JP2021038068A - 加工システム、および物品の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 加工装置にてワークを位置決めする時間をなくすとともに、ワークへの加工にかかる時間を短縮することを目的とする。【解決手段】 搬送路に沿って台車を移動させる台車移動手段と、ワークを搭載可能な前記台車と、加工ツールと、を有する加工システムであって、前記台車移動手段によって前記台車を第一の位置に移動させることにより、前記ワークの第一の位置に前記加工ツールを用いて加工を行った後、前記台車移動手段によって前記台車を第二の位置に移動させることにより、前記ワークの第二の位置に前記加工ツールを用いて加工を行うことを特徴とする。【選択図】 図１

Description

本発明は、生産装置の作業工程間においてワークを搬送しながらワークを加工し物品を製造する加工システム、および物品の製造方法に関するものである。

ワークを搬送しながら加工する加工システムは、所定の作業工程を行う複数の加工装置が所定の間隔をおいて設置され、それらの加工装置間にはワーク搬送装置が配設されている。そして、各作業工程でワークに所定の加工が施された後、そのワークが搬送装置により、次の作業工程へ順に搬送されるようになっている。

加工システムにおいて、各作業工程にて部品の組み立て等の精密な加工を施すためには、加工装置とワークの精密な位置合わせが必要である。通常の場合は搬送装置によりワークが作業工程に搬送された後に、作業工程に備えられた位置決め装置や画像処理装置等によって、ワークの位置決めやワークの位置を認識し、位置補正等を行なった後、加工装置で加工を行なう。そのため、精密な位置合わせには長時間を要し、サイクルタイムが長くなってしまう問題があった。

サイクルタイムを短縮する方法として、ワークを搬送するための搬送台車上にワークの位置決めを行った後、各作業工程における搬送台車の教示位置に搬送台車が移動して、即時に加工を行うダイレクト組立方式が広く知られている。

ダイレクト組立方式によって精密な加工を施すためには、搬送台車の教示位置に対する位置停止精度が重要であり、位置停止精度が高いリニアアクチュエータ等をワーク搬送装置のアクチュエータとして用いることが多い（特許文献１）。

また、複数の加工点を有するワークに加工を施す場合、作業工程における加工装置に搭載されたアクチュエータによって、それぞれの加工点に加工ツールを移動させて所定の加工を施す（特許文献２）。そのため、ワークと加工装置の位置合わせ、および加工点間の移動に長時間を要するため、サイクルタイムが長くなってしまう問題があった。

特開２０１３−１０２５６２号 特開２０００−１００８５６号

特許文献１のように、リニアコンベアを用いて搬送台車上のワークを各作業工程へ高精度で位置決めさせることは知られているが、作業工程内での移動については考えられていない。各作業工程においてワークに複数の加工を施さなければならない場合は、加工装置側のアクチュエータを用いて、ツールをワークの複数の加工点まで移動させなければならず、加工装置に高速移動が可能な複数のアクチュエータを設ける必要があった。

一方、特許文献２には、水平面内のＸＹ方向に高速移動可能なＸＹテーブル装置によってワークを移動させる装置について記載されている。しかし、Ｘ方向及びＹ方向に高速移動可能なアクチュエータを設けると、装置が肥大化するとともに、移動テーブル自体の重量が増加するため、さらなる高推力のアクチュエータを設置する必要がある。また、移動テーブルの加速、減速、停止時に発生する残留振動により、加工装置とワークの位置合わせ精度が崩れてしまう問題があった。

上記に記載した問題は、複数の加工点を狭ピッチに配列するワークにおいて、特に顕著な問題となる。狭ピッチの高速移動のためには、ＸＹテーブルの高加減速動作が必要となるため、高推力、大型のアクチュエータをＸＹ方向それぞれに配置する必要がある。その結果、長ストローク化し、ツールの移動（あるいはワーク搬送）に長時間を要することとなる。

本発明の目的は、ワーク上の複数の加工点に対するツールの移動時間を極小化すると共に、ワークに対して精密な加工を施すことができる加工システム、および物品の製造方法を提供することである。

本発明の加工システムは、台車を搬送する複数の搬送モジュールを配列することによって前記台車を複数位置へと搬送可能な搬送路と、前記台車に搭載されたワークに対して、加工を行う加工装置と、前記複数の搬送モジュールと、前記加工装置を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記ワークの複数の位置に前記加工装置によって加工を行う際、前記複数の位置の移動を、前記搬送モジュールにより前記台車を移動させることによって行なうことを特徴とする。

また、本発明の加工システムは、台車を搬送する複数の搬送モジュールを配列することによって前記台車を複数位置へと搬送可能な搬送路と、前記台車にワークを搭載するためのワーク投入装置と、前記台車に搭載されたワークを検査する検査装置と、前記ワークに対して、所定の加工作業を行う加工装置と、前記ワークを取り出すためのワーク排出装置と、前記複数の搬送モジュールと、前記加工装置を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記ワークの複数の位置に前記加工装置によって加工を行う際、前記複数の位置の制御を前記搬送モジュールにより前記台車を移動させることによって行なうことを特徴とする。

また、本発明の物品の製造方法は、上記の加工システムを用いて、ワークを搬送しながら前記ワークに複数の加工を行ない、物品を製造することを特徴とする。

本発明によれば、ワークが作業工程に搬送された後、ワークの位置決めを行うことなく、精密な組立等の作業を施すことができる。また、加工装置を軽量化することができ、高加減速の動作を可能とすることができる。また、作業工程全体のサイズが小型化され、ワーク搬送装置の搬送ストロークも短縮される。さらに、搬送装置の搬送ストロークが短縮されることで、ワークの搬送に要する時間も短縮され、装置全体のサイクルタイムを短縮することができる。

