JP2021062451A - ウェーハ研磨用ヘッド - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の実施形態に係るウェーハ研磨用ヘッド1を備えたウェーハ研磨装置の概略構成を示す図である。
作業テーブル30は、定盤上に回転自在に設けられており、回転軸32を介して図示しない駆動装置によって駆動され回転する。
研磨布31は、ウェーハWを研磨するための布材料である。研磨布31としては、例えば、発泡ポリウレタンシート、フェルトが利用されても良い。
図2を参照して、ウェーハ研磨用ヘッド1は、チャック機構として、ラバーチャック10と、剛体チャック11と、を備えている。
先ず、ウェーハ研磨用ヘッド1をラバーチャック方式として機能させる際の態様について説明する。
ウェーハ研磨用ヘッド1をラバーチャック方式とする研磨工程において、ラバーチャック10と剛体チャック11の間は第1の圧力調整機構23によるエア供給によって加圧され正圧に、剛体チャック11の上方は第2の圧力調整機構24によって大気開放され大気圧に、チャンバ22は第3の圧力調整機構25によるエア供給によって加圧され正圧に、調整される。
ウェーハ研磨用ヘッド1を剛体チャック方式として機能させる研磨工程においては、ラバーチャック10と剛体チャック11の間は第1の圧力調整機構23によって大気開放され大気圧に、剛体チャック11の上面は第2の圧力調整機構24によって加圧され正圧に、チャンバ22は第3の圧力調整機構25によって加圧され正圧に、調整される。
ウェーハ搬送工程においては、ラバーチャック10と剛体チャック11の間は第1の圧力調整機構23のエア吸引によって減圧され負圧に、剛体チャック11の上面は第2の圧力調整機構24によって加圧され正圧に、チャンバ22は第3の圧力調整機構25によって大気開放され大気圧に、調整される。
10 ラバーチャック
11 剛体チャック
12 チャック保持部材
22 チャンバ
23 第1の圧力調整機構
24 第2の圧力調整機構
25 第3の圧力調整機構
26 チャックベース
27 回転軸
28 ドライブリング
30 作業テーブル
31 研磨布
32 回転軸
33 液体供給ノズル
W ウェーハ
Claims (6)
- 弾性体からなるラバーチャックと剛体からなる剛体チャックとを備えるチャック機構と、
前記ラバーチャック近傍にエア供給可能な第1の圧力調整機構と、
前記剛体チャック近傍にエア供給可能な第2の圧力調整機構と、を有し、
前記第1の圧力調整機構によるエア供給と前記第2の圧力調整機構によるエア供給を切り換えることにより加工方法の切り換えが可能であることを特徴とするウェーハ研磨用ヘッド。 - 前記ラバーチャックは、その下面で加工対象のウェーハを押し、
前記剛体チャックは、その下面が前記ラバーチャックの上面に当接可能であることを特徴とする請求項1に記載のウェーハ研磨用ヘッド。 - 前記第1の圧力調整機構は、前記ラバーチャックの上面と前記剛体チャックの下面との間にエア供給可能であり、
前記第2の圧力調整機構は、前記剛体チャックの上面にエア供給可能であることを特徴とする請求項2に記載のウェーハ研磨用ヘッド。 - 前記剛体チャックは、ポーラス体から形成されていることを特徴とする請求項1から請求項3の何れか1項に記載のウェーハ研磨用ヘッド。
- 前記第1の圧力調整機構によってエア供給した状態で表面基準研磨の前記チャック機構が構成され、
前記第2の圧力調整機構によってエア供給した状態で裏面基準研磨の前記チャック機構が構成されることを特徴とする請求項1から請求項4の何れか1項に記載のウェーハ研磨用ヘッド。 - 前記第1の圧力調整機構は、前記ラバーチャック近傍の大気開放及び前記ラバーチャック近傍からのエア吸引が可能であることを特徴とする請求項1から請求項5の何れか1項に記載のウェーハ研磨用ヘッド。
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