JP2021158317A - 半導体装置 - Google Patents

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真也 疋田
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真也 疋田
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Abstract

【課題】実装信頼性を高くできる半導体装置を提供する。【解決手段】半導体装置A1において、半導体素子3と、半導体素子3を覆い、z方向視矩形状である封止樹脂5と、各々の一部が封止樹脂5から露出する複数のリード1とを備えた。封止樹脂5は、z方向において互いに反対側を向く樹脂主面51および樹脂裏面52と、樹脂主面51および樹脂裏面52に各々がつながる4個の樹脂側面53とを備えている。複数のリード1は、互いにつながる2個の樹脂側面53である樹脂側面531および樹脂側面532の両方に最も近い位置に配置され、かつ、樹脂裏面52から露出する裏面112を有する第1コーナーリード11を含んでいる。裏面112は、本体部112aと、本体部112aから樹脂側面531まで延び、かつ、樹脂側面532から離間する側面側延伸部112bと、本体部112aから樹脂裏面52の中央側に延びる中央側延伸部112cとを備えている。【選択図】図6

Description

本開示は、半導体装置に関する。
複数のリードと半導体素子とが、いわゆるフリップチップの形態で接合された半導体装置が提案されている。特許文献1には、複数の電極が配置された主面を有する半導体素子と、複数のリードと、封止樹脂とを備える半導体装置が開示されている。当該半導体装置において、半導体素子は主面を複数のリードに向けて配置されており、各電極は複数のリードのいずれかに接合されている。つまり、半導体素子は、いわゆるフリップチップ接合によって、複数のリードに搭載されている。封止樹脂は、半導体素子と、各リードの一部とを覆っている。このような半導体装置は、各電極と各リードとをワイヤで導通させる半導体装置と比較して、導通経路の抵抗を抑制でき、また、低背化が可能である。さらに、平面視において、封止樹脂の外形の大きさが同じ場合、より大きい半導体素子を搭載することができ、同じ半導体素子を搭載する場合、封止樹脂の外形を小さくすることが可能である。
しかしながら、フリップチップ接合による半導体装置は、配線基板に実装された場合、各リードと配線基板とを接合するはんだへの応力が大きい。したがって、実装信頼性が低いことが問題になる場合がある。フリップチップ接合による半導体装置は、平面視において、封止樹脂の側面の近くまで半導体素子が位置する。したがって、封止樹脂の側面付近の実装部近傍部分において、半導体素子の材料であるSiの占有率が高い。よって、当該部分における線膨張係数は、ワイヤボンディングによる半導体装置と比較して小さい。これにより、配線基板と半導体装置との線膨張係数の違いにより生じるはんだへの応力が大きくなる。当該応力の問題は、実装面積が小さく、角に位置するリードにおいて、特に顕著である。なお、この問題は、フリップチップ接合による半導体装置に限るものではない。ワイヤボンディングによる半導体装置においても、実装面積が小さく、角に位置するリードにおいて、はんだへの応力によって、実装信頼性が低くなることが問題になる場合がある。
特開2013−138261号公報
本開示は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、実装信頼性を高くできる半導体装置を提供することをその課題とする。
本開示によって提供される半導体装置は、半導体素子と、前記半導体素子を覆い、厚さ方向視矩形状である封止樹脂と、各々の一部が前記封止樹脂から露出する複数のリードとを備え、前記封止樹脂は、前記厚さ方向において互いに反対側を向く樹脂主面および樹脂裏面と、前記樹脂主面および前記樹脂裏面に各々がつながる4個の樹脂側面と、を備え、前記複数のリードは、互いにつながる2個の前記樹脂側面である第1樹脂側面および第2樹脂側面の両方に最も近い位置に配置され、かつ、前記樹脂裏面から露出する第1裏面を有する第1コーナーリードを含み、前記第1裏面は、本体部と、前記本体部から前記第1樹脂側面まで延び、かつ、前記第2樹脂側面から離間する第1側面側延伸部と、前記本体部から前記樹脂裏面の中央側に延びる中央側延伸部とを備えている。
本開示によれば、第1コーナーリードの第1裏面は、本体部から樹脂裏面の中央側に延びる中央側延伸部を備えている。中央側延伸部を備えていない場合と比較して、第1コーナーリードの接合面の面積は広くなる。したがって、第1コーナーリードの接合強度が向上されて、実装信頼性が高くなる。また、中央側延伸部は、第1側面側延伸部とは異なる方向に延びているので、はんだへの応力が分散される。これにより、応力によるはんだの歪みが減少して、実装信頼性が高くなる。
本開示のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。
本開示の第1実施形態に係る半導体装置を示す斜視図である。 図1の半導体装置を示す平面図であり、封止樹脂を透過した図である。 図1の半導体装置を示す平面図であり、さらに半導体素子を透過した図である。 図1の半導体装置を示す底面図である。 図2のV−V線に沿う断面図である。 図2のVI−VI線に沿う断面図である。 本開示の第2実施形態に係る半導体装置を示す底面図である。 本開示の第3実施形態に係る半導体装置を示す底面図である。 本開示の第4実施形態に係る半導体装置を示す底面図である。 本開示の第5実施形態に係る半導体装置を示す平面図である。 図10の半導体装置を示す断面図である。 本開示の第6実施形態に係る半導体装置を示す平面図である。 図12の半導体装置を示す断面図である。 本開示の第7実施形態に係る半導体装置を示す平面図である。 図14のXV−XV線に沿う断面図である。 本開示の第8実施形態に係る半導体装置を示す底面図である。
以下、本開示の好ましい実施の形態を、添付図面を参照して具体的に説明する。
本開示において、「ある物Aがある物Bに形成されている」および「ある物Aがある物B上に形成されている」とは、特段の断りのない限り、「ある物Aがある物Bに直接形成されていること」、および、「ある物Aとある物Bとの間に他の物を介在させつつ、ある物Aがある物Bに形成されていること」を含む。同様に、「ある物Aがある物Bに配置されている」および「ある物Aがある物B上に配置されている」とは、特段の断りのない限り、「ある物Aがある物Bに直接配置されていること」、および、「ある物Aとある物Bとの間に他の物を介在させつつ、ある物Aがある物Bに配置されていること」を含む。同様に、「ある物Aがある物B上に位置している」とは、特段の断りのない限り、「ある物Aがある物Bに接して、ある物Aがある物B上に位置していること」、および、「ある物Aとある物Bとの間に他の物が介在しつつ、ある物Aがある物B上に位置していること」を含む。また、「ある物Aがある物Bにある方向に見て重なる」とは、特段の断りのない限り、「ある物Aがある物Bのすべてに重なること」、および、「ある物Aがある物Bの一部に重なること」を含む。
<第1実施形態>
図1〜図6は、本開示に係る半導体装置の一例を示している。本実施形態の半導体装置A1は、複数のリード1、半導体素子3、および封止樹脂5を備えている。半導体装置A1は、いわゆるQFN(Quad Flat Non-leaded package)タイプのパッケージである。