本発明の第一の実施形態による加工システムの全体構成を示す概略図である。 本発明の第一の実施形態による搬送装置の構成を示す概略図である。 本発明の第一の実施形態による搬送装置の構成を示す正面図である。 本発明の第一の実施形態による搬送装置の構成を示す断面図である。 本発明の第一の実施形態による台車及びワークの構成を表した上面図である。 本発明の第一の実施形態による加工装置の構成を示す正面図である。 本発明の第一の実施形態による加工装置の構成を示す断面図である。 本発明の第一の実施形態による検査装置の構成を示す正面図である。 本発明の第一の実施形態による教示点の配置を示す教示点配置図である。 本発明の第一の実施形態による搬送台車の動作を表すタイムチャートである。 本発明の第一の実施形態による加工前検査装置の動作を表すタイムチャートである。 本発明の第一の実施形態による加工装置の動作を表すタイムチャートである。 本発明の第一の実施形態による加工後検査装置の動作を表すタイムチャートである。 本発明の第二の実施形態による加工システムの全体構成を示す概略図である。 本発明の第五の実施形態による加工システムの全体構成を示す概略図である。 本発明の第五の実施形態による搬送台車の動作を表すタイムチャートである。 本発明の第六の実施形態による加工システムの全体構成を示す概略図である 本発明の第一の実施形態による加工装置に発生する力の関係図である。 本発明の第二の実施形態による教示点の配置を示す教示点配置図である。 本発明の第二の実施形態による搬送台車の動作を表すタイムチャートである。 本発明の第二の実施形態による加工前検査装置の動作を表すタイムチャートである。 本発明の第二の実施形態による加工装置の動作を表すタイムチャートである。 本発明の第二の実施形態による加工後検査装置の動作を表すタイムチャートである。 本発明の第三の実施形態による加工システムの全体構成と教示点を示す概略図である。 本発明の第三の実施形態による搬送台車の動作を表すタイムチャートである。 本発明の第四の実施形態による加工システムの全体構成と教示点を示す概略図である。 本発明の第四の実施形態による搬送台車の動作を表すタイムチャートである。 教示点の補正について説明する図である。

本発明の実施形態に関して図面を参照して説明する。

まず、本実施形態による加工システムの全体構成について図１を用いて説明する。図１は、本実施形態による加工システムの全体構成を示す概略図であり、システム全体を上面から見た図を概略的に表したものである。

図１に示すように、本実施形態による加工システム００は、搬送路に沿って台車を移動させる台車移動手段と、ワークを搭載可能な台車１０（搬送台車と称する場合がある）と、加工ツールとを有する。

具体的には、台車移動手段によって台車を複数位置へと搬送可能な搬送路として、搬送装置往路１（搬送往路と称する場合がある）と、搬送装置復路２（搬送復路と称する場合がある）と、台車移載装置３と、台車移載装置４を有している。また、搬送路に隣接する所定の位置に配され、ワークを台車に搭載するための、ワーク投入装置５と、ワークを台車から排出するための、ワーク排出装置６を有する。さらに、搬送路に隣接する所定の位置に配された、加工前検査装置７と、加工後検査装置８と、加工装置９と、を有している。加工前検査装置７と加工後検査装置８は、一つの検査装置によって兼用されていてもよい。また、本明細書において、加工前検査装置７を第一の検査装置、加工後検査装置８を第二の検査装置と称する場合がある。本実施形態による加工システム００は、加工すべき加工対象であるワークＷを搬送するとともに、搬送台車１０上でワークＷを位置決めする搬送システム０１を含んでいる。台車移動手段である搬送システム０１は、少なくとも、搬送装置往路１を有する。また、搬送システム０１は、搬送装置往路１の他に、搬送装置復路２と、台車移載装置３と、台車移載装置４と、を有していてもよい。搬送装置往路１、搬送装置復路２、台車移載装置３、及び台車移載装置４は、移動部である搬送台車１０の搬送路を構成する。本明細書において、搬送台車１０を移動部、搬送台車１０の搬送路を固定部と称する場合がある。本明細書において、搬送装置往路１は搬送装置復路２であってもよく、搬送装置復路２は搬送装置往路１であってもよい。

ここで、以下の説明において用いる直交座標系であるＸＹＺ座標系のＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の各座標軸及び方向を定義する。まず、搬送台車１０の搬送方向に沿ってＸ軸をとる。また、Ｘ軸と平行（水平）に置かれた後述の架台０２に対して垂直な軸、すなわち鉛直方向に沿った軸をＺ軸とし、Ｘ軸及びＺ軸と直交する軸をＹ軸とする。このように座標軸が定義されるＸＹＺ座標系において、Ｘ軸に沿った方向をＸ方向とし、Ｘ方向のうち、搬送台車１０の搬送方向と同方向を＋Ｘ方向、＋Ｘ方向とは逆方向を−Ｘ方向とする。また、Ｙ軸に沿った方向をＹ方向とし、Ｙ方向のうち、＋Ｘ方向に対して右側から左側に向かう方向を＋Ｙ方向とし、＋Ｙ方向とは逆方向を−Ｙ方向とする。また、Ｚ軸に沿った方向をＺ方向とし、Ｚ方向のうち、搬送路側から搬送台車１０側に向かう方向、すなわち鉛直上向き方向を＋Ｚ方向とし、搬送台車１０側から搬送路側に向かう方向、すなわち鉛直下向き方向を−Ｚ方向とする。

本実施形態における加工システム００においては、それぞれ搬送台車１０を搬送する直線状の搬送路を構成する搬送装置往路１及び搬送装置復路２が互いに平行に設置されているがこれに限るものではない。台車である搬送台車１０は、搬送装置往路１及び搬送装置復路２に沿って搬送される。搬送装置往路１の最上流には、搬送装置復路から搬送装置往路に搬送台車を搬送するための台車移載装置３（第一の台車移載装置）が設置されていてもよい。また、搬送装置往路１の最下流には、搬送装置往路から搬送装置復路に搬送台車を搬送するための台車移載装置４（第二の台車移載装置）が設置されていてもよい。搬送装置往路１に沿って搬送された搬送台車１０は、台車移載装置４により搬送装置復路２に移載されてもよい。また、搬送装置復路２に沿って搬送された搬送台車１０は、台車移載装置３により搬送装置往路１に移載されてもよい。すなわち、搬送台車１０は、搬送装置往路１及び搬送装置復路２に沿って循環搬送されてもよい。なお、搬送台車１０は、１台だけ設置されていてもよいし、複数台設置されていてもよい。

台車移動手段である搬送装置は、搬送装置往路１または搬送装置復路２を含み、搬送装置往路１及び搬送装置復路２は、モジュール化されて構成されており、複数の搬送モジュール１１を有している。

搬送装置往路１の上流の前記搬送装置往路１に隣接する所定の位置には、前記搬送装置往路上を搬送する搬送台車１０にワークＷを供給して搭載するためのワーク供給装置であるワーク投入装置５が設置されていてもよい。搬送装置往路１の下流の前記搬送装置往路１に隣接する所定の位置には、前記搬送装置往路に沿って搬送される搬送台車１０よりワークＷを取り出して排出するためのワーク排出装置６が設置されていてもよい。

