JP2021085807A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021085807A5 JP2021085807A5 JP2019216161A JP2019216161A JP2021085807A5 JP 2021085807 A5 JP2021085807 A5 JP 2021085807A5 JP 2019216161 A JP2019216161 A JP 2019216161A JP 2019216161 A JP2019216161 A JP 2019216161A JP 2021085807 A5 JP2021085807 A5 JP 2021085807A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface inspection
- inspected
- deformation
- predetermined
- amount
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004441 surface measurement Methods 0.000 claims description 6
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 30
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 16
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 10
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 4
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2019216161A JP7257942B2 (ja) | 2019-11-29 | 2019-11-29 | 表面検査装置および形状矯正装置、並びに表面検査方法および形状矯正方法 |
| PCT/JP2020/043332 WO2021106767A1 (ja) | 2019-11-29 | 2020-11-20 | 表面検査装置および形状矯正装置、並びに表面検査方法および形状矯正方法 |
| US17/778,331 US12215971B2 (en) | 2019-11-29 | 2020-11-20 | Shape correction device and shape correction method based on amount of deformation measured by point measurement sensor and surface measurement sensor |
| CN202080077780.3A CN114729800B (zh) | 2019-11-29 | 2020-11-20 | 表面检查装置及形状矫正装置以及表面检查方法及形状矫正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2019216161A JP7257942B2 (ja) | 2019-11-29 | 2019-11-29 | 表面検査装置および形状矯正装置、並びに表面検査方法および形状矯正方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2021085807A JP2021085807A (ja) | 2021-06-03 |
| JP2021085807A5 true JP2021085807A5 (enExample) | 2022-04-14 |
| JP7257942B2 JP7257942B2 (ja) | 2023-04-14 |
Family
ID=76088751
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2019216161A Active JP7257942B2 (ja) | 2019-11-29 | 2019-11-29 | 表面検査装置および形状矯正装置、並びに表面検査方法および形状矯正方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US12215971B2 (enExample) |
| JP (1) | JP7257942B2 (enExample) |
| CN (1) | CN114729800B (enExample) |
| WO (1) | WO2021106767A1 (enExample) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7618472B2 (ja) * | 2020-03-31 | 2025-01-21 | 株式会社ユーシン精機 | 金型及びアタッチメントの法線ベクトルの推定方法及びシステム |
| CN117043694A (zh) * | 2021-09-30 | 2023-11-10 | 富鼎电子科技(嘉善)有限公司 | 金属产品整形方法及电子装置 |
| CN119687766B (zh) * | 2024-12-31 | 2026-02-10 | 江西飞尚科技有限公司 | 一种测量光电挠度仪的测试工装及其测量方法 |
Family Cites Families (41)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5046852A (en) * | 1988-09-16 | 1991-09-10 | The Boeing Company | Method and apparatus for bending an elongate workpiece |
| US4995716A (en) * | 1989-03-09 | 1991-02-26 | Par Technology Corporation | Method and apparatus for obtaining the topography of an object |
| JPH04176543A (ja) * | 1990-11-08 | 1992-06-24 | Fanuc Ltd | デジタイジング制御装置 |
| JPH0914931A (ja) * | 1995-06-27 | 1997-01-17 | Matsushita Electric Works Ltd | 光学式変位測定装置 |
| JP2000008946A (ja) * | 1998-06-23 | 2000-01-11 | Toyota Motor Corp | 内燃機関のピストン |
| JP3344649B2 (ja) | 1998-08-19 | 2002-11-11 | 理化学研究所 | 自由曲面の形状誤差評価方法 |