図1は、半導体装置A1を示す斜視図である。図2は、半導体装置A1を示す平面図であり、封止樹脂5を透過した図である。図3は、半導体装置A1を示す平面図であり、さらに半導体素子3を透過した図である。図4は、半導体装置A1を示す底面図である。図5は、図2のV−V線に沿う断面図である。図6は、図2のVI−VI線に沿う断面図である。図2および図3においては、理解の便宜上、封止樹脂5を透過して、封止樹脂5の外形を想像線(二点鎖線)で示している。また、図3においては、理解の便宜上、半導体素子3を透過して、半導体素子3の外形を想像線(二点鎖線)で示している。
半導体装置A1は、板状であり、厚さ方向視(平面視)の形状が矩形状である。説明の便宜上、半導体装置A1の厚さ方向(平面視方向)をz方向とし、z方向に直交する半導体装置A1の一方の辺に沿う方向(図2〜図6における左右方向)をx方向、z方向およびx方向に直交する方向(図2〜図4における上下方向)をy方向とする。z方向が本開示の「厚さ方向」に相当する。半導体装置A1の大きさは特に限定されない。本実施形態においては、たとえば、x方向寸法およびy方向寸法が3.5mm程度、z方向寸法が1mm程度である。
封止樹脂5は、半導体素子3の全体と、複数のリード1の各々の一部とを覆っている。封止樹脂5は、たとえば黒色のエポキシ樹脂を含む材料からなる。なお、封止樹脂5の材料は限定されない。封止樹脂5は、z方向視矩形状であり、樹脂主面51、樹脂裏面52、および4個の樹脂側面53を備えている。樹脂主面51および樹脂裏面52は、z方向において互いに反対側を向いている。樹脂主面51は、図5および図6の上方を向く面である。樹脂裏面52は、図5および図6の下方を向く面である。
各樹脂側面53は、各々が樹脂主面51および樹脂裏面52につながる面である。各樹脂側面53は、それぞれx方向またはy方向を向いている。本実施形態では、x方向の一方側(図2〜図6における左側)を向く樹脂側面53を樹脂側面531とし、x方向の他方側(図2〜図6における右側)を向く樹脂側面53を樹脂側面534とする。また、y方向の一方側(図2および図3における上側)を向く樹脂側面53を樹脂側面532とし、y方向の他方側(図2および図3における下側)を向く樹脂側面53を樹脂側面533とする。
複数のリード1は、金属からなり、好ましくはCuおよびNiのいずれか、またはこれらの合金や42アロイなどからなる。本実施形態においては、複数のリード1が、Cuからなる場合を例に説明する。各リード1の厚さは、たとえば0.08〜0.5mmであり、本実施形態においては0.125mm〜0.2mm程度である。各リード1は、たとえば、金属板にエッチング加工を施すことで形成されている。なお、各リード1は、金属板に打ち抜き加工や折り曲げ加工等を施すことにより形成されてもよい。各リード1は、互いに離間して配置されている。本実施形態では、複数のリード1は、各々が半導体素子3を支持しており、半導体素子3のいずれかの電極に導通している。複数のリード1は、第1コーナーリード11、第2コーナーリード12、リード15、2個のリード16、および複数のリード17を含んでいる。
リード15は、図3に示すように、z方向視において、半導体装置A1のx方向の他方側(図3においては右側)端部に配置され、半導体装置A1のy方向の両端部まで広がっている。リード15は、主面151、裏面152、および複数の端面153を備えている。主面151および裏面152は、z方向において互いに反対側を向いている。
主面151は、図5および図6の上方を向く面である。主面151には、半導体素子3が載置される。また、主面151には、主面151からz方向に凹む凹部151aが複数配置されている。理解の便宜上、図2および図3においては、凹部151aにハッチングを付している。凹部151aは、たとえば主面151側からのハーフエッチング処理によって形成され、エッチングされた部分からなる。一方、エッチングされなかった部分が、主面151になる。凹部151aは、半導体素子3のz方向視における位置決めに利用される。図5および図6に示された凹部151aは、正方形を含む矩形であってもよく、線分状または曲線状に延びる溝であってもよい。凹部151aは、半導体素子3のz方向視における位置決め(xy平面における位置決め)に利用される。加えて、凹部151aの内側面と封止樹脂5とが密着することによって、複数のリード1と封止樹脂5との密着性が向上する。主面151に形成された凹部151aに関する上述した説明は、後述する他の主面(161,111,121,171)における凹部(161a,111a,121a,171a)についても同様である。
裏面152は、図5および図6の下方を向く面である。図4に示すように、裏面152は、封止樹脂5の樹脂裏面52から露出して、裏面端子になる。本実施形態では、裏面152は、樹脂裏面52と面一である。本実施形態では、裏面152が主面151より狭くなっている。リード15のうちz方向視において主面151が裏面152に重ならない部分は、たとえば裏面152側からのハーフエッチング処理によって形成され、封止樹脂5の内部(図5および図6における樹脂裏面52から上側の部分)においてxy平面に沿って突出する。この突出する部分は、リード15が封止樹脂5の樹脂裏面52から抜け落ちることを投錨効果(anchoring effect)によって防止する。
複数の端面153は、各々が、主面151および裏面152につながる面であり、主面151および裏面152に直交している。各端面153は、封止樹脂5から露出して、半導体装置A1を配線基板に実装するための端子になる。本実施形態では、6個の端面153が、x方向外側を向いており、樹脂側面534に、y方向に等間隔で並んで配置されている。これら6個の端面153は、樹脂側面534と面一である。また、2個の端面153が、y方向の一方側(図3においては上側)を向いており、樹脂側面532に、x方向に並んで配置されている。これら2個の端面153は、樹脂側面532と面一である。また、2個の端面153が、y方向の他方側(図3においては下側)を向いており、樹脂側面533に、x方向に並んで配置されている。これら2個の端面153は、樹脂側面533と面一である。
2個のリード16は、図3に示すように、z方向視において、半導体装置A1のx方向の中央付近に、x方向に並んで配置され、各々が半導体装置A1のy方向の両端部まで広がっている。各リード16は、主面161、裏面162、および複数の端面163を備えている。主面161および裏面162は、z方向において互いに反対側を向いている。
主面161は、図5および図6の上方を向く面である。主面161には、半導体素子3が載置される。また、主面161には、主面161からz方向に凹む凹部161aが複数配置されている。理解の便宜上、図2および図3においては、凹部161aにハッチングを付している。凹部161aは、たとえば主面161側からのハーフエッチング処理によって形成され、エッチングされた部分からなる。一方、エッチングされなかった部分が、主面161になる。凹部161aは、半導体素子3のz方向視における位置決めに利用される。
裏面162は、図5および図6の下方を向く面である。図4に示すように、裏面162は、封止樹脂5の樹脂裏面52から露出して、裏面端子になる。本実施形態では、裏面162は、樹脂裏面52と面一である。本実施形態では、裏面162が主面161より狭くなっている。リード16のうちz方向視において主面161が裏面162に重ならない部分は、たとえば裏面162側からのハーフエッチング処理によって形成され、リード16が封止樹脂5の樹脂裏面52から抜け落ちることを投錨効果によって防止する。
