JPH0914931A - 光学式変位測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 検査項目の設定を非常に簡単にでき、かつ、
精度の高い検査が可能となる光学式変位測定装置を提供
する。 【構成】 光ビームを物体表面に走査投光して走査上の
各位置での物体との距離を求める変位センサ１１と、隣
接する測定点間の変位の差分の増減の傾向から変化点を
抽出する変化点認識部１３と、複数の変化点間の関係に
基づいて物体の形状寸法を求める際に用いる演算点を求
める演算点認識部１４と、求めた演算点の位置に基づい
て物体の表面形状の特徴寸法を求める演算処理部１５
と、変化点認識部１３において認識された変化点番号に
よる同一処理を行う部分の指定に応じて、繰り返し形状
の基本形状に対して、演算点認識部１４による演算点の
演算と演算処理部１５による特徴寸法の演算とを繰り返
させる繰り返し処理部１７と、変化点から演算点を求め
る手順を物体の位置や形状に応じて設定する処理設定部
２とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板に実装されるＩＣ
コネクタ等のリード配列の検査用に用いることができる
光学式変位測定装置、殊に基板への実装前に検査するた
めのものに関する。

【０００２】

【従来の技術】光学式変位測定装置としては特開平１−
２４５１０３号公報に示されたものがあるが、この種の
光学式変位測定装置を用いて測定する部位は、被検知物
体によって、段差、幅、深さ、ピッチあるいは頂点位置
などが異なるため、表面形状寸法を求める処理アルゴリ
ズムは夫々に応じて構築する必要があり、汎用性に欠け
るという問題があった。

【０００３】このために、光ビームの走査位置と変位と
を組とした走査線上の多数の測定点に基づいて隣接する
測定間の変位の差分の増減の傾向を求めて増減の傾向が
変化する測定点を変化点として抽出する変化点認識部
と、変化点認識部で認識された複数の変化点の間の関係
に基づいて物体の形状寸法を求める際に用いる演算点を
求める演算点認識部と、求めた演算点の位置に基づいて
物体の表面形状の特徴寸法を求める演算点処理部と、変
化点から演算点を求める手順を物体の形状に応じて設定
記憶する処理設定部とを備えたものを特願平６−７７７
１３号において提案した。このものでは、被検知物体の
特徴値を求めることが可能であり、変化点を持つ形状に
対して被検知物体の表面形状の測定したい部位の指定と
測定方法の指定とを容易に行え、かつ、測定も高精度に
行うことが可能である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、被検知物体の
形状が複雑になると、測定する部位の指定を行うことが
労力的に大変になる。ここにおいて、プリント基板の高
密度化に伴って高密度実装部品の使用頻度が増加してお
り、これら部品のリ一ド部が曲がっていると実装不良と
なるためにリードの浮きやピッチ等をプリント基板に実
装する前に非接触で高密度に測定し検査することが望ま
れている。この場合、光学式変位測定装置をＩＣコネク
タ等のリード検査装置として使用するとすれば、検査項
目は上記のようなリードの間隔（ピッチ）やリ−ドの浮
き量等である。しかし、冒頭に述べたように、数１０個
以上のリードに対して浮きやピッチの測定個所を各リー
ド毎に指定することは非常に多くの時間と労力が必要で
ある。

【０００５】本発明はこのような点に鑑み為されたもの
であり、その目的とするところは検査項目の設定を非常
に簡単にでき、かつ、精度の高い検査が可能となる光学
式変位測定装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】しかして本発明は、物体
の表面の走査線上を投光スポットが移動するように光ビ
ームを物体表面に走査投光し、走査上の各位置での物体
との距離を求める変位センサと、光ビームの走査位置と
変位とを組とした走査線上の多数の測定点に基づいて隣
接する測定点間の変位の差分の増減の傾向を求め、増減
の傾向が変化する測定点を変化点として抽出する変化点
認識部と、複数の変化点間の関係に基づいて物体の形状
寸法を求める際に用いる演算点を求める演算点認識部
と、求めた演算点の位置に基づいて物体の表面形状の特
徴寸法を求める演算処理部と、変化点認識部において認
識された変化点番号による同一処理を行う部分の指定に
応じて、繰り返し形状の基本形状に対して、上記演算点
認識部による演算点の演算と演算処理部による特徴寸法
の演算とを繰り返させる繰り返し処理部と、変化点から
演算点を求める手順を物体の位置や形状に応じて設定す
る処理設定部とを具備するものであることに特徴を有し
ている。