| WO2001088471A1 (de) * | 2000-05-16 | 2001-11-22 | Steinbichler Optotechnik Gmbh | Verfahren und vorrichtung zum bestimmen der 3d-form eines objektes |
| US7251580B2 (en) * | 2003-10-20 | 2007-07-31 | Mitutoyo Corporation | Method for measuring curved surface of workpiece, program and medium thereof |
| EP1749190B1 (de) * | 2004-05-26 | 2015-05-06 | Werth Messtechnik GmbH | Verfahren zum Messen eines Objekts mit einem Koordinatenmessgerät, das einen Computer-Tomographen enthält |
| JP4776197B2 (ja) * | 2004-09-21 | 2011-09-21 | 日本特殊陶業株式会社 | 配線基板の検査装置 |
| JP4615951B2 (ja) * | 2004-09-30 | 2011-01-19 | 株式会社日立製作所 | 形状モデル作成方法、および構造最適化システム |
| DE102007021809A1 (de) * | 2007-04-20 | 2008-10-23 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum dimensionellen Messen mit Koordinatenmessgeräten |
| ATE521872T1 (de) * | 2008-04-22 | 2011-09-15 | Leica Geosystems Ag | Messverfahren für eine gliederarm- koordinatenmessmaschine |
| JP4968600B1 (ja) * | 2011-01-13 | 2012-07-04 | 株式会社東京精密 | 真円度測定装置及びその心ずれ量補正方法 |
| WO2013061976A1 (ja) * | 2011-10-24 | 2013-05-02 | 株式会社日立製作所 | 形状検査方法およびその装置 |
| ES2769304T3 (es) * | 2012-04-05 | 2020-06-25 | Fidia Spa | Dispositivo para corrección de errores para máquinas CNC |
| JP6124570B2 (ja) * | 2012-11-30 | 2017-05-10 | 株式会社ミツトヨ | Xyz直交測定装置 |
| JP5747180B2 (ja) | 2012-12-06 | 2015-07-08 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 形状測定方法および形状測定装置 |
| JP2014126381A (ja) * | 2012-12-25 | 2014-07-07 | Nikon Corp | 形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、及び形状測定プログラム |
| JP2014169947A (ja) * | 2013-03-05 | 2014-09-18 | Hitachi Ltd | 形状検査方法およびその装置 |
| JP5923054B2 (ja) * | 2013-04-08 | 2016-05-24 | 株式会社神戸製鋼所 | 形状検査装置 |
| US10393505B2 (en) * | 2013-12-06 | 2019-08-27 | Werth Messtechnik Gmbh | Device and method for measuring workpieces |
| JP2015141139A (ja) * | 2014-01-29 | 2015-08-03 | 株式会社ミツトヨ | 手動測定装置 |
| EP2916099B1 (en) * | 2014-03-07 | 2020-09-30 | Hexagon Technology Center GmbH | Articulated arm coordinate measuring machine |
| EP2930462B1 (en) * | 2014-04-08 | 2017-09-13 | Hexagon Technology Center GmbH | Method for generating information about a sensor chain of a coordinate measuring machine (CMM) |
| JP6316663B2 (ja) * | 2014-05-30 | 2018-04-25 | 株式会社キーエンス | 座標測定装置 |
| DE102015205738A1 (de) * | 2015-03-30 | 2016-10-06 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Bewegungsmesssystem einer Maschine und Verfahren zum Betreiben des Bewegungsmesssystems |
| EP3104118B1 (en) * | 2015-06-12 | 2019-02-27 | Hexagon Technology Center GmbH | Method to control a drive mechanism of an automated machine having a camera |
| JP6031732B1 (ja) * | 2015-08-27 | 2016-11-24 | 株式会社東京精密 | 表面形状測定装置の心ずれ量算出方法、及び表面形状測定装置 |
| DE102016100308A1 (de) * | 2016-01-11 | 2017-07-13 | Datron Ag | Verfahren zur Bestimmung von einer Referenzkoordinate eines Werkstücks und Bearbeitungsmaschine |
| EP3203179B1 (en) * | 2016-02-05 | 2019-04-03 | Hexagon Technology Center GmbH | Measuring machine based on a delta robot assembly |