複数の端面163は、各々が、主面161および裏面162につながる面であり、主面161および裏面162に直交している。各端面163は、封止樹脂5から露出して、半導体装置A1を配線基板に実装するための端子になる。本実施形態では、各リード16においてそれぞれ1個(半導体装置A1全体としては2個)の端面163が、y方向の一方側(図3においては上側)を向いており、樹脂側面532に配置されている。当該端面163は、樹脂側面532と面一である。また、各リード16においてそれぞれ1個(半導体装置A1全体としては2個)の端面163が、y方向の他方側(図3においては下側)を向いており、樹脂側面533に配置されている。当該端面163は、樹脂側面533と面一である。
第1コーナーリード11は、図3に示すように、z方向視において、半導体装置A1のx方向の一方側(図3においては左側)端部で、かつ、y方向の一方側(図3においては上側)端部である角部に配置されている。つまり、第1コーナーリード11は、樹脂側面531および樹脂側面532の両方に最も近い位置に配置されている。第1コーナーリード11は、主面111、裏面112、および複数の端面113を備えている。主面111および裏面112は、z方向において互いに反対側を向いている。
主面111は、図5および図6の上方を向く面である。主面111には、半導体素子3が載置される。また、主面111には、主面111からz方向に凹む凹部111aが複数配置されている。理解の便宜上、図2および図3においては、凹部111aにハッチングを付している。凹部111aは、たとえば主面111側からのハーフエッチング処理によって形成され、エッチングされた部分からなる。一方、エッチングされなかった部分が、主面111になる。凹部111aは、半導体素子3のz方向視における位置決めに利用される。
裏面112は、図5および図6の下方を向く面である。図4に示すように、裏面112は、封止樹脂5の樹脂裏面52から露出して、裏面端子になる。本実施形態では、裏面112は、樹脂裏面52と面一である。本実施形態では、裏面112が主面111より狭くなっている。第1コーナーリード11のうちz方向視において主面111が裏面112に重ならない部分は、たとえば裏面112側からのハーフエッチング処理によって形成され、第1コーナーリード11が封止樹脂5の樹脂裏面52から抜け落ちることを投錨効果によって防止する。
裏面112は、図4に示すように、本体部112a、2個の側面側延伸部112b、および中央側延伸部112cを備えている。本体部112aは、裏面112の略中央に位置する部分である。2個の側面側延伸部112bは、各々が、本体部112aから樹脂側面53まで延び、端面113につながる部分である。一方の側面側延伸部112bは、本体部112aから樹脂側面531まで延び、樹脂側面532から離間している。他方の側面側延伸部112bは、本体部112aから樹脂側面532まで延び、樹脂側面531から離間している。中央側延伸部112cは、本体部112aから樹脂裏面52の中央側に延びている。つまり、裏面112は、本体部112aから3方向に広がっている。
複数の端面113は、各々が、主面111および裏面112につながる面であり、主面111および裏面112に直交している。各端面113は、封止樹脂5から露出して、半導体装置A1を配線基板に実装するための端子になる。本実施形態では、1個の端面113が、x方向外側を向いており、樹脂側面531に配置されている。当該端面113は、樹脂側面531と面一である。また、1個の端面113が、y方向外側を向いており、樹脂側面532に配置されている。当該端面113は、樹脂側面532と面一である。
第2コーナーリード12は、図3に示すように、z方向視において、半導体装置A1のx方向の一方側(図3においては左側)端部で、かつ、y方向の他方側(図3においては下側)端部である角部に配置されている。つまり、第2コーナーリード12は、樹脂側面531および樹脂側面533の両方に最も近い位置に配置されている。第2コーナーリード12は、主面121、裏面122、および複数の端面123を備えている。主面121および裏面122は、z方向において互いに反対側を向いている。
主面121は、図5および図6の上方を向く面である。主面121には、半導体素子3が載置される。また、主面121には、主面121からz方向に凹む凹部121aが複数配置されている。理解の便宜上、図2および図3においては、凹部121aにハッチングを付している。凹部121aは、たとえば主面121側からのハーフエッチング処理によって形成され、エッチングされた部分からなる。一方、エッチングされなかった部分が、主面121になる。凹部121aは、半導体素子3のz方向視における位置決めに利用される。
裏面122は、図5および図6の下方を向く面である。図4に示すように、裏面122は、封止樹脂5の樹脂裏面52から露出して、裏面端子になる。本実施形態では、裏面122は、樹脂裏面52と面一である。本実施形態では、裏面122が主面121より狭くなっている。第2コーナーリード12のうちz方向視において主面121が裏面122に重ならない部分は、たとえば裏面122側からのハーフエッチング処理によって形成され、第2コーナーリード12が封止樹脂5の樹脂裏面52から抜け落ちることを投錨効果によって防止する。
裏面122は、図4に示すように、本体部122a、2個の側面側延伸部122b、および中央側延伸部122cを備えている。本体部122aは、裏面122の略中央に位置する部分である。2個の側面側延伸部122bは、各々が、本体部122aから樹脂側面53まで延び、端面123につながる部分である。一方の側面側延伸部122bは、本体部122aから樹脂側面531まで延び、樹脂側面533から離間している。他方の側面側延伸部122bは、本体部122aから樹脂側面533まで延び、樹脂側面531から離間している。中央側延伸部122cは、本体部122aから樹脂裏面52の中央側に延びている。つまり、裏面122は、本体部122aから3方向に広がっている。
複数の端面123は、各々が、主面121および裏面122につながる面であり、主面121および裏面122に直交している。各端面123は、封止樹脂5から露出して、半導体装置A1を配線基板に実装するための端子になる。本実施形態では、1個の端面123が、x方向外側を向いており、樹脂側面531に配置されている。当該端面123は、樹脂側面531と面一である。また、1個の端面123が、y方向外側を向いており、樹脂側面533に配置されている。当該端面123は、樹脂側面533と面一である。
複数のリード17は、図3に示すように、z方向視において、半導体装置A1のx方向の一方側(図3においては左側)端部に配置されている。本実施形態では、4個のリード17が、第1コーナーリード11と第2コーナーリード12との間に、y方向に並んで配置されている。また、第1コーナーリード11とリード16との間、および、第2コーナーリード12とリード16との間に、それぞれリード17が1個ずつ配置されている。各リード17は、主面171、裏面172、および端面173を備えている。主面171および裏面172は、z方向において互いに反対側を向いている。
主面171は、図5および図6の上方を向く面である。主面171には、半導体素子3が載置される。また、主面171には、主面171からz方向に凹む凹部171aが配置されている。理解の便宜上、図2および図3においては、凹部171aにハッチングを付している。凹部171aは、たとえば主面171側からのハーフエッチング処理によって形成され、エッチングされた部分からなる。一方、エッチングされなかった部分が、主面171になる。凹部171aは、半導体素子3のz方向視における位置決めに利用される。