【０００７】そして請求項２記載の発明においては、変
位センサは、被検知物体からの反射光の受光量が所定範
囲に満たない場合に、測定値を別に指定された値とする
ものであることに特徴を有している。請求項３に記載の
発明においては、変位センサは、被検知物体からの反射
光の受光量があるレベルを越える範囲が走査方向におい
て所定距離範囲となっているところ以外の測定値を別に
指定された値とするものであることに特徴を有してい
る。

【０００８】請求項４記載の発明においては 変位セン
サは、被検知物体からの反射光を受光する際の受光量
と、走査方向に隣接する複数の測定点の受光量を平均し
た値と比較して、平均した受光量が大きい場合に、測定
値を別に指定された値とするものであることに特徴を有
している。そして、ＩＣコネクタ等のリード検査用であ
る時、請求項５に記載の発明は、ＩＣコネクタ等のリー
ド検査用であって、リード部分の両端の変化点の座標の
平均値を、リードの走査方向の代表点の代表座標とする
ものであることに特徴を有している。

【０００９】また請求項６に記載の発明においては、リ
ード部分の両端の変化点の間の全ての測定値の走査方向
の座標の平均値を、リードの走査方向の代表点の代表座
標とするものであることに特徴を有している。請求項７
に記載の発明においては、リードの走査方向の代表座標
に最も近い走査方向の測定値を有する測定点を中心に所
定点数範囲の測定点のリード変位方向の測定値の平均値
を、リード変位方向の代表座標とするものであることに
特徴を有している。

【００１０】請求項８に記載の発明においては、リード
部分の両端の変化点の間の全ての測定値のなかで変位セ
ンサに最も近い測定値を、リード変位方向の代表座標と
するものであることに特徴を有している。請求項９に記
載の発明においては、リードの浮きの計算をおこなうた
めの浮きの基準位置の指定用の浮き基準線として、各リ
ードの代表点座標を用いて最小二乗近似法により求めた
直線を用いるものであることに特徴を有している。

【００１１】また、請求項１０に記載の発明において
は、リードの浮きの計算をおこなうための浮きの基準位
置の指定用の浮き基準線として、複数の変化点間の関係
に基づいて演算点認識部で得られる演算点のうちの指定
した２個を通過する直線を用いるものであることに特徴
を有している。請求項１１に記載の発明においては、基
板実装時に生じると予測される実装基板からの各リード
の浮き値を、各リードの代表点と浮き基準直線との距離
とするものであることに特徴を有している。

【００１２】さらに請求項１２記載の発明においてはに
おいては、基板実装時の実装方向を考慮したリード間ピ
ッチを、隣接する各リード代表点を結ぶ線分を浮き基準
直線に投影したときの浮き基準直線上の線分の長さとす
るものであることに特徴を有している。そして請求項１
３に記載の発明においては、成形部とリードとの距離を
計算出力することでリード全体の曲がりを検査するもの
であることに特徴を有している。

【００１３】

【作用】しかして請求項１に記載の発明によれば、基本
形状の繰り返し形状の場合で同一部位を測定する場合に
は、繰り返し形状の全てに対して処理方法を指定するの
ではなく、基本形状に対してのみ指定するとともに繰り
返し範囲の指定をすることによって、従来と同一の処理
設定が可能となる。つまり同一形状が繰り返されてい
て、同一部分の寸法の処理方法が同じ場合は、その範囲
を指定して、その繰り返しの基本形状に対してのみ処理
方法を指定すれば、複数の同一形状部分に対して繰り返
し処理部が同じ処理を行わせることから、処理設定時間
の短縮を図ることができる。

