JP2021128027A - 定量分析方法、定量分析プログラム及び蛍光x線分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】各分析成分の含有率の代表として設定された代表組成を取得するステップと、代表組成の分析成分の含有率が1成分ずつ所定含有率だけ変更された複数の比較組成を取得するステップと、予め設定された厚さであって代表組成及び比較組成で表される仮想試料に対して、ジオメトリ効果の影響を受けて検出される蛍光X線の強度を表す検出強度を、FP法を用いて算出する検出強度算出ステップと、検出強度に基づいて、分析成分ごとにマトリックス補正係数を算出するステップと、を含み、成分iの検出強度Iiと成分iの質量分率を表すWiと共存成分jの質量分率を表すWjと定数a,b及びcと成分iの共存成分jに対するマトリックス補正係数を表すαjとを含む、検量線式を用いて、αjが算出される。
【選択図】図2
Description
を含む、
Claims (8)
- 分析対象である未知試料に含まれる各分析成分の含有率で表される組成であって、前記各分析成分の含有率の代表として設定された代表組成を取得する代表組成取得ステップと、
前記代表組成に含まれる前記分析成分の含有率が1成分ずつ所定含有率だけ変更された複数の比較組成を取得する比較組成取得ステップと、
予め設定された厚さであって前記代表組成及び前記比較組成で表される仮想試料に対して1次X線を照射したとして、ジオメトリ効果の影響を受けて検出される蛍光X線の強度を表す検出強度を、ファンダメンタルパラメータ法を用いて算出する検出強度算出ステップと、
前記各分析成分に含まれる1つの成分iの質量分率を表すWiと、
定数a,b及びcと、
前記成分iについて前記検出強度算出ステップにおいて算出された前記検出強度Iiと、
前記成分iの共存成分jに対するマトリックス補正係数を表すαjと、
前記共存成分jの質量分率を表すWjと、
を含む、
を含むことを特徴とする定量分析方法。 - 前記検出強度算出ステップは、
前記仮想試料の表面から所定の位置までを一定の間隔で区分する区分ステップと、
前記区分ごとに算出した前記検出強度の総和を算出する総和算出ステップと、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の定量分析方法。 - 前記検出強度算出ステップは、
前記代表組成及び前記比較組成で表される仮想試料に1次X線が照射されたとして、前記各分析成分から出射される蛍光X線の強度を表す出射強度を、ジオメトリ効果を無視して、仮想試料の表面からの位置の関数として算出する出射強度算出ステップと、
所与の組成で表される仮想試料に1次X線が照射されたとして、該仮想試料から出射される蛍光X線の強度を表す出射強度と、出射された蛍光X線のうちジオメトリ効果の影響を受けて検出される蛍光X線の前記検出強度と、の割合を表す検出割合を、前記表面からの位置の関数として取得する検出割合取得ステップと、
前記検出割合と前記出射強度を乗算し、前記表面からの位置の関数として前記検出強度を算出する乗算ステップと、
を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の定量分析方法。 - 前記各分析成分を含み各含有率が既知である複数の標準試料に1次X線を照射し、前記分析成分ごとに出射される蛍光X線の強度を測定する標準試料測定ステップと、
前記標準試料測定ステップで測定された蛍光X線の強度と、前記マトリックス補正係数と、に基づいて、前記分析成分ごとに前記検量線式で表される検量線を作成する検量線作成ステップと、
前記未知試料に1次X線を照射し、前記分析成分ごとに蛍光X線の強度を測定する未知試料測定ステップと、
前記未知試料測定ステップで測定された蛍光X線の強度と、前記検量線と、に基づいて、前記未知試料に含まれる前記各分析成分の含有率を算出する含有率算出ステップと、
を含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の定量分析方法。 - 前記所定の位置は、
前記未知試料の厚さが、前記表面から前記検出強度が0となる位置までの厚さよりも大きい場合、前記検出強度が0となる位置であって、
前記未知試料の厚さが、前記表面から前記検出強度が0となる位置までの厚さよりも小さい場合、前記未知試料の裏面の位置である、
ことを特徴とする請求項2に記載の定量分析方法。 - 前記検出強度算出ステップは、モンテカルロシミュレーションを用いて前記検出強度を算出するステップであって、
前記仮想試料の厚さと、前記仮想試料の表面の各位置に照射される前記1次X線の強度と、前記1次X線の前記表面に対する入射角と、をパラメータとして設定するステップと、
前記1次X線のX線管ターゲット上の発生位置と、前記1次X線の出射する方向と、前記1次X線のエネルギーと、を乱数で決定するステップと、
前記1次X線の前記発生位置から前記表面までの光路ごとに、所定の位置における蛍光X線の強度を前記検出強度として算出するステップと、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の定量分析方法。 - 蛍光X線分析装置に用いられるコンピュータで実行される定量分析プログラムであって、
分析対象である未知試料に含まれる各分析成分の含有率で表される組成であって、前記各分析成分の含有率の代表として設定された代表組成を取得する代表組成取得ステップと、
前記代表組成に含まれる前記分析成分の含有率が1成分ずつ所定含有率だけ変更された複数の比較組成を取得する比較組成取得ステップと、
予め設定された厚さであって前記代表組成及び前記比較組成で表される仮想試料に対して1次X線を照射したとして、ジオメトリ効果の影響を受けて検出される蛍光X線の強度を表す検出強度を、ファンダメンタルパラメータ法を用いて算出する検出強度算出ステップと、
前記各分析成分に含まれる1つの成分iの質量分率を表すWiと、
定数a,b及びcと、
前記成分iについて前記検出強度算出ステップにおいて算出された前記検出強度Iiと、
前記成分iの共存成分jに対するマトリックス補正係数を表すαjと、
前記共存成分jの質量分率を表すWjと、
を含む、
を前記コンピュータに実行させることを特徴とする定量分析プログラム。 - 分析対象である未知試料に含まれる各分析成分の含有率で表される組成であって、前記各分析成分の含有率の代表として設定された代表組成を取得する代表組成取得部と、
前記代表組成に含まれる前記分析成分の含有率が1成分ずつ所定含有率だけ変更された複数の比較組成を取得する比較組成取得部と、
予め設定された厚さであって前記代表組成及び前記比較組成で表される仮想試料に対して1次X線を照射したとして、ジオメトリ効果の影響を受けて検出される蛍光X線の強度を表す検出強度を、ファンダメンタルパラメータ法を用いて算出する検出強度算出部と、
前記各分析成分に含まれる1つの成分iの質量分率を表すWiと、
定数a,b及びcと、
前記成分iについて前記検出強度算出ステップにおいて算出された前記検出強度Iiと、
前記成分iの共存成分jに対するマトリックス補正係数を表すαjと、
前記共存成分jの質量分率を表すWjと、
を含む、
を含むことを特徴とする蛍光X線分析装置。
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