印加する第3電源と、
を有することを特徴とする請求項2又は3に記載の異物除去装置。 - 前記第1電源は、交流電圧を印加する、ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の異物除去装置。
- 前記原版を搬送する搬送手段を有し、
前記針状又は線状電極は、前記搬送手段により前記原版に対して位置決めされる、
ことを特徴とする請求項4に記載の異物除去装置。 - 前記原版を搬送する搬送手段を有し、
前記第2電極は、前記搬送手段により前記原版に対して位置決めされる、
ことを特徴とする請求項5に記載の異物除去装置。 - 前記第1電源による前記電圧の印加と並行して前記パターン面に極紫外光を照射する照射手段、を有することを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の異物除去装置。
- 原版を介して基板を露光する露光装置であって、
前記原版のパターン面に付着した異物を除去する請求項1乃至9のいずれか1項に記載の異物除去装置、
を有することを特徴とする露光装置。 - 請求項10記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された基板を現像する工程と、
を有することを特徴とするデバイス製造方法。
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