裏面172は、図5および図6の下方を向く面である。図4に示すように、裏面172は、封止樹脂5の樹脂裏面52から露出して、裏面端子になる。本実施形態では、裏面172は、樹脂裏面52と面一である。本実施形態では、裏面172が主面171より狭くなっている。リード17のうちz方向視において主面171が裏面172に重ならない部分は、たとえば裏面172側からのハーフエッチング処理によって形成され、リード17が封止樹脂5の樹脂裏面52から抜け落ちることを投錨効果によって防止する。
端面173は、主面171および裏面172につながる面であり、主面171および裏面172に直交している。端面173は、封止樹脂5から露出して、半導体装置A1を配線基板に実装するための端子になる。第1コーナーリード11と第2コーナーリード12との間に配置された各リード17の端面173は、x方向外側を向いており、樹脂側面531に、y方向に等間隔で並んで配置されている。これらの端面173は、樹脂側面531と面一である。第1コーナーリード11とリード16との間に配置されたリード17の端面173は、y方向の一方側(図3においては上側)を向いており、樹脂側面532に配置されている。当該端面173は、樹脂側面532と面一である。第2コーナーリード12とリード16との間に配置されたリード17の端面173は、y方向の他方側(図3においては下側)を向いており、樹脂側面533に配置されている。当該端面173は、樹脂側面533と面一である。
なお、各リード1は、凹部151a(161a,171a,111a,121a)が形成されなくてもよい。また、各リード15〜17の数、形状、および配置は限定されない。
半導体素子3は、半導体装置A1の電気的機能を発揮する要素である。半導体素子3の種類は特に限定さないが、各種の集積回路素子や能動機能素子、受動機能素子等が適宜選択される。本実施形態においては、半導体素子3は、図2に示すようにz方向視矩形状であり、図5および図6に示すように板状である。半導体素子3は、素子主面31、素子裏面32、および複数の主面電極33を備えている。素子主面31および素子裏面32は、z方向において互いに反対側を向いている。素子主面31は、図5および図6の下方を向く面である。素子裏面32は、図5および図6の上方を向く面である。複数の主面電極33は、素子主面31に配置されている。なお、各主面電極33の数、形状、および配置は限定されない。
半導体素子3は、いわゆるフリップチップ接合によって、複数のリード1に搭載されている。すなわち、半導体素子3は、素子主面31を複数のリード1に向けて配置されている。各主面電極33は、接合部材4によって、複数のリード1のいずれかに接合されている。接合部材4は、導電性を有する一般的な接合部材からなる。これにより、各主面電極33は、複数のリード1のいずれかに導通している。理解の便宜上、図3においては、接合部材4に点描を付している。なお、接合部材4の材料、および配置位置は限定されない。
図5において、右から順に示されている1個のリード15の主面151および2個のリード16の各主面161には、半導体素子3の主面電極33と接合部材4とが描かれていない。図5においては、右から順に示されている1個の主面151および2個の主面161付近における図の手前側に、それぞれ、主面電極33と接合部材4とが存在する。このことは、図2に示されたV−V線と、図3と、図5とを対比することによって理解される。図6における右から2番目のリード16の主面161付近においても、図の手前側および向こう側に主面電極33と接合部材4とが存在する。このことは、図2に示されたVI−VI線と、図3と、図6とを対比することによって理解される。同様に、図11および図13におけるリード15の主面151および2個のリード16の各主面161付近においても、図の手前側に主面電極33と接合部材4とが存在する。
図2に示すように、半導体素子3は、z方向視において、半導体装置A1の中央に配置されている。z方向視において、半導体素子3の大きさは大きく、半導体素子3は、半導体装置A1の大部分に重なっている。つまり、半導体装置A1の各端縁付近まで、半導体素子3が存在する。本実施形態では、半導体素子3は、z方向視において、第1コーナーリード11の裏面112の本体部112aおよび中央側延伸部112c、ならびに、第2コーナーリード12の裏面122の本体部122aおよび中央側延伸部122cに重なっている。なお、半導体素子3は、z方向視において、さらに側面側延伸部112bおよび側面側延伸部122bにも重なってもよい。また、半導体素子3は、z方向視において、第1コーナーリード11の裏面112においては中央側延伸部112cのみに重なり、第2コーナーリード12の裏面122においては中央側延伸部112cのみに重なってもよい。
半導体装置A1は、配線基板に実装される。配線基板は、たとえばガラスエポキシ樹脂からなる基材に、たとえばCuからなる配線パターンを形成した基板である。なお、基材および配線パターンの材料は限定されない。半導体装置A1は配線基板に実装され、各リード1の封止樹脂5から露出した面が端子として、配線基板に形成された配線パターンに、はんだによって接合される。
次に、半導体装置A1の作用効果について説明する。
本実施形態によると、半導体装置A1の角部に配置された第1コーナーリード11は、樹脂裏面52から露出する裏面112を備えている。当該裏面112は、本体部112aから樹脂側面53まで延びる2個の側面側延伸部112bに加えて、本体部112aから樹脂裏面52の中央側に延びる中央側延伸部112cを備えている。したがって、中央側延伸部112cを備えていない場合と比較して、第1コーナーリード11の接合面の面積は広くなる。これにより、第1コーナーリード11の接合強度が向上されて、半導体装置A1の実装信頼性が高くなる。また、中央側延伸部112cは、2個の側面側延伸部112bがそれぞれ延びる方向とは異なる方向に延びている。したがって、第1コーナーリード11を接合するはんだへの応力が分散される。これにより、応力によるはんだの歪みが減少して、半導体装置A1の実装信頼性が高くなる。第2コーナーリード12についても同様である。
また、本実施形態によると、第1コーナーリード11の裏面112は、本体部112aから樹脂側面531まで延び、かつ、樹脂側面532から離間する側面側延伸部112bと、本体部112aから樹脂側面532まで延び、かつ、樹脂側面531から離間する側面側延伸部112bとを備えている。したがって、側面側延伸部112bを1個だけ備える場合と比較して、第1コーナーリード11の接合面の面積は広くなる。これにより、第1コーナーリード11の接合強度が向上されて、半導体装置A1の実装信頼性が高くなる。また、一方の側面側延伸部112bは、他方の側面側延伸部112bが延びる方向とは異なる方向に延びている。したがって、第1コーナーリード11を接合するはんだへの応力が分散される。これにより、応力によるはんだの歪みが減少して、半導体装置A1の実装信頼性が高くなる。第2コーナーリード12についても同様である。
また、本実施形態によると、半導体素子3は、いわゆるフリップチップ接合によって、複数のリード1に搭載されている。したがって、各主面電極33と各リード1とをワイヤで導通させる半導体装置と比較して、導通経路の抵抗を抑制でき、また、低背化が可能である。さらに、平面視において、封止樹脂5の外形の大きさが同じ場合、より大きい半導体素子3を搭載することができ、同じ半導体素子3を搭載する場合、封止樹脂5の外形を小さくすることが可能である。
また、本実施形態によると、半導体装置A1は、はんだを使用する接合によって、配線基板が有する配線パターンに実装される。各端面153、113、123、163、173にははんだが形成される。各はんだは、各端面153、113、123、163、173の全面に形成され、それらの端面に直交する方向に沿って各配線パターンの表面に向かって裾を引く形状を有する。裾を引く形状を有するはんだの部分をはんだフィレットと呼ぶ。はんだフィレットによって、半導体装置A1の各端面153、113、123、163、173は複数の配線パターンにそれぞれ強固に接続される。このことによって、半導体装置A1の実装信頼性が高くなる。以上の説明は、後述する各実施形態においても共通する。
