JP2021104583A - 液体吐出ヘッド、及び、液体吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】大きな吐出圧が必要な液体を高周波数で安定して吐出できるヘッドを提供する。【解決手段】ヘッド１は、第１方向に延びる共通流路と、第１方向に配列された複数の個別流路２０とを備えている。各個別流路は、共通流路に連通しかつ第１方向に並ぶ第１圧力室２１ａ及び第２圧力室２１ｂと、第１圧力室及び第２圧力室に対して第１方向と直交する第２方向に離隔したノズル２２と、第１圧力室、第２圧力室及びノズルを互いに接続する接続流路２３とを含む。接続流路は、第２方向の一端２３ｘが第１圧力室及び第２圧力室に連通し、第２方向の他端２３ｙがノズルに連通している。【選択図】図４
Description
本発明は、共通流路及び複数の個別流路を備えた液体吐出ヘッド、及び、当該液体吐出ヘッドを含む液体吐出装置に関する。
特許文献１（図１〜図４）の記録ヘッド（液体吐出ヘッド）は、共通液室（共通流路）と、それぞれ圧力室、ノズル及びノズル連通口（接続流路）を含む複数の個別流路とを備えている。特許文献１（図４）では、個別流路が高密度に配置されており、高解像度の画像を形成できる。
特許文献１（図４）では、個別流路が高密度に配置されたことで、圧力室の幅が小さくなっており、大きな吐出圧が必要な液体（高粘度インク、特殊光沢インク等）を安定して吐出することができない。
上記のような液体を安定して吐出するため、解像度を下げ、圧力室の幅を大きくしてアクチュエータの変形量を増加させることで、吐出圧を上げることが考えられる。しかしながら、この場合、圧力室の幅が大きくなる分、圧力室を画定するアクチュエータの機械的コンプライアンスが大きくなり、ＡＬ（Acoustic Length：個別流路における圧力波の片道伝搬時間）が長くなる。ＡＬが長いと、高周波数での吐出が困難になってしまう。特に特許文献１のように圧電素子（アクチュエータ）の厚みが小さい場合、上記問題が顕著化し得る。
本発明の目的は、大きな吐出圧が必要な液体を高周波数で安定して吐出できる液体吐出ヘッド及び液体吐出装置を提供することにある。
本発明の第１観点に係る液体吐出ヘッドは、第１方向に延びる共通流路と、前記第１方向に配列された複数の個別流路と、を備え、前記複数の個別流路は、それぞれ、前記共通流路に連通しかつ前記第１方向に並ぶ第１圧力室及び第２圧力室と、前記第１圧力室及び前記第２圧力室に対して前記第１方向と直交する第２方向に離隔したノズルと、前記第１圧力室、前記第２圧力室及び前記ノズルを互いに接続する接続流路であって、前記第２方向の一端が前記第１圧力室及び前記第２圧力室に連通し、前記第２方向の他端が前記ノズルに連通する接続流路と、を含み、前記接続流路は、前記第２方向の一端から他端まで、前記第２方向に沿って延びていることを特徴とする。
本発明の第２観点に係る液体吐出ヘッドは、第１方向に延びる共通流路と、前記第１方向に配列された複数の個別流路と、を備え、前記複数の個別流路は、それぞれ、前記共通流路に連通しかつ前記第１方向に並ぶ第１圧力室及び第２圧力室と、前記第１圧力室及び前記第２圧力室に対して前記第１方向と直交する第２方向に離隔したノズルと、前記第１圧力室、前記第２圧力室及び前記ノズルを互いに接続する接続流路であって、前記第２方向の一端が前記第１圧力室及び前記第２圧力室に連通し、前記第２方向の他端が前記ノズルに連通する接続流路と、を含み、前記接続流路は、前記第１圧力室、前記第２圧力室及び前記ノズルと連通し、前記第１圧力室、前記第２圧力室及び前記ノズル以外と連通しないとを特徴とする。
本発明の第３観点に係る液体吐出装置は、第１方向に延びる共通流路と、前記第１方向に配列された複数の個別流路と、を備え、前記複数の個別流路は、それぞれ、前記共通流路に連通しかつ前記第１方向に並ぶ第１圧力室及び第２圧力室と、前記第１圧力室及び前記第２圧力室に対して前記第１方向と直交する第２方向に離隔したノズルと、前記第１圧力室、前記第２圧力室及び前記ノズルを互いに接続する接続流路であって、前記第２方向の一端が前記第１圧力室及び前記第２圧力室に連通し、前記第２方向の他端が前記ノズルに連通する接続流路と、を含み、前記接続流路は、前記第２方向の一端から他端まで、前記第２方向に沿って延び、前記第１圧力室と前記第２方向に重なる第１アクチュエータと、前記第２圧力室と前記第２方向に重なる第２アクチュエータと、前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータのそれぞれに駆動信号を付与する制御部と、をさらに備え、前記制御部は、前記ノズルから液体を吐出させる際、前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータに対して同相の駆動信号を付与する同相駆動処理を実行することを特徴とする。
本発明の第４観点に係る液体吐出装置は、第１方向に延びる共通流路と、前記第１方向に配列された複数の個別流路と、を備え、前記複数の個別流路は、それぞれ、前記共通流路に連通しかつ前記第１方向に並ぶ第１圧力室及び第２圧力室と、前記第１圧力室及び前記第２圧力室に対して前記第１方向と直交する第２方向に離隔したノズルと、前記第１圧力室、前記第２圧力室及び前記ノズルを互いに接続する接続流路であって、前記第２方向の一端が前記第１圧力室及び前記第２圧力室に連通し、前記第２方向の他端が前記ノズルに連通する接続流路と、を含み、前記接続流路は、前記第１圧力室、前記第２圧力室及び前記ノズルと連通し、前記第１圧力室、前記第２圧力室及び前記ノズル以外と連通せず、前記第１圧力室と前記第２方向に重なる第１アクチュエータと、前記第２圧力室と前記第２方向に重なる第２アクチュエータと、前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータのそれぞれに駆動信号を付与する制御部と、をさらに備え、前記制御部は、前記ノズルから液体を吐出させる際、前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータに対して同相の駆動信号を付与する同相駆動処理を実行することを特徴とする。
＜第１実施形態＞
先ず、図１を参照し、本発明の第１実施形態に係るヘッド１を備えたプリンタ１００の全体構成について説明する。
先ず、図１を参照し、本発明の第１実施形態に係るヘッド１を備えたプリンタ１００の全体構成について説明する。
プリンタ１００は、４つのヘッド１を含むヘッドユニット１ｘ、プラテン３、搬送機構４及び制御部５を備えている。
プラテン３の上面に、用紙９が載置される。
搬送機構４は、搬送方向にプラテン３を挟んで配置された２つのローラ対４ａ，４ｂを有する。制御部５の制御により搬送モータ（図示略）が駆動されると、ローラ対４ａ，４ｂが用紙９を挟持した状態で回転し、用紙９が搬送方向に搬送される。
ヘッドユニット１ｘは、紙幅方向（搬送方向及び鉛直方向の双方と直交する方向）に長尺であり、位置が固定された状態でノズル２２（図２〜図５参照）から用紙９に対してインクを吐出するライン式である。４つのヘッド１は、それぞれ紙幅方向に長尺であり、紙幅方向に千鳥状に配列されている。
制御部５は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）を有する。ＡＳＩＣは、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、記録処理等を実行する。記録処理において、制御部５は、ＰＣ等の外部装置から入力された記録指令（画像データを含む。）に基づき、各ヘッド１のドライバＩＣ１９（図３参照）及び搬送モータ（図示略）を制御し、用紙９上に画像を記録する。
次いで、図２〜図６を参照し、ヘッド１の構成について説明する。
ヘッド１は、図３に示すように、流路基板１１、アクチュエータ基板１２、保護部材１３及び配線基板１８を有する。
流路基板１１は、鉛直方向に積層されかつ互いに接着された４枚のプレート１１ａ〜１１ｄで構成されている。４枚のプレート１１ａ〜１１ｄのうち、最上層のプレート１１ａは、例えば樹脂の射出成型で形成され、２つの共通流路３１，３２が形成されている。プレート１１ｂ〜１１ｄは、例えば樹脂（例えばＬＣＰ：液晶ポリマー）や金属（例えばＳＵＳ：ステンレス鋼）で構成され、複数の個別流路２０が形成されている。
複数の個別流路２０は、図２に示すように、第１個別流路群２０Ａ及び第２個別流路群２０Ｂを構成している。各個別流路群２０Ａ，２０Ｂは、紙幅方向（第１方向）に並ぶ複数の個別流路２０で構成されている。第１個別流路群２０Ａと第２個別流路群２０Ｂとは、搬送方向と平行な方向（第３方向：第１方向と直交する方向）に並んでいる。複数の個別流路２０は、全体として第１方向に千鳥状に配列されている。
共通流路３１，３２は、それぞれ第１方向に延び、かつ、第３方向に並んでいる。第３方向において共通流路３１，３２の間に、複数の個別流路２０が配置されている。共通流路３１，３２は、それぞれ供給口３１ｘ，３２ｘを介してサブタンク（図示略）に連通している。サブタンクは、インクを貯留するメインタンクに連通し、メインタンクから供給されたインクを貯留する。サブタンク内のインクは、制御部５の制御によりポンプ（図示略）が駆動されることで、供給口３１ｘ，３２ｘから共通流路３１，３２に流入する。共通流路３１に流入したインクは、第１個別流路群２０Ａの各個別流路２０に供給される。共通流路３２に流入したインクは、第２個別流路群２０Ｂの各個別流路２０に供給される。
各個別流路２０は、図２に示すように、２つの圧力室（第１圧力室２１ａ及び第２圧力室２１ｂ）と、１つのノズル２２と、１つの接続流路２３と、２つの幅狭流路２４ａ，２４ｂと、２つの幅広流路２５ａ，２５ｂとを含む。
第１圧力室２１ａ及び第２圧力室２１ｂは、それぞれ鉛直方向（第２方向：第１方向及び第３方向と直交する方向）と直交する面において第３方向に長尺な略矩形状であり、第１方向に並んでいる。第１圧力室２１ａに対し、第３方向の一端に接続流路２３が接続し、第３方向の他端に幅狭流路２４ａが接続している。第２圧力室２１ｂに対し、第３方向の一端に接続流路２３が接続し、第３方向の他端に幅狭流路２４ｂが接続している。
幅狭流路２４ａ，２４ｂは、図２に示すように、圧力室２１ａ，２１ｂの幅（第１方向の長さ）よりも小さい幅を有し、絞りとして機能する。幅狭流路２４ａ，２４ｂの第１方向の中心線Ｏは、それぞれ、対応する圧力室２１ａ，２１ｂの第１方向の中心線Ｏ’と第１方向に一致せず、当該中心線Ｏ’に対して第１方向の一方（図２の上方）に位置している。第１方向における第１圧力室２１ａに対する幅狭流路２４ａの位置と、第１方向における第２圧力室２１ｂに対する幅狭流路２４ｂの位置とが、互いに同じである。
幅狭流路２４ａが本発明の「第１連通流路」に該当し、幅狭流路２４ｂが本発明の「第２連通流路」に該当する。
幅広流路２５ａ，２５ｂは、図２に示すように、圧力室２１ａ，２１ｂの幅（第１方向の長さ）とほぼ同じ幅を有する。幅広流路２５ａ，２５ｂの第１方向の中心線は、それぞれ、対応する圧力室２１ａ，２１ｂの第１方向の中心線Ｏ’と第１方向に一致している。
幅狭流路２４ａ及び幅広流路２５ａは、第３方向に第１圧力室２１ａと並んでいる。第３方向において第１圧力室２１ａと幅広流路２５ａとの間に、幅狭流路２４ａが配置されている。
幅狭流路２４ｂ及び幅広流路２５ｂは、第３方向に第２圧力室２１ｂと並んでいる。第３方向において第２圧力室２１ｂと幅広流路２５ｂとの間に、幅狭流路２４ｂが配置されている。
第３方向において共通流路３１と第１個別流路群２０Ａの第１圧力室２１ａとの間に、幅狭流路２４ａ及び幅広流路２５ａが配置されている。これら幅狭流路２４ａ及び幅広流路２５ａは、共通流路３１と第１個別流路群２０Ａの第１圧力室２１ａとを連通させている。
第３方向において共通流路３１と第１個別流路群２０Ａの第２圧力室２１ｂとの間に、幅狭流路２４ｂ及び幅広流路２５ｂが配置されている。これら幅狭流路２４ｂ及び幅広流路２５ｂは、共通流路３１と第１個別流路群２０Ａの第２圧力室２１ｂとを連通させている。
第３方向において共通流路３２と第２個別流路群２０Ｂの第１圧力室２１ａとの間に、幅狭流路２４ａ及び幅広流路２５ａが配置されている。これら幅狭流路２４ａ及び幅広流路２５ａは、共通流路３２と第２個別流路群２０Ｂの第１圧力室２１ａとを連通させている。
第３方向において共通流路３２と第２個別流路群２０Ｂの第２圧力室２１ｂとの間に、幅狭流路２４ｂ及び幅広流路２５ｂが配置されている。これら幅狭流路２４ｂ及び幅広流路２５ｂは、共通流路３２と第２個別流路群２０Ｂの第２圧力室２１ｂとを連通させている。
図３に示すように、圧力室２１ａ，２１ｂと、幅狭流路２４ａ，２４ｂと、幅広流路２５ａ，２５ｂとは、プレート１１ｂに形成された貫通孔で構成されている。
接続流路２３は、図３及び図４に示すように、プレート１１ｃに形成された貫通孔で構成され、圧力室２１ａ，２１ｂとノズル２２とを互いに接続している。接続流路２３は、第２方向の一端（上端）２３ｘが圧力室２１ａ，２１ｂに連通し、第２方向の他端（下端）２３ｙがノズル２２に連通している。接続流路２３は、第２方向の一端２３ｘから他端２３ｙまで、第２方向に沿って延びている。
接続流路２３は、圧力室２１ａ，２１ｂ及びノズル２２と連通し、圧力室２１ａ，２１ｂ及びノズル２２以外と連通していない。換言すると、接続流路２３は、他の要素との連通部として、第２方向の一端２３ｘに設けられた圧力室２１ａ，２１ｂとの連通部、及び、第２方向の他端２３ｙに設けられたノズル２２との連通部のみを有する。
接続流路２３は、図４に示すように、第３方向と直交する断面（第１方向及び第２方向に沿った断面）において、逆台形形状を有する。つまり、当該逆台形形状を構成する上底の第１方向の長さＬ１は、当該逆台形形状を構成する下底の第１方向の長さＬ２よりも長い。
下底の両端にある２つの内角（底角）θの大きさは、互いに等しく、鈍角である。換言すると、接続流路２３は、第３方向と直交する断面（第１方向及び第２方向に沿った断面）において、第１方向に接続流路２３を挟む一対の側壁１１ｃ１と、第２方向の他端２３ｙにおいて第２方向と直交する底壁１１ｄ１とによって画定され、各側壁１１ｃ１と底壁１１ｄ１とがなす角度θは、鈍角である。側壁１１ｃ１はプレート１１ｃで構成され、底壁１１ｄ１はプレート１１ｄで構成されている。
第１圧力室２１ａは、第１方向に第１圧力室２１ａ及び第２圧力室２１ｂを隔てる隔壁１１ｂ１と、第１方向に隔壁１１ｂ１から離隔して隔壁１１ｂ１との間に第１圧力室２１ａを挟む側壁１１ｂ２とによって画定されている。第２圧力室２１ｂは、隔壁１１ｂ１と、第１方向に隔壁１１ｂ１から離隔して隔壁１１ｂ１との間に第２圧力室２１ｂを挟む側壁１１ｂ２とによって画定されている。隔壁１１ｂ１及び側壁１１ｂ２は、プレート１１ｂで構成されている。第１圧力室２１ａを画定する側壁１１ｂ２が本発明の「第１側壁」に該当し、第２圧力室２１ｂを画定する側壁１１ｂ２が本発明の「第２側壁」に該当する。
側壁１１ｂ２は、接続流路２３の側壁１１ｃ１に接着される接着部Ａ（図４参照）を有する。接着部Ａの第１方向の厚みＤ１は、側壁１１ｂ２における接着部Ａ以外の部分Ｂ（図５参照）の第１方向の厚みＤ１’よりも大きい。部分Ｂは、プレート１１ｃにおける、接続流路２３を第３方向に挟む側壁１１ｃ２に接着されている。
厚みＤ１が厚みＤ１’よりも大きいことで、各圧力室２１ａ，２１ｂは、図２に示すように、第３方向の一端（接続流路２３が接続する端部）の幅がそれ以外の部分の幅よりも小さくなっている。
また図４に示すように、接続流路２３の側壁１１ｃ１の上端部（接着部Ａに接着される部分）における第１方向の厚みＤ２は、接着部Ａの第１方向の厚みＤ１よりも大きい。また、接続流路２３における第２方向の一端２３ｘの第１方向の長さ（逆台形形状を構成する上底の第１方向の長さ）Ｌ１は、第１圧力室２１ａの側壁１１ｂ２における第１圧力室２１ａに接する面から、第２圧力室２１ｂの側壁１１ｂ２における第２圧力室２１ｂに接する面までの第１方向の長さＬ３よりも若干短い。
ノズル２２は、プレート１１ｄに形成された貫通孔で構成され、流路基板１１の下面に開口している。ノズル２２は、接続流路２３の直下に位置し、圧力室２１ａ，２１ｂに対して第２方向に離隔（具体的には、圧力室２１ａ，２１ｂに対して下方に位置）している。ノズル２２は、第１方向において第１圧力室２１ａと第２圧力室２１ｂとの中央に位置し、第２方向に隔壁１１ｂ１と重なっている。
アクチュエータ基板１２は、図３に示すように、プレート１１ｂの上面に固定されており、下から順に、振動板１２ａ、共通電極１２ｂ、複数の圧電体１２ｃ及び複数の個別電極１２ｄ１，１２ｄ２を含む。
振動板１２ａ及び共通電極１２ｂは、プレート１１ｂの上面の全域に配置され、プレート１１ｂに形成された全ての圧力室２１ａ，２１ｂを覆っている。一方、圧電体１２ｃ及び個別電極１２ｄ１，１２ｄ２は、圧力室２１ａ，２１ｂ毎に設けられており、圧力室２１ａ，２１ｂのそれぞれと第２方向に重なっている。
個別電極１２ｄ１は、本発明の「第１電極」に該当し、第１圧力室２１ａと第２方向に重なっている。個別電極１２ｄ２は、本発明の「第２電極」に該当し、第２圧力室２１ｂと第２方向に重なっている。
アクチュエータ基板１２は、さらに、絶縁膜１２ｉ及び複数の配線１２ｅを含む。
絶縁膜１２ｉは、二酸化シリコン（ＳｉＯ2）等からなり、共通電極１２ｂの上面において圧電体１２ｃが設けられていない部分、圧電体１２ｃの側面、及び、個別電極１２ｄ１，１２ｄ２の上面を覆っている。絶縁膜１２ｉにおいて、個別電極１２ｄ１，１２ｄ２と第２方向に重なる部分には、貫通孔が設けられている。
複数の配線１２ｅは、絶縁膜１２ｉ上に形成されている。複数の配線１２ｅは、図６に示すように、個別流路２０毎に設けられており、それぞれ、個別電極１２ｄ１に接続するＬ字状の第１部分１２ｅ１と、個別電極１２ｄ２に接続しかつ第１部分１２ｅ１に繋がるＬ字状の第２部分１２ｅ２と、第１部分１２ｅ１と第２部分１２ｅ２との接続部分１２ｅ’から第３方向に延びる第３部分１２ｅ３とを有する。第１部分１２ｅ１及び第２部分１２ｅ２は、図３に示すように、絶縁膜１２ｉの上記貫通孔に先端が入り込むことで、個別電極１２ｄ１，１２ｄ２のそれぞれと電気的に接続されている。第３部分１２ｅ３は、アクチュエータ基板１２の第３方向の中央まで延び、その先端に接点１２ｆが形成されている（図３及び図６参照）。接点１２ｆは、第１電極（個別電極１２ｄ１）と第２電極（個別電極１２ｄ２）とを互いに接続する「接続部」に該当する。
配線基板１８は、ＣＯＦ（Chip On Film）等からなり、アクチュエータ基板１２の上面の第３方向の中央に、その一端が固定されている。配線基板１８の一端は、アクチュエータ基板１２の上面において第１方向に延び（図２及び図６参照）、複数の接点１２ｆのそれぞれと電気的に接続される複数の個別配線１８ｅ（図３参照）と、共通配線（図示略）とを有する。個別配線１８ｅは、個別流路２０毎に設けられている。共通配線は、絶縁膜１２ｉに設けられた貫通孔を介して、共通電極１２ｂと電気的に接続されている。
配線基板１８は、図３に示すように、アクチュエータ基板１２の上面から上方に延び、他端が制御部５（図１参照）に接続されている。配線基板１８の一端と他端との間には、ドライバＩＣ１９が実装されている。
ドライバＩＣ１９は、個別配線１８ｅを介して個別電極１２ｄ１，１２ｄ２と電気的に接続され、共通配線を介して共通電極１２ｂと電気的に接続されている。ドライバＩＣ１９は、共通電極１２ｂの電位をグランド電位に維持する一方、制御部５からの制御信号に基づいて駆動信号を生成し、当該駆動信号を個別電極１２ｄ１，１２ｄ２に付与することで、個別電極１２ｄ１，１２ｄ２の電位を所定の駆動電位とグランド電位との間で変化させる。このとき、振動板１２ａ及び圧電体１２ｃにおいて個別電極１２ｄ１，１２ｄ２と圧力室２１ａ，２１ｂとで挟まれた部分（アクチュエータ１２ｘ１，１２ｘ２）が、圧力室２１ａ，２１ｂに向かって凸となるように変形することにより、圧力室２１ａ，２１ｂの容積が変化し、圧力室２１ａ，２１ｂ内のインクに圧力が付与され、ノズル２２からインクが吐出される。
本実施形態では、個別流路２０毎に設けられた２つの個別電極１２ｄ１，１２ｄ２が互いに電気的に接続されているため、各個別流路２０に対応する２つの個別電極１２ｄ１，１２ｄ２の電位は同様に変化する。つまり、制御部５は、ノズル２２からインクを吐出させる際、第１圧力室２１ａと第２方向に重なるアクチュエータ１２ｘ１（第１アクチュエータ）及び第２圧力室２１ｂと第２方向に重なるアクチュエータ１２ｘ２（第２アクチュエータ）に対して同相の駆動信号を付与する同相駆動処理を実行する。
ノズル２２からインクが吐出される際、共通流路３１，３２から各個別流路２０にインクが供給される。各個別流路２０に供給されたインクは、幅広流路２５ａ，２５ｂ及び幅狭流路２４ａ，２４ｂを通って圧力室２１ａ，２１ｂのそれぞれに流入する。当該インクは、圧力室２１ａ，２１ｂ内を第３方向に移動し、接続流路２３を通って第２方向の下方に移動して、ノズル２２から吐出される。
保護部材１３は、図３に示すように、アクチュエータ基板１２の上面に接着されている。保護部材１３には、２つの凹部１３ｘと、貫通孔１３ｙとが形成されている。
２つの凹部１３ｘは、それぞれ第１方向に延びている。２つの凹部１３ｘの一方には、第１個別流路群２０Ａに対応する複数のアクチュエータ１２ｘ１，１２ｘ２が収容されている。２つの凹部１３ｘの他方には、第２個別流路群２０Ｂに対応する複数のアクチュエータ１２ｘ１，１２ｘ２が収容されている。
貫通孔１３ｙは、保護部材１３の第３方向の中央において、第１方向に延びている。プレート１１ａは、保護部材１３の上面に配置された部分を有し、貫通孔１３ｙと第２方向に重なる貫通孔１１ａｙを有する。配線基板１８は、貫通孔１３ｙと貫通孔１１ａｙとを通って、上方へ延びている。
なお、図２、４〜６では、保護部材１３の図示を省略している。
以上に述べたように、本実施形態において、各個別流路２０は、第１圧力室２１ａ及び第２圧力室２１ｂと、第２方向の一端２３ｘが第１圧力室２１ａ及び第２圧力室２１ｂに連通し、第２方向の他端２３ｙがノズル２２に連通する接続流路２３とを含む（図４参照）。これにより、各個別流路２０において２つの圧力室２１ａ，２１ｂによる吐出圧を付与でき、吐出圧を高めることができる。また、ＡＬは各個別流路２０が１つの圧力室を含む場合と略同じであり、高周波数での吐出が可能である。したがって、大きな吐出圧が必要なインク（高粘度インク、特殊光沢インク等）を高周波数で安定して吐出できる。ここで、高粘度インクとは、例えば、粘度が１０〜２０ｃｐｓ程度のインクをいい、樹脂成分等を含有する。特殊光沢インクとは、例えば、シルバーメタリックインク等であり、径の大きな粒子（平板状粒子等）を含有する。また、高周波数とは、５０ｋＨｚ程度をいう。
さらに、本実施形態では、接続流路２３が第２方向の一端２３ｘから他端２３ｙまで第２方向に沿って延びている。仮に、接続流路２３が第２方向の一端２３ｘから他端２３ｙまでの間で分岐又は統合する構成の場合（図１１参照）、分岐又は統合箇所に屈曲部が生じ、当該屈曲部に淀みや気泡の滞留が生じ易くなる。また、屈曲部があることで、接続流路２３全体の流路抵抗が高くなる。これに対し、本実施形態では、接続流路２３が第２方向の一端２３ｘから他端２３ｙまで第２方向に沿って延びているため、屈曲部による上記問題（淀みや気泡の滞留が生じる問題や、流路抵抗が高くなる問題）を抑制できる。
さらに、本実施形態では、接続流路２３が第１圧力室２１ａ、第２圧力室２１ｂ及びノズル２２以外と連通しない。仮に、接続流路２３が第１圧力室２１ａ、第２圧力室２１ｂ及びノズル２２以外の流路（例えば、複数の個別流路２０とサブタンクとを連通させる、共通流路３１，３２とは別の流路）と連通する場合、圧力室２１ａ，２１ｂからの吐出圧が当該流路に逃げてしまい、ノズル２２に加わる吐出圧が低下する。これに対し、本実施形態では、接続流路２３が第１圧力室２１ａ、第２圧力室２１ｂ及びノズル２２以外と連通しないため、上記のような吐出圧の逃げが生じず、２つの圧力室２１ａ，２１ｂによる吐出圧を効率よくノズル２２に付与できる。
アクチュエータ基板１２は、図６に示すように、個別電極１２ｄ１と個別電極１２ｄ２とを互いに接続する接点１２ｆを有し、配線基板１８の個別配線１８ｅ（図３参照）は、接点１２ｆに接続されている。この場合、個別電極１２ｄ１，１２ｄ２毎に（即ち、各個別流路２０に対して２つの）個別配線１８ｅが設けられる場合に比べ、個別配線１８ｅの数が半減し（即ち、各個別流路２０に対して１つの個別配線１８ｅを設けるだけでよく）、配線基板１８の製造が容易である。また本実施形態では、アクチュエータ基板１２の配線１２ｅと配線基板１８の個別配線１８ｅとの電気的接続部の数も半減するため、接続不良を抑制できる。
ノズル２２は、第１方向において第１圧力室２１ａと第２圧力室２１ｂとの中央に位置する（図４参照）。第１圧力室２１ａに対して設けられたアクチュエータ１２ｘ１と第２圧力室２１ｂに対して設けられたアクチュエータ１２ｘ２とが同相で駆動されると、第１圧力室２１ａ内で加圧されたインクと、第２圧力室２１ｂ内で加圧されたインクとが、これら圧力室２１ａ，２１ｂの第１方向の中央で合流する。当該中央にノズル２２が位置することで、ノズル２２からのインクの吐出が安定する。
第１方向における第１圧力室２１ａに対する幅狭流路２４ａの位置と、第１方向における第２圧力室２１ｂに対する幅狭流路２４ｂの位置とが、互いに異なる場合（例えば、幅狭流路２４ａの中心線Ｏが対応する圧力室２１ａの中心線Ｏ’に対して第１方向の一方（図２の上方）に位置し、幅狭流路２４ｂの中心線Ｏが対応する圧力室２１ａの中心線Ｏ’に対して第１方向の他方（図２の下方）に位置する場合）、幅狭流路２４ａ，２４ｂの製造条件が互いに異なり、製造バラツキが生じ得る。これに対し、本実施形態では、第１方向における第１圧力室２１ａに対する幅狭流路２４ａの位置と、第１方向における第２圧力室２１ｂに対する幅狭流路２４ｂの位置とが、互いに同じである（図２参照）。これにより、幅狭流路２４ａ，２４ｂの製造条件が互いに同じになり、製造バラツキを抑制できる。
接続流路２３において、各側壁１１ｃ１と底壁１１ｄ１とがなす角度θ（図４参照）が鋭角や直角の場合、当該部分に淀みや気泡の滞留が生じ易くなる。これに対し、本実施形態では、角度θが鈍角であるため、ノズル２２に向かってインクがスムーズに流れ、淀みや気泡の滞留が生じ難い。
圧力室２１ａ，２１ｂの側壁１１ｂ２は、接続流路２３の側壁１１ｃ１に接着される接着部Ａ（図４参照）を有する。接着部Ａの第１方向の厚みＤ１は、側壁１１ｂ２における接着部Ａ以外の部分Ｂ（図５参照）の第１方向の厚みＤ１’よりも大きい。この場合、側壁１１ｂ２と側壁１１ｃ１との接着代を確保でき、強固な接着を実現できる。
接続流路２３の側壁１１ｃ１の上端部（図４に示す接着部Ａに接着される部分）における第１方向の厚みＤ２は、接着部Ａの第１方向の厚みＤ１よりも大きい。また、接続流路２３における第２方向の一端２３ｘの第１方向の長さ（逆台形形状を構成する上底の第１方向の長さ）Ｌ１は、第１圧力室２１ａの側壁１１ｂ２における第１圧力室２１ａに接する面から、第２圧力室２１ｂの側壁１１ｂ２における第２圧力室２１ｂに接する面までの第１方向の長さＬ３よりも短い。この場合、側壁１１ｂ２を構成する部材（プレート１１ｂ）と側壁１１ｃ１を構成する部材（プレート１１ｃ）との間で、第１方向の位置ズレが生じても、側壁１１ｂ２を側壁１１ｃ１に接着でき、接着不良を抑制できる。
＜第２実施形態＞
続いて、図７を参照し、本発明の第２実施形態について説明する。
続いて、図７を参照し、本発明の第２実施形態について説明する。
第１実施形態（図６）では、アクチュエータ基板１２の配線１２ｅが個別電極１２ｄ１と個別電極１２ｄ２とを互いに電気的に接続するが、本実施形態（図７）では、配線基板２１８の個別配線２１８ｅが個別電極１２ｄ１と個別電極１２ｄ２とを互いに電気的に接続する。
また、第１実施形態（図６）では、複数の個別流路２０が第３方向に並ぶ２つの個別流路群２０Ａ，２０Ｂを構成するが、本実施形態（図７）では、複数の個別流路２０が１つの個別流路群２０Ａを構成している。
具体的には、本実施形態のヘッド２０１では、図７（ａ）に示すように、アクチュエータ基板１２の複数の配線２１２ｅは、個別流路２０毎ではなく、個別電極１２ｄ１，１２ｄ２毎に設けられている。各配線２１２ｅは、対応する個別電極１２ｄ１，１２ｄ２から第３方向に延び、その先端に接点１２ｆ１，１２ｆ２が形成されている。接点１２ｆ１は、個別電極１２ｄ１に接続する配線２１２ｅの先端に形成されており、接点１２ｆ２は、個別電極１２ｄ２に接続する配線２１２ｅの先端に形成されている。接点１２ｆ１，１２ｆ２は、第１方向に交互に配置されている。
配線基板２１８は、アクチュエータ基板１２に固定された一端２１８ａに、図７（ｂ）に示すように、接点２１８ｆ１，２１８ｆ２を有する。接点２１８ｆ１，２１８ｆ２は、図７（ａ）に示すアクチュエータ基板１２の接点１２ｆ１，１２ｆ２と同様、第１方向に交互に配置されている。接点２１８ｆ１は、接点１２ｆ１と第２方向に重なり、接点１２ｆ１と接触している。接点２１８ｆ２は、接点１２ｆ２と第２方向に重なり、接点１２ｆ２と接触している。
配線基板２１８の個別配線２１８ｅは、個別流路２０毎に設けられており、図７（ｂ）に示すように、それぞれ、接点２１８ｆ１から第１方向に延びる第１部分２１８ｅ１と、接点２１８ｆ２から第１方向に延びて第１部分２１８ｅ１に繋がる第２部分２１８ｅ２と、第１部分２１８ｅ１と第２部分２１８ｅ２との接続部分２１８ｅ’から第３方向に延びる第３部分２１８ｅ３とを有する。第１部分２１８ｅ１は個別電極１２ｄ１に接続し、第２部分２１８ｅ２は個別電極１２ｄ２に接続している。
以上に述べたように、本実施形態によれば、個別電極１２ｄ１，１２ｄ２毎に（即ち、各個別流路２０に対して２つの）個別配線２１８ｅが設けられる場合に比べ、個別配線２１８ｅの数が半減し（即ち、各個別流路２０に対して１つの個別配線２１８ｅを設けるだけでよく）、配線基板２１８の製造が容易である。
＜第３実施形態＞
続いて、図８及び図９を参照し、本発明の第３実施形態について説明する。
続いて、図８及び図９を参照し、本発明の第３実施形態について説明する。
第１実施形態（図６）及び第２実施形態（図７）では、アクチュエータ基板１２の配線１２ｅや配線基板２１８の個別配線２１８ｅの構成により、個別電極１２ｄ１と個別電極１２ｄ２とが互いに電気的に接続されているが、本実施形態では、個別電極１２ｄ１と個別電極１２ｄ２とが互いに電気的に接続されていない。
具体的には、本実施形態のヘッド３０１において、アクチュエータ基板１２の構成は第２実施形態（図７（ａ））と同様であり、アクチュエータ基板１２の複数の配線２１２ｅは、個別流路２０毎ではなく、個別電極１２ｄ１，１２ｄ２毎に設けられている。
配線基板３１８は、図８に示すように、一端３１８ａに、第２実施形態（図７（ｂ））と同様の接点２１８ｆ１，２１８ｆ２を有する。配線基板３１８の個別配線３１８ｅは、個別流路２０毎ではなく、接点２１８ｆ１，２１８ｆ２毎（即ち、個別電極１２ｄ１，１２ｄ２毎）に設けられている。各個別配線３１８ｅは、対応する接点２１８ｆ１，２１８ｆ２から延び、配線基板３１８の他端に設けられた制御部５（図１参照）に接続されている。
本実施形態では、上記のような構成により、個別電極１２ｄ１，１２ｄ２毎に個別の制御が可能となっている。具体的には、制御部５は、ノズル２２（図４参照）からインクを吐出させる際、第１圧力室２１ａと第２方向に重なるアクチュエータ１２ｘ１（第１アクチュエータ）及び第２圧力室２１ｂと第２方向に重なるアクチュエータ１２ｘ２（第２アクチュエータ）に対して同相の駆動信号を付与する同相駆動処理と、第１アクチュエータ及び第２アクチュエータに対して互いに異なる駆動信号を付与する個別駆動処理と、を選択的に実行する。
例えば、制御部５は、個別駆動処理において、第１アクチュエータに対し、ノズル２２からインクを吐出させるための吐出駆動信号（図９（ａ）参照）を付与し、第２アクチュエータに対し、残留振動（圧力室２１ａ，２１ｂ内に残留している振動）を打ち消すためのキャンセル駆動信号（図９（ｂ）参照）を付与する。
また例えば、制御部５は、個別駆動処理において、第１アクチュエータに対し、ノズル２２からインクを吐出させるための吐出駆動信号（図９（ａ）参照）を付与し、第２アクチュエータに対し、ノズル２２からインクを吐出させることなくノズル２２に形成されたインクのメニスカスを振動させる不吐出駆動信号（図９（ｃ）参照）を付与する。
図９（ａ）に示す駆動信号は、吐出駆動信号の一例であり、１記録周期内に１つのパルスを有し、ノズル２２から小滴のインクを吐出させる。このパルス幅Ｔは、ＡＬ（Acoustic Length：個別流路２０における圧力波の片道伝搬時間）と等しい。なお、吐出駆動信号は、ノズル２２から中滴のインクを吐出させる場合は１記録周期内に２つのパルスを有し、ノズル２２から大滴のインクを吐出させる場合は１記録周期内に３つのパルスを有してよい。図９（ａ）に示す吐出駆動信号では、初期状態において、個別電極１２ｄ１，１２ｄ２に所定の電位Ｖ１が付与されており、アクチュエータ１２ｘ１，１２ｘ２が圧力室２１ａ，２１ｂに向かって凸に変形している。そして、個別電極１２ｄ１，１２ｄ２がグランド電位Ｖ０となるタイミングで、アクチュエータ１２ｘ１，１２ｘ２が平坦になり、圧力室２１ａ，２１ｂの容積が初期状態よりも増加する。このとき、共通流路３１，３２から個別流路２０にインクが吸い込まれる。さらにその後、所定のタイミングで再び個別電極１２ｄ１，１２ｄ２に電位Ｖ１が付与され、アクチュエータ１２ｘ１，１２ｘ２が圧力室２１ａ，２１ｂに向かって凸に変形することで、圧力室２１ａ，２１ｂの容積低下によりインクの圧力が上昇し、ノズル２２からインクが吐出される。
図９（ｂ）に示す駆動信号は、キャンセル駆動信号の一例であり、１記録周期内に、メインパルス（図９（ａ）と同様の、ノズル２２から小滴のインクを吐出させる１つのパルス）と、パルス幅がメインパルスの半分（Ｔ／２）であるキャンセルパルスとを有する。キャンセルパルスにより、圧力室２１ａ，２１ｂ内に残留している振動がキャンセルされる。なお、吐出されるインク滴の大きさにより、メインパルスのパルス数を変更してよい。