【００１４】また請求項２に記載の発明によれば、受光
量が非常に少ない走査方向の測定結果を排除することが
でき、請求項３に記載の発明によれば、被検知物体の大
きさを加味した上で不要な測定結果を排除することがで
き、請求項４に記載の発明によれば、受光量の場所毎の
変化に柔軟に対応できる可動範囲での処理が可能であ
り、その点での値のみに左右されることがないものとな
る。

【００１５】さらに請求項５に記載の発明によれば、浮
き基準線のために参照する測定値は２点だけでよいもの
となる。また請求項６によれば、上記の請求項５に記載
の発明の場合よりもさらに精度よくリードの走査方向の
代表座標を得ることができる。そして請求項７に記載の
発明によれば、リード部分の両端の変化点の間の全ての
測定値のなかで変位センサに最も近い測定値をリード変
位方向の代表座標とするから、基板との接着点をこの代
表点とするのでリードの変位方向の形状が平面でない場
合でも対応できる。請求項８に記載の発明のように、リ
ードの走査方向の代表座標に最も近い走査方向の測定値
を有する測定点を中心に、所定点数範囲の測定点のリー
ド変位方向の測定値の平均値をリード変位方向の代表座
標とする時には、上記請求項７に記載の発明の場合、色
々なノイズによって生じる測定誤差が測定精度に影響を
与える可能性があるのに対して、所定点数の測定点のリ
ード変位方向の測定値の平均値を求めているので、上記
ノイズの影響を受けにくいものとなる。

【００１６】また、請求項９及び請求項１０に記載の発
明によれば、基板実装時に生じると予測される浮きの不
具合を、基板への実装前に検査してしまうことができる
ものとなる。加えるに、請求項１１に記載の発明によれ
ば、上記請求項９あるいは１０によって求められた浮き
基準線から各リード代表点までの距離を求めることにな
るので、基板実装時の基板から各リードまでの距離を求
めることになり、基板実装時に生じると予測される浮き
の不具合を実装前に検査することができる。

【００１７】さらに請求項１２に記載の発明によれば、
基板実装時に生じると予測されるピッチの不具合を実装
前に検査することができる。そして請求項１３に記載の
発明によれば、全てのリードが全てのピッチを変えるこ
となく同一方向に曲がっていたとしても、線分の長さの
検査によって全体のリード曲がりを検出することができ
るものとなり、基板実装前の検査をより正確に行うこと
ができる。

【００１８】

【実施例】以下本発明を図示の実施例に基づいて詳述す
ると、この光学変位測定装置は、図１に示すように、物
体表面の変位を計測し計測値を出力する変位計測部１
と、変位計測部１で計測すべき形状を指示したり計測値
を表示したりする処理設定部２とから構成されている。

【００１９】変位計測部１は、物体の表面に光ビームを
照射して光ビームにより物体表面に形成される投光スポ
ットを走査し、投光スポットの軌跡の上での物体表面の
変位を投光スポットの走査位置に対応付けて検出する変
位センサ１１と、測定データ補正部１２、変化点認識部
１３、演算点認識部１４、演算処理部１５、出力部１６
のほか、繰り返し演算処理部１７とパラメータ記憶部１
８を備える。また処理設定部２は出力部２１と演算点設
定部２２とパラメータ入力部２３、そしてパラメータ通
信部２４を備えている。

【００２０】変位計測部１における変位センサ１１とし
ては、物体表面に設定した線上において変位センサ１１
との間の距離（もしくは基準平面に対する変位）と、線
上の位置とを対応付けて出力できるものであればどのよ
うなものを用いてもよい。変化点認識部１３は光ビーム
の走査位置と変位とを組とした走査線上の多数の測定点
に基づいて隣接する測定点間の変位の差分の増減の傾向
を求め、増減の傾向が変化する測定点を変化点として抽
出する。つまり、物体表面が平面である場合や小さい凹
凸しかない場合には、変化点を抽出することはないが、
ある高さ以上の段差があれば、この段差の始点と終点と
において変化点を抽出する。図３中の白丸は測定点、黒
丸は変化点として認めた部分を示している。