ワーク投入装置５とワーク排出装置６との間であって、前記搬送装置往路１に隣接する所定の位置には、前記搬送装置往路１に沿って搬送する搬送台車上のワークの位置を検出するための加工前検査装置７が設置されていてもよい。また、加工前検査装置７にて位置検出した結果に基づいて、塗布やボンディング、組立作業等の加工を行うための加工装置９が設置されていてもよい。また、加工を行った後に、あらかじめ定められた通りの加工が施されたかどうか、加工状態を検査するための、加工後検査装置８が設置されていてもよい。なお、加工装置９は１台のみ設置されている場合や複数台設置されている場合があってもよい。複数台の加工装置９は、一定の間隔で設置されている場合や、任意の間隔で設置されている場合があってもよい。また、加工前検査装置７と加工後検査装置８は、一台の、前記台車に搭載されたワークを検査する検査装置（手段）によって兼用されていてもよい。

加工装置９は、特に限定されるものではなく、ワークＷに対して種々の加工作業を施す加工装置を用いることができる。

搬送台車１０は、搬送装置往路１に対して所定の間隔で設置されたワーク投入装置５、加工装置９及びワーク排出装置６の間を順次搬送される台車である。搬送台車１０には、ワーク投入装置５にてワークＷが供給されて投入される。次いで、搬送台車１０上でのワークＷの位置決め及び固定を経た後、搬送台車１０上のワークＷに対して、加工装置７により所定の加工作業が施される。加工装置９によるすべての加工作業が完了した後、ワーク排出装置６により、搬送台車１０上からワークＷが取り出され、物品が製造される。

（第一の実施形態）
次に、搬送システム０１における搬送装置往路１、搬送装置復路２、台車移載装置３、４及び搬送台車１０の構成の第一の実施形態の概略について、図２〜図４を用いて説明する。

図２は、搬送装置往路１を説明する概略図である。図３は、搬送台車１０及び搬送路の一部である搬送モジュール１１を説明する概略図である。図４は、搬送台車１０および搬送モジュール１１の断面図である。

加工システム００は、複数の搬送モジュール１１、台車移載装置３及び台車移載装置４にそれぞれ通信可能に接続された複数の下位コントローラ４３を有している。下位コントローラ４３は、接続先の搬送モジュール１１又は台車移載装置３、４を制御する。

なお、図２では、説明を簡単にするため、５つの搬送モジュール１１を示し、それぞれに接続された下位コントローラ４３として、５つの下位コントローラ４３ａ、４３ｂ、４３ｃ、４３ｄ、４３ｅを示している。また、台車移載装置３に接続された下位コントローラ４３として、下位コントローラ４３ｆ、４３ｇを示している。また、台車移載装置４に接続された下位コントローラ４３として、下位コントローラ４３ｈ、４３ｉを示している。説明では、特に区別する必要がないかぎり、下位コントローラを単に「下位コントローラ４３」と表記する。複数の下位コントローラ４３は、下位コントローラネットワーク４２に接続されている。

加工システム００は、さらに、中位コントローラ４１と、上位コントローラ４０とを有している。複数の下位コントローラ４３には、下位コントローラネットワーク４２を介して、中位コントローラ４１が通信可能に接続されている。中位コントローラ４１は、複数の下位コントローラ４３を制御する。さらに、中位コントローラ４１には、中位コントローラ４１に動作指令を送る上位コントローラ４０が接続されている。本実施形態においては、搬送モジュールのそれぞれに、それぞれ下位コントローラが配置されている例を示した。しかし、これに限るものではなく、搬送モジュール全体を一つのコントローラ（例えば一台のコンピュータのＣＰＵ（制御部））が制御してもよい。または、複数の搬送モジュールごとに一つのコントローラ（例えば一台のコンピュータのＣＰＵ（制御部））が制御してもよい。本実施形態の下位コントローラとは、このような制御部である形態も含むものとする。また、本実施形態の中位コントローラ、上位コントローラについても、下位コントローラとは別のコントローラである例を記載したが、これに限るものではない。例えば、下位コントローラと同じ一台のコンピュータのＣＰＵ（制御部）が制御してもよい。本実施形態の中位コントローラ、および上位コントローラとは、このような制御部である形態も含むものとする。

図２に示すように、搬送モジュール１１は、架台０２の水平な設置面上に設置されている。搬送モジュール１１は、搬送モジュール筺体１５と、エンコーダ１２ａ、１２ｂ、１２ｃと、台車を駆動するためのコイル群１３と、ガイドレール１４とを有している。また、下位コントローラ４３には、図示しない電源が接続されている。

コイル群１３は、Ｘ方向に沿って搬送モジュール筺体１５に取り付けられている。ガイドレール１４は、Ｘ方向に沿って搬送モジュール筺体１５の上に取り付けられている。

搬送台車１０は、後述の台車ベース３０と、スケール３２と、ガイドブロック３５を有している。

次に、搬送台車１０及び搬送モジュール１１の構成について図３および図４を用いて説明する。固定部である搬送路の一部である搬送モジュール１１は、搬送モジュール筺体１５を含む。移動部である搬送台車１０は、搬送台車ベース３０を含む。

本実施形態の搬送モジュール１１は、外側の筐体１５と内側の筐体１９と台車駆動コイル１３を有している。搬送モジュール１１は、外側筐体底部１５ｃと２つの外側筐体側部１５ａ、１５ｂを有し、外側筐体底部１５ｃに、外側筐体底部１５ｃと交差する方向に間をあけて２つの外側筐体側部１５ａ、１５ｂが対向して配置されている。内側の筐体（台車駆動コイルブラケットと称する場合がある）１９は、間をあけて配置された２つ内側筐体側部１５ａ、１５ｂの間に、内側筐体底部１９ｃと２つの内側筐体側部１９ａ、１９ｂを有する。そして、内側筐体底部１９ｃに、内側筐体底部１９ｃと交差する方向に間をあけて２つの内側筐体側部１９ａ、１９ｂが対向して配置されている。そして、間をあけて配置された２つの内側筐体側部１９ａ、１９ｂの間に、対の台車駆動コイル１３がＸ方向に沿って複数並べて設置されている。このＸ方向に沿って並べて配置された対の台車駆動コイルの間を搬送台車１０に設置された永久磁石３３および永久磁石ブラケット３４が通過するように構成されている。本実施形態においては、外側の筐体１５および内側の筐体１９を合わせて搬送モジュール筐体と称する場合がある。

内側筐体底部１９ｃは、外側筐体側部１５ａ、１５ｂに設けられた貫通穴１５ａａ、１５ａｂ、１５ｂａ、１５ｂｂ（１５ａｂは不図示）を通じて取り付け部１９ｄ、１９ｅおよび放熱板１７ａ、１７ｂに取り付けられている。また取り付け部１９ｃａ、１９ｃｂ、１９ｃｃ、１９ｃｄ（１９ｃｂは不図示）は、外側筐体底部１５ｃに設置されている。

