JP6349947B2 - 搬送装置 - Google Patents

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Description

本発明は、対象物を保持した状態で上下方向に搬送することができる搬送装置に関するものである。
例えば、複数の工作機械を並設した製造ライン等において、工作機械間にて被加工物を搬送するために、搬送装置を設置する。この種の搬送装置は、例えば特許文献1に記載されている。当該搬送装置において、被加工物を保持する搬送ロボットがレール梁に沿って移動可能に設けられる。そして、被加工物を保持した状態の搬送ロボットが工作機械の外部上方から内部へ進入することで、被加工物が工作機械の外部から内部に搬入される。また、被加工物を工作機械の内部から外部へ搬出する場合には、搬送ロボットが工作機械の外部上方から内部へ進入した後に、被加工物を保持し、外部上方へ移動することで行われる。
上記の他に、搬送ロボットは、例えば、特許文献2〜4に記載されている。特許文献2に記載の搬送ロボットは、レール梁に対して垂直方向に延びる棒状部材により構成されている。棒状部材がレール梁に対して上下移動することにより、被加工物を保持するヘッド部が上下移動する。
特許文献3に記載の搬送ロボットは、二本の並行リンクを有する。各並行リンクの上端側がレール梁に移動可能に設けられ、各並行リンクの下端側が被加工物を保持するヘッド部に連結され、二本の並行リンクの上端側の離間距離を変更することによりヘッド部の高さを上下させることが記載されている。また、特許文献4に記載の搬送ロボットは、シングルアームのリンク機構により構成され、アームの基端側がレール梁に支持され、アームの先端側にて被加工物が保持される。
ところで、上述した工作機械の間にて被加工物を搬送する搬送ロボットではないが、被加工物の位置および姿勢を変化させる装置として四自由度パラレルロボットが、特許文献5に記載されている。
特開平8−66878号公報 特開2010−149269号公報 特開2011−125950号公報 特許第5160700号公報 特許第4289506号公報
しかし、特許文献1,2に記載の搬送ロボットは、対象物を上方に移動させた状態において、上方に高く延びる。搬送ロボットの最大高さが設置工場の高さ制限を超えている場合には、当該装置を設置できない。そのため、搬送ロボットの最大高さを低くすることが求められる。
また、特許文献3に記載の搬送ロボットは、対象物を上方に上げた状態において、二本の並行リンクの間が広がっている。そのため、対象物を搬送する工作機械等における上方の開口幅を十分に確保しなければならない。工作機械等の上方の開口幅を大きくすると、工作機械等の幅寸法を拡大せざるを得なくなり、搬送ロボットが工作機械の幅の小型化に対して制約となる。
また、特許文献4に記載の搬送ロボットは、シングルアームのリンク機構であるため、対象物を高速に且つ安定して搬送することができない。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、最大高さを低くすることができ、対象物を高速に且つ安定して搬送し、さらに、搬送目的場所の開口幅を狭くすることができる搬送装置を提供することを目的とする。
(請求項1)本手段に係る搬送装置は、互いに平行且つ第一水平方向に延びるように設置された2列のレール梁と、前記2列のレール梁上を前記第一水平方向に移動するベース部と、前記ベース部を前記第一水平方向に移動させるスライドモータと、対象物を保持可能なヘッド部と、前記ベース部における前記2列のレール梁間に設けられ、且つ、前記ベース部において前記第一水平方向に直交する第二水平方向に平行な軸線である第一基端側回転支点を中心に回転可能に支持される第一駆動リンクと、前記第一駆動リンクにおける前記第二水平方向に平行な軸線である第一中間回転支点を中心に回転可能に支持され、且つ、前記ヘッド部における前記第二水平方向に平行な軸線である第一先端側回転支点を中心に回転可能に支持される第一従動リンクと、前記ベース部における前記2列のレール梁間に設けられ、且つ、前記ベース部における前記第二水平方向に平行な軸線である第二基端側回転支点を中心に回転可能に支持される第二駆動リンクと、前記第二駆動リンクにおける前記第二水平方向に平行な軸線である第二中間回転支点を中心に回転可能に支持され、且つ、前記ヘッド部における前記第二水平方向に平行な軸線である第二先端側回転支点を中心に回転可能に支持される第二従動リンクと、前記ベース部における前記2列のレール梁間に設けられ、且つ、垂直軸線回りに回転可能に設けられたウォームと、前記ベース部に前記ウォームと同軸に設けられ、前記ウォームを回転駆動することにより、前記ベース部に対して前記第一駆動リンクおよび前記第二駆動リンクを前記第一基端側回転支点および前記第二基端側回転支点を中心に回転させ、前記第一従動リンクおよび前記第二従動リンクを前記第一中間回転支点および前記第二中間回転支点を中心に回転させることにより、前記ベース部に対する前記ヘッド部の上下位置を変更する上下駆動モータと、を備える。
前記第一従動リンクが、前記第一中間回転支点と前記第一先端側回転支点とを結ぶ直線に対して、前記第二従動リンク側に突出するように屈曲形状に形成されること、および、前記第二従動リンクは、前記第二中間回転支点と前記第二先端側回転支点とを結ぶ直線に対して、前記第一従動リンク側に突出するように屈曲形状に形成されることの少なくとも何れか一方が構成される。
本手段に係る搬送装置は、第一駆動リンクおよび第一従動リンクと、第二駆動リンクおよび第二従動リンクとの二系統の並行リンクを備える。従って、当該搬送装置は、シングルアームのリンク機構の場合に比べて、安定して且つ高速に対象物を搬送できる。
また、当該搬送装置は、ベース部とヘッド部とをリンク機構により連結しているため、ヘッド部をベース部に近付けた状態において、リンク機構の張り出し部分が小さい。例えば、工作機械等の上方に当該搬送装置を配置する場合において、搬送装置の最大高さを低くすることができる。
さらに、当該搬送装置において、第一従動リンクが、第一中間回転支点と第一先端側回転支点とを結ぶ直線に対して、第二従動リンク側に突出するように屈曲形状に形成されること、および、第二従動リンクが、第二中間回転支点と第二先端側回転支点とを結ぶ直線に対して、第一従動リンク側に突出するように屈曲形状に形成されることの少なくとも何れか一方が構成される。当該構成によって、仮に第一従動リンクおよび第二従動リンクが直線状の部材である場合に比べると、第一従動リンクと第二従動リンクとのヘッド部側の離間距離が狭くなる。従って、搬送装置による搬送目的場所の開口幅を狭くすることができる。
本手段に係る搬送装置の好適な実施態様について以下に説明する。
