JP2021505419A - 平面多関節ロボットアームシステム - Google Patents
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Abstract
Description
長手方向軸を有するベースプラットフォームと、
ベースプラットフォームの長手方向軸に垂直な長手方向軸を有する製品マニピュレータと、
第1クランクコンロッドリンクおよび第2クランクコンロッドリンクからなるダブルクランクコンロッド機構であって、第1クランクコンロッドリンクおよび第2クランクコンロッドリンクの両方がベースプラットフォームに接続されるクランク端部と製品マニピュレータに接続されるコンロッド端部とを有するとともに、第1クランクコンロッドリンクおよび第2クランクコンロッドリンクの両方のクランクコンロッド関節を連結するリンク要素を有するダブルクランクコンロッド機構と、
ダブルクランクコンロッド機構の第1クランクコンロッドリンクのクランク端部を回転させるために配置される第1駆動ユニットと、
ベースプラットフォームに接続される第1アーム端部と製品マニピュレータに接続される第2アーム端部とを有する多関節アームと、
多関節アームの第1アーム端部を回転させるために配置される第2駆動ユニットと、
を含む。
110 ベースプラットフォーム
110x ベースプラットフォームの第1中心線
110y ベースプラットフォームの第2中心線
110z ベースプラットフォームの長手方向軸
111 プラットフォーム台座
120 製品マニピュレータ
120z 製品マニピュレータの長手方向軸
121 製品マニピュレータマウント
130 ダブルクランクコンロッド機構
140 第1クランクコンロッドリンク
141 第1クランクコンロッドリンクのクランク
142 第1クランクコンロッドリンクのコンロッド
143 第1クランクコンロッドリンクのクランク端部
144 第1クランクコンロッドリンクのコンロッド端部
145 第1クランクコンロッドリンクの関節
150 第2クランクコンロッドリンク
151 第2クランクコンロッドリンクのクランク
152 第2クランクコンロッドリンクのコンロッド
153 第2クランクコンロッドリンクのクランク端部
154 第2クランクコンロッドリンクのコンロッド端部
155 第2クランクコンロッドリンクの関節
160 ダブルクランクコンロッドメカニズムの160リンクエレメント
170 多関節アーム
171 第1アームリンク
172 第2アームリンク
173 多関節アームの第1アーム端部
174 多関節アームの第2アーム端部
175 多関節アームの第1アームリンクと第2アームリンクとの間の中間関節
181 第1駆動ユニット
182 第2駆動ユニット
183 第3駆動ユニット
190 製品(ウエハ)
Claims (6)
- 長手方向軸を有するベースプラットフォームと、
前記ベースプラットフォームの前記長手方向軸に垂直な長手方向軸を有する製品マニピュレータと、
第1クランクコンロッドリンクおよび第2クランクコンロッドリンクからなるダブルクランクコンロッド機構であって、前記第1クランクコンロッドリンクおよび前記第2クランクコンロッドリンクの両方が前記ベースプラットフォームに接続されるクランク端部と前記製品マニピュレータに接続されるコンロッド端部とを有するとともに、前記第1クランクコンロッドリンクおよび前記第2クランクコンロッドリンクの両方のクランクコンロッド関節を連結するリンク要素を有するダブルクランクコンロッド機構と、
前記ダブルクランクコンロッド機構の前記第1クランクコンロッドリンクの前記クランク端部を回転させるために配置される第1駆動ユニットと、
前記ベースプラットフォームに接続される第1アーム端部と前記製品マニピュレータに接続される第2アーム端部とを有する多関節アームと、
前記多関節アームの前記第1アーム端部を回転させるために配置される第2駆動ユニットと、
を備える平面多関節ロボットアームシステム。 - 前記ベースプラットフォームをその長手方向軸を中心に回転させるために配置される第3駆動ユニットをさらに備える請求項1に記載の平面多関節ロボットアームシステム。
- 前記ダブルクランクコンロッド機構の両方のクランク端部は、いずれも前記製品マニピュレータの長手方向軸の一方側に配置される請求項1または2に記載の平面多関節ロボットアームシステム。
- 前記ダブルクランクコンロッド機構の両方のクランク端部は前記ベースプラットフォームの第1中心線の反対側に配置され、第1中心線は前記ベースプラットフォームの前記長手方向軸に対して垂直である請求項3に記載の平面多関節ロボットアームシステム。
- 前記多関節アームの前記第1アーム端部は前記製品マニピュレータの前記長手方向軸の反対側に配置される請求項1から4のいずれかに記載の平面多関節ロボットアームシステム。
- 前記第2クランクコンロッドリンクの前記クランク端部および前記多関節アームの前記第1アーム端部は、前記第1中心線の同じ側で、かつ、前記第1中心線から異なる距離に配置される請求項5に記載の平面多関節ロボットアームシステム。
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