JP2021085807A5 - - Google Patents
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Description
本発明は、上記課題を解決する手段を複数含んでいるが、その一例を挙げるならば、被検査体の表面に設定された所定点の位置をそれぞれ計測する点計測部と、前記被検査体の複数の前記所定点の位置を同時に計測することにより複数の前記所定点を含む所定面の形状を計測する面計測部と、前記点計測部で計測された前記所定点の位置、および前記面計測部で計測された前記所定面の法線方向に基づいて、前記被検査体の基準形状からの変形量を求める演算部と、を備えたことを特徴とする。
Claims (16)
- 被検査体の表面に設定された所定点の位置をそれぞれ計測する点計測部と、
前記被検査体の複数の前記所定点の位置を同時に計測することにより複数の前記所定点を含む所定面の形状を計測する面計測部と、
前記点計測部で計測された前記所定点の位置、および前記面計測部で計測された前記所定面の法線方向に基づいて、前記被検査体の基準形状からの変形量を求める演算部と、を備えた
ことを特徴とする表面検査装置。 - 請求項１に記載の表面検査装置において、
前記演算部は、前記変形量として、前記被検査体の基準形状からの変位ベクトルを前記所定面の法線方向に射影したベクトルの大きさを求める
ことを特徴とする表面検査装置。 - 請求項１に記載の表面検査装置において、
前記演算部は、前記変形量として、前記被検査体の基準形状からの変位ベクトルを前記所定面に射影したベクトルの大きさを求める
ことを特徴とする表面検査装置。 - 請求項１に記載の表面検査装置において、
前記演算部は、前記変形量の時系列変化を分析することで変化傾向を分析し、前記変形量の変化傾向の異常有無を判定する
ことを特徴とする表面検査装置。 - 請求項１に記載の表面検査装置において、
前記点計測部は、前記被検査体に接触する接触式のセンサであり、
前記面計測部は、前記被検査体に接触せずに形状を計測する非接触式のセンサである
ことを特徴とする表面検査装置。 - 請求項１に記載の表面検査装置において、
前記点計測部による計測と前記面計測部による計測とが、同時に行われる
ことを特徴とする表面検査装置。 - 請求項１に記載の表面検査装置において、
前記演算部は、前記変形量に基づいて、前記被検査体の形状の異常の有無を判定する
ことを特徴とする表面検査装置。 - 請求項１乃至７のいずれか１項に記載の表面検査装置と、
前記表面検査装置で測定された前記変形量に基づいて前記被検査体の変形を矯正する形状矯正部と、を備えた
ことを特徴とする形状矯正装置。 - 被検査体の表面に設定された所定点の位置をそれぞれ計測する点計測ステップと、
前記被検査体の複数の前記所定点の位置を同時に計測することにより複数の前記所定点を含む所定面の形状を面計測する面計測ステップと、
前記点計測ステップで計測された前記所定点の位置、および前記面計測ステップで計測された前記所定面の法線方向に基づいて、前記被検査体の基準形状からの変形量を求める演算ステップと、を有する
ことを特徴とする表面検査方法。 - 請求項９に記載の表面検査方法において、
前記変形量として、前記被検査体の基準形状からの変位ベクトルを前記所定面の法線方向に射影したベクトルの大きさを求める
ことを特徴とする表面検査方法。 - 請求項９に記載の表面検査方法において、
前記変形量として、前記被検査体の基準形状からの変位ベクトルを前記所定面に射影したベクトルの大きさを求める
ことを特徴とする表面検査方法。 - 請求項９に記載の表面検査方法において、
前記被検査体の基準形状からの変形量の時系列変化を分析して変化傾向を分析し、前記変形量の変化傾向の異常有無を判定する傾向判定ステップを更に有する
ことを特徴とする表面検査方法。 - 請求項９に記載の表面検査方法において、
前記点計測ステップでは、前記被検査体に接触して前記所定点の位置を計測し、
前記面計測ステップでは、前記被検査体に接触せずに形状を計測する
ことを特徴とする表面検査方法。 - 請求項９に記載の表面検査方法において、
前記点計測ステップによる計測と前記面計測ステップによる計測とを、同時に行う
ことを特徴とする表面検査方法。 - 請求項９に記載の表面検査方法において、
前記演算ステップでは、前記変形量に基づいて、前記被検査体の形状の異常の有無を判定する
ことを特徴とする表面検査方法。 - 請求項９乃至１５のいずれか１項に記載の表面検査方法の各ステップと、
前記表面検査方法で測定された前記変形量に基づいて前記被検査体の変形を矯正する形状矯正ステップと、を有する
ことを特徴とする形状矯正方法。
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