(請求項2)前記搬送装置は、前記第一駆動リンクを前記第一中間回転支点に対して回転可能に支持し、且つ、前記第一従動リンクを前記第一中間回転支点に対して回転可能に支持する中間連結部と、前記ベース部における前記第二水平方向に平行な軸線である第三基端側回転支点を中心に回転可能に支持され、前記中間連結部における前記第二水平方向に平行な軸線である第三中間回転支点を中心に回転可能に支持され、且つ、前記第一駆動リンクに対して並行に設けられる基端側並行リンクと、前記中間連結部における前記第二水平方向に平行な軸線である第四中間回転支点を中心に回転可能に支持され、前記ヘッド部における前記第二水平方向に平行な軸線である第三先端側回転支点を中心に回転可能に支持され、且つ、前記第一従動リンクに対して並行に設けられる先端側並行リンクと、を備えるようにしてもよい。
つまり、第一基端側回転支点、第一中間回転支点、第三基端側回転支点および第三中間回転支点が、平行四辺形の頂点を構成する。このことにより、中間連結部におけるベース部に対する姿勢が、一定の状態に維持される。さらに、第一中間回転支点、第一先端側回転支点、第四中間回転支点および第三先端側回転支点が、平行四辺形の頂点を構成する。このことにより、ヘッド部における中間連結部に対する姿勢が一定の状態に維持される。つまり、ヘッド部におけるベース部に対する姿勢が、一定の状態に維持される。従って、対象物の姿勢を安定した状態で、対象物を搬送できる。
(請求項3)また、前記先端側並行リンクは、前記第四中間回転支点と前記第三先端側回転支点とを結ぶ直線に対して、前記第二従動リンク側に突出するように屈曲形状に形成されるようにしてもよい。基端側並行リンクおよび先端側並行リンクを有する場合に、先端側並行リンクを上記構成とすることによって、第一従動リンクと第二従動リンクとのヘッド部側の離間距離に加えて、先端側並行リンクと第二従動リンクとのヘッド部側の離間距離が狭くなる。従って、搬送装置による搬送目的場所の開口幅を狭くすることができる。
(請求項4)また、前記搬送装置は、1つの前記上下駆動モータと、1つの前記ウォームと、前記第一駆動リンクにおいて前記第一基端側回転支点に前記第二水平方向の軸線回りに回転可能に設けられ、前記ウォームに噛み合う第一ウォームホイールと、前記第二駆動リンクにおいて前記第二基端側回転支点に前記第二水平方向の軸線回りに回転可能に設けられ、前記ウォームに噛み合う第二ウォームホイールと、を備えるようにしてもよい。これにより、大きな減速比を確保しつつ、第一駆動リンクと第二駆動リンクとの回転位相の同期を容易にとることができる。
(請求項)また、前記ウォームの進み角は、前記第一ウォームホイールおよび前記第二ウォームホイールの少なくとも一方の回転に伴って当該ウォームホイールから前記ウォームへの動力が伝達される場合に、前記ウォームを回転させる進み角に設定されるようにしてもよい。つまり、伝達装置にてセルフロックが作用しないことになる。その結果、例えば、リンクなどが外部からの衝撃力を受けた場合に、ウォームが回転することによって、ウォームホイールとウォームとの噛み合い歯の負荷が低減する。従って、噛み合い歯の寿命が長くなる。
本実施形態の搬送装置の斜視図である。 図1の搬送装置を構成する支柱とレール梁の連結部分における搬送方向に直交する方向の拡大断面図である。 図1の搬送装置を構成する複数のレール梁の連結部分における搬送方向に直交する方向の拡大断面図である。 図1の搬送装置を構成する搬送ロボットの斜視図である。 図4の搬送ロボットの正面図である。 図4の搬送ロボットの右側面図である。 図4の搬送ロボットの背面図である。 図4の搬送ロボットを構成する減速機の構成図である。 搬送ロボットの模式図であって、上下駆動モータによる駆動力がウォームから第一、第二ウォームホイールへの伝達力の大きさを示す。 搬送ロボットの模式図であって、第一駆動リンクが上方向への衝撃力を外部から受けた場合において、第一ウォームホイールからウォームへの伝達力の大きさを示す。
(1.搬送装置100の概要説明)
搬送装置100について、図1を参照して説明する。搬送装置100は、複数の工作機械(図示せず)等を並設した製造ラインに適用され、複数の工作機械等の間にて搬送対象物である被加工物を搬送する装置である。
図1に示すように、搬送装置100は、設置場所に固定される基台部10と、対象物W1,W2を保持した状態で、基台部10に搬送方向へ移動可能に支持される搬送ロボット50(移動体に相当)とを備える。
基台部10は、複数の支柱11,12と、第一列における複数のレール梁21,22と、第一列のガイドレール23と、第二列における複数のレール梁26,27と、第二列のガイドレール28と、複数の柱梁用の連結部材31〜38と、複数の梁間用の連結部材41〜44とを備える。
支柱11,12は、座部111,112,121,122と、本体部113,123と、上端部材114,115,124,125とを備える。座部111,112,121,122は、それぞれ設置場所に位置決めされる。
第一、第二の本体部113,123は、中空角材により長方形枠状に形成される。なお、第一、第二の本体部113,123は、枠状に形成したが、それぞれの柱部分を独立した棒状部材としてもよい。
第一の本体部113と第二の本体部123とは、搬送方向に離れて配置される。さらに、第一の本体部113と第二の本体部123は、長方形枠が搬送方向に対向するように配置される。第一の本体部113と第二の本体部123との間には、複数の工作機械が設置される。第一の本体部113は、座部111,112上に例えば溶接により固定され、第二の本体部123は、座部121,122上に例えば溶接により固定される。
上端部材114,115,124,125は、例えばI形鋼(JIS G3192)により形成される。上端部材114は、第一の本体部113の上端の一方角部に例えば溶接により固定される。上端部材115は、第一の本体部113の上端の他方角部に例えば溶接により固定される。また、上端部材124は、第二の本体部123の上端の一方角部に例えば溶接により固定される。上端部材125は、第二の本体部123の上端の他方角部に例えば溶接により固定される。
第一列における一方のレール梁21と他方のレール梁22は、例えばI形鋼(JIS G3192)により形成され、搬送方向である長手方向に延在するように構成される。つまり、第一列のレール梁21,22は、それぞれの端部を突き合わせた状態で位置決めされる。
第一列における一方のレール梁21の一端側は、第一の支柱11における上端部材114の上面に配置される。第一列における他方のレール梁22の一端側は、第二の支柱12における上端部材124の上面に配置される。このようにして、第一列における複数のレール梁21,22は、第一の支柱11と第二の支柱12との間を架設する。第一列における複数のレール梁21,22の上面には、第一列のガイドレール23が設けられる。第一列のガイドレール23は、例えば、LMガイドなどを適用する。
