JP2021085775A - ミリ波電波センサ及びこれを備えた車両 - Google Patents

ミリ波電波センサ及びこれを備えた車両 Download PDF

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Abstract

【課題】広角度方位のマルチパスを低減しつつ、アンテナの共振周波数の変動を抑制したミリ波電波センサを提供する。【解決手段】ミリ波帯域の電波を放射するアンテナ素子101と、前記アンテナ素子101が表面に形成される基板103と、前記基板の表側を覆うカバー104と、一面が前記アンテナ素子に接触すると共に他面が前記カバーに接触する樹脂121と、を有し、前記樹脂121の厚さを、前記基板103の厚さの4倍以上、かつ、前記樹脂121を通る前記電波の波長の4分の1以上とした。【選択図】図1

Description

本発明は、ミリ波電波センサ及びこれを備えた車両に関する。
自動車、鉄道、搬送機器などの安全運行や安全動作のための周辺検知センサとして、電波を用いたセンサがある。以下では一例として、自動車用のレーダセンサについて説明する。自動車用には、安全運転支援や自動運転の実現に向けて、自動車の全周囲をカバーするため、検知距離と検知角度範囲が異なる複数のレーダセンサが用いられる。そして、中距離にあるものを検知する場合は、例えばミリ波レーダが利用される。
図2は、ミリ波を扱う電波センサ300の一般的な構成を示す断面図である。図2に示すように、電波センサ300は、アンテナ素子301と、RF信号を生成するRF回路302と、基板303と、カバー304と、を備える。基板303は、低誘電損失/低誘電率材305とガラスエポキシ樹脂材306を積層化したハイブリッド基板であり、カバー304と対向する表面側に低誘電損失/低誘電率材305が位置する。アンテナ素子301とRF回路302は、その低誘電損失/低誘電率材305の表面に形成され、RF回路302によって生成されたミリ波信号がアンテナ素子301に伝搬され、アンテナ素子301から電波として放射される。
ここで、電子装置の製品化に際し、高周波回路の長期信頼性(故障耐性)を得るため、金メッキ処理やレジスト膜、シリコーンやポリウレタン樹脂等の封止材を用いて表面導体を覆い、経年劣化を抑制する手段を実装することもある(例えば、特許文献1)。
しかし、ミリ波は、マイクロ波に比べ、基板上に設けた高周波配線やアンテナの伝搬損失が大きく、RF回路の信号レベルダイヤ設計に影響し、RF回路の諸性能を左右する(例:特性インピーダンス50Ωのマイクロストリップ線路の伝搬損失:1dB/cm@80GHz程度)。特に、封止材を用いて表面導体を覆うと、伝搬損失増加が顕著であるため、表面導体に何もコーティング処理を施さず空気に暴露された状態で量産化し、レーダ装置の信号感度劣化を最小限に抑えるのが一般的である。
また、このようなミリ波センサは、自動車のバンパ等の内面側に配置される。例えば、特許文献2では、車両意匠性を考慮して、可撓性フィルムと複数のアンテナ素子から構成されるフィルム状のアンテナをバンパに貼り付け、車両の走行状態に応じて使用するアンテナ素子を選択するレーダ装置が提案されている。
特開2015−156632号公報 特開2017−146100号公報
上述の一般的な電波センサ300では、図2のように、カバー304と基板303の間に空気層340が介在する。このため、カバーを形成する樹脂の誘電率と、カバー内側の空気の誘電率と、の差異によって、境界面反射が発生する(図2の破線矢印350参照)。この境界面反射は、アンテナから放射された電波を減衰させ、障害物からの受信感度を低下させると共に、カバーで反射した電波がマルチパスとしてアンテナに再入力され、センサによる検知の際の障害となる。
また、特許文献1では、アンテナとカバーとの間に、封止材として樹脂が充填されているが、この樹脂は発泡ウレタンであるため、誘電率が低く、空気の誘電率と近い。したがって、広角度方位の電波が樹脂とカバーとの間で反射してしまい、やはりマルチパスの要因となる。
さらに、特許文献2では、車種ごとに異なるバンパの誘電率に対応させてアンテナを設計しないと、アンテナの共振周波数が変動してしまう。
本発明の目的は、広角度方位のマルチパスを低減しつつ、アンテナの共振周波数の変動を抑制したミリ波電波センサを提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明は、ミリ波帯域の電波を放射するアンテナ素子と、前記アンテナ素子が表面に形成される基板と、前記基板の表側を覆うカバーと、一面が前記アンテナ素子に接触すると共に他面が前記カバーに接触する樹脂と、を有し、前記樹脂の厚さを、前記基板の厚さの4倍以上、かつ、前記樹脂を通る前記電波の波長の4分の1以上とした。