エンコーダ１２はエンコーダブラケット１８を介して外側筺体側部１５ｂに設置されている。図３において、エンコーダは一つの搬送モジュール１１に対して３つ設けられている例を示したがこれに限らず、少なくとも１つ以上のエンコーダを有していればよい。

ガイドレール１４は外側筐体側部１５ａ、１５ｂの上面にそれぞれ並列に設置されている。つまり、Ｘ方向に沿って２本設置されている。

搬送台車ベース３０の下面にガイドブロック３５、永久磁石ブラケット３４が設置されており、Ｔ型構造となっている。永久磁石ブラケットに埋めこまれるように永久磁石３３が設置されている。本明細書において、永久磁石ブラケット３４と永久磁石３３とをあわせて永久磁石と称する。

搬送台車ベース３０に取り付けられた複数の永久磁石３３と、搬送モジュール筺体に取り付けられた台車駆動コイル１３との間には、台車駆動コイル１３に電流を印加することによって、搬送台車１０を駆動する電磁力が発生する。搬送台車１０は、複数の永久磁石３３と台車駆動コイル１３との間に発生する電磁力により駆動され、搬送装置往路１上を＋Ｘ方向に沿って搬送される。このように、本実施形態では、台車駆動コイル１３は動かず、永久磁石３３が移動する、ムービングマグネット（ＭＭ）型リニアモータによる搬送システム０１が構成されている。

スケール３２はスケールブラケット３１を介して、台車ベース３０の側面にエンコーダ１２が位置検出可能な位置に取り付けられている。つまり、スケールとエンコーダ１２が対向して取り付けられている。そしてスケール３２は、搬送台車１０の位置検出に用いられるパターンを有している。スケールブラケット３１を介さず直接スケール３２が台車ベース３０の側部に取り付けられてもよく、本明細書においては、スケールブラケット３１とスケール３２とをあわせてスケールと称する場合がある。

そして、搬送モジュール筺体１５、１９の外側筐体側部１５ｂに、エンコーダブラケット（センサ取り付け部材）１８を介してエンコーダ１２が設置される。エンコーダ１２はエンコーダブラケット１８によってエンコーダのスケール読み取り部であるエンコーダ検出部をスケールと対向して配置されるように調整されている。本実施形態ではエンコーダを３個設置する例を示したが、これに限るものではない。エンコーダブラケット１８を介さず直接エンコーダを取り付けてもよく、本明細書においては、エンコーダブラケット１８とエンコーダ１２とをあわせてエンコーダと称する場合がある。また、本実施形態に於いてはエンコーダとスケールを用いて移動部の位置を検出する形態について述べるがこれに限ることなく、固定部と移動部の位置を検出できる公知のセンサを用いることができる。本明細書においては、移動部に取り付けられる部材をスケール、固定部に取り付けられる部材をエンコーダまたはセンサと称する。また、カバー１７はエンコーダ１２及びスケール３２の保護のために設置されている。

エンコーダ１２ａとエンコーダ１２ｂの間隔およびエンコーダ１２ｂとエンコーダ１２ｃの間隔は搬送台車１０に取り付けたスケール３２の長さよりも短いことが好ましい。そうすることによって搬送モジュール１１上のどの位置においても搬送台車１０の位置をいずれかのエンコーダ１２によって検出することができる。

搬送モジュール１１のエンコーダ１２は、搬送台車１０に取り付けられたスケール３２とのギャップが一定となるように搬送モジュール筺体１５に取り付けられている。エンコーダ１２は、スケール３２のパターンを読み取ることにより、搬送台車１０のＸ方向における位置を、エンコーダ１２からの相対位置として検出することができる。

下位コントローラ４３は、接続されたエンコーダ１２の出力及びそのエンコーダ１２が設置された位置に基づき、搬送モジュール１１上における搬送台車１０の位置を算出することができる。下位コントローラ４３は、算出した搬送台車１０の位置等に応じて、台車駆動コイル１３に印加される電流量を制御することができる。これにより、下位コントローラ４３は、搬送台車１０を所定の位置まで所定の速度で搬送して停止させることができる。

また、下位コントローラ４３は、隣接する搬送モジュール１１から接続先の搬送モジュール１１に搬送台車１０が進入することをエンコーダ１２により検知することができる。下位コントローラ４３は、接続先の搬送モジュール１１に進入した搬送台車１０を所定の位置まで所定の速度で搬送し、停止させるため、接続先の搬送モジュール１１内における搬送台車１０の制御を行う。

下位コントローラ４３は、中位コントローラ４１と情報をやり取りするための通信機能を有している。下位コントローラ４３は、その下位コントローラ４３が保有するエンコーダ１２により検出される搬送台車１０の位置情報等に関する通信を中位コントローラ４１と行う。

中位コントローラ４１は、搬送台車１０を動作させるための指令を下位コントローラ４３のそれぞれに送信することができる。これにより、中位コントローラ４１は、複数台の搬送台車１０の制御を行うことができる。

なお、搬送装置復路２も、搬送台車１０の搬送方向が、搬送装置往路１における搬送方向とは逆方向となるように構成されている点を除き、上述した搬送装置往路１と同様の構成を有している。

続いて、台車移載装置３及び台車移載装置４の構成について説明する。台車移載装置３及び台車移載装置４は、図２に示すように、それぞれ、Ｙ方向に動作可能な台車移載アクチュエータ５０と、台車移載アクチュエータ５０上に搭載され、搬送モジュール１１と同様の構成のモジュールとを有している。

本実施形態では、台車移載装置３及び台車移載装置４の構成に搬送モジュール１１を用いて説明するが、他の構成で移載することも可能であり、これに限定されるものではない。

台車移載装置３に接続された下位コントローラ４３ｆは、台車移載装置３の台車移載アクチュエータ５０を制御する。台車移載装置３に接続された下位コントローラ４３ｇは、下位コントローラ４３ａ、４３ｂ、４３ｃ、４３ｅと同様に、台車移載装置３の搬送モジュール１１と同様の構成のモジュールを制御する。また、台車移載装置４に接続された下位コントローラ４３ｈは、台車移載装置４の台車移載アクチュエータ５０を制御する。台車移載装置４に接続された下位コントローラ４３ｉは、下位コントローラ４３ａ、４３ｂと同様に、台車移載装置４の搬送モジュール１１と同様の構成のモジュールを制御する。