【００２１】演算点認識部１４は、複数の変化点間の関
係に基づいて物体の形状寸法を求める際に用いる演算点
を求める。また、演算処理部１５は、求めた演算点の位
置に基づいて物体の表面形状の特徴寸法を求め、出力部
１６はその結果を処理設定部２における表示部２１に送
って表示部２１に表示させる。なお、変化点認識部１
３、演算点認識部１４、演算処理部１５、出力部１６、
パラメータ記憶部１８、さらに処理設定部２について
は、前記特願平６−７７７１３号のものと基本的に同一
であることから、ここでは説明を省略する。

【００２２】繰り返し演算処理部１７は、処理設定部２
のパラメータ通信部２４からパラメータ記憶部１８に送
られたパラメータ、つまりは変化点認識部１３において
認識された変化点番号による同一処理を行う部分の指定
に応じて、繰り返し形状の基本形状に対して、上記演算
点認識部１４による演算点の演算と演算処理部１５によ
る特徴寸法の演算とを繰り返させる。

【００２３】ＩＣコネクタのリードの検査にあたり、
今、表示部２１に表示された多数の変化点を結ぶ形状が
図２であったとすると、処理設定部２において、繰り返
し形状となっているＩＣコネクタのリード部の範囲をパ
ラメータ入力部２３より変化点番号６と変化点番号６３
の入力で指定すれば、基本形状の繰り返し回数は（６３
＋３−６）／４という算術式で計算でき、これによって
リード本数が判明するとともに、後述する浮きやピッチ
を計算すべき位置も自動的に判明する。

【００２４】ここにおいて、被検知物体の形状が図４
(a)に示す形状であり、変位センサ１１の出力結果が図
４(b)である時、エッジであるべき部分が円弧となって
しまう傾向が凹部において存在するが、これは図４(c)
に示すように、受光量があるレベルＬａ以下の部分につ
いては、一律に特定の値Ｌ１を与えることによって、被
検知物体により近い形状のものとして認識することがで
きる。

【００２５】図５に示すように、被検知物体からの反射
光の受光量があるレベルを越える範囲が走査方向におい
て所定距離範囲となっているところ以外の測定値を別に
指定された値Ｌ２に置き換えるようにしてもよい。つま
り図５(c)において測定点１の光量値に最も近い走査方
向の測定点を捜すと、図の場合は測定点２であるが、こ
のとき、測定点１と測定点２の走査方向の距離が所定範
囲外のため、この２個の測定点の変位方向の測定データ
を別に指定した値Ｌ２にする。同様にて測定点３に対し
て測定点４を定めた時、両者の走査方向の距離が所定範
囲内であれば、測定点３と測定点４のあいだの測定点は
全てそのまま残すが、他の部分については、一律の値Ｌ
２を与えるのである。被検知物体の大きさを加味した上
で不要な測定結果を排除することができる。

【００２６】変位センサ１１の出力を変位方向と走査方
向によって示すと図６に示すような形状になったとき、
たとえば連続する５個の測定点の受光量の平均値を求め
ることをすべての測定点に対して行った時（ｊ番目の点
の受光量はｊ−２番目からｊ＋２番目の５個の測定点の
受光量平均値とする時）、測定した受光量（図中の白
丸）と求めた受光量平均値（図中の黒丸）との大小を比
較して、測定した受光量が大きい場合のみ変位方向の測
定値を残し、他は別に指定した値Ｌ３とするようにして
もよい。この場合、受光量の場所毎の変化に柔軟に対応
できる可動範囲での処理が可能であり、その点での値の
みに左右されることがないものとなる。なお、連続する
測定点の個数は被検知物体の形状によって異なる。

【００２７】そして、リードの検査にはそのピッチも検
査するわけであるが、このピッチは、各リードについて
の走査方向の代表座標を求めて、代表座標間の距離で評
価する。この走査方向の代表座標は次のようにして求め
る。すなわち、前述のようにして被検知物体の形状を現
したときに、図７に示すような測定点分布としてリード
が現されたならば、このリードの走査方向における代表
座標は、変化点として認識される測定点１及び測定点２
の座標（Ｘ１，Ｚ２），（Ｘ２，Ｚ２）から、（Ｘ１＋
Ｘ２）／２で求める。走査方向においてある幅を有する
ものについて、各リードの走査方向における中心点を簡
単に求めることができる。もちろん図７に示す全測定点
の座標の平均値を求めてもよい。この場合、リードの走
査方向の代表座標をより精度よく求めることができる。