本発明によれば、広角度方位のマルチパスを低減しつつ、アンテナの共振周波数の変動を抑制したミリ波電波センサを提供できる。
本発明の実施例1に係るミリ波電波センサの構造を示す断面図。 従来の一般的なミリ波電波センサの構造を示す断面図。 本発明の実施例2に係るミリ波電波センサの構造を示す断面図。 実施例2に係るRF回路基板を表側から見た平面図。 RF回路基板からカバーまでの断面を示す図。 実施例2に係るRF回路基板からカバーまでの断面を示す図。 本発明の実施例3に係るミリ波電波センサの構造を示す断面図。 本発明の実施例4に係るミリ波電波センサの構造を示す断面図。 本発明の実施例5に係るミリ波電波センサの構造を示す断面図。 本発明の実施例6に係るミリ波電波センサの構造を示す断面図。
以下、本発明を実施するための形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、各図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
図1は、実施例1に係る樹脂接触型ミリ波電波センサの構成を示す断面図である。図1に示すように、本実施例の電波センサ100は、ミリ波帯域の電波を放射するアンテナ素子101と、電波信号を生成するRF回路102と、RF回路基板103と、アンテナを保護するレドーム等のカバー104と、を備えている。RF回路基板103は、低誘電損失/低誘電率材105を用いて構成されるものであり、このRF回路基板103の一方の面(表面)にアンテナ素子101が形成され、このRF回路基板103の他方の面(裏面)にRF回路が設けられる。カバー104は、電波を透過しやすい樹脂で形成されている。
また、電波センサ100の基板は、RF回路基板103の他、信号処理回路基板107を有している。信号処理回路基板107は、ガラスエポキシ樹脂材を用いて構成されるものであり、この信号処理回路基板107には、金属導体パターン108、マイクロ波帯域用アンテナ109、RF回路102を制御するマイコン用IC110等の信号処理回路(電源回路を含む)が形成される。なお、マイクロ波帯域用アンテナ109は、F型、逆F型、又はその両方で構成されるアンテナを、金属導体パターンにより実装しても良い。
次に、本実施例における電波センサ100の動作の一例を説明する。電源が投入されると、マイコン用IC110が、マイコン内部又は基板上に設けられたメモリICの記憶領域に保存されているRFICの動作を定義したプログラムを読み出し、RF回路基板103を介してRF回路102のRF動作を定義する。RFICの動作設定は、使用する送信出力ポート&受信入力ポート、送信電力値、受信感度設定用の可変アンプ利得値、RF回路の送信周波数の帯域、FMCWやFCW,2CWなどの周波数変調形態、変調スピード、FCWにおけるチャープ数、受信ドップラー信号のサンプリング周波数、サンプリングタイミングなど多岐に渡る。
RF動作を定義されたRF回路102は、内部のミリ波周波数発生回路によりミリ波信号を生成し、RF回路102内の逓倍器や電力増幅器や電力分配器を経て、送信出力ポートのいずれか1つ、又はそのうち複数、又はその全てに、ミリ波信号が出力される。生成されたミリ波信号は、RF回路基板103上に設けられた高周波線路(例えば、マイクロストリップ線路、コプレーナ線路、グランド付きコプレーナ線路など)を介してアンテナ素子101に伝搬され、アンテナ素子101から電波として放射される。
ここで、本実施例では、アンテナ素子101の導体表面に、樹脂121を接触させ、RF回路基板103の表側を覆うカバー104の裏面にも、樹脂121を接触させている。すなわち、本実施例では、アンテナ素子101とカバー104との間の領域に樹脂121を充填することで、樹脂121の一面がアンテナ素子101に接触すると共に樹脂121の他面がカバー104に接触する構成となっている。このため、アンテナ素子101からカバー104までの電波の伝搬経路において、空気層が存在しなくなり、カバー104内の空気とカバー104との誘電率の差異に起因する境界面反射が防止できる。その結果、カバー104の内側(裏側)におけるマルチパスが抑制され、アンテナ素子101で受信される妨害雑音が低減される。また、カバー104とアンテナ素子101との距離によるアンテナ利得変動も小さくなるため、カバー104に対するアンテナ素子101の厳密な位置調整が不要になる。