台車移載装置３及び台車移載装置４は、それぞれ、搬送装置往路１と搬送装置復路２との間を動作することにより、搬送台車１０の移載を行う。台車移載装置４は、搬送装置往路１に沿って搬送された搬送台車１０を、搬送装置往路１から搬送装置復路２に移載する。台車移載装置３は、搬送装置復路２に沿って搬送された搬送台車１０を、搬送装置復路２から搬送装置往路１に移載する。

上位コントローラ４０は、加工システム００全体を制御し、中位コントローラ４１の他に、ワーク投入装置５、ワーク排出装置６、加工前検査装置７、加工後検査装置８、加工装置９用のコントローラ（不図示）等が通信可能に接続されている。上位コントローラ４０は、加工システム００における各装置の動作及び動作順を制御する。

次に台車上の構成及びワークに関して図５を用いて説明する。図５は搬送台車１０およびワークを上方向から見た図である。搬送台車ベース３０上にワーク把持機構３６が設置されており、ワーク投入装置５にてワークが供給された後、ワークを搬送台車１０上に固定する。ワーク把持機構３６にて固定されたワークは搬送台車１０に移動や、加工装置９により加工が施される際の外力の影響によっても、位置がずれることがないように構成される。

ワーク上にＸ方向に配列された複数の加工点Ｐ（１，０）〜Ｐ（ｘ_ｍ−１，０）及び複数の加工点Ｐ（１，ｙ_ｎ）〜Ｐ（ｘ_ｍ−１，ｙ_ｎ）が設けられている。また、Ｙ方向に配列された複数の加工点Ｐ（０，１）〜Ｐ（０，ｙ_ｎ−１）及び複数の加工点Ｐ（ｘ_ｍ，１）〜Ｐ（ｘ_ｍ，ｙ_ｎ−１）が設けられている。なお、本明細書では加工点Ｐについて、特に区別する必要のないときは単に加工点Ｐと称する。

また、ワーク上の座標点（０，０）にアライメントマークＡＭ１、座標点（ｘ_ｍ，０）にアライメントマークＡＭ２、座標点（０，ｙ_ｎ）にアライメントマークＡＭ３、座標点（ｘ_ｍ，ｙ_ｎ）にアライメントマークＡＭ４が設けられている。アライメントマークＡＭ１、ＡＭ２、ＡＭ３、ＡＭ４の位置を検出することで、それぞれの加工点Ｐの位置が算出できるように構成されている。すなわち、加工前検査装置７にてアライメントマークＡＭ１，ＡＭ２，ＡＭ３，ＡＭ４の位置を測定し、測定結果を元に、加工装置９にて加工を行う加工点Ｐの位置補正を行う。加工前検査装置７にて測定した結果を元に、加工装置９にて加工を行った結果の検査を加工後検査装置９にて行う。なお、本明細書ではアライメントマークＡＭ１、ＡＭ２、ＡＭ３，ＡＭ４について、特に区別する必要のないときは単にアライメントマークＡＭと称する。

次に加工装置９（図１参照）について、図６及び図７を用いて説明する。図６は加工装置９の正面図であり、加工装置９を−Ｘ方向に見た図である。図７は加工装置９の図６中のＡＡ断面及びＢＢ断面を表した断面図である。また、加工装置９は、例えば、ワーク上の加工点Ｐのボンディングを行うボンディング装置である。

加工装置９は、加工ツール移動台車６０と、加工ツール搬送路である加工ツール駆動モジュール６１を有する。加工装置９が、例えばボンディング装置の場合は、加工ツール移動台車６０をボンディングヘッド移動台車６０と称し、加工ツール駆動モジュール６１をボンディングヘッド駆動モジュール６１と称する場合がある。

加工ツール駆動モジュール６１は加工ツール駆動モジュール筺体６５上に加工ツール駆動モジュール筺体６５と合わせて閉構造となるように配置された下部解放の凹型構造の台車駆動コイルブラケット６９が配置されている。台車駆動コイルブラケット６９には、内壁に対向して設置された対の台車駆動コイル６３が設置されている。

エンコーダ６２はエンコーダブラケット６８を介して加工ツール駆動モジュール筺体６５に設置されている。

ガイドレール６４は、搬送路である搬送装置往路１を構成する搬送モジュール１１のガイドレール１４（図３参照）と交差する方向に、加工ツール駆動モジュール筺体６５の上面に並列に２本設置されている。つまり搬送モジュール１１によって移動する台車の移動方向とは交差する方向にガイドレール６４は設置されている。交差する方向は、搬送モジュール１１によって移動する台車の移動方向と垂直方向であることが、制御のしやすさから好ましい。

加工ツール移動台車６０には、駆動台車ベース８０の下面にガイドブロック８５が設置されている。加工ツール移動台車６０は、ガイドブロック８５にガイドされてガイドレール６４に沿って移動する。加工ツール移動台車６０の上面には永久磁石ブラケット８４が設置されており、永久磁石ブラケットに埋めこまれるように複数の永久磁石８３が設置されている。本明細書において、永久磁石ブラケット８４と永久磁石８３とをあわせて永久磁石と称する。永久磁石ブラケット８４は、台車駆動コイルブラケット６９を介して加工ツール駆動モジュール筺体６５に取り付けられた、対の台車駆動コイル６３の間を通過するように構成されている。

台車駆動コイルブラケット６９を介して加工ツール駆動モジュール筺体６５に取り付けられた台車駆動コイル６３に電流が印加されると、加工ツール移動台車６０に取り付けられた複数の永久磁石８３との間に電磁力が発生する。この発生した電磁力が推進力となり、加工ツール移動台車６０はガイドレール６４に沿ってＹ方向に移動される。つまり、本実施形態のボンディング装置において、加工ツール（ボンディングヘッド）移動台車６０は移動部であり、加工ツール（ボンディングヘッド）駆動モジュール６１は固定部である。

また、加工ツール移動台車６０には、台車駆動コイル６３と永久磁石８３の間に発生する磁力による吸引力もしくは反発力が加わる。永久磁石ブラケット８４は、対の台車駆動コイル６３の間を通過するように構成されているため、各側面で発生する磁力による吸引力・反発力は相殺される。

また、この磁力は加工ツール駆動モジュール側にも作用し、台車駆動コイル６３がＸ方向に相互に引き合うもしくは反発しあう力が発生する。加工ツール駆動モジュール筺体６５と台車駆動コイルブラケット６９により構成される閉構造は、同力に対して十分な剛性を確保できる配置になっている。

駆動台車ベース８０上には加工ツールアクチュエータ７２が設置されており、Ｚ方向に移動可能に構成される。加工ツールアクチュエータ７２の可動部には加工ツールアーム７１を介して加工ツール７０が設置されており、ワーク上の加工点に対してボンディングの加工を施すことができる。