【００２８】リードの浮きについては、各リードの変位
方向（Ｚ方向）の代表座標を、浮き基準線Ｌ０と比較す
ることで行うことになるが、各リードの変位方向につい
ての代表座標については、次のようにして求めることが
できる。つまり、図８に示すようなリードの波形が得ら
れたならば、その変化点である測定点から他の変化点で
ある測定点までのすべての測定値のなかで、変位方向
（Ｚ方向）において最も変位センサに近い測定点イのＺ
座標を用いる。この場合、基板との接着点をこの代表点
とするのでリードの変位方向の形状が平面でない場合で
も対応できることになる。図９に示すように、前述のよ
うにして求めた走査方向の代表座標に最も近い測定点ロ
を中心に左右に所定の点数（リード幅等で定める）の測
定点の測定値のＺ座標の平均値を代表としてもよい。前
者では色々なノイズによって生じる測定誤差が測定精度
に影響を与える可能性があるのに対して、後者では所定
点数の測定点のリード変位方向の測定値の平均値を求め
ているので、上記ノイズの影響を受けにくいものとな
る。

【００２９】浮き基準線Ｌ０に関しては、図１０に示す
ような変化点が求められた時、各リードの代表座標値を
用いて最小二乗法により計算して求めた近似直線を浮き
基準線Ｌ０とするとよい。図１１に示すように、変化点
３（３０）から左に所定点数の測定点の測定値のＺ座標
の平均値と、変化点３（３０）と変化点４（３０）を通
過する直線とで定まる点と、同様に変化点６５，６６で
定まる点とを通過する直線を浮き基準線Ｌ０としてもよ
い。なお、この点の決定方法は特願平５−７７７１３号
による方法でもよい。また、特に樹脂成形部である必要
もなく、例えばＩＣのようにリードだけの場合も、両端
のリードを用いて同じように指定してもかまわない。い
ずれにしても、浮き基準線Ｌ０との比較により、基板実
装時に生じると予測される浮きの不具合を、基板への実
装前に検査してしまうことができる。なお、各リードの
Ｚ方向の代表座標と浮き基準線Ｌ０との比較に際して
は、両者の直線距離（図１２中のａｂ，ｃｄ）を求め
て、この距離をそのリードの浮きとする。

【００３０】前述のリード間のピッチについても、図１
２に示すように、隣接するリードの走査方向における代
表座標点ａ，ｄを結ぶ線分を浮き基準線Ｌ０に投影した
ときの浮き基準線Ｌ０上での線分の長さ（ｂ，ｃ）を隣
接する各リード間のピッチＰとするとよい。基板実装時
に生じると予測されるピッチの不具合を実装前に正確に
検査することができる。

【００３１】さらに、ＩＣコネクタにおける成形部につ
いても、リード部と同様に変化点を求めて、リード部の
左右両側について成形部のエッジ点と隣接するリードの
代表点との距離（ピッチＰ１，Ｐ２）を上記のようにし
て求めることを行えば、リード全体が曲がっていること
を検出することができる。つまり、全てのリードが全て
のピッチを変えることなく同一方向に曲がっていたとし
ても、線分の長さの検査によって全体のリード曲がりを
検出することができるのとなり、基板実装前の検査をよ
り正確に行うことができる。なお、成形部のエッジ点と
隣接するリード側の点とは、特願平５−７７７１３号に
よる方法でもよい。

【００３２】図において、測定波形は便宜上、線で表現
した部分があるが、実際には点列で表現される。

【００３３】

【発明の効果】以上のように本発明においては、基本形
状の繰り返し形状の場合で同一部位を測定する場合に
は、繰り返し形状の全てに対して処理方法を指定するの
ではなく、基本形状に対してのみ指定するとともに繰り
返し範囲の指定をすることによって、従来と同一の処理
設定が可能なものであり、処理設定時間の短縮を図るこ
とができるものである。