なお、本実施例においても、カバー104の外側(表側)は空気と接することになるため、電波がカバー104を透過して外側へ向かう際には、ある程度の境界面反射が発生する。しかし、本実施例のように、カバー104の内側の空間を、空気の誘電率1を超える樹脂121で埋めるだけでも、電波の境界面反射は大幅に抑制される。樹脂121の例としては、発泡系の樹脂だと誘電率が空気に近いため反射し易くなってしまうので、ポリテトラフルオロエチレンなど誘電率2以上の樹脂を用いるのが望ましい。
また、本実施例では、樹脂121の厚さを、RF回路基板103の厚さの4倍以上、かつ、λ/4以上としている。ここで、λは、樹脂121内部を通る電波の波長、すなわち、樹脂121の誘電率によって短縮されたミリ波の波長である。樹脂121をこのように厚くすることで、アンテナ素子101で生成される電気力線の大半をRF回路基板103と樹脂121の内部に収めることが可能となる。その結果、カバー104にかかる電気力線が十分に小さくなり、アンテナ素子の共振周波数が、カバー104の誘電率の大小によって変動するのを抑制できる。すなわち、カバー104に起因する、アンテナ素子から見た寄生容量が削減されるため、誘電率の異なる材料のカバー104を用いても、アンテナ素子の共振周波数の変動を小さくできる。例えば、車種によってカバーやバンパの材料が異なる場合でも、本実施例のような厚さの樹脂121を設けることで、電波センサ100の放射特性の変化を抑制できる。
さらに、樹脂121の誘電率が、カバー104の誘電率とRF回路基板103の誘電率との間の値(望ましくは中間値)となるような材料を採用すれば、RF回路基板103から樹脂121を経てカバー104に至るまでの誘電率が、単調増加又は単調減少となる。その結果、誘電率の差異による接触面での反射係数(特性インピーダンス不連続による反射係数)をより小さくできる。また、樹脂121の誘電率が、カバー104の誘電率やRF回路基板103の誘電率よりも高くなるような材料を採用すれば、上記の反射係数は若干増加するものの、樹脂の硬質性を生かしてセンサを堅牢化することも可能である。
また、RF回路基板103に設けられた高周波線路及びアンテナ素子101は、通常、RF回路基板103の導体表面に接する媒体として空気を想定したパターン設計が実施される。しかし、本実施例では、アンテナ素子101の導体表面は樹脂121と接触させているため、樹脂121の誘電率を加味したパターン設計により、高周波回路の特性インピーダンスやアンテナ共振周波数を所望の値にしている。例えば、線路の特性インピーダンスを50Ωとしつつ、反射係数がより小さくなるような線路幅に調整する、などのパターン設計を実施する。このようにして、所望の周波数で放射利得を高められれば、波長短縮効果によりアンテナサイズの小型化も可能である。
なお、本実施例のように、線路の導体表面を樹脂で覆うことでRF回路基板103上の配線伝搬損失は数十%程度劣化するが、受信信号感度はマルチパスによる影響10dBに比べれば格段に劣化量は抑えることが可能となる。また、本実施例では、RF回路102が、RF回路基板103に対して、アンテナ素子101と逆の面に実装されているため、樹脂121の厚みをRF回路102の高さよりも薄く実装できる。さらに、本実施例では、信号処理回路基板107が、RF回路基板103の裏側に空間を挟んで位置しているので、RF信号が信号処理回路に混入して雑音となるのを防止できる。
本実施例のカバー104は、車載用のバンパで形成しても良い。その場合、アンテナ素子101からバンパまで、空気層を介さずに、誘電率の差異の小さい所定厚の絶縁体(樹脂)層を介して、電波が伝搬される。このため、ミリ波電波センサを実際に車両へ搭載する場合にも、広角度方位の電波放射効率が向上する。
図3は、実施例2に係る樹脂接触型ミリ波電波センサの構成を示す断面図である。図3に示すように、本実施例の電波センサ100は、互いに分離して配置された樹脂121及び樹脂122を有している。
図4は、RF回路基板103を表側から見た平面図である。アンテナ素子101は、第1のアンテナ素子である送信用アンテナ素子201と、第2のアンテナ素子である受信用アンテナ素子202と、を備えている。各々のアンテナ素子は平面アンテナであり、広角の放射範囲を得るために各々のアンテナ素子はλ/2程度の開口長を有する。図4に示すレイアウトは、等間隔MIMO(Multi Input Multi Output)構成の一例である。受信アンテナはλ/2程度の間隔Lで配置され、送信アンテナはλ/2×受信アンテナ数程度の間隔(L×受信アンテナ数)で配置される。