ここで、第一列の一方のレール梁21の他端側と他方のレール梁22の他端側の突き合わせ位置は、支柱11,12からずれた位置に位置する。つまり、突き合わせ位置は、支柱11,12によって支持されていない。この部分は、後述する連結部材41,42により連結される。
第二列における一方のレール梁26と他方のレール梁27は、例えばI形鋼(JIS G3192)により形成され、搬送方向である長手方向に延在するように構成される。つまり、第二列のレール梁26,27は、それぞれの端部を突き合わせた状態で位置決めされる。
さらに、第二列における複数のレール梁26,27は、第一列における複数のレール梁21,22に平行に配置される。また、第二列における一方のレール梁26の一端側は、第一の支柱11における上端部材115の上面に配置される。第二列における他方のレール梁27の他端側は、第二の支柱12における上端部材125の上面に配置される。このようにして、第二列における複数のレール梁26,27は、第一の支柱11と第二の支柱12との間を架設する。第二列における複数のレール梁26,27の上面には、第二列のガイドレール28が設けられる。第二列のガイドレール28は、例えば、LMガイドなどを適用する。
ここで、第二列の一方のレール梁26の他端側と他方のレール梁27の他端側の突き合わせ位置は、支柱11,12からずれた位置に位置する。つまり、突き合わせ位置は、支柱11,12によって支持されていない。この部分は、後述する連結部材43,44により連結される。
柱梁用の連結部材31〜38(第一、第二の連結部材に相当)は、U字状に形成される。柱梁用の連結部材31〜38は、例えば、溝形鋼(JIS G3192)により形成される。柱梁用の連結部材31,32は、第一の支柱11における上端部材114と第一列のレール梁21とを連結する。柱梁用の連結部材33,34は、第一の支柱11における上端部材115と第二列のレール梁26とを連結する。柱梁用の連結部材35,36は、第二の支柱12における上端部材124と第一列のレール梁22とを連結する。柱梁用の連結部材37,38は、第二の支柱12における上端部材125と第二列のレール梁27とを連結する。ここで、図1において、柱梁用の連結部材31,33,35,37は図1の手前側に位置し、柱梁用の連結部材32,34,36,38は図1の奥側に位置する。
梁間用の連結部材41,42(第三の連結部材に相当)は、第一列における複数のレール梁21,22を搬送方向に連続的に接続する。具体的には、梁間用の連結部材41は、第一列における一方のレール梁21の下面と他方のレール梁22の下面とを連結する。梁間用の連結部材42は、第一列における一方のレール梁21の側面と他方のレール梁22の側面とを連結する。
梁間用の連結部材43,44(第三の連結部材に相当)は、第二列における複数のレール梁26,27を搬送方向に連続的に接続する。具体的には、梁間用の連結部材43は、第二列における一方のレール梁26の下面と他方のレール梁27の下面とを連結する。梁間用の連結部材44は、第二列における一方のレール梁26の側面と他方のレール梁27の側面とを連結する。
搬送ロボット50は、第一列における複数のレール梁21,22と、第二列における複数のレール梁26,27とに、両持ち支持される。搬送ロボット50は、主として、レール梁21,22,26,27に対して上下方向に固定されるベース部60と、ベース部60に対して上下方向に移動可能であって対象物W1,W2を保持可能なヘッド部70と、ベース部60に対してヘッド部70を上下方向に移動させるためのリンク機構80とを備える。ベース部60およびリンク機構80の詳細は、後述する。
ヘッド部70は、図1に示すように、ヘッド本体71と、第一ハンド部72と、第二ハンド部73とを備える。第一、第二ハンド部72,73は、それぞれ対象物W1,W2を保持可能であると共に、対象物W1,W2を離脱することも可能である。さらに、第一、第二ハンド部72,73は、対象物W1,W2の形状に応じた形状に形成される。第一、第二ハンド部72,73は、ヘッド本体71に対する位置を交代可能である。例えば、第一ハンド部72が加工前の被加工物W1を保持している状態で、第二ハンド部73が加工済みの被加工物W2を工作機械から受け取った後に、第一ハンド部72が工作機械に加工前の被加工物W1を受け渡すことができる。なお、第一、第二ハンド部72,73は、公知の種々のハンド部を適用可能である。
(2.基台部10における連結部分の説明)
(2−1.支柱11とレール梁21との連結部分の説明)
次に、支柱11とレール梁21との連結部分について、図2を参照して説明する。支柱11の上端部材114は、例えばI形鋼により形成される。つまり、上端部材114は、本体部114a(柱本体部に相当)と、本体部114aの上縁から両方の側方へそれぞれ張り出すように形成される一対の上側フランジ114b,114c(柱フランジに相当)と、本体部114aの下縁から両方の側方へそれぞれ張り出すように形成される一対の下側フランジ114d,114eとを備える。
本体部114aは、搬送方向に延在する平板状に形成される。各上側フランジ114b,114cの上面は、水平な同一平面状に形成される。各上側フランジ114b,114cは、下面に本体部114a側から自由端側に向かって上方へ傾斜する傾斜面114b1,114c1を有する。さらに、各上側フランジ114b,114cにおける図2の左右面には、雌ねじ114b2,114c2が形成されている。
各下側フランジ114d,114eの下面は、水平な同一平面状に形成され、第一の本体部113の上端の一方角部に例えば溶接により固定される。各下側フランジ114d,114eは、上面に本体部114a側から自由端側に向かって下方へ傾斜する傾斜面を有する。つまり、各下側フランジ114d,114eの厚みは、本体部114a側から自由端側に向かって徐々に薄くなる。
レール梁21は、例えばI形鋼により形成される。つまり、レール梁21は、長手方向に延在する梁本体部211と、梁本体部211の上縁から両方の側方へそれぞれ張り出すように形成される一対の上側フランジ212,213と、梁本体部211の下縁から両方の側方へそれぞれ張り出すように形成される一対の下側フランジ214,215(梁フランジに相当)とを備える。
梁本体部211は、ほぼ平板状に形成される。各上側フランジ212,213の上面は、水平な同一平面状に形成される。各上側フランジ212,213は、下面に梁本体部211側から自由端側に向かって上方へ傾斜する傾斜面を有する。つまり、各上側フランジ212,213の厚みは、梁本体部211側から自由端側に向かって徐々に薄くなる。