【００３４】また請求項２に記載の発明によれば、受光
量が非常に少ない走査方向の測定結果を排除することが
できて、形状把握をより確実に行うことができるもので
あり、請求項３に記載の発明によれば、被検知物体の大
きさも加味した上で不要な測定結果を排除することがで
きるために、より正確な検査を行うことができ、請求項
４に記載の発明によれば、受光量の場所毎の変化に柔軟
に対応できる可動範囲での処理が可能であり、その点で
の値のみに左右されることがなく、精度がいっそう向上
するものである。

【００３５】さらに請求項５に記載の発明によれば、浮
き基準線のために参照する測定値は２点だけでよいため
に、高速な検査を行うことができる。また請求項６によ
れば、上記の請求項５に記載の発明の場合よりも精度よ
くリードの走査方向の代表座標を得ることができる。そ
して請求項７に記載の発明によれば、リード部分の両端
の変化点の間の全ての測定値のなかで変位センサに最も
近い測定値をリード変位方向の代表座標とするから、基
板との接着点をこの代表点とするのでリードの変位方向
の形状が平面でない場合でも対応できるものとなる。請
求項８に記載の発明のように、リードの走査方向の代表
座標に最も近い走査方向の測定値を有する測定点を中心
に、所定点数範囲の測定点のリード変位方向の測定値の
平均値をリード変位方向の代表座標とする時には、所定
点数の測定点のリード変位方向の測定値の平均値を求め
ているので、上記ノイズの影響を受けにくいものとな
る。

【００３６】また、請求項９及び請求項１０に記載の発
明によれば、基板実装時に生じると予測される浮きの不
具合を、基板への実装前に検査してしまうことができる
ものとなる。加えるに、請求項１１に記載の発明によれ
ば、上記請求項９あるいは１０によって求められた浮き
基準線から各リード代表点までの距離を求めることにな
るので、基板実装時の基板から各リードまでの距離を求
めることになり、基板実装時に生じると予測される浮き
の不具合を実装前に検査することができる。

【００３７】さらに請求項１２に記載の発明によれば、
基板実装時に生じると予測されるピッチの不具合を実装
前に検査することができる。そして請求項１３に記載の
発明によれば、全てのリードが全てのピッチを変えるこ
となく同一方向に曲がっていたとしても、線分の長さの
検査によって全体のリード曲がりを検出することができ
るものとなり、基板実装前の検査をより正確に行うこと
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明一実施例のブロック回路図である。