そして、樹脂121の屈折率がn、検知角度範囲がθ(±90°)の場合、受信アンテナの間隔Lは、次の式(1)で表される。この式(1)にると、例えば、屈折率が1、検知角度範囲が90°のとき、受信アンテナの間隔は、λ/2となる。
Figure 2021085775
図4に示すように、RF回路基板103の上面には、送信用アンテナ素子201及び受信用アンテナ素子202で形成される共振パターン要素の他に、ミリ波を伝搬させる高周波線路211となる導体パターン要素が、設けられている。そして、本実施例の樹脂121は、一面が送信用アンテナ素子201に接触する部分と、一面が受信用アンテナ素子202に接触する部分と、を有しており、これらの部分が互いに離れている。一方、樹脂121を高周波線路211に接触させると、線路損失が増加するため、高周波線路211の表面には樹脂を接触させないようにすることで、RF回路102からアンテナまでの損失を抑制している。
本実施例では、上述した共振パターン要素上の樹脂121の他に、RF回路基板103のGNDパターンエリアや、隣接する高周波線路211の間にも、樹脂122が配置されている。なお、樹脂121及び樹脂122は、全て同じ材料で形成しても良いし、互いに異なる材料で形成しても良い。
例えば、RF回路102と送信用アンテナ素子201とを接続する高周波線路211と、RF回路102と受信用アンテナ素子202とを接続する高周波線路211と、の間に、樹脂122が設けられる。なお、この樹脂122は、一面がRF回路基板103に接触すると共に、他面がカバー104にも接触している。このように、隣接する高周波線路211の間に樹脂122を配置することで、空気と樹脂の誘電率の差異による反射が生じ、高周波線路211間のクロストークを抑制できる。さらに、ミリ波帯の電波を吸収する特性を有する材料を樹脂122に混入すれば、樹脂122を透過する電波をさらに抑制可能であり、電波センサ100のアンテナ面での共振を抑制する効果も期待できる。
また、RF回路基板103の縁を囲むように設けられる樹脂122は、電波の漏れを抑制する効果もある。さらに、RF回路基板103の表面の他の適切な場所に樹脂122を設けることで、RF回路基板103の重心に対して、樹脂121の接触面が離れている場合でも、バランスよく電波センサ100を支持することも可能である。
図5は、RF回路基板103からカバー104までの断面を示す図である。太矢印は、アンテナ素子101の共振パターン要素203から放射された電波が、樹脂121を経由して、カバー104の内部を通り、空気141との境界面に達する様子を示している。なお、アンテナ素子101のGND電極204は、アンテナ素子101から放射された電波が、RF回路102や信号処理回路基板107に漏洩しないようシールドする役割を果たす。
計算の簡略化のため、カバー104と樹脂121の誘電率を“4”と仮定する。空気との屈折率は“4”の平方根の“2”であるため、カバー104と空気141の境界面での臨界角θ2は±90°/2=±45°となる。λ/2サイズの開口長を有するアンテナの共振パターン要素203から放射される電波は、半値幅±70°程度の球面上に広がる波面である。境界面に対し入射角が±45°を超える電波は、鏡面反射となり、カバー104と樹脂121の内部を多重反射しながら伝搬する。したがって、送信用アンテナ素子201から放射された入射角±45°を超える電波は、樹脂121を導波路として受信用アンテナ素子に達し、アンテナ素子間のアイソレーションを劣化させてしまう。
そこで、本実施例では、図6に示すように、送信用アンテナ素子201と受信用アンテナ素子202に個別に接触する樹脂121を設け、樹脂121による導波路を分断することで、アイソレーションを抑制している。また、アンテナ素子101に接触させる樹脂121の幅を、臨界角θ2が±45°以内となるように絞ることで、鏡面反射を抑制し、カバー104の外(空気141)へ効率よく放射することも可能である。
図7は、実施例3に係る樹脂接触型ミリ波電波センサの構成を示す断面図である。図7に示すように、本実施例の電波センサ100は、低誘電損失/低誘電率材105とガラスエポキシ樹脂材106を積層化したハイブリッド基板131が用いられている。このハイブリッド基板131は、RF回路基板103と信号処理回路基板107がプリプレグ等を用いて積層化されたものである。このように基板を積層化することで、信号処理回路からRF回路までの配線が短くて済み、実装し易くなる。