図7〜図16は、本開示の他の実施形態を示している。なお、これらの図において、上記実施形態と同一または類似の要素には、上記実施形態と同一の符号を付している。
<第2実施形態>
図7は、本開示の第2実施形態に係る半導体装置A2を説明するための図である。図7は、半導体装置A2を示す底面図であり、図4に対応する図である。本実施形態の半導体装置A2は、第1コーナーリード11の裏面112および第2コーナーリード12の裏面122の形状が、第1実施形態と異なっている。
半導体装置A2の第1コーナーリード11の裏面112は、2個の再延伸部112dをさらに備えている。2個の再延伸部112dは、中央側延伸部112cの先端から、中央側延伸部112cが延びる方向とは異なる方向(本実施形態では直交する方向)で、互いに反対側に延びている。また、半導体装置A2の第2コーナーリード12の裏面122は、2個の再延伸部122dをさらに備えている。2個の再延伸部122dは、中央側延伸部122cの先端から、中央側延伸部122cが延びる方向とは異なる方向(本実施形態では直交する方向)で、互いに反対側に延びている。
本実施形態によると、第1コーナーリード11の裏面112は、中央側延伸部112cにさらに加えて、2個の再延伸部112dを備えている。したがって、第1コーナーリード11の接合面の面積はさらに広くなる。これにより、第1コーナーリード11の接合強度がさらに向上されて、半導体装置A1の実装信頼性がさらに高くなる。また、2個の再延伸部112dは、中央側延伸部112cの先端から、中央側延伸部112cに直交する方向で、互いに反対側に延びている。したがって、第1コーナーリード11を接合するはんだへの応力がさらに分散される。これにより、応力によるはんだの歪みがさらに減少して、半導体装置A1の実装信頼性がさらに高くなる。第2コーナーリード12についても同様である。
なお、本実施形態では、第1コーナーリード11の裏面112が2個の再延伸部112dを備えている場合について説明したが、これに限られない。再延伸部112dは、1個であってもよいし、3個以上であってもよい。また、本実施形態では、再延伸部112dが中央側延伸部112cの先端から延びる場合について説明したが、これに限られない。再延伸部112dは、中央側延伸部112cの途中から延びてもよい。また、再延伸部112dが延びる方向は、中央側延伸部112cが延びる方向に直交する方向に限られない。第2コーナーリード12についても同様である。
<第3実施形態>
図8は、本開示の第3実施形態に係る半導体装置A3を説明するための図である。図8は、半導体装置A3を示す底面図であり、図4に対応する図である。本実施形態の半導体装置A3は、第2コーナーリード12を備えていない点で、第1実施形態と異なっている。
半導体装置A3は、リード18を備えている。リード18は、z方向視において、半導体装置A3のx方向の一方側(図8においては左側)端部で、かつ、y方向の他方側(図8においては上側)端部である角部に配置されている。リード18は、樹脂側面531および樹脂側面533の両方に最も近い位置に、半導体装置A1に係る第2コーナーリード12およびこれに隣接する2個のリード17に代えて、配置されている。リード18は、主面181、裏面182、および複数の端面183を備えている。
主面181および裏面182は、z方向において互いに反対側を向いている。裏面182は、封止樹脂5の樹脂裏面52から露出して、裏面端子になる。本実施形態では、裏面182は、樹脂裏面52と面一である。本実施形態では、裏面182が主面181より狭くなっている。リード18のうちz方向視において主面181が裏面182に重ならない部分は、たとえば裏面182側からのハーフエッチング処理によって形成され、リード18が封止樹脂5の樹脂裏面52から抜け落ちることを投錨効果によって防止する。
複数の端面183は、各々が、主面181および裏面182につながる面であり、主面181および裏面182に直交している。各端面183は、封止樹脂5から露出して、半導体装置A3を配線基板に実装するための端子になる。本実施形態では、2個の端面183が、x方向外側を向いており、樹脂側面531にy方向に並んで配置されている。これら2個の端面183は、樹脂側面531と面一である。また、2個の端面183が、y方向の外側を向いており、樹脂側面533に、x方向に並んで配置されている。これら2個の端面183は、樹脂側面533と面一である。
本実施形態においても、第1コーナーリード11は第1実施形態に係る半導体装置A1の第1コーナーリード11と同様の形状なので、第1コーナーリード11の接合強度が向上されて、半導体装置A3の実装信頼性が高くなる。また、第1コーナーリード11を接合するはんだへの応力が分散されるので、応力によるはんだの歪みが減少して、半導体装置A3の実装信頼性が高くなる。
また、本実施形態によると、リード18の裏面182は、第1実施形態に係る半導体装置A1の第2コーナーリード12の裏面122よりも、広い接合面を有する。これにより、リード18の接合強度が向上されて、半導体装置A3の実装信頼性が高くなる。また、リード18の裏面182における樹脂裏面52の中央寄りに位置する部分(図8では右側および下側の端部)は、半導体装置A1の第2コーナーリード12の場合よりも樹脂裏面52の内側に入り込んでいる。これにより、応力によるはんだの歪みが減少して、半導体装置A3の実装信頼性が高くなる。
<第4実施形態>
図9は、本開示の第4実施形態に係る半導体装置A4を説明するための図である。図9は、半導体装置A4を示す底面図であり、図4に対応する図である。本実施形態の半導体装置A4は、第3コーナーリード13および第4コーナーリード14をさらに備える点で、第1実施形態と異なっている。
半導体装置A4は、リード15に代えて、第3コーナーリード13、第4コーナーリード14、および6個のリード17を備えている。第3コーナーリード13は、z方向視において、半導体装置A4のx方向の他方側(図9においては右側)端部で、かつ、y方向の一方側(図9においては下側)端部である角部に配置されている。つまり、第3コーナーリード13は、樹脂側面532および樹脂側面534の両方に最も近い位置に配置されている。第3コーナーリード13は、主面131、裏面132、および複数の端面133を備えている。主面131および裏面132は、z方向において互いに反対側を向いている。
裏面132は、封止樹脂5の樹脂裏面52から露出して、裏面端子になる。本実施形態では、裏面132は、樹脂裏面52と面一である。本実施形態では、裏面132が主面131より狭くなっている。第3コーナーリード13のうちz方向視において主面131が裏面132に重ならない部分は、たとえば裏面132側からのハーフエッチング処理によって形成され、第3コーナーリード13が封止樹脂5の樹脂裏面52から抜け落ちることを投錨効果によって防止する。
裏面132は、本体部132a、2個の側面側延伸部132b、および中央側延伸部132cを備えている。本体部132aは、裏面132の略中央に位置する部分である。2個の側面側延伸部132bは、各々が、本体部132aから樹脂側面53まで延び、端面133につながる部分である。一方の側面側延伸部132bは、本体部132aから樹脂側面534まで延び、樹脂側面532から離間している。他方の側面側延伸部132bは、本体部132aから樹脂側面532まで延び、樹脂側面534から離間している。中央側延伸部132cは、本体部132aから樹脂裏面52の中央側に延びている。つまり、裏面132は、本体部132aから3方向に広がっている。
複数の端面133は、各々が、主面131および裏面132につながる面であり、主面131および裏面132に直交している。各端面133は、封止樹脂5から露出して、半導体装置A4を配線基板に実装するための端子になる。本実施形態では、1個の端面133が、x方向外側を向いており、樹脂側面534に配置されている。当該端面133は、樹脂側面534と面一である。また、1個の端面133が、y方向外側を向いており、樹脂側面532に配置されている。当該端面133は、樹脂側面532と面一である。
第4コーナーリード14は、z方向視において、半導体装置A4のx方向の他方側(図9においては右側)端部で、かつ、y方向の他方側(図9においては上側)端部である角部に配置されている。つまり、第4コーナーリード14は、樹脂側面533および樹脂側面534の両方に最も近い位置に配置されている。第4コーナーリード14は、主面141、裏面142、および複数の端面143を備えている。主面141および裏面142は、z方向において互いに反対側を向いている。
裏面142は、封止樹脂5の樹脂裏面52から露出して、裏面端子になる。本実施形態では、裏面142は、樹脂裏面52と面一である。本実施形態では、裏面142が主面141より狭くなっている。第4コーナーリード14のうちz方向視において主面141が裏面142に重ならない部分は、たとえば裏面142側からのハーフエッチング処理によって形成され、第4コーナーリード14が封止樹脂5の樹脂裏面52から抜け落ちることを投錨効果によって防止する。
裏面142は、本体部142a、2個の側面側延伸部142b、および中央側延伸部142cを備えている。本体部142aは、裏面142の略中央に位置する部分である。2個の側面側延伸部142bは、各々が、本体部142aから樹脂側面53まで延び、端面143につながる部分である。一方の側面側延伸部142bは、本体部142aから樹脂側面534まで延び、樹脂側面533から離間している。他方の側面側延伸部142bは、本体部142aから樹脂側面533まで延び、樹脂側面534から離間している。中央側延伸部142cは、本体部142aから樹脂裏面52の中央側に延びている。つまり、裏面142は、本体部142aから3方向に広がっている。
複数の端面143は、各々が、主面141および裏面142につながる面であり、主面141および裏面142に直交している。各端面143は、封止樹脂5から露出して、半導体装置A4を配線基板に実装するための端子になる。本実施形態では、1個の端面143が、x方向外側を向いており、樹脂側面534に配置されている。当該端面143は、樹脂側面534と面一である。また、1個の端面143が、y方向外側を向いており、樹脂側面533に配置されている。当該端面143は、樹脂側面533と面一である。
本実施形態においても、第1コーナーリード11および第2コーナーリード12は第1実施形態に係る半導体装置A1の第1コーナーリード11および第2コーナーリード12と同様の形状なので、第1実施形態と同様の効果を奏することができる。さらに、本実施形態によると、半導体装置A4の角部に配置された第3コーナーリード13は、樹脂裏面52から露出する裏面132を備えている。当該裏面132は、本体部132aから樹脂側面53まで延びる2個の側面側延伸部132bに加えて、本体部132aから樹脂裏面52の中央側に延びる中央側延伸部132cを備えている。したがって、中央側延伸部132cを備えていない場合と比較して、第3コーナーリード13の接合面の面積は広くなる。これにより、第3コーナーリード13の接合強度が向上されて、半導体装置A4の実装信頼性が高くなる。また、中央側延伸部132cは、2個の側面側延伸部132bがそれぞれ延びる方向とは異なる方向に延びている。したがって、第3コーナーリード13を接合するはんだへの応力が分散される。これにより、応力によるはんだの歪みが減少して、半導体装置A4の実装信頼性が高くなる。第4コーナーリード14についても同様である。
なお、本実施形態においては、半導体装置A4が第3コーナーリード13および第4コーナーリード14を備えている場合について説明したが、これに限られない。半導体装置A4は、第3コーナーリード13および第4コーナーリード14のいずれか一方のみを備えていてもよい。
<第5実施形態>
図10および図11は、本開示の第5実施形態に係る半導体装置A5を説明するための図である。図10は、半導体装置A5を示す平面図であり、図3に対応する図である。図11は、半導体装置A5を示す断面図であり、図5に対応する図である。本実施形態の半導体装置A5は、第1コーナーリード11および第2コーナーリード12が半導体素子3に接合されていない点で、第1実施形態と異なっている。
半導体装置A5の半導体素子3の素子主面31における、第1コーナーリード11および第2コーナーリード12に対向する位置には、主面電極33が配置されていない。第1コーナーリード11および第2コーナーリード12は、接合部材4が配置されておらず、半導体素子3の主面電極33に接合されていない。第1コーナーリード11および第2コーナーリード12は、半導体素子3に導通しておらず、半導体素子3とは絶縁されている。すなわち、第1コーナーリード11および第2コーナーリード12は、いわゆるダミーリードである。
本実施形態においても、第1コーナーリード11および第2コーナーリード12は第1実施形態に係る半導体装置A1の第1コーナーリード11および第2コーナーリード12と同様の形状なので、第1実施形態と同様の効果を奏することができる。
<第6実施形態>
図12および図13は、本開示の第6実施形態に係る半導体装置A6を説明するための図である。図12は、半導体装置A6を示す平面図であり、図3に対応する図である。図13は、半導体装置A6を示す断面図であり、図5に対応する図である。本実施形態の半導体装置A6は、第1コーナーリード11および第2コーナーリード12が、z方向視において、半導体素子3に重ならない点で、第1実施形態と異なっている。
半導体装置A6の第1コーナーリード11および第2コーナーリード12は、z方向視において、半導体素子3に重なっていない。また、第1コーナーリード11および第2コーナーリード12は、半導体素子3に導通しておらず、半導体素子3とは絶縁されている。すなわち、第1コーナーリード11および第2コーナーリード12は、いわゆるダミーリードである。
本実施形態においても、第1コーナーリード11および第2コーナーリード12は第1実施形態に係る半導体装置A1の第1コーナーリード11および第2コーナーリード12と同様の形状なので、第1実施形態と同様の効果を奏することができる。
<第7実施形態>
図14および図15は、本開示の第7実施形態に係る半導体装置A7を説明するための図である。図14は、半導体装置A7を示す平面図であり、図2に対応する図である。図15は、半導体装置A7を示す断面図であり、図14のXV−XV線に沿う断面図である。本実施形態の半導体装置A7は、半導体素子3のリード1への搭載方法が、第1実施形態と異なっている。
半導体装置A7は、リード16を備えておらず、リード15が半導体装置A7のx方向に広がっている。リード15は、z方向視において、半導体装置A7の半分以上を占めている。半導体素子3は、リード15の主面151の中央に搭載されている。具体的には、半導体素子3は、素子裏面32をリード15に向けて配置され、素子裏面32が、接合部材4によって、リード15の主面151に接合されている。接合部材4は、絶縁性の接合部材であってもよいし、導電性の接合部材であってもよい。素子裏面32をリード15から絶縁させる場合、接合部材4には、絶縁性の接合部材が用いられる。一方、素子裏面32に裏面電極が配置されており、当該裏面電極とリード15とを導通させる場合、接合部材4には、導電性の接合部材が用いられる。半導体素子3は、z方向視において、リード15のみに重なり、第1コーナーリード11、第2コーナーリード12、および複数のリード17には重なっていない。