加工ツールアクチュエータ７２は、コイル・永久磁石により発生する電磁力の作用線上に配置されている。そして、駆動台車ベース８０上で永久磁石ブラケット８４とＹ方向で連結されており、コイル・永久磁石により発生する電磁力が力の作用線上で直接伝達される配置となっている。加工ツールアクチュエータ７２と永久磁石ブラケット８４は、構造物を介して連結してもよい。

加工ツール移動台車６０の重心は、コイル・永久磁石により発生する電磁力の作用線上に配置されている。この配置には調整機構を設けてもよい。

エンコーダ６２はエンコーダブラケット６８を介して加工ツール駆動モジュール筺体６５に設置されている。

スケール８２はスケールブラケット８１を介して駆動台車ベース８０側面に、エンコーダ６２が位置検出可能で、加工ツール移動台車６０の重心高さと一致する位置に取り付けられている。これにより、駆動時慣性による加工ツール移動台車６０のＹ軸回りの回転の影響を軽減できる。そしてスケール８２は、加工ツール移動台車６０の位置検出に用いられるパターンを有している。スケール８２は、スケールブラケット８１を介さず駆動台車ベース８０に直接取り付けられてもよく、本明細書においては、スケールブラケット８１とスケール８２とをあわせてスケールと称する場合がある。スケール８２は、駆動台車ベース８０の両側面に張り付けられてもよい。両側面のスケール８２を２つのエンコーダ６２で読み取ることで、駆動時慣性による加工ツール移動台車６０のＺ軸回りの回転を検出することができる。また、スケール８２は、上記以外の位置に張り付けられてもよい。

エンコーダ６２はエンコーダブラケット６８によってエンコーダのスケール読み取り部であるエンコーダ検出部がスケールと対向して配置されるように調整されている。エンコーダ６２は、エンコーダブラケット６８を介さず加工ツール駆動モジュール筺体６５に直接取り付けてもよく、本明細書においては、エンコーダブラケット６８とエンコーダ６２とをあわせてエンコーダと称する場合がある。

エンコーダ６２は、加工ツール移動台車６０に取り付けられたスケール８２とのギャップが一定となるように加工ツール駆動モジュール筺体６５に取り付けられている。エンコーダ６２は、スケール８２が有している位置検出用のパターンを読み取ることにより、加工ツール移動台車６０のＹ方向における位置を、エンコーダ６２からの相対位置として検出することができる。スケールはＹ方向に十分な長さを有しており、エンコーダ６２はＹ方向において適切な位置に配置されており、加工ツール移動台車６０の位置を常に検出できる配置となっている。

搬送モジュール１１と同様に加工ツール駆動モジュール６１は図示しない加工ツール駆動モジュール６１のために設けられた下位コントローラ４３αに接続されており、加工ツール移動台車６０を制御することができる。また、下位コントローラ４３αは下位コントローラネットワーク４２を介して、中位コントローラ４１に通信可能に接続されている。

また、加工ツール７０及び加工ツール駆動アクチュエータ７２は上位コントローラ４０と接続されており、上位コントローラ４０からの指令により動作する。

次に加工装置９にかかる力関係について、図１８を用いて説明する。図１８は加工装置９の正面図であり、加工装置９を−Ｘ方向に見た図である。

台車駆動コイルブラケット６９を介して加工ツール駆動モジュール筺体６５に取り付けられた台車駆動コイル６３に電流が印加されると、加工ツール移動台車６０に取り付けられた複数の永久磁石８３との間に電磁力１９０が発生する。この発生した電磁力１９０が推進力となり、加工ツール移動台車６０はガイドレール６４に沿ってＹ方向に移動される。

加工ツール移動台車６０の重心１９１が電磁力１９０の作用線からずれている場合、加工ツール移動台車６０には以下式に示すモーメントが発生する。
Ｆ×ΔＬ

Ｆは電磁力１９０、ΔＬは電磁力１９０の作用線から重心１９１までの距離１９２である。重心１９１を電磁力１９０の作用線上に近い位置に配置することで距離１９２を０に近づけることができ、電磁利力１９０により発生するモーメントをほとんど０にできる。重心１９１の電磁力１９０の作用線からの距離１９２を±１ｃｍ以内とすると振動の発生をより抑えることができるため好ましい。これにより、加工ツール移動台車６０の加速、減速、停止時において、慣性モーメントによる電磁力１９０に対する偶力を小さくし、残留振動の発生を抑制できる。これにより、速度と精度および信頼性を上げることができる。また、構造が簡単で単純かつ低剛性のガイドレール６４が使用できるため、装置コストの低減が図れる。

次に、加工前検査装置（第一の検査装置）７及び加工後検査装置（第二の検査装置）８の構成について図８を用いて説明する。ワーク上のアライメントマークＡＭ及び加工点Ｐの検査を行うためのカメラ９０がカメラブラケット９１を介してカメラ駆動アクチュエータ９２の可動部に設置されている。カメラ駆動アクチュエータ９２はＹ方向に動作可能に検査装置ベース９３に設置されている。

また、カメラ９０及びカメラ駆動アクチュエータ９２は上位コントローラ４０と接続されており、上位コントローラ４０からの指令により動作する。

次に、搬送台車１０、加工ツール駆動台車６０、カメラ駆動アクチュエータ９２の教示点について図９を用いて説明する。

まず、搬送台車１０の教示点について説明する。教示点ＴＰ１１は台車移載装置３上の教示点である。教示点ＴＰ１２はワーク投入装置３にてワーク投入をおこなうための教示点である。教示点ＴＰ５０はワーク排出装置６にてワーク排出を行うための教示点である。教示点５１は台車移載装置４上の教示点である。ＴＰ５２は搬送装置復路２上の台車移載装置４近傍の教示点である。

教示点ＴＰ２０は加工前検査装置７におけるワーク上のアライメントマークＡＭ１，ＡＭ３の検査を行うための教示位置であり、教示点ＴＰ２１は加工前検査装置７におけるワーク上のアライメントマークＡＭ２，ＡＭ４の検査を行うための教示位置である。

教示点ＴＰ３０は加工装置９におけるワーク上のＸ座標位置が０の位置に配置される加工点Ｐに加工を行うための教示位置である。教示点ＴＰ３１は加工装置９におけるワーク上のＸ座標位置が１の位置に配置される加工点Ｐに加工を行うための教示位置である。教示点ＴＰ３ｘ_ｍは加工装置９におけるワーク上のＸ座標位置がｘ_ｍの位置に配置される加工点Ｐに加工を行うための教示位置である。