各下側フランジ214,215の上面は、水平な同一平面状に形成される。各下側フランジ214,215は、上面に梁本体部211側から自由端側に向かって下方へ傾斜する傾斜面214a,215aを有する。つまり、各下側フランジ214,215の厚みは、梁本体部211側から自由端側に向かって徐々に薄くなる。
柱梁間の連結部材31(第一の連結部材に相当)は、U字状に形成されており、連結部材31のU字状の対向内面の縁部31a,31bは湾曲凸状に形成される。さらに、連結部材31には、U字状の開口方向に貫通する貫通孔31cが形成される。連結部材31は、上端部材114の一方の上側フランジ114bと、レール梁21の一方の下側フランジ214とを上下方向に挟む。つまり、連結部材31の一方の縁部31aが上側フランジ114bの傾斜面114b1に接触し、連結部材31の他方の縁部31bが下側フランジ214の傾斜面214aに接触する。
そして、締結ボルト31dが、貫通孔31cを挿通し、上端部材114の一方の上側フランジ114bの雌ねじ114b2に螺合される。つまり、締結ボルト31dは、上端部材114に対して上下方向に移動不能に取り付けられる。
さらに、締結ボルト31dを雌ねじ114b2の奥に進めることによって、連結部材31が、上端部材114の本体部114a側およびレール梁21の梁本体部211側に近づく。そうすると、連結部材31の対向内面の縁部31a,31bが、各傾斜面114b1,214aに対してそれぞれ上下方向に押し付ける。その結果、上端部材114の一方の上側フランジ114bとレール梁21の一方の下側フランジ214とが上下方向に連結される。
また、柱梁間の連結部材32(第二の連結部材に相当)は、柱梁間の連結部材31に対して上端部材114およびレール梁21を挟んで反対側に実質的に同様に設けられる。つまり、柱梁間の連結部材32は、U字状に形成されており、連結部材32のU字状の対向内面の縁部32a,32bは湾曲凸状に形成される。さらに、連結部材32には、U字状の開口方向に貫通する貫通孔32cが形成される。連結部材32は、上端部材114の他方の上側フランジ114cと、レール梁21の他方の下側フランジ215とを上下方向に挟む。つまり、連結部材32の一方の縁部32aが上側フランジ114cの傾斜面114c1に接触し、連結部材32の他方の縁部32bが下側フランジ215の傾斜面215aに接触する。
そして、締結ボルト32dが、貫通孔32cを挿通し、上端部材114の他方の上側フランジ114cの雌ねじ114c2に螺合される。つまり、締結ボルト32dは、上端部材114に対して上下方向に移動不能に取り付けられる。
さらに、締結ボルト32dを雌ねじ114c2の奥に進めることによって、連結部材32が、上端部材114の本体部114a側およびレール梁21の梁本体部211側に近づく。そうすると、連結部材32の対向内面の縁部32a,32bが、各傾斜面114c1,215aに対してそれぞれ上下方向に押し付ける。その結果、上端部材114の他方の上側フランジ114cとレール梁21の他方の下側フランジ215とが上下方向に連結される。
(2−2.レール梁21,22の連結部分の説明)
次に、レール梁21,22の連結部分について、図3を参照して説明する。梁間の連結部材41(第三の連結部材に相当)は、レール梁21,22の梁本体部211同士を連結する。具体的には、連結部材41は、梁本体部211を挟み込むように二部材41a,41bにより構成される。そして、ボルト41cにより、当該二部材41a,41bがレール梁21,22の梁本体部211同士を連結する。
また、梁間の連結部材42(第三の連結部材に相当)は、レール梁21,22の下側フランジ214,215同士を連結する。当該連結部材42は、U字状に形成される。連結部材42は、ボルト42aにより、レール梁21,22の下側フランジ214,215に取り付けられる。
(2−3.柱梁間の連結部材31,32による効果)
上述したように、レール梁21の下側フランジ214は、梁本体部211の下縁に全長に亘って設けられている。従って、柱梁用の連結部材31は、レール梁21の任意の位置に対して取り付けることができる。つまり、連結部材31が、レール梁21の任意の位置に対して支柱11の上端部材114の上側フランジ114bを連結することができる。レール梁21を移動させることなく、支柱11の位置を移動させることができる。
従って、例えば工作機械のレイアウトを変更する場合には、支柱11の位置を変更するだけで、レール梁21の位置を変更する必要はない。その結果、レイアウトの変更に容易に対応することができる。
また、上端部材114の上側フランジ114bの下面を傾斜面114b1とし、且つ、レール梁21の下側フランジ214の上面を傾斜面214aとすることにより、上側フランジ114bと下側フランジ214とが、連結部材31に対してくさび形状として機能する。従って、両フランジ114b,214が、連結部材31により確実に連結される。つまり、上記構成により、支柱11の配置自由度が高く、且つ、確実な連結を行うことができる。
また、連結部材31の対向内面の縁部31a,31bが湾曲凸状とした。縁部31a,31bは、連結部材31により両フランジ114b,214を連結する際に、傾斜面114b1,214aを摺動する。縁部31a,31bは湾曲凸状であるため、連結部材31が容易に摺動でき、所望の状態にて両フランジ114b,214を連結できる。
さらに、連結部材31,32が、上端部材114とレール梁21とを挟むように設けられている。つまり、一方の連結部材31が、両フランジ114b,214を連結し、且つ、他方の連結部材32が、両フランジ114c,215を連結する。これにより、支柱11の上端部材114とレール梁21とが確実に連結される。
(2−4.両持ち支持による効果)
上述したように、搬送ロボット50は、第一列のレール梁21,22と第二列のレール梁26,27とによって両持ち支持されている。これにより、搬送ロボット50が安定した状態で移動可能となる。ここで、第一列のレール梁21,22と第二列のレール梁26,27を平行に配置する場合には、それぞれのレール梁21,22,26,27を支持できるように支柱11,12を構成する必要がある。
例えば、本実施形態においては、支柱11,12が長方形枠状とすることにより、単なる棒状に比べて大型な構造を採用している。この他に、棒状の支柱を採用する場合には、支柱の数が増加する。そのため、レール梁21,22,26,27を平行に配置する場合に、支柱11,12の配置の自由度が少なくなる。このような場合であっても、上述したように支柱11,12とレール梁21,22,26,27との連結構造を適用することにより、支柱11,12およびレール梁21,22,26,27を容易に設置できる。