| JP6691837B2 (ja) * | 2016-06-27 | 2020-05-13 | 株式会社キーエンス | 測定装置 |
| WO2018052015A1 (ja) * | 2016-09-14 | 2018-03-22 | 日本電気株式会社 | システムの分析支援装置、システムの分析支援方法及びプログラム |
| JP2018072202A (ja) * | 2016-10-31 | 2018-05-10 | 株式会社東京精密 | 形状測定装置及び形状測定方法 |
| DE102016124549B4 (de) * | 2016-12-15 | 2019-11-07 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Messsystem |
| WO2019075165A1 (en) * | 2017-10-11 | 2019-04-18 | Board Of Regents, The University Of Texas System | METHOD AND SYSTEM FOR OPTICALLY DETECTING AND CHARACTERIZING DEFECTS IN SEMICONDUCTORS |
| JP2019113329A (ja) * | 2017-12-21 | 2019-07-11 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 変位計測装置及び電子ビーム検査装置 |
| JP7143567B2 (ja) * | 2018-09-14 | 2022-09-29 | 株式会社島津テクノリサーチ | 材料試験機および放射線ct装置 |
| US20220113260A1 (en) * | 2019-02-01 | 2022-04-14 | Nec Corporation | Image processing apparatus |
| US11150189B1 (en) * | 2019-09-03 | 2021-10-19 | Innolux Corporation | Methods of manufacturing a light source carrier and an electronic device, and a light source qualification method |
| DE102020111509B4 (de) * | 2020-04-28 | 2023-04-20 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät sowie Verfahren zum Messen von Koordinaten eines Werkstücks |
-
2019
- 2019-11-29 JP JP2019216161A patent/JP7257942B2/ja active Active
-
2020
- 2020-11-20 CN CN202080077780.3A patent/CN114729800B/zh active Active
- 2020-11-20 US US17/778,331 patent/US12215971B2/en active Active
- 2020-11-20 WO PCT/JP2020/043332 patent/WO2021106767A1/ja not_active Ceased
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105522005B (zh) | 具有沿带材运行方向的测量柱的平整度测量辊 | |
| JP2021085807A5 (enExample) | ||
| US8374803B2 (en) | Damage detection apparatus, damage detection method and recording medium | |
| JP2016109630A5 (enExample) | ||
| JP2017015396A5 (enExample) | ||
| WO2017052712A3 (en) | System and method for characterizing ferromagnetic material | |
| FI3668400T3 (fi) | Menetelmä analyyttianturien yksilölliseen kalibrointiin | |
| JP2016528549A5 (enExample) | ||
| JP2014046433A5 (ja) | 情報処理システム、装置、方法及びプログラム | |
| JP2018091656A5 (enExample) | ||
| EP2587224A3 (en) | Displacement detecting device, scale calibrating method and scale calibrating program | |
| MX2017009173A (es) | Dispositivo y metodo para revisar y corregir la posicion de un dispositivo operativo con respecto a una pieza. | |
| CN113748323A (zh) | 检测装置以及传感器的校准方法 | |
| JP2015087314A5 (enExample) | ||
| JP2011007736A5 (enExample) | ||
| JP2017106876A5 (enExample) | ||
| JP2009168626A5 (enExample) | ||
| JP2011027440A5 (enExample) | ||
| JP2010203915A5 (enExample) | ||
| ZA202502227B (en) | Method and system for the automated detection of conveyor belt faults | |
| JP6705139B2 (ja) | サイドトリミング装置、サイドトリミングシステム及びトリム代測定方法 | |
| KR101328696B1 (ko) | 형상측정장치 및 형상측정방법 | |
| CN106092005A (zh) | 三坐标机测量自由曲线的方法 | |
| JP6949675B2 (ja) | 処理装置、検査装置および処理方法 | |
| US20160103040A1 (en) | Method for calibrating an x-ray testing system for a tire type and method for checking the position of cords in a tire |