また、本実施例のRF回路102は、アンテナ素子101と同様に、ハイブリッド基板131の表面に形成されている。このため、RF回路102の周囲に樹脂121を設けることで、アンテナ素子101からの電波がRF回路102に混入するのを防止できる。また、RF回路102を避けるように樹脂121が設けられているので、樹脂121の熱膨張によるRF回路102の損傷も防止できる。
なお、本実施例の樹脂121も、RF回路基板103の厚さの4倍以上、かつ、λ/4以上の厚さを有するが、RF回路102よりは薄い。そこで、カバー104の裏面のうち、RF回路102と対向する部分には、凹部を設けている。
図8は、実施例4に係る樹脂接触型ミリ波電波センサの構成を示す断面図である。図8に示すように、本実施例の電波センサ100は、カバー104が曲面形状を有しており、RF回路基板103もカバー104に対応した曲面形状を有している。本実施例のRF回路基板103は、湾曲形成が容易なフレキシブル基板で構成されており、カバー104及びRF回路基板103の曲面形状に合わせて、樹脂121が充填されている。本実施例によれば、平面状のRF回路基板を用いた電波センサよりも、広角度方位の電波放射効率が向上する。
また、RF回路基板103にフレキシブル基板を用いれば、基板端を端子化することで、信号処理回路基板との接続が容易になり、電波センサの内部構成を容易に修正できる。さらに、RF回路又は信号処理回路のどちらかを交換する際にも、どちらかを容易に着脱できる。
図9は、実施例5に係る樹脂接触型ミリ波電波センサの構成を示す断面図である。図9に示すように、本実施例の電波センサ100は、基板の裏側を覆う筐体111を有しており、カバー104と筐体111によって、基板が封止されている。また、RF回路基板103と信号処理回路基板107との間には、フレーム114が挿入されている。
また、カバー104には突起112が設けられ、RF回路基板103には穴が設けられているため、これらを用いることで、カバー104とRF回路基板103との位置合わせが可能となっている。さらに、筐体111にも突起112が設けられており、筐体111と信号処理回路基板107との位置合わせが可能となっている。そして、カバー104と筐体111の間に、RF回路基板103、フレーム114及び信号処理回路基板107を挟み込んだ状態で、カバー104と筐体111がネジ113を用いて固定され、電波センサ100がユニット化される。
RF回路基板103と信号処理回路基板107は、カバー104と筐体111とフレーム114によって、外気より封止され、気密性が保たれるので、基板劣化の要因となる排ガス等から保護される。また、樹脂121をカバー104内部に閉じ込めることで、樹脂121が吸水することも防止できる。
さらに、フレーム114は、RF回路基板103と信号処理回路基板107の間を電気的にシールドする遮蔽板の働きを有する。特に、RF回路102のミリ波信号は漏洩しやすく、クロストークによって電波センサ100の受信感度の劣化要因となりやすい。このため、RF回路基板103のGND面とフレーム114でRF回路102を覆うことは、電波センサ100を実装する上で重要である。
また、フレーム114を熱伝導性の高い金属(例えば銅やアルミ)を用いて形成すれば、消費電力の大きいRF回路102やマイコン用IC110等で発生した熱を外部へ伝搬させる、放熱板の機能を持たせることも可能となる。なお、フレーム114は、RF回路基板103、信号処理回路基板107、カバー104及び筐体111を支持している。このため、フレーム114に、ネジ穴115を設けることで、電波センサ100を所定の構造物に取付けられるようになっている。
図10は、実施例6に係る樹脂接触型ミリ波電波センサを搭載したバンパの構成を示す断面図である。図10に示すように、本実施例は、電波センサ100を車両のバンパ116に取り付けたものである。本実施例のバンパ116は、カバー104と樹脂121を介して接触している。カバー104とバンパ116との間にある樹脂121は、アンテナ素子101から放射される電波が透過するエリアと、その周りに環状に配置されるエリアと、からなる。
ここで、電波が透過するエリアの樹脂121は、バンパ116から放射される電波の入射角が±45°(例えば、バンパ116、カバー104及び樹脂121の誘電率が2の場合)未満となるよう、アンテナ素子101の開口サイズに合わせて加工される。これにより、アンテナ素子101からの電波は、バンパ116まで空気層を介することなく伝搬され、外気に放射される。また、電波が透過するエリアの樹脂121は、アンテナ素子101毎に配置され、各樹脂を分離することにより、アンテナ素子101間のアイソレーションが抑制されている。
