JP2021160117A5

JP2021160117A5 -

Info

Publication number: JP2021160117A5
Application number: JP2020061864A
Authority: JP
Filing date: 2020-03-31
Publication date: 2022-10-07

Claims

基材と、金属皮膜を二層以上積層した皮膜積層部とよりなる積層体であって、
隣接する前記金属皮膜の間に界面層を有し、
前記皮膜積層部は、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｃｏ、Ｗの少なくとも一つの元素を主成分である第一の金属元素と、前記第一の金属元素よりも凝集エネルギーが小さい金属元素である第二の金属元素とを含み、
前記界面層に含まれる前記第二の金属元素の含有比は、前記隣接する前記金属皮膜に含まれる前記第二の金属元素の含有比よりも多い、ことを特徴とする積層体。
請求項１に記載の積層体において、
前記第二の金属元素は、Ｃｕ、Ｓｎ、Ｚｎ、Ａｇ、Ｍｎ、Ｂｉ、Ｉｎ、Ｓｂから選ばれる少なくとも一つであることを特徴とする積層体。
請求項１または２に記載の積層体において、
前記第二の金属元素は、前記金属皮膜の析出電位よりも貴であることを特徴とする積層体。
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の積層体において、
前記第二の金属元素は、Ｃｕであることを特徴とする積層体。
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の積層体において、
前記界面層は、Ｓを含むことを特徴とする積層体。
請求項１乃至５のいずれか一項に記載の積層体において、
前記界面層の厚みは、１００ｎｍ以下であることを特徴とする積層体。
請求項１乃至６のいずれか一項に記載の積層体において、
前記界面層の厚みは、１０ｎｍ以下であることを特徴とする積層体。
請求項１乃至７のいずれか一項に記載の積層体において、
前記金属皮膜は、Ｎｉを含むことを特徴とする積層体。
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の積層体において、
前記金属皮膜は、さらにＰ、Ｂの少なくともいずれかを含むことを特徴とする積層体。
請求項１乃至９のいずれか一項に記載の積層体において、
前記金属皮膜は、結晶質であることを特徴とする積層体。
請求項１０に記載の積層体において、
前記金属皮膜中に析出している結晶は（１００）配向であることを特徴とする積層体。
請求項１０または１１に記載の積層体において、
前記金属皮膜中に析出している結晶の結晶子径は、１０ｎｍ以下であることを特徴とする積層体。
請求項１乃至１２のいずれか一項に記載の積層体において、
前記金属皮膜の厚みは、８ｎｍ以上５００ｎｍ以下であることを特徴とする積層体。
請求項１乃至１３のいずれか一項に記載の積層体において、
前記基材の主成分は銅であることを特徴とする積層体。
請求項１に記載の積層体の製造方法であって、
複数回の前記金属皮膜のめっき処理ステップを有し、前記めっき処理ステップの間にめっき処理停止ステップを有することを特徴とする積層体の製造方法。
少なくとも金属塩と、錯化剤と，pH調整剤、支持塩、添加剤、を含むめっき液であって、
前記金属塩には、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｃｏ、Ｗから選ばれる少なくとも一つの元素が含まれ、
且つ前記元素よりも凝集エネルギーの小さい金属元素が含まれることを特徴とするめっき液。
請求項１６に記載のめっき液であって、
前記凝集エネルギーの小さい金属元素を含む金属塩は、Ｃｕ、Ｓｎ、Ｚｎ、Ａｇ、Ｍｎ、Ｂｉ、Ｉｎ、Ｓｂから選ばれる少なくとも一つを含む金属塩であることを特徴とするめっき液。
請求項１６または１７に記載のめっき液であって、
前記凝集エネルギーの小さい金属元素を含む金属塩は、Ｃｕを含む金属塩であることを特徴とするめっき液。
請求項１６乃至１８のいずれか一項に記載のめっき液であって、
前記めっき液は、Ｎｉを含む金属塩と、Ｃｕを含む金属塩と、リン含有化合物と、硫黄含有化合物とを含むことを特徴とするめっき液。
請求項１６乃至１９のいずれか一項に記載のめっき液であって、
前記めっき液は、Ｎｉを含む金属塩と、Ｃｕを含む金属塩と、ホスホン酸と、サッカリンとを含むことを特徴とするめっき液。
請求項１６乃至２０のいずれか一項に記載のめっき液であって、
前記めっき液におけるＣｕを含む金属塩の濃度が、硫酸銅五水和物換算で、０．０２ｍｇ／Ｌ以下であることを特徴とするめっき液。