また、本実施形態においては、第一列のレール梁21,22の連結部分が、支柱11,12からずれた位置としている。そして、当該部分は、連結部材41,42により連結される。レール梁21,22の長さは短いほど、製造および搬送にとって容易となる。そのため、レール梁21,22の長さには制限がある。ただし、支柱11,12の間が長い場合には、レール梁21,22を突き合わせた状態で連結することで、支柱11,12の間に架設できる。
そして、長手方向に複数のレール梁21,22を延在するように構成する場合に、これらを連結する位置が支柱11,12からずれた位置であったとしても、第一列のレール梁21,22と第二列のレール梁26,27とにより搬送ロボット50を両持ち支持することにより、レール梁21,22がねじれることを抑制できる。このように、長手方向に延在する複数のレール梁21,22を連結する部位が、支柱11,12の位置とは無関係に配置できるため、支柱11,12とレール梁21,22の配置の自由度がより高くなる。
(3.搬送ロボット50の詳細説明)
(3−1.搬送ロボット50の構成)
次に、搬送ロボット50の構成について、図1、図4〜図8を参照して説明する。搬送ロボット50は、ベース部60と、ヘッド部70と、リンク機構80と、駆動装置90とを備える。
ベース部60は、図1に示すように、第一列のレール梁21,22および第二列のレール梁26,27に両持ち支持される。特に、ベース部60は、ガイドレール23,28に沿ってスライド移動する。ベース部60は、ベース本体61と、減速機ケース62と、前側ブラケット63と、後側ブラケット64とを備える。
ベース本体61は、図4、図6に示すように、ほぼ平板状に形成される部分である。ベース本体61は、図1に示すように、レール梁21,22,26,27より上方であって、第一列のレール梁21,22と第二列のレール梁26,27との対向方向の中間に位置する。
減速機ケース62は、ベース本体61の下面に固定されており、内部に駆動装置90を構成する減速機92(図8に示す)を収容する。減速機ケース62は、第一基端側回転支点A1を中心とする支持軸と、第二基端側回転支点A2を中心とする支持軸とを備える。ここで、第一基端側回転支点A1と第二基端側回転支点A2は、同一高さに設けられ、両回転支点A1,A2の回転軸は平行である。
前側ブラケット63は、L型に形成され、ベース本体61のうち図1の前側(第一列のレール梁21,22側)に一体的に設けられている。前側ブラケット63の下側座面は、図1に示すように、第一列のガイドレール23上にスライド移動可能に支持されている。
後側ブラケット64は、前側ブラケット63とは反対方向のL型に形成され、ベース本体61のうち図1の後側(第二列のレール梁26,27側)に一体的に設けられている。後側ブラケット64の下側座面は、図1に示すように、第二列のガイドレール28上にスライド移動可能に支持されている。さらに、後側ブラケット64は、第三基端側回転支点A3の支持軸を備える。第三基端側回転支点A3は、第一、第二基端側回転支点A1,A2とは異なる位置に設けられている。
ヘッド部70は、図1に示すように、ヘッド本体71と、第一ハンド部72と、第二ハンド部73とを備える。ただし、図4〜図7においては、ヘッド本体71のみを示す。ヘッド本体71は、第一先端側回転支点C1を中心とする支持軸と、第二先端側回転支点C2を中心とする支持軸と、第三先端側回転支点C3とを備える。ここで、第一先端側回転支点C1と第二先端側回転支点C2は、同一高さに設けられ、両回転支点C1,C2の回転軸は平行である。また、第三先端側回転支点C3は、第一、第二先端側回転支点C1,C2とは異なる位置に設けられている。
リンク機構80は、図4に示すように、ベース部60に対してヘッド部70を上下方向に移動させる。リンク機構80は、ダブルアーム式のパンタグラフ状に構成される。リンク機構80は、第一駆動リンク81と、第二駆動リンク82と、中間連結部83と、第一従動リンク84と、第二従動リンク85と、基端側並行リンク86と、先端側並行リンク87とを備える。
第一駆動リンク81は、直線状のリンク部材により形成される。第一駆動リンク81は、ベース部60における第一基端側回転支点A1を中心に回転可能に支持される。第二駆動リンク82は、直線状のリンク部材により形成される。第二駆動リンク82は、ベース部60における第二基端側回転支点A2を中心に回転可能に支持される。
中間連結部83は、L型に形成されている。中間連結部83は、第一中間回転支点B1を中心とする支持軸、第三中間回転支点B3を中心とする支持軸、および、第四中間回転支点B4を中心とする支持軸を備える。ここで、第一中間回転支点B1、第三中間回転支点B3、第一基端側回転支点A1および第三基端側回転支点A3は、平行四辺形のそれぞれの頂点を構成する。そして、中間連結部83は、第一駆動リンク81の他端側を第一中間回転支点B1に対して回転可能に支持する。
第一従動リンク84は、第一駆動リンク81および中間連結部83における第一中間回転支点B1を中心に回転可能に支持される。さらに、第一従動リンク84は、ヘッド部70のヘッド本体71における第一先端側回転支点C1を中心に回転可能に支持される。第一従動リンク84がヘッド部70のヘッド本体71および中間連結部83に支持されている状態において、第一中間回転支点B1、第三中間回転支点B3、第一先端側回転支点C1および第三先端側回転支点C3は、平行四辺形のそれぞれの頂点を構成する。
第一従動リンク84は、図5および図7に示すように、第一中間回転支点B1と第一先端側回転支点C1とを結ぶ直線に対して、第二従動リンク85側(図5の右側)に突出するように屈曲形状に形成される。本実施形態においては、第一従動リンク84は、二本の直線状部材を所定の角度で交差する形状に形成される。この他に、第一従動リンク84は、全体に亘って湾曲した孤状に形成してもよい。
第二従動リンク85は、第二駆動リンク82における第二中間回転支点B2を中心に回転可能に支持される。さらに、第二従動リンク85は、ヘッド部70のヘッド本体71における第二先端側回転支点C2を中心に回転可能に支持される。第二従動リンク85は、第二中間回転支点B2と第二先端側回転支点C2とを結ぶ直線に対して、第一従動リンク84側(図5の左側)に突出するように屈曲形状に形成される。この他に、第二従動リンク85は、全体に亘って湾曲した孤状に形成してもよい。
基端側並行リンク86は、ベース部60における第三基端側回転支点A3を中心に回転可能に支持されると共に、中間連結部83における第三中間回転支点B3を中心に回転可能に支持される。さらに、基端側並行リンク86は、第一駆動リンク81に対して並行に設けられる。
先端側並行リンク87は、中間連結部83における第四中間回転支点B4を中心に回転可能に支持されると共に、ヘッド部70のヘッド本体71における第三先端側回転支点C3を中心に回転可能に支持される。さらに、先端側並行リンク87は、第一従動リンク84に対して並行に設けられる。
先端側並行リンク87は、第四中間回転支点B4と第三先端側回転支点C3とを結ぶ直線に対して、第二従動リンク85側(図5の右側)に突出するように屈曲形状に形成される。本実施形態においては、先端側並行リンク87は、第一従動リンク84とほぼ同様の形状としている。この他に、先端側並行リンク87は、全体に亘って湾曲した孤状に形成してもよい。また、先端側並行リンク87は、第一従動リンク84に対して異なる形状であってもよい。
また、図5および図7に示すように、第一、第二基端側回転支点A1,A2、第一、第二中間回転支点B1,B2および第一、第二先端側回転支点C1,C2は、六角形の頂点を構成する。この六角形は、少なくとも第一、第二中間回転支点B1,B2をなす内角を180°未満の角度とする形状である。
駆動装置90は、上下駆動モータ91と、減速機92と、スライドモータ93とを備える。上下駆動モータ91(回転駆動源に相当)は、ベース本体61の上面に固定される。上下駆動モータ91の出力軸は、上下方向を中心として回転する。
減速機92は、上下駆動モータ91の回転駆動力を減速して、第一駆動リンク81および第二駆動リンク82のそれぞれに伝達する。減速機92は、図8に示すように、1つのウォーム92aと、第一ウォームホイール92bと、第二ウォームホイール92cとを備える。ウォーム92aは、上下駆動モータ91の出力軸に連結または形成される。第一ウォームホイール92bは、第一駆動リンク81において第一基端側回転支点A1に設けられ、ウォーム92aに噛み合う。第二ウォームホイール92cは、第二駆動リンク82において第二基端側回転支点A2に設けられ、ウォーム92aに噛み合う。
ウォーム92aの進み角γは、セルフロックが作用しない角度に設定される。例えば、ウォーム92aの進み角γは、5°以上に設定される。従って、第一ウォームホイール92bおよび第二ウォームホイール92cの少なくとも一方の回転に伴って、第一,第二ウォームホイール92b,92cからウォーム92aへ動力が伝達される場合に、ウォーム92aが回転する。つまり、減速機92にてセルフロックが作用しないことになる。
スライドモータ93は、ベース部60の前側ブラケット63に固定される。スライドモータ93の駆動により、搬送ロボット50全体が第一列のレール梁21,22に沿ってスライド移動する。
(3−2.リンク機構80およびヘッド部70の動作)
次に、リンク機構80およびヘッド部70の動作について、図5および図8を参照して説明する。図5に示す状態から、上下駆動モータ91を駆動させる。そうすると、上下駆動モータ91の回転駆動力がウォーム92aに伝達され、ウォーム92aの回転により第一、第二ウォームホイール92b,92cに伝達される。第一ウォームホイール92bが回転することにより、第一駆動リンク81が第一基端側回転支点A1を中心に回転する。一方、第二ウォームホイール92cが回転することにより、第二駆動リンク82が第二基端側回転支点A2を中心に回転する。
ここで、第一、第二ウォームホイール92b,92cは1つのウォーム92aに噛み合っているため、両者は逆回転となり、且つ、両者の回転位相の同期が機械的に図られている。つまり、当該構成により、容易に同期をとることができる。また、ウォーム92aと第一、第二ウォームホイール92b,92cを適用することにより、大きな減速比を確保することができる。
図5の状態から、第一駆動リンク81が、時計回りに回転し、第二駆動リンク82が反時計回りに回転するとする。つまり、第一中間回転支点B1と第二中間回転支点B2の離間距離が大きくなる。また、第一、第二駆動リンク81,82の上記回転に伴って、第一従動リンク84および第二従動リンク85が上方へ移動する。従って、ヘッド部70が、上方へ移動する。なお、ヘッド部70を下方へ移動させる場合には、上下駆動モータ91を逆方向に回転駆動することにより可能となる。
ここで、搬送ロボット50は、上記のようなダブルアーム式のリンク機構80を適用しているため、シングルアーム式のリンク機構の場合に比べて、安定して且つ高速に対象物W1,W2を上下方向に搬送できる。特に、本実施形態の構成によれば、ヘッド部70を下方へ移動させる場合において、上下駆動モータ91の角速度の変化率に対して、ヘッド部70の下降速度の変化率が小さくなる。従って、ヘッド部70を下方にて位置決めする際に、安定させることができる。
また、当該搬送ロボット50は、ベース部60とヘッド部70とをリンク機構80により連結しているため、ヘッド部70をベース部60に近付けた状態において、リンク機構80の張り出し部分が小さい。例えば、工作機械等の上方に搬送ロボット50を配置する場合において、搬送ロボット50の最大高さを低くすることができる。
ここで、第一、第三基端側回転支点A1,A3と第一、第三中間回転支点B1,B3は、平行四辺形のそれぞれの頂点を構成している。そのため、回転支点A1,A3,B1,B3は平行四辺形を維持したまま、基端側並行リンク86および中間連結部83が移動する。さらに、第一、第四中間回転支点B1,B4と第一、第三先端側回転支点C1,C3は、平行四辺形のそれぞれの頂点を構成している。そのため、回転支点B1,B4,C1,C3は平行四辺形を維持したまま、先端側並行リンク87およびヘッド部70のヘッド本体71が移動する。
回転支点A1,A3,B1,B3は平行四辺形を維持することにより、ベース部60に対する中間連結部83の姿勢が一定の状態に維持される。また、回転支点B1,B4,C1,C3は平行四辺形を維持することにより、中間連結部83に対するヘッド部70のヘッド本体71の姿勢が一定の状態に維持される。両者によって、ベース部60に対して、ヘッド部70のヘッド本体71の姿勢が一定の状態に維持される。つまり、上下駆動モータ91を駆動することにより、ヘッド部70のヘッド本体71がベース部60に対して姿勢を安定した状態で対象物W1,W2を上下方向に搬送できる。
(3−3.基台部10に対する搬送ロボット50の動作)
次に、搬送ロボット50の動作について、図1および図5を参照して説明する。スライドモータ93が駆動することにより、搬送ロボット50全体が、第一列のレール梁21,22および第二列のレール梁26,27に沿ってスライド移動する。例えば、対象物W1を第一の工作機械(図示せず)の位置から第二の工作機械(図示せず)の位置へ搬送する。
ただし、搬送する際には、搬送ロボット50は、ヘッド部70のヘッド本体71を上方に上げた状態にしておく。つまり、搬送ロボット50が工作機械の上方を通過できるようにする。
そして、搬送ロボット50が第二の工作機械の上方に到達した場合には、上下駆動モータ91が駆動することにより、ヘッド部70の位置がベース部60に対して上下方向に移動する。
