JP2021077813A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021077813A JP2021077813A JP2019205018A JP2019205018A JP2021077813A JP 2021077813 A JP2021077813 A JP 2021077813A JP 2019205018 A JP2019205018 A JP 2019205018A JP 2019205018 A JP2019205018 A JP 2019205018A JP 2021077813 A JP2021077813 A JP 2021077813A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- diode
- igbt
- semiconductor substrate
- concentration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 77
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 51
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 40
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 7
- 230000002040 relaxant effect Effects 0.000 abstract 1
- 210000000746 body region Anatomy 0.000 description 15
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 10
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 6
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 5
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 5
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
Description
12 :半導体基板
14 :上部電極
16 :下部電極
20 :IGBT領域
22 :エミッタ領域
23 :ボディコンタクト領域
24 :ボディ領域
25 :バリア領域
26 :ドリフト領域
28 :バッファ領域
30 :コレクタ領域
32 :ゲート絶縁膜
34 :ゲート電極
36 :層間絶縁膜
38 :境界
40 :ダイオード領域
41 :アノードコンタクト領域
42 :アノード領域
48 :カソード領域
50 :トレンチ
52 :絶縁膜
54 :制御電極
56 :層間絶縁膜
Claims (1)
- IGBT領域とダイオード領域に区画された半導体基板を備える半導体装置であって、
前記IGBT領域に対応した前記半導体基板の一方の主面に露出する位置に設けられたp型のコレクタ領域と、
前記ダイオード領域に対応した前記半導体基板の前記一方の主面に露出する位置に設けられたn型のカソード領域と、を備えており、
前記コレクタ領域のp型不純物の濃度が、前記半導体基板をその厚み方向に沿って平面視したときに、前記IGBT領域の周辺部及び中央部がそれらの間の部分よりも薄い、及び/又は、前記カソード領域のn型不純物の濃度が、前記半導体基板をその厚み方向に沿って平面視したときに、前記ダイオード領域の周辺部及び中央部がそれらの間の部分よりも薄い、半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019205018A JP7439465B2 (ja) | 2019-11-12 | 2019-11-12 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019205018A JP7439465B2 (ja) | 2019-11-12 | 2019-11-12 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021077813A true JP2021077813A (ja) | 2021-05-20 |
JP7439465B2 JP7439465B2 (ja) | 2024-02-28 |
Family
ID=75899830
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019205018A Active JP7439465B2 (ja) | 2019-11-12 | 2019-11-12 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7439465B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20220302287A1 (en) * | 2021-03-17 | 2022-09-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013008778A (ja) * | 2011-06-23 | 2013-01-10 | Toyota Central R&D Labs Inc | ダイオード |
JP2014103376A (ja) * | 2012-09-24 | 2014-06-05 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2019161188A (ja) * | 2018-03-16 | 2019-09-19 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
-
2019
- 2019-11-12 JP JP2019205018A patent/JP7439465B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013008778A (ja) * | 2011-06-23 | 2013-01-10 | Toyota Central R&D Labs Inc | ダイオード |
JP2014103376A (ja) * | 2012-09-24 | 2014-06-05 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2019161188A (ja) * | 2018-03-16 | 2019-09-19 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20220302287A1 (en) * | 2021-03-17 | 2022-09-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device |
US11923443B2 (en) * | 2021-03-17 | 2024-03-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7439465B2 (ja) | 2024-02-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7182594B2 (ja) | ゲート・トレンチと、埋め込まれた終端構造とを有するパワー半導体デバイス、及び、関連方法 | |
JP6369173B2 (ja) | 縦型半導体装置およびその製造方法 | |
JP5787853B2 (ja) | 電力用半導体装置 | |
JP4621708B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP6728953B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP5687364B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP5900698B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2002134748A (ja) | 超接合半導体素子 | |
JP2013258327A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2019096855A (ja) | 半導体装置 | |
EP3025373B1 (en) | Mos-bipolar device | |
JP2017195224A (ja) | スイッチング素子 | |
JP2019106430A (ja) | 半導体装置 | |
JP2017191817A (ja) | スイッチング素子の製造方法 | |
JP6870516B2 (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP5865860B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2019102761A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2019096732A (ja) | 半導体装置 | |
JP6400202B2 (ja) | 電力用半導体装置 | |
JP7439465B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2016062975A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP6588774B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2015231037A (ja) | 半導体装置、及び、半導体装置の製造方法 | |
JP2008227240A (ja) | 半導体装置とその製造方法 | |
JP2019106506A (ja) | 半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20200720 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220310 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230426 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230509 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230607 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230919 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231024 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240116 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240129 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7439465 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |