JP2021086994A - 現像装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の一実施の形態に係る現像装置の概略構成を説明するための模式的斜視図である。図1に示すように、現像装置1は、基本的に筐体CA内に2つの液処理ユニットLPA,LPBが収容された構成を有する。図1では、2つの液処理ユニットLPA,LPBの概略形状が点線で示される。液処理ユニットLPA,LPBの構成の詳細については後述する。
図1の2つの液処理ユニットLPA,LPBは、同じ構成を有する。以下、2つの液処理ユニットLPA,LPBを代表して液処理ユニットLPAの構成を説明する。図2は図1の液処理ユニットLPAの構成を説明するための模式的外観斜視図であり、図3は図2の液処理ユニットLPAの構成を説明するための模式的平面図であり、図4は図2の液処理ユニットLPAの構成を説明するための模式的縦断面図である。図4では、液処理ユニットLPAのうち一部の構成が示される。また、図2〜図4では、処理対象の基板Wが点線で示される。
図8は、図1の現像装置1の制御部90の構成を示すブロック図である。図8に示すように、制御部90は、昇降制御部91、液制御部92、回転制御部93および吸引制御部94を含む。図8の制御部90の各部の機能は、例えばCPUがメモリに記憶された所定のプログラムを実行することにより実現される。
現像装置1の基本動作について説明する。図9は、現像装置1による基板Wの現像処理時の基本動作を示すフローチャートである。初期状態においては、気体供給部10から現像装置1に温度および湿度等が調整された空気が供給されている。また、筐体CA内の雰囲気は、液処理ユニットLPA,LPBの排気管61から図示しない排気装置に導かれている。それにより、筐体CA内には清浄な下降気流が形成されている。さらに、初期状態においては、カップ40は、第1の状態で維持されているものとする。
(1)本実施の形態に係る現像装置1においては、基板Wの現像処理前に、各液処理ユニットLPA,LPBのカップ40が第1の状態で維持され、各液処理ユニットLPA,LPBの筐体CA内に搬入される基板Wが基板保持装置70に渡される。基板Wの現像処理時には、基板保持装置70により基板Wが保持された状態で、カップ40が第1の状態から第2の状態に移行する。これにより、筐体CA内に処理空間SPaと非処理空間SPbとが形成される。この状態で、複数の現像ノズル33から基板Wに現像液が供給される。また、複数のリンスノズル34から基板Wにリンス液が供給される。このようにして基板Wの現像処理が終了すると、カップ40が第2の状態から第1の状態に移行する。また、基板保持装置70により保持された基板Wが取り出され、筐体CA外に搬出される。
上記の液処理ユニットLPA,LPBにおいては、カップ40が第2の状態にあるときに、カップ40と収容器50との間に処理空間SPaと非処理空間SPbとを連通させる隙間が形成される。この隙間は、基板Wの現像処理時における処理空間SPaの密閉性を低下させる。そこで、液処理ユニットLPA,LPBの各々は、カップ40が第2の状態にあるときに、カップ40と収容器50との間に形成される隙間を閉塞するリングシールを備えてもよい。
図12は、図1の現像装置1を備える基板処理装置の一例を示す模式的ブロック図である。図12に示すように、基板処理装置100は、露光装置300に隣接して設けられ、制御装置110、搬送装置120、塗布処理部130、現像処理部140および熱処理部150を備える。
(1)上記実施の形態に係る現像装置1においては、筐体CA内に収容される液処理ユニットLPA,LPBにより2枚の基板Wが同時に現像処理されるが、本発明はこれに限定されない。液処理ユニットLPAにおける基板Wの現像処理と液処理ユニットLPBにおける基板Wの現像処理とは、同時に行われてもよいし、互いに異なるタイミングで行われてもよい。
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応の例について説明する。上記実施の形態では、基板保持装置70が基板保持装置の例であり、複数の現像ノズル33がノズルの例であり、ノズルカバー20がノズルカバーの例であり、収容器50が収容器の例であり、カップ40がカップの例であり、昇降駆動部49が昇降駆動部の例である。
Claims (6)
- 基板を水平姿勢で保持する基板保持部と、
前記基板保持部の上方に設けられかつ前記基板保持部により保持された基板に現像液を供給するノズルと、
平面視で前記ノズルを取り囲みかつ側面視で前記ノズルの少なくとも一部と重なるように構成されたノズルカバーと、
前記ノズルカバーの下方の位置で前記ノズルカバーから離間するように設けられ、前記基板保持部の少なくとも下部を収容する収容器と、
平面視で前記基板保持部を取り囲むように構成されるとともに、側面視で前記収容器に重なりかつ前記ノズルカバーから離間する第1の状態と側面視で前記ノズルカバーの下端および前記収容器の上端に重なる第2の状態とに移行するように上下方向に昇降可能に構成されたカップと、
前記第1の状態と前記第2の状態とに移行するように、前記カップを上下動させる昇降駆動部と、
上部開口を有し、前記基板保持部、前記ノズル、前記ノズルカバー、前記収容器、前記カップを収容する筐体と、
前記筐体の前記上部開口に配置され、前記筐体内に下降気流を形成する気流形成部とを備え、
前記収容器は、前記筐体内の雰囲気を前記筐体の外部に排出する排気部を有し、
前記カップが前記第2の状態にあるときに、前記ノズルカバー、前記カップおよび前記収容器により取り囲まれる処理空間が形成されるとともに、前記筐体内でかつ前記ノズルカバー、前記カップおよび前記収容器の外部に前記処理空間よりも高い圧力を有する非処理空間が形成される、現像装置。 - 前記筐体および前記排気部は、前記カップが前記第2の状態にあるときに前記非処理空間の圧力が前記処理空間の圧力よりも高くなるように構成された、請求項1記載の現像装置。
- 前記筐体は、前記カップが前記第2の状態にあるときに前記非処理空間を前記筐体の外部から閉塞する閉塞部を有する、請求項1または2記載の現像装置。
- 前記カップが前記第2の状態にあるときに、前記カップと前記収容器との間には、前記処理空間と前記非処理空間とを連通させる隙間が形成され、
前記現像装置は、
前記隙間を閉塞するシールをさらに備える、請求項1〜3のいずれか一項に記載の現像装置。 - 前記ノズルは、気体と前記現像液の液滴とを含む混合流体を噴射する二流体ノズルである、請求項1〜4のいずれか一項に記載の現像装置。
- 前記ノズルから基板に供給される現像液は、露光されたネガ型の感光性ポリイミドを溶解する現像液である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の現像装置。
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