ここで、工作機械の上方における開口部が開口している状態において、ヘッド部70が対象物W1を保持した状態で下降して、工作機械の開口部から内部へ進入する。従って、搬送ロボット50のうち工作機械の開口部より内部へ進入する部分が、開口部の開口幅より小さくなければならない。
本実施形態における搬送ロボット50においては、上述したように、第一、第二中間回転支点B1,B2をなす六角形の内角は、180°未満の角度である。そうすると、図5から分かるように、第一、第二中間回転支点B1,B2が第一、第二基端側回転支点A1,A2と同一高さに位置する状態のときに、第一、第二中間回転支点B1,B2の間の離間距離が最も大きくなる。つまり、当該状態からヘッド部70を下方に移動させる際に、開口部の開口幅と、第一従動リンク84と第二従動リンク85との離間距離との関係が問題となる。また、先端側並行リンク87と第二従動リンク85との離間距離も同様である。
図5および図7に示すように、第一従動リンク84は、第一中間回転支点B1と第一先端側回転支点C1とを結ぶ直線に対して、第二従動リンク85側(図5の右側)に突出するように屈曲形状に形成される。第二従動リンク85は、第二中間回転支点B2と第二先端側回転支点C2とを結ぶ直線に対して、第一従動リンク84側(図5の左側)に突出するように屈曲形状に形成される。当該構成により、仮に第一従動リンク84および第二従動リンク85が直線状の部材である場合に比べると、第一従動リンク84と第二従動リンク85とのヘッド部70側の離間距離が狭くなる。
さらに、先端側並行リンク87は、第四中間回転支点B4と第三先端側回転支点C3とを結ぶ直線に対して、第二従動リンク85側(図5の右側)に突出するように屈曲形成される。当該構成により、先端側並行リンク87と第二従動リンク85とのヘッド部70側の離間距離が狭くなる。
従って、搬送ロボット50による搬送目的場所である工作機械の上方の開口幅が狭いとしても、ヘッド部70は進入可能となる。つまり、工作機械の上方の開口幅を狭くすることができるため、結果として工作機械の幅寸法を小さくできる。
つまり、上記構成によって、上下駆動モータ91により第一,第二駆動リンク81,82、第一,第二従動リンク84,85を動作させることで、開口幅が狭いところでもヘッド部70をすばやく挿入できる。さらに、上記動作によって、ヘッド部70が上下方向に移動する際において、動作範囲の上端部付近および下端部付近においての加減速を小さくできるため、ヘッド部70の動作を滑らかにすることが可能となる。
(3−4.減速機92における伝達力の説明)
次に、減速機92における伝達力について、図9および図10を参照して説明する。なお、図9および図10は、模式図であるため、搬送ロボット50の構成部品の全てを図示するものではない。
図9に示すように、上下駆動モータ91が駆動する場合に、上下駆動モータ91の回転駆動力を1とすると、ウォーム92aから第一ウォームホイール92bへの伝達力、および、ウォーム92aから第二ウォームホイール92cへの伝達力は、それぞれ0.5となる。つまり、リンク機構80が上下駆動モータ91によって通常の動作を行う場合には、第一,第二ウォームホイール92b,92cとウォーム92aとの間の伝達力は、上下駆動モータ91による駆動力の半分程度となる。このようになる理由は、1つのウォーム92aに対して、2つのウォームホイール92b,92cが噛み合うためである。
次に、図10に示すように、リンク機構80またはヘッド部70に、図10の左右不均等な外力が作用するとする。例えば、第一駆動リンク81における第一中間回転支点B1付近に図10の上方向への衝撃力Fを外部から受けたとする。搬送ロボット50が動作中に、外部物体に衝突する場合などが該当する。そうすると、第一駆動リンク81が、第一基端側回転支点A1を中心として、図10の右回りに回転しようとする。つまり、第一駆動リンク81に一体的に設けられる第一ウォームホイール92bの回転動力は、ウォーム92aに伝達される。
ここで、上述したように、減速機92にてセルフロックは作用しない。従って、第一ウォームホイール92bの回転に伴って第一ウォームホイール92bからウォーム92aへの動力が伝達される場合に、ウォーム92aが回転する。ここで、上下駆動モータ91は、出力軸に外部から回転力が入力された場合に、出力軸の回転を許容するものとする。従って、ウォーム92aの回転によって、上下駆動モータ91の出力軸が回転する。このように、第一駆動リンク81などが外部からの衝撃力Fを受けた場合に、ウォーム92aが回転することによって、第一ウォームホイール92bとウォーム92aとの噛み合い歯の負荷が低減する。従って、噛み合い歯の寿命が長くなる。
図10に示すように、第一駆動リンク81が外部から衝撃力Fを受けた場合に、第一ウォームホイール92bの回転力を1とすると、例えば、第一ウォームホイール92bからウォーム92aへの伝達力は1となり、第二ウォームホイール92cからウォーム92aへの伝達力は0となる。そして、ウォーム92aの回転力が1となる。つまり、図10に示す場合において第一ウォームホイール92bとウォーム92aとの噛み合い歯にかかる負荷は、図9に示す場合においてウォーム92aと第一ウォームホイール92bとの噛み合い歯にかかる負荷に比べて、最大で2倍となる。
仮に、減速機92にてセルフロックが作用する場合には、図10に示すように第一駆動リンク81が外部からの衝撃力Fを受けると、当該衝撃力Fの全てが、第一ウォームホイール92bとウォーム92aとの噛み合い歯にて吸収されることになる。この負荷の大きさは、通常の動作を行う場合にかかる負荷に比べて大きくなるため、ウォーム92aおよび第一,第二ウォームホイール92b,92cの剛性を高めることが必要になる。しかし、上述したように、減速機92にてセルフロックが作用しないため、噛み合い歯に大きな負荷が作用し得る状態であったとしても、ウォーム92aの回転によって、当該負荷が低減する。つまり、ウォーム92aおよび第一,第二ウォームホイール92b,92cの剛性が高くないとしても、それぞれの噛み合い歯の寿命が長くなる。
なお、リンク機構80を構成する他の部材およびヘッド部70が、外部から衝撃力Fを受けた場合にも、上記同様である。もちろん、外部からの衝撃力Fがかかる位置によって、第一ウォームホイール92bからウォーム92aへの伝達力、および、第二ウォームホイール92cからウォーム92aへの伝達力は、変化する。
<その他>
上記実施形態においては、ヘッド部70の姿勢を一定の状態に維持するために、リンク機構80は、基端側並行リンク86と先端側並行リンク87を備えることとした。この他に、他の姿勢維持手段を用いることもできる。