教示点ＴＰ４０は加工後検査装置８におけるワーク上のＸ座標位置が０の位置に配置される加工点Ｐの検査を行うための教示位置である。教示点ＴＰ４１は加工後検査装置８におけるワーク上のＸ座標位置が１の位置に配置される加工点Ｐの検査を行うための教示位置である。教示点ＴＰ３ｘ_ｍは加工後検査装置８におけるワーク上のＸ座標位置がｘ_ｍの位置に配置される加工点Ｐの検査を行うための教示位置である。

上記の教示位置を順次移動することで搬送台車１０は搬送システム内を循環動作する。なお、搬送台車１０が複数の場合には、上記の教示点は複数の台車で共有され、それぞれの教示点を使用する搬送台車１０が順次切り替わる。

次に加工前検査装置７のカメラ駆動アクチュエータ９２の教示点について説明する。教示点ＴＰ７０はワーク上のアライメントマークＡＭ１，ＡＭ２の検査を行うための教示点であり、教示点ＴＰ７１はワーク上のアライメントマークＡＭ３，ＡＭ４の検査を行うための教示点である。

次に加工装置９の加工ツール駆動台車６０の教示点について説明する。教示点ＴＰ８０は加工装置９におけるワーク上のＹ座標位置が０の位置に配置される加工点Ｐの加工を行うための教示位置である。教示点ＴＰ８１は加工装置９におけるワーク上のＹ座標位置が１の位置に配置される加工点Ｐの加工を行うための教示位置である。教示点ＴＰ８ｙ_ｎは加工装置９におけるワーク上のＹ標位置がＹ_ｎの位置に配置される加工点Ｐの加工を行うための教示点である。

次に加工後検査装置８のカメラ駆動アクチュエータ９２の教示点について説明する。教示点ＴＰ９０は加工後検査装置８におけるワーク上のＹ座標位置が０の位置に配置される加工点Ｐの検査を行うための教示位置である。教示点ＴＰ９１は加工後検査装置８におけるワーク上のＹ座標位置が１の位置に配置される加工点Ｐの検査を行うための教示位置である。教示点ＴＰ９ｙ_ｎは加工後検査装置８におけるワーク上のＹ標位置がＹ_ｎの位置に配置される加工点Ｐの検査を行うための教示点である。

上記の搬送台車１０の教示点とカメラ駆動アクチュエータ９２及び加工ツール駆動台車６０の教示点の組合せによりワーク上の各加工点Ｐ及びアライメントマークＡＭの加工や検査が行われる。

なお、上記までに記載したそれぞれの教示点が搬送モジュール１１の境界に配置されることがないように、ワーク投入装置５、ワーク排出装置６、加工前検査装置７、加工後検査装置８、加工装置９をそれぞれ配置するのが望ましい。そのようにすることで、それぞれの装置における加工等のための搬送台車１０の動作による振動等の影響が他の搬送モジュールに伝搬することが防止できる。さらに搬送モジュール１１が搭載される架台０２を搬送モジュール１１毎に分割することでその効果はさらに期待できる。

次に搬送台車１０が搬送システム０１の循環経路上を１周する際の動作について図１０を用いて説明する。

図１０は各時刻における搬送台車１０、台車移載装置３、台車移載装置４の位置と、ワーク投入装置５、ワーク排出装置６の稼働状態を表しており、１０１は台車１０の位置であり、１０２は台車移載装置３の位置であり、１０３は台車移載装置４の位置である。また、１０４はワーク投入装置５の稼働状態を表し、１０５はワーク排出装置６の稼働状態を表す。

縦軸は台車１０、台車移載装置３、台車移載装置４については各教示点を表し、ワーク投入装置５、ワーク排出装置６については装置状態がワークの投入中及び排出中か待機中かを表している。

横軸は時間を表しており、ｔ０は初期時刻、ｔ１は１サイクル目開始時刻、ｔ２〜ｔ８はそれぞれ２サイクル目開始時刻〜８サイクル目開始時刻である。８サイクル目開始時刻ｔ８の時刻で、搬送台車１０は搬送システム０１上の循環搬送経路を１周し、１サイクル目開始時刻ｔ１と同様の位置に戻る。ＣＴはサイクルタイムである。

１サイクル目開始時刻ｔ１の時刻で台車移載装置３上の教示点ＴＰ１１に停止している搬送台車１０は移動を開始し、時刻ｔ１１には教示点ＴＰ１２に到着する。搬送台車１０が教示点ＴＰ１２に到着すると、ワーク投入装置５が投入中状態に移行し、搬送台車１０上にワークを投入する。ワーク投入装置５がワーク投入動作を完了し、待機状態に戻ることで１サイクル目の作業を完了し、２サイクル目が開始するのが２サイクル目開始時刻ｔ２である。

２サイクル目開始時刻ｔ２に教示点ＴＰ１２に停止している搬送台車１０が移動を開始し、時刻ｔ２１には教示点ＴＰ２０に到着する。教示点ＴＰ２０に到着すると、加工前検査装置７が検査を開始する。なお、加工前検査装置７での動作は後述する。加工前検査装置７が検査を完了することで２サイクル目の作業を完了し、３サイクル目が開始するのが３サイクル目開始時刻ｔ３である。

３サイクル目開始時刻ｔ３に教示点ＴＰ２２に停止している搬送台車１０が移動を開始し、時刻ｔ３１には教示点ＴＰ３０に到着する。教示点ＴＰ３０に到着すると、加工装置９が加工動作を開始する。なお、加工装置９での動作は後述する。加工装置９が加工動作を完了することで３サイクル目の作業を完了し、４サイクル目が開始するのが４サイクル目開始時刻ｔ４である。

４サイクル目開始時刻ｔ４に教示点ＴＰ３０に停止している搬送台車１０が移動を開始し、時刻ｔ４１には教示点ＴＰ４０に到着する。教示点ＴＰ４０に到着すると、加工後検査装置８が検査を開始する。なお、加工後検査装置８での動作は後述する。加工後検査装置８が検査を完了することで４サイクル目の作業を完了し、５サイクル目が開始するのが５サイクル目開始時刻ｔ５である。

５サイクル目開始時刻ｔ５に教示点ＴＰ４ｘ_ｍに停止している搬送台車１０が移動を開始し、時刻ｔ５１には教示点ＴＰ５０に到着する。搬送台車１０が教示点ＴＰ５０に到着すると、ワーク排出装置６が排出中状態に移行し、搬送台車１０上のワークを排出する。ワーク排出装置６がワーク排出動作を完了し、待機状態に戻ることで５サイクル目の作業を完了し、６サイクル目が開始するのが６サイクル目開始時刻ｔ６である。