図９（ｃ）に示す駆動信号は、不吐出駆動信号の一例であり、１記録周期内に短い周期例えば８μｍ）で繰り返し出現する多数のパルスを有する。このパルス幅ｔは、ＡＬの１／３以下であることが好ましい。
図９（ａ）に示す小滴の吐出駆動信号、図９（ｂ）に示す小滴の場合のキャンセル駆動信号、及び、図９（ｃ）に示す不吐出駆動信号に加え、中滴の吐出駆動信号、中滴の場合のキャンセル駆動信号、大滴の吐出駆動信号、大滴の場合のキャンセル駆動信号、吐出なしの駆動信号を示すデータが、制御部５のＲＯＭに記憶されている。制御部５は、個別駆動処理において、ＰＣ等の外部装置から入力された記録指令（画像データを含む。）に基づき、１記録周期毎に、ＲＯＭに記憶された上記駆動信号のうちの１つを第１アクチュエータ、さらに別の１つを第２アクチュエータに付与する。
以上に述べたように、本実施形態によれば、制御部５は、ノズル２２（図４参照）からインクを吐出させる際、第１圧力室２１ａと第２方向に重なるアクチュエータ１２ｘ１（第１アクチュエータ）及び第２圧力室２１ｂと第２方向に重なるアクチュエータ１２ｘ２（第２アクチュエータ）に対して同相の駆動信号を付与する同相駆動処理と、第１アクチュエータ及び第２アクチュエータに対して互いに異なる駆動信号を付与する個別駆動処理と、を選択的に実行する。この場合、信号波形の設計の自由度が向上し、個別駆動処理の実行により、残留振動の打ち消し（図９（ｂ））や、ノズル２２内のインクの増粘防止（図９（ｃ））等の効果を得ることができる。
制御部５は、個別駆動処理において、第１アクチュエータに対し、ノズル２２からインクを吐出させるための吐出駆動信号（図９（ａ）参照）を付与し、第２アクチュエータに対し、残留振動（圧力室２１ａ，２１ｂ内に残留している振動）を打ち消すためのキャンセル駆動信号（図９（ｂ）参照）を付与する。この場合、個別駆動処理の実行により、残留振動を打ち消すことができる。
また制御部５は、個別駆動処理において、第１アクチュエータに対し、ノズル２２からインクを吐出させるための吐出駆動信号（図９（ａ）参照）を付与し、第２アクチュエータに対し、ノズル２２からインクを吐出させることなくノズル２２に形成されたインクのメニスカスを振動させる不吐出駆動信号（図９（ｃ）参照）を付与する。この場合、個別駆動処理の実行により、ノズル２２内のインクの増粘を防止できる。
＜第４実施形態＞
続いて、図１０を参照し、本発明の第４実施形態について説明する。
続いて、図１０を参照し、本発明の第４実施形態について説明する。
第１実施形態（図２）では、接続流路２３が、第２方向と直交する面において、矩形形状を有するが、本実施形態（図１０）では、接続流路４２３が、第２方向と直交する面において、それぞれ平行四辺形形状を有する２つの部分４２３ａ，４２３ｂで構成される。
具体的には、本実施形態のヘッド４０１において、各個別流路４２０に含まれる接続流路４２３は、第１圧力室２１ａと第２方向に重なりかつ平行四辺形形状を有する第１部分４２３ａと、第２圧力室２１ｂと第２方向に重なりかつ平行四辺形形状を有する第２部分４２３ｂとを有する。第１部分４２３ａと第２部分４２３ｂとは、第１方向に並び、第１方向に接している。第１部分４２３ａ及び第２部分４２３ｂは、それぞれ、第３方向に延びる一対の辺を有し、当該一対の辺の一方が、ノズル２２の直上において、互いに重なり合っている。
また本実施形態では、接続流路４２３を構成するプレートがＳｉ（シリコン）からなる。
本実施形態は、Ｓｉ（シリコン）の異方性ウエットエッチングの特性（例えば特許第３１０８９５４号に示されている、エッチング速度の結晶面方位依存性）を考慮したものであり、コスト低減等のためドライエッチングではなくウエットエッチングを採用した場合でも、接続流路４２３をそれぞれ平行四辺形形状を有する２つの部分４２３ａ，４２３ｂで構成することで、接続流路４２３を形成し易い。つまり、接続流路４２３を安価に形成できる。
＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。
本発明の第１観点において、接続流路が「第２方向の一端から他端まで、第２方向に沿って延びている」とは、接続流路の延びる方向が、第２方向と平行には限定されず、第２方向と交差してもよい。
本発明の第２観点では、接続流路は、「第１圧力室、第２圧力室及びノズルと連通し、第１圧力室、第２圧力室及びノズル以外と連通しない」限り、「第２方向の一端から他端まで、第２方向に沿って延びている」ことに限定されない。例えば、図１１に示す一変形例に係るヘッド１’において、接続流路２３’は、「第２方向の一端から他端まで、第２方向に沿って延び」ておらず、第１圧力室２１ａに接続する第１接続部２３ａと、第２圧力室２１ｂに接続する第２接続部２３ｂと、第１接続部２３ａと第２接続部２３ｂとを連結しかつ下方に延びる延出部２３ｃとを有する。第１接続部２３ａ及び第２接続部２３ｂは、隔壁Ｗによって第１方向に隔てられており、対応する圧力室２１ａ，２１ｂからそれぞれ下方に延びている。延出部２３ｃは、その上端において第１接続部２３ａと第２接続部２３ｂとを連結し、その下端においてノズル２２と連通している。接続部２３ａ，２３ｂの上端が、接続流路２３’の第２方向の一端２３ｘ１’，２３ｘ２’であり、延出部２３ｃの下端が、接続流路２３’の第２方向の他端２３ｙ’である。また、図１１において、隔壁Ｗを省略し、接続流路をＴ字状としてもよい（この場合、２つの接続部２３ａ，２３ｂを組み合わせた部分が、２つの圧力室２１ａ，２１ｂの両方に連通する）。
第１実施形態（図６）では、アクチュエータ基板１２の配線１２ｅが個別電極１２ｄ１，１２ｄ２を互いに電気的に接続するが、配線１２ｅによらず、個別電極１２ｄ１，１２ｄ２同士が部分的に繋がることで互いに電気的に接続されてもよい。
第１実施形態（図４）では、圧力室毎に個別電極が設けられているが、これに限定されず、２つの圧力室（第１圧力室及び第２圧力室）に対して１つの個別電極が設けられてもよい。
ノズルは、第１方向において第１圧力室と第２圧力室との中央に位置することに限定されず、当該中央から第１方向に離隔した位置にあってもよい。
第１実施形態（図２）では、幅狭流路２４ａ，２４ｂの中心線Ｏが対応する圧力室２１ａの中心線Ｏ’と第１方向に一致しないが、一致してもよい。また、第１方向における第１圧力室２１ａに対する幅狭流路２４ａの位置と、第１方向における第２圧力室２１ｂに対する幅狭流路２４ｂの位置とが、互いに異なってもよい。
接続流路２３（図４参照）において、各側壁１１ｃ１と底壁１１ｄ１とがなす角度θは、鈍角に限定されず、直角であってもよい。また、一対の側壁１１ｃの一方と他方とで、底壁１１ｄ１となす角度θが異なってもよい。
圧力室２１ａ，２１ｂの側壁１１ｂ２（図４及び図５参照）が、第３方向に一定の厚みを有してもよい。
制御部は、個別駆動処理を実行する場合に、第１アクチュエータに対して吐出駆動信号を付与し、第２アクチュエータに対してキャンセル駆動信号又は不吐出駆動信号を付与することに限定されない。つまり、同一の記録周期内で、第１アクチュエータ及び第２アクチュエータに対して互いに異なる駆動信号が付与される限り、駆動信号の種類は任意である。例えば、第１アクチュエータに対して１つのパルスを含む吐出駆動信号を付与し、第２アクチュエータに対して２つのパルスを含む吐出駆動信号を付与してもよい。
第１方向に並ぶ複数の個別流路で構成される個別流路群の数は、任意であり、３以上であってもよい。
各個別流路に属するノズルの数は、上述の実施形態では１つであるが、２つ以上であってもよい。
液体吐出ヘッドは、ライン式に限定されず、シリアル式（紙幅方向と平行な走査方向に移動しつつノズルから吐出対象に対して液体を吐出する方式）であってもよい。
吐出対象は、用紙に限定されず、例えば布、基板等であってもよい。
ノズルから吐出される液体は、インクに限定されず、任意の液体（例えば、インク中の成分を凝集又は析出させる処理液等）であってよい。
本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。
１；２０１；３０１；４０１；１’ ヘッド（液体吐出ヘッド）
５ 制御部
１１ 流路基板
１１ｂ１ 隔壁
１１ｂ２ 側壁（第１側壁、第２側壁）
１１ｃ１ 側壁
１１ｄ１ 底壁
１２ アクチュエータ基板
１２ｄ１ 個別電極（第１電極）
１２ｄ２ 個別電極（第２電極）
１２ｆ 接点（接続部）
１２ｘ１ アクチュエータ（第１アクチュエータ）
１２ｘ２ アクチュエータ（第２アクチュエータ）
１８；２１８；３１８ 配線基板
１８ｅ；３１８ｅ 個別配線
２０ 個別流路
２１ａ 第１圧力室
２１ｂ 第２圧力室
２２ ノズル
２３；２３’ 接続流路
２３ｘ 一端
２３ｙ 他端
２４ａ 幅狭流路（第１連通流路）
２４ｂ 幅狭流路（第２連通流路）
３１，３２ 共通流路
１００ プリンタ（液体吐出装置）
２１８ｅ 個別配線
２１８ｅ１ 第１部分
２１８ｅ２ 第２部分
２１８ｅ３ 第３部分
２１８ｅ’ 接続部分
４２３ 接続流路
４２３ａ 第１部分
４２３ｂ 第２部分
Ａ 接着部
５ 制御部
１１ 流路基板
１１ｂ１ 隔壁
１１ｂ２ 側壁（第１側壁、第２側壁）
１１ｃ１ 側壁
１１ｄ１ 底壁
１２ アクチュエータ基板
１２ｄ１ 個別電極（第１電極）
１２ｄ２ 個別電極（第２電極）
１２ｆ 接点（接続部）
１２ｘ１ アクチュエータ（第１アクチュエータ）
１２ｘ２ アクチュエータ（第２アクチュエータ）
１８；２１８；３１８ 配線基板
１８ｅ；３１８ｅ 個別配線
２０ 個別流路
２１ａ 第１圧力室
２１ｂ 第２圧力室
２２ ノズル
２３；２３’ 接続流路
２３ｘ 一端
２３ｙ 他端
２４ａ 幅狭流路（第１連通流路）
２４ｂ 幅狭流路（第２連通流路）
３１，３２ 共通流路
１００ プリンタ（液体吐出装置）
２１８ｅ 個別配線
２１８ｅ１ 第１部分
２１８ｅ２ 第２部分
２１８ｅ３ 第３部分
２１８ｅ’ 接続部分
４２３ 接続流路
４２３ａ 第１部分
４２３ｂ 第２部分
Ａ 接着部
Claims (15)
- 第１方向に延びる共通流路と、
前記第１方向に配列された複数の個別流路と、を備え、
前記複数の個別流路は、それぞれ、
前記共通流路に連通しかつ前記第１方向に並ぶ第１圧力室及び第２圧力室と、
前記第１圧力室及び前記第２圧力室に対して前記第１方向と直交する第２方向に離隔したノズルと、
前記第１圧力室、前記第２圧力室及び前記ノズルを互いに接続する接続流路であって、前記第２方向の一端が前記第１圧力室及び前記第２圧力室に連通し、前記第２方向の他端が前記ノズルに連通する接続流路と、を含み、
前記接続流路は、前記第２方向の一端から他端まで、前記第２方向に沿って延びていることを特徴とする、液体吐出ヘッド。 - 第１方向に延びる共通流路と、
前記第１方向に配列された複数の個別流路と、を備え、
前記複数の個別流路は、それぞれ、
前記共通流路に連通しかつ前記第１方向に並ぶ第１圧力室及び第２圧力室と、
前記第１圧力室及び前記第２圧力室に対して前記第１方向と直交する第２方向に離隔したノズルと、
前記第１圧力室、前記第２圧力室及び前記ノズルを互いに接続する接続流路であって、前記第２方向の一端が前記第１圧力室及び前記第２圧力室に連通し、前記第２方向の他端が前記ノズルに連通する接続流路と、を含み、
前記接続流路は、前記第１圧力室、前記第２圧力室及び前記ノズルと連通し、前記第１圧力室、前記第２圧力室及び前記ノズル以外と連通しないことを特徴とする、液体吐出ヘッド。 - 前記複数の個別流路が形成された流路基板と、
前記流路基板に固定されたアクチュエータ基板であって、前記第１圧力室と前記第２方向に重なる第１電極及び前記第２圧力室と前記第２方向に重なる第２電極を有するアクチュエータ基板と、
前記アクチュエータ基板に固定された配線基板であって、前記複数の個別流路毎に設けられた個別配線を有する配線基板と、をさらに備え、
前記アクチュエータ基板は、前記第１電極と前記第２電極とを互いに接続する接続部をさらに有し、
前記個別配線は、前記接続部に接続されていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記複数の個別流路が形成された流路基板と、
前記流路基板に固定されたアクチュエータ基板であって、前記第１圧力室と前記第２方向に重なる第１電極及び前記第２圧力室と前記第２方向に重なる第２電極を有するアクチュエータ基板と、
前記アクチュエータ基板に固定された配線基板であって、前記複数の個別流路毎に設けられた個別配線を有する配線基板と、をさらに備え、
前記個別配線は、前記第１電極に接続する第１部分と、前記第２電極に接続しかつ前記第１部分に繋がる第２部分と、前記第１部分と前記第２部分との接続部分から延びる第３部分とを有することを特徴とする、請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記複数の個別流路のそれぞれにおいて、
前記ノズルは、前記第１方向において前記第１圧力室と前記第２圧力室との中央に位置することを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記複数の個別流路は、それぞれ、
前記共通流路と前記第１圧力室とを連通させる第１連通流路であって、前記第１方向及び前記第２方向と直交する第３方向に前記第１圧力室と並び、前記第１圧力室の前記第１方向の長さよりも短い幅を有する第１連通流路と、