半導体素子3の素子主面31に配置された複数の主面電極33は、ボンディングワイヤ41によって、第1コーナーリード11、第2コーナーリード12、リード15、および複数のリード17のいずれかに接続されている。ボンディングワイヤ41の材料は特に限定されず、Au、Al、Cu等が挙げられる。
本実施形態においても、第1コーナーリード11および第2コーナーリード12は第1実施形態に係る半導体装置A1の第1コーナーリード11および第2コーナーリード12と同様の形状なので、第1実施形態と同様の効果を奏することができる。
<第8実施形態>
図16は、本開示の第8実施形態に係る半導体装置A8を説明するための図である。図16は、半導体装置A8を示す底面図であり、図4に対応する図である。本実施形態の半導体装置A8は、第1コーナーリード11の裏面112および第2コーナーリード12の裏面122の形状が、第1実施形態と異なっている。
半導体装置A8の第1コーナーリード11の裏面112は、側面側延伸部112bを1個のみ備えている。すなわち、裏面112は、本体部112aから樹脂側面532まで延びる側面側延伸部112bを備えておらず、本体部112aから樹脂側面531まで延び、樹脂側面532から離間する側面側延伸部112bのみを備えている。また、半導体装置A8の第2コーナーリード12の裏面122は、側面側延伸部122bを1個のみ備えている。すなわち、裏面122は、本体部122aから樹脂側面533まで延びる側面側延伸部122bを備えておらず、本体部122aから樹脂側面531まで延び、樹脂側面533から離間する側面側延伸部122bのみを備えている。
本実施形態においても、第1コーナーリード11の裏面112は、側面側延伸部112bおよび中央側延伸部112cを備えている。したがって、中央側延伸部112cを備えていない場合と比較して、第1コーナーリード11の接合面の面積は広くなる。これにより、第1コーナーリード11の接合強度が向上されて、半導体装置A8の実装信頼性が高くなる。また、中央側延伸部112cは、側面側延伸部112bが延びる方向とは異なる方向に延びている。したがって、第1コーナーリード11を接合するはんだへの応力が分散される。これにより、応力によるはんだの歪みが減少して、半導体装置A8の実装信頼性が高くなる。第2コーナーリード12についても同様である。
なお、半導体装置A8の第1コーナーリード11の裏面112は、本体部112aから樹脂側面531まで延びる側面側延伸部112bを備えておらず、本体部112aから樹脂側面532まで延び、樹脂側面531から離間する側面側延伸部112bのみを備えていてもよい。また、半導体装置A8の第2コーナーリード12の裏面122は、本体部122aから樹脂側面531まで延びる側面側延伸部122bを備えておらず、本体部122aから樹脂側面533まで延び、樹脂側面531から離間する側面側延伸部122bのみを備えていてもよい。また、第1コーナーリード11および第2コーナーリード12のいずれか一方は、第1実施形態の場合と同様に、2個の側面側延伸部を備えていてもよい。
本実施形態においては、第1コーナーリード11または第2コーナーリード12の少なくとも一方が1つの側面側延伸部を有する構成を説明した。同様に、上述した各実施形態に含まれるコーナーリードにも、1つの側面側延伸部を有する構成を採用してもよい。
本開示に係る半導体装置は、先述した実施形態に限定されるものではない。本開示に係る半導体装置の各部の具体的な構成は、種々に設計変更自在である。
〔付記1〕
半導体素子と、
前記半導体素子を覆い、厚さ方向視矩形状である封止樹脂と、
各々の一部が前記封止樹脂から露出する複数のリードと、
を備え、
前記封止樹脂は、前記厚さ方向において互いに反対側を向く樹脂主面および樹脂裏面と、前記樹脂主面および前記樹脂裏面に各々がつながる4個の樹脂側面と、を備え、
前記複数のリードは、互いにつながる2個の前記樹脂側面である第1樹脂側面および第2樹脂側面の両方に最も近い位置に配置され、かつ、前記樹脂裏面から露出する第1裏面を有する第1コーナーリードを含み、
前記第1裏面は、本体部と、前記本体部から前記第1樹脂側面まで延び、かつ、前記第2樹脂側面から離間する第1側面側延伸部と、前記本体部から前記樹脂裏面の中央側に延びる中央側延伸部と、を備えている、
半導体装置。
〔付記2〕
前記第1裏面は、前記本体部から前記第2樹脂側面まで延び、かつ、前記第1樹脂側面から離間する第2側面側延伸部をさらに備えている、
付記1に記載の半導体装置。
〔付記3〕
前記第1裏面は、前記中央側延伸部から、前記中央側延伸部が延びる方向とは異なる方向に延びる再延伸部をさらに備えている、
付記1または2に記載の半導体装置。
〔付記4〕
前記第1コーナーリードは、前記半導体素子に導通している、
付記1ないし3のいずれかに記載の半導体装置。
〔付記5〕
前記第1コーナーリードは、前記半導体素子とは絶縁されている、
付記1ないし3のいずれかに記載の半導体装置。
〔付記6〕
前記半導体素子は、前記厚さ方向において互いに反対側を向く素子主面および素子裏面と、前記素子主面に配置された主面電極とを備えている、
付記1ないし5のいずれかに記載の半導体装置。
〔付記7〕
前記半導体素子は、前記素子主面を前記複数のリードに向けて配置され、
前記主面電極は、前記複数のリードのいずれかに接合されている、
付記6に記載の半導体装置。
〔付記8〕
前記半導体素子は、前記素子裏面を前記複数のリードに向けて配置され、
前記素子裏面は、前記複数のリードのいずれかに接合されている、
付記6に記載の半導体装置。
〔付記9〕
前記本体部および前記中央側延伸部は、前記厚さ方向視において、前記半導体素子に重なっている、
付記1ないし8のいずれかに記載の半導体装置。
〔付記10〕
前記第1コーナーリードは、前記厚さ方向視において、前記半導体素子に重なっていない、
付記1ないし8のいずれかに記載の半導体装置。
〔付記11〕
前記複数のリードは、前記第2樹脂側面とは反対側を向く前記樹脂側面である第3樹脂側面、および前記第1樹脂側面の両方に最も近い位置に配置され、かつ、前記樹脂裏面から露出する第2裏面を有する第2コーナーリードをさらに含み、
前記第2裏面は、第2の本体部と、前記第2の本体部から前記第1樹脂側面まで延び、かつ、前記第3樹脂側面から離間する第2の第1側面側延伸部と、前記第2の本体部から前記樹脂裏面の中央側に延びる第2の中央側延伸部と、を備えている、
付記1ないし10のいずれかに記載の半導体装置。
〔付記12〕
前記第2裏面は、前記第2の本体部から前記第3樹脂側面まで延び、かつ、前記第1樹脂側面から離間する第3側面側延伸部をさらに備えている、
付記11に記載の半導体装置。
〔付記13〕
前記複数のリードは、前記第1樹脂側面とは反対側を向く前記樹脂側面である第4樹脂側面、および前記第2樹脂側面の両方に最も近い位置に配置され、かつ、前記樹脂裏面から露出する第3裏面を有する第3コーナーリードをさらに含み、
前記第3裏面は、第3の本体部と、前記第3の本体部から前記第4樹脂側面まで延び、かつ、前記第2樹脂側面から離間する第4側面側延伸部と、前記第3の本体部から前記樹脂裏面の中央側に延びる第3の中央側延伸部と、を備えている、
付記11または12に記載の半導体装置。
〔付記14〕