また、上記実施形態において、上端部材114の上側フランジ114b、114cが傾斜面114b1,114c1を備え、かつ、レール梁21の下側フランジ214,215が傾斜面214a,215aを備えることとした。この他に、上端部材114とレール梁21の何れか一方が傾斜面を有し、他方が水平面を有するようにしてもよい。この場合にも、十分に効果を奏する。
また、上記実施形態においては、第一,第二従動リンク84,85が屈曲形状に形成されることとしたが、両者のうち何れか一方が屈曲形状で、他方が直線形状としてもよい。この場合にも、両者が直線形状の場合に比べて十分な効果を奏する。また、上記実施形態においては、1台の上下駆動モータ91が第一,第二駆動リンク81,82を駆動することとしたが、2台の上下駆動モータを設置して、それぞれの上下駆動モータにより第一,第二駆動リンク81,82のそれぞれを独立して駆動させることもできる。
10:基台部、 11,12:支柱、 21,22,26,27:レール梁、 31〜38:柱梁用の連結部材(第一、第二の連結部材)、 31a,31b,32a,32b:縁部、 41〜44:梁間用の連結部材(第三の連結部材)、 50:搬送ロボット(移動体)、 60:ベース部、 70:ヘッド部、 71:ヘッド本体、 80:リンク機構、 81:第一駆動リンク、 82:第二駆動リンク、 83:中間連結部、 84:第一従動リンク、 85:第二従動リンク、 86:基端側並行リンク、 87:先端側並行リンク、 90:駆動装置、 91:上下駆動モータ(回転駆動源)、 92:減速機(伝達装置)、 92a:ウォーム、 92b:第一ウォームホイール、 92c:第二ウォームホイール、 93:スライドモータ、 100:搬送装置、 113,123:本体部、 114,115,124,125:上端部材、 114a:本体部(柱本体部)、 114b,114c:上側フランジ(柱フランジ)、 114b1,114c1:傾斜面、 211:梁本体部、 214,215:下側フランジ(梁フランジ)、 214a,215a:傾斜面、 A1:第一基端側回転支点、 A2:第二基端側回転支点、 A3:第三基端側回転支点、 B1:第一中間回転支点、 B2:第二中間回転支点、 B3:第三中間回転支点、 B4:第四中間回転支点、 C1:第一先端側回転支点、 C2:第二先端側回転支点、 C3:第三先端側回転支点、 W1,W2:対象物

Claims (5)

  1. 互いに平行且つ第一水平方向に延びるように設置された2列のレール梁と、
    前記2列のレール梁上を前記第一水平方向に移動するベース部と、
    前記ベース部を前記第一水平方向に移動させるスライドモータと、
    対象物を保持可能なヘッド部と、
    前記ベース部における前記2列のレール梁間に設けられ、且つ、前記ベース部において前記第一水平方向に直交する第二水平方向に平行な軸線である第一基端側回転支点を中心に回転可能に支持される第一駆動リンクと、
    前記第一駆動リンクにおける前記第二水平方向に平行な軸線である第一中間回転支点を中心に回転可能に支持され、且つ、前記ヘッド部における前記第二水平方向に平行な軸線である第一先端側回転支点を中心に回転可能に支持される第一従動リンクと、
    前記ベース部における前記2列のレール梁間に設けられ、且つ、前記ベース部における前記第二水平方向に平行な軸線である第二基端側回転支点を中心に回転可能に支持される第二駆動リンクと、
    前記第二駆動リンクにおける前記第二水平方向に平行な軸線である第二中間回転支点を中心に回転可能に支持され、且つ、前記ヘッド部における前記第二水平方向に平行な軸線である第二先端側回転支点を中心に回転可能に支持される第二従動リンクと、
    前記ベース部における前記2列のレール梁間に設けられ、且つ、垂直軸線回りに回転可能に設けられたウォームと、
    前記ベース部に前記ウォームと同軸に設けられ、前記ウォームを回転駆動することにより、前記ベース部に対して前記第一駆動リンクおよび前記第二駆動リンクを前記第一基端側回転支点および前記第二基端側回転支点を中心に回転させ、前記第一従動リンクおよび前記第二従動リンクを前記第一中間回転支点および前記第二中間回転支点を中心に回転させることにより、前記ベース部に対する前記ヘッド部の上下位置を変更する上下駆動モータと、
    を備え、
    前記第一従動リンクが、前記第一中間回転支点と前記第一先端側回転支点とを結ぶ直線に対して、前記第二従動リンク側に突出するように屈曲形状に形成されること、および、前記第二従動リンクが、前記第二中間回転支点と前記第二先端側回転支点とを結ぶ直線に対して、前記第一従動リンク側に突出するように屈曲形状に形成されることの少なくとも何れか一方が構成される、搬送装置
  2. 前記搬送装置は、
    前記第一駆動リンクを前記第一中間回転支点に対して回転可能に支持し、且つ、前記第一従動リンクを前記第一中間回転支点に対して回転可能に支持する中間連結部と、
    前記ベース部における前記第二水平方向に平行な軸線である第三基端側回転支点を中心に回転可能に支持され、前記中間連結部における前記第二水平方向に平行な軸線である第三中間回転支点を中心に回転可能に支持され、且つ、前記第一駆動リンクに対して並行に設けられる基端側並行リンクと、
    前記中間連結部における前記第二水平方向に平行な軸線である第四中間回転支点を中心に回転可能に支持され、前記ヘッド部における前記第二水平方向に平行な軸線である第三先端側回転支点を中心に回転可能に支持され、且つ、前記第一従動リンクに対して並行に設けられる先端側並行リンクと、
    を備える、請求項1に記載の搬送装置
  3. 前記先端側並行リンクは、前記第四中間回転支点と前記第三先端側回転支点とを結ぶ直線に対して、前記第二従動リンク側に突出するように屈曲形状に形成される、請求項2に記載の搬送装置
  4. 前記搬送装置は、
    1つの前記上下駆動モータと、
    1つの前記ウォームと、
    前記第一駆動リンクにおいて前記第一基端側回転支点に前記第二水平方向の軸線回りに回転可能に設けられ、前記ウォームに噛み合う第一ウォームホイールと、
    前記第二駆動リンクにおいて前記第二基端側回転支点に前記第二水平方向の軸線回りに回転可能に設けられ、前記ウォームに噛み合う第二ウォームホイールと、
    を備える、請求項1〜3の何れか一項に記載の搬送装置
  5. 前記ウォームの進み角は、前記第一ウォームホイールおよび前記第二ウォームホイールの少なくとも一方の回転に伴って当該ウォームホイールから前記ウォームへの動力が伝達される場合に、前記ウォームを回転させる進み角に設定される、請求項に記載の搬送装置
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