前記共通流路と前記第２圧力室とを連通させる第２連通流路であって、前記第３方向に前記第２圧力室と並び、前記第２圧力室の前記第１方向の長さよりも短い幅を有する第２連通流路と、をさらに含み、
前記第１方向における前記第１圧力室に対する前記第１連通流路の位置と、前記第１方向における前記第２圧力室に対する前記第２連通流路の位置とが、互いに同じであることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記接続流路は、前記第１方向及び前記第２方向に沿った断面において、前記第１方向に前記接続流路を挟む一対の側壁と、前記第２方向の他端において前記第２方向と直交する底壁とによって画定され、前記一対の側壁のそれぞれと前記底壁とがなす角度は、鈍角であることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記第１圧力室は、前記第１方向に前記第１圧力室及び前記第２圧力室を隔てる隔壁と、前記第１方向に前記隔壁から離隔して前記隔壁との間に前記第１圧力室を挟む第１側壁とによって画定され、
前記第２圧力室は、前記隔壁と、前記第１方向に前記隔壁から離隔して前記隔壁との間に前記第２圧力室を挟む第２側壁とによって画定され、
前記第１側壁及び前記第２側壁は、それぞれ、前記接続流路を画定しかつ前記第１方向に前記接続流路を挟む一対の側壁に接着される接着部を有し、
前記接着部の前記第１方向の厚みは、前記第１側壁及び前記第２側壁における前記接着部以外の部分の前記第１方向の厚みよりも大きいことを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記第１圧力室は、前記第１方向に前記第１圧力室及び前記第２圧力室を隔てる隔壁と、前記第１方向に前記隔壁から離隔して前記隔壁との間に前記第１圧力室を挟む第１側壁とによって画定され、
前記第２圧力室は、前記隔壁と、前記第１方向に前記隔壁から離隔して前記隔壁との間に前記第２圧力室を挟む第２側壁とによって画定され、
前記第１側壁及び前記第２側壁は、それぞれ、前記接続流路を画定しかつ前記第１方向に前記接続流路を挟む一対の側壁に接着される接着部を有し、
前記一対の側壁それぞれの、前記接着部に接着される部分における前記第１方向の厚みは、前記接着部の前記第１方向の厚みよりも大きく、
前記接続流路における前記第２方向の一端の前記第１方向の長さは、前記第１側壁における前記第１圧力室に接する面から前記第２側壁における前記第２圧力室に接する面までの前記第１方向の長さよりも短いことを特徴とする、請求項１〜８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記接続流路は、前記第２方向と直交する面において、
前記第１圧力室と前記第２方向に重なりかつ平行四辺形形状を有する第１部分と、
前記第２圧力室と前記第２方向に重なりかつ平行四辺形形状を有する第２部分であって、前記第１部分と前記第１方向に接する第２部分と、を有することを特徴とする、請求項１〜９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。 - 第１方向に延びる共通流路と、
前記第１方向に配列された複数の個別流路と、を備え、
前記複数の個別流路は、それぞれ、
前記共通流路に連通しかつ前記第１方向に並ぶ第１圧力室及び第２圧力室と、
前記第１圧力室及び前記第２圧力室に対して前記第１方向と直交する第２方向に離隔したノズルと、
前記第１圧力室、前記第２圧力室及び前記ノズルを互いに接続する接続流路であって、前記第２方向の一端が前記第１圧力室及び前記第２圧力室に連通し、前記第２方向の他端が前記ノズルに連通する接続流路と、を含み、
前記接続流路は、前記第２方向の一端から他端まで、前記第２方向に沿って延び、
前記第１圧力室と前記第２方向に重なる第１アクチュエータと、
前記第２圧力室と前記第２方向に重なる第２アクチュエータと、
前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータのそれぞれに駆動信号を付与する制御部と、をさらに備え、
前記制御部は、前記ノズルから液体を吐出させる際、
前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータに対して同相の駆動信号を付与する同相駆動処理を実行することを特徴とする、液体吐出装置。 - 第１方向に延びる共通流路と、
前記第１方向に配列された複数の個別流路と、を備え、
前記複数の個別流路は、それぞれ、
前記共通流路に連通しかつ前記第１方向に並ぶ第１圧力室及び第２圧力室と、
前記第１圧力室及び前記第２圧力室に対して前記第１方向と直交する第２方向に離隔したノズルと、
前記第１圧力室、前記第２圧力室及び前記ノズルを互いに接続する接続流路であって、前記第２方向の一端が前記第１圧力室及び前記第２圧力室に連通し、前記第２方向の他端が前記ノズルに連通する接続流路と、を含み、
前記接続流路は、前記第１圧力室、前記第２圧力室及び前記ノズルと連通し、前記第１圧力室、前記第２圧力室及び前記ノズル以外と連通せず、
前記第１圧力室と前記第２方向に重なる第１アクチュエータと、
前記第２圧力室と前記第２方向に重なる第２アクチュエータと、
前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータのそれぞれに駆動信号を付与する制御部と、をさらに備え、
前記制御部は、前記ノズルから液体を吐出させる際、
前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータに対して同相の駆動信号を付与する同相駆動処理を実行することを特徴とする、液体吐出装置。 - 前記制御部は、前記ノズルから液体を吐出させる際、
前記同相駆動処理と、
前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータに対して互いに異なる駆動信号を付与する個別駆動処理と、を選択的に実行することを特徴とする、請求項１１又は１２に記載の液体吐出装置。 - 前記制御部は、前記個別駆動処理において、
前記第１アクチュエータに対し、前記ノズルから液体を吐出させるための吐出駆動信号を付与し、
前記第２アクチュエータに対し、残留振動を打ち消すためのキャンセル駆動信号を付与することを特徴とする、請求項１３に記載の液体吐出装置。 - 前記制御部は、前記個別駆動処理において、
前記第１アクチュエータに対し、前記ノズルから液体を吐出させるための吐出駆動信号を付与し、
前記第２アクチュエータに対し、前記ノズルから液体を吐出させることなく前記ノズルに形成された液体のメニスカスを振動させる不吐出駆動信号を付与することを特徴とする、請求項１３に記載の液体吐出装置。
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