一方、環状のエリアに配置する樹脂121は、電波が透過するエリアの樹脂121が、排ガスや吸水によって劣化するのを抑える働きを有する。また、この環状に配置するエリアの樹脂121を用いて、ネジ113の頭部覆うことにより、カバー104に設けられたネジ穴を介して排ガスや水等が電波センサ100内部に侵入するのも防止できる。
上述の実施例1〜6は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることも可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることも可能である。
100 電波センサ
101 アンテナ素子
102 RF回路
103 RF回路基板
104 カバー
105 低誘電損失/低誘電率材
106 ガラスエポキシ樹脂材
107 信号処理回路基板
108 金属導体パターン
109 マイクロ波帯域用アンテナ
110 マイコン用IC
111 筐体
112 突起
113 ネジ
114 フレーム
115 ネジ穴
116 バンパ
121,122 樹脂
131 ハイブリッド基板
141 空気
201 送信用アンテナ素子
202 受信用アンテナ素子
203 共振パターン要素
204 GND電極
211 高周波線路

Claims (11)

  1. ミリ波帯域の電波を放射するアンテナ素子と、前記アンテナ素子が表面に形成される基板と、前記基板の表側を覆うカバーと、一面が前記アンテナ素子に接触すると共に他面が前記カバーに接触する樹脂と、を有し、
    前記樹脂の厚さが、前記基板の厚さの4倍以上、かつ、前記樹脂を通る前記電波の波長の4分の1以上であることを特徴とするミリ波電波センサ。
  2. 請求項1に記載のミリ波電波センサにおいて、
    前記アンテナ素子は、第1のアンテナ素子と、第2のアンテナ素子と、を備え、
    前記樹脂は、前記一面が前記第1のアンテナ素子に接触する部分と、前記一面が前記第2のアンテナ素子に接触する部分と、を有し、互いの部分が離れていることを特徴とするミリ波電波センサ。
  3. 請求項1に記載のミリ波電波センサにおいて、
    前記基板には、電波信号を生成するRF回路が形成されており、
    前記アンテナ素子は、第1のアンテナ素子と、第2のアンテナ素子と、を備え、
    前記RF回路と前記第1のアンテナ素子とを接続する高周波線路と、前記RF回路と前記第2のアンテナ素子とを接続する高周波線路と、の間には、
    一面が前記基板に接触すると共に他面が前記カバーに接触する樹脂が位置することを特徴とするミリ波電波センサ。
  4. 請求項1に記載のミリ波電波センサにおいて、
    前記基板の表面には、電波信号を生成するRF回路が形成されており、
    前記RF回路を避けて、前記樹脂が位置することを特徴とするミリ波電波センサ。
  5. 請求項4に記載のミリ波電波センサにおいて、
    前記カバーの裏面のうち、前記RF回路と対向する部分には、凹部が形成されていることを特徴とするミリ波電波センサ。
  6. 請求項1に記載のミリ波電波センサにおいて、
    前記基板は、電波信号を生成するRF回路が形成されたRF回路基板と、前記RF回路を制御する信号処理回路が形成された信号処理回路基板と、を有し、
    前記アンテナ素子は、前記RF回路基板の表面に形成され、
    前記信号処理回路基板は、前記RF回路基板の裏側に空間を挟んで位置することを特徴とするミリ波電波センサ。
  7. 請求項6に記載のミリ波電波センサにおいて、
    前記RF回路基板と前記信号処理回路基板との間には、金属板が挿入されていることを特徴とするミリ波電波センサ。
  8. 請求項6に記載のミリ波電波センサにおいて、
    前記カバーは曲面形状を有しており、
    前記RF回路基板も、前記カバーに対応した曲面形状を有することを特徴とするミリ波電波センサ。
  9. 請求項1に記載のミリ波電波センサにおいて、
    前記基板の裏面には、電波信号を生成するRF回路が形成されており、
    前記RF回路の厚さが、前記樹脂の厚さよりも大きいことを特徴とするミリ波電波センサ。
  10. 請求項1に記載のミリ波電波センサにおいて、
    前記基板の裏側を覆う筐体を備え、
    前記カバーと前記筐体によって、前記基板が封止されることを特徴とするミリ波電波センサ。
  11. 請求項10に記載のミリ波電波センサが、バンパに取り付けられていることを特徴とする車両。
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