前記第3裏面は、前記第3の本体部から前記第2樹脂側面まで延び、かつ、前記第4樹脂側面から離間する第2の第2側面側延伸部をさらに備えている、
付記13に記載の半導体装置。
〔付記15〕
前記複数のリードは、前記第4樹脂側面および前記第3樹脂側面の両方に最も近い位置に配置され、かつ、前記樹脂裏面から露出する第4裏面を有する第4コーナーリードをさらに含み、
前記第4裏面は、第4の本体部と、前記第4の本体部から前記第4樹脂側面まで延び、かつ、前記第3樹脂側面から離間する第2の第4側面側延伸部と、前記第4の本体部から前記樹脂裏面の中央側に延びる第4の中央側延伸部と、を備えている、
付記13または14に記載の半導体装置。
〔付記16〕
前記第4裏面は、前記第4の本体部から前記第3樹脂側面まで延び、かつ、前記第4樹脂側面から離間する第2の第3側面側延伸部をさらに備えている、
付記15に記載の半導体装置。
A1〜A7:半導体装置
1 :リード
11 :第1コーナーリード
111 :主面
111a :凹部
112 :裏面
112a :本体部
112b :側面側延伸部
112c :中央側延伸部
112d :再延伸部
113 :端面
12 :第2コーナーリード
121 :主面
121a :凹部
122 :裏面
122a :本体部
122b :側面側延伸部
122c :中央側延伸部
122d :再延伸部
123 :端面
13 :第3コーナーリード
131 :主面
132 :裏面
132a :本体部
132b :側面側延伸部
132c :中央側延伸部
133 :端面
14 :第4コーナーリード
141 :主面
142 :裏面
142a :本体部
142b :側面側延伸部
142c :中央側延伸部
143 :端面
15 :リード
151 :主面
151a :凹部
152 :裏面
153 :端面
16 :リード
161 :主面
161a :凹部
162 :裏面
163 :端面
17 :リード
171 :主面
171a :凹部
172 :裏面
173 :端面
18 :リード
181 :主面
182 :裏面
183 :端面
3 :半導体素子
31 :素子主面
32 :素子裏面
33 :主面電極
4 :接合部材
41 :ボンディングワイヤ
5 :封止樹脂
51 :樹脂主面
52 :樹脂裏面
53,531〜534:樹脂側面

Claims (16)

  1. 半導体素子と、
    前記半導体素子を覆い、厚さ方向視矩形状である封止樹脂と、
    各々の一部が前記封止樹脂から露出する複数のリードと、
    を備え、
    前記封止樹脂は、前記厚さ方向において互いに反対側を向く樹脂主面および樹脂裏面と、前記樹脂主面および前記樹脂裏面に各々がつながる4個の樹脂側面と、を備え、
    前記複数のリードは、互いにつながる2個の前記樹脂側面である第1樹脂側面および第2樹脂側面の両方に最も近い位置に配置され、かつ、前記樹脂裏面から露出する第1裏面を有する第1コーナーリードを含み、
    前記第1裏面は、本体部と、前記本体部から前記第1樹脂側面まで延び、かつ、前記第2樹脂側面から離間する第1側面側延伸部と、前記本体部から前記樹脂裏面の中央側に延びる中央側延伸部と、を備えている、
    半導体装置。
  2. 前記第1裏面は、前記本体部から前記第2樹脂側面まで延び、かつ、前記第1樹脂側面から離間する第2側面側延伸部をさらに備えている、
    請求項1に記載の半導体装置。
  3. 前記第1裏面は、前記中央側延伸部から、前記中央側延伸部が延びる方向とは異なる方向に延びる再延伸部をさらに備えている、
    請求項1または2に記載の半導体装置。
  4. 前記第1コーナーリードは、前記半導体素子に導通している、
    請求項1ないし3のいずれかに記載の半導体装置。
  5. 前記第1コーナーリードは、前記半導体素子とは絶縁されている、
    請求項1ないし3のいずれかに記載の半導体装置。
  6. 前記半導体素子は、前記厚さ方向において互いに反対側を向く素子主面および素子裏面と、前記素子主面に配置された主面電極とを備えている、
    請求項1ないし5のいずれかに記載の半導体装置。
  7. 前記半導体素子は、前記素子主面を前記複数のリードに向けて配置され、
    前記主面電極は、前記複数のリードのいずれかに接合されている、
    請求項6に記載の半導体装置。
  8. 前記半導体素子は、前記素子裏面を前記複数のリードに向けて配置され、
    前記素子裏面は、前記複数のリードのいずれかに接合されている、
    請求項6に記載の半導体装置。
  9. 前記本体部および前記中央側延伸部は、前記厚さ方向視において、前記半導体素子に重なっている、
    請求項1ないし8のいずれかに記載の半導体装置。
  10. 前記第1コーナーリードは、前記厚さ方向視において、前記半導体素子に重なっていない、
    請求項1ないし8のいずれかに記載の半導体装置。
  11. 前記複数のリードは、前記第2樹脂側面とは反対側を向く前記樹脂側面である第3樹脂側面、および前記第1樹脂側面の両方に最も近い位置に配置され、かつ、前記樹脂裏面から露出する第2裏面を有する第2コーナーリードをさらに含み、
    前記第2裏面は、第2の本体部と、前記第2の本体部から前記第1樹脂側面まで延び、かつ、前記第3樹脂側面から離間する第2の第1側面側延伸部と、前記第2の本体部から前記樹脂裏面の中央側に延びる第2の中央側延伸部と、を備えている、
    請求項1ないし10のいずれかに記載の半導体装置。
  12. 前記第2裏面は、前記第2の本体部から前記第3樹脂側面まで延び、かつ、前記第1樹脂側面から離間する第3側面側延伸部をさらに備えている、
    請求項11に記載の半導体装置。
  13. 前記複数のリードは、前記第1樹脂側面とは反対側を向く前記樹脂側面である第4樹脂側面、および前記第2樹脂側面の両方に最も近い位置に配置され、かつ、前記樹脂裏面から露出する第3裏面を有する第3コーナーリードをさらに含み、
    前記第3裏面は、第3の本体部と、前記第3の本体部から前記第4樹脂側面まで延び、かつ、前記第2樹脂側面から離間する第4側面側延伸部と、前記第3の本体部から前記樹脂裏面の中央側に延びる第3の中央側延伸部と、を備えている、
    請求項11または12に記載の半導体装置。
  14. 前記第3裏面は、前記第3の本体部から前記第2樹脂側面まで延び、かつ、前記第4樹脂側面から離間する第2の第2側面側延伸部をさらに備えている、
    請求項13に記載の半導体装置。
  15. 前記複数のリードは、前記第4樹脂側面および前記第3樹脂側面の両方に最も近い位置に配置され、かつ、前記樹脂裏面から露出する第4裏面を有する第4コーナーリードをさらに含み、
    前記第4裏面は、第4の本体部と、前記第4の本体部から前記第4樹脂側面まで延び、かつ、前記第3樹脂側面から離間する第2の第4側面側延伸部と、前記第4の本体部から前記樹脂裏面の中央側に延びる第4の中央側延伸部と、を備えている、
    請求項13または14に記載の半導体装置。
  16. 前記第4裏面は、前記第4の本体部から前記第3樹脂側面まで延び、かつ、前記第4樹脂側面から離間する第2の第3側面側延伸部をさらに備えている、
    請求項15に記載の半導体装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2023112677A1 (ja) * 2021-12-13 2023-06-22 ローム株式会社 半導体装置および半導体装置の製造方法
WO2023140046A1 (ja) * 2022-01-20 2023-07-27 ローム株式会社 半導体装置

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