【図２】同上の変化点の一例の説明図である。

【図３】同上の測定点の一例の説明図である。

【図４】同上の受光量に対する処理の一例を示す説明図
である。

【図５】同上の受光量に対する処理の他例を示す説明図
である。

【図６】同上の受光量に対する処理の別の例を示す説明
図である。

【図７】同上の走査方向の代表座標の決定の説明図であ
る。

【図８】同上の変位方向の代表座標の決定の説明図であ
る。

【図９】同上の変位方向の代表座標の決定の他例の説明
図である。

【図１０】同上の浮き基準線の説明図である。

【図１１】同上の浮き基準線の他例の説明図である。

【図１２】同上の浮き及びピッチの説明図である。

【図１３】同上の成形部を含めたチェックの場合の説明
図である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 隆康 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 物体の表面の走査線上を投光スポットが
   移動するように光ビームを物体表面に走査投光し、走査
   上の各位置での物体との距離を求める変位センサと、 光ビームの走査位置と変位とを組とした走査線上の多数
   の測定点に基づいて隣接する測定点間の変位の差分の増
   減の傾向を求め、増減の傾向が変化する測定点を変化点
   として抽出する変化点認識部と、 複数の変化点間の関係に基づいて物体の形状寸法を求め
   る際に用いる演算点を求める演算点認識部と、 求めた演算点の位置に基づいて物体の表面形状の特徴寸
   法を求める演算処理部と、 変化点認識部において認識された変化点番号による同一
   処理を行う部分の指定に応じて、繰り返し形状の基本形
   状に対して、上記演算点認識部による演算点の演算と演
   算処理部による特徴寸法の演算とを繰り返させる繰り返
   し処理部と、変化点から演算点を求める手順を物体の位
   置や形状に応じて設定する処理設定部とを具備して成る
   ことを特徴とする光学式変位測定装置。
2. 【請求項２】 変位センサは、被検知物体からの反射光
   の受光量が所定範囲に満たない場合に、測定値を別に指
   定された値とするものであることを特徴とする請求項１
   記載の光学式変位測定装置。
3. 【請求項３】 変位センサは、被検知物体からの反射光
   の受光量があるレベルを越える範囲が走査方向において
   所定距離範囲となっているところ以外の測定値を別に指
   定された値とするものであることを特徴とする請求項１
   記載の光学式変位測定装置。
4. 【請求項４】 変位センサは、被検知物体からの反射光
   を受光する際の受光量と、走査方向に隣接する複数の測
   定点の受光量を平均した値と比較して、平均した受光量
   が大きい場合に、測定値を別に指定された値とするもの
   であることを特徴とする請求項１記載の光学式変位測定
   装置。
5. 【請求項５】 ＩＣコネクタ等のリード検査用であっ
   て、リード部分の両端の変化点の座標の平均値を、リー
   ドの走査方向の代表点の代表座標とするものであること
   を特徴とする請求項１記載の光学式変位測定装置。
6. 【請求項６】 ＩＣコネクタ等のリード検査用であっ
   て、リード部分の両端の変化点の間の全ての測定値の走
   査方向の座標の平均値を、リードの走査方向の代表点の
   代表座標とするものであることを特徴とする請求項１記
   載の光学式変位測定装置。
7. 【請求項７】 ＩＣコネクタ等のリード検査用であっ
   て、リードの走査方向の代表座標に最も近い走査方向の
   測定値を有する測定点を中心に所定点数範囲の測定点の
   リード変位方向の測定値の平均値を、リード変位方向の
   代表座標とするものであることを特徴とする請求項１の
   光学式変位測定装置
8. 【請求項８】 ＩＣコネクタ等のリード検査用であっ
   て、リード部分の両端の変化点の間の全ての測定値のな
   かで変位センサに最も近い測定値を、リード変位方向の
   代表座標とするものであることを特徴とする請求項１の
   光学式変位測定装置。
9. 【請求項９】 ＩＣコネクタ等のリード検査用であっ
   て、リードの浮きの計算をおこなうための浮きの基準位
   置の指定用の浮き基準線として、各リードの代表点座標
   を用いて最小二乗近似法により求めた直線を用いるもの
   であることを特徴とする請求項１の光学式変位測定装
   置。
10. 【請求項１０】 ＩＣコネクタ等のリード検査用であっ
    て、リードの浮きの計算をおこなうための浮きの基準位
    置の指定用の浮き基準線として、複数の変化点間の関係
    に基づいて演算点認識部で得られる演算点のうちの指定
    した２個を通過する直線を用いるものであることを特徴
    とする請求項１の光学式変位測定装置。
11. 【請求項１１】 ＩＣコネクタ等のリード検査用であっ
    て、基板実装時に生じると予測される実装基板からの各
    リードの浮き値を、各リードの代表点と浮き基準直線と
    の距離とするものであることを特徴とする請求項９また
    は１０の光学式変位測定装置。
12. 【請求項１２】 ＩＣコネクタ等のリード検査用であっ
    て、基板実装時の実装方向を考慮したリード間ピッチ
    を、隣接する各リード代表点を結ぶ線分を浮き基準直線
    に投影したときの浮き基準直線上の線分の長さとするも
    のであることを特徴とする請求項１の光学式変位測定装
    置。
13. 【請求項１３】 ＩＣコネクタ等のリード検査用であっ
    て、成形部とリードとの距離を計算出力することでリー
    ド全体の曲がりを検査するものであることを特徴とする
    請求項１の光学式変位測定装置。