６サイクル目開始時刻ｔ６に教示点ＴＰ５０に停止している搬送台車１０が移動を開始し、時刻ｔ６１に台車移載装置４上の教示点５１に到着する。搬送台車１０が教示点５１に到着すると、台車移載装置４が教示点ＴＰ６３から教示点ＴＰ６４への移動を開始する。時刻ｔ６２に台車移載装置４が教示点ＴＰ６４に到着すると、搬送台車１０は教示点ＴＰ５１から教示点ＴＰ５２への移動を開始する。時刻ｔ６３に搬送台車１０が教示点ＴＰ５２に到着すると、台車移載装置４は教示点ＴＰ６４から教示点ＴＰ６３への移動を開始する。台車移載装置４の移動が完了することで６サイクル目の作業を完了し、７サイクル目が開始するのが７サイクル目開始時刻ｔ７である。

７サイクル目開始時刻ｔ７に台車移載装置３上の教示点ＴＰ１１に停止している上記にて動作を説明している搬送台車１０とは別の搬送台車１０が移動を開始し、時刻ｔ７１に教示点１２に到着する。なお、この動作は１サイクル目の動作として１サイクル目開始時刻ｔ１から２サイクル目動作開始時刻ｔ２にて説明した動作と同様の動作である。

搬送台車１０が教示点１２に到着すると、台車移載装置３が教示点ＴＰ６１から教示点ＴＰ６２への移動を開始する。台車移載装置３が教示点ＴＰ６２に到着するのが時刻ｔ７２である。

一方、７サイクル目開始時刻ｔ７に教示点５２に停止していた搬送台車１０は台車移載装置３上の教示点ＴＰ１１への移動を開始する。搬送台車１０が搬送装置復路２上を移動している間に、時刻ｔ７２となり、台車移載装置３が教示点６２に到着する。その後、台車移載装置３が搬送装置復路２から台車移載装置３への乗継動作を行い、時刻ｔ７３に台車移載装置上の教示点１１に到着する。なお、この乗継動作については、搬送台車１０が教示点５２から教示点１１への移動の際に途中停止することなく行ってもよい。また、搬送装置復路２上の台車移載装置３近傍にて台車移載装置３が教示点ＴＰ６２への移動を完了するのを待つ為に他の教示点を設けても構わない。また、上記の説明では搬送装置１０が時刻ｔ６３から７サイクル目開始時刻ｔ７までの間に教示点５２にて停止しているが、停止することなく、教示点ＴＰ１１への移動を行ってもよいし、搬送装置復路２上の任意の点に別の教示点を設けても構わない。

時刻ｔ７３に搬送台車１０が教示点１１への移動を完了すると、台車移載装置３が教示点ＴＰ６２から教示点ＴＰ６１への移動を開始する。台車移載装置３が教示点ＴＰ６１に到着するのが８サイクル目開始時刻ｔ８であり、搬送台車１０が搬送システム０１の循環経路上を１周し、初期時刻ｔ０の位置に戻ってくる。

次に図１０における２サイクル目動作開始時刻ｔ２から３サイクル目動作開始時刻ｔ３の時刻についての、搬送台車１０及び加工前検査装置７の詳細動作を図１１にて説明する。

図１１は各時刻における搬送台車１０、加工前検査装置７のカメラ駆動アクチュエータ９２の位置と、カメラ９０の稼働状態を表しており、１１１は搬送台車１０の位置である。１１２はカメラ駆動アクチュータ９０２の位置であり、１１３はカメラ９０の稼働状態を表す。

２サイクル目開始時刻ｔ２に教示点ＴＰ１２に停止している搬送台車１０が教示点２０への移動を開始する。搬送台車１０が教示点ＴＰ２０に到着するのが、時刻ｔ２１である。搬送台車１０が教示点２０に到着すると、カメラ９０と搬送台車１０上のワークのアライメントマークＡＭ１の位置合わせが完了し、カメラ９０が検査を開始する。

検査の方法は、特に限定されないが、例えば、カメラが撮影した画像を画像処理することによって、基準値からのずれ量を検出する方法を用いることができる。

時刻ｔ２２にカメラ９０の検査が完了すると、搬送台車１０が教示点ＴＰ２１への移動を開始する。搬送台車１０が教示点ＴＰ２１に到着するのが時刻ｔ２３である。搬送台車１０が教示点ＴＰ２１に到着すると、カメラ９０と搬送台車１０上のワークのアライメントマークＡＭ２の位置合わせが完了し、カメラ９０が検査を開始する。

検査の方法は、特に限定されないが、例えば、カメラが撮影した画像を画像処理することによって、基準値からのずれ量を検出する方法を用いることができる。

時刻ｔ２４にカメラ９０の検査が完了すると、搬送台車１０が教示点ＴＰ２０への移動を開始する。搬送台車１０の移動と共にカメラ駆動アクチュエータ９２が教示点ＴＰ７０から教示点ＴＰ７１への移動を開始する。搬送台車１０が教示点ＴＰ２０に到着し、且つカメラ駆動アクチュエータ９２がＴＰ７１に到着するのが時刻ｔ２５である。搬送台車１０が教示点ＴＰ２１に到着し、カメラ駆動アクチュエータ９２が教示点ＴＰ７１に到着すると、カメラ９０と搬送台車１０上のワークのアライメントマークＡＭ３の位置合わせが完了し、カメラ９０が検査を開始する。

検査の方法は、特に限定されないが、例えば、カメラが撮影した画像を画像処理することによって、基準値からのずれ量を検出する方法を用いることができる。

時刻ｔ２６にカメラ９０の検査が完了すると、搬送台車１０が教示点ＴＰ２１への移動を開始する。搬送台車１０が教示点ＴＰ２１に到着するのが時刻ｔ２７である。搬送台車１０が教示点ＴＰ２１に到着すると、カメラ９０と搬送台車１０上のワークのアライメントマークＡＭ４の位置合わせが完了し、カメラ９０が検査を開始する。

検査の方法は、特に限定されないが、例えば、カメラが撮影した画像を画像処理することによって、基準値からのずれ量を検出する方法を用いることができる。

時刻ｔ２８にカメラ９０の検査が完了すると、カメラ駆動アクチュエータ９２が教示点ＴＰ７０への移動を開始する。カメラ駆動アクチュエータ９２が教示点ＴＰ７０に到着し、２サイクル目の作業を完了し、３サイクル目が開始するのが３サイクル目開始時刻ｔ３である。

上記により、アライメントマークＡＭ１、ＡＭ２、ＡＭ３、ＡＭ４の検査が完了し、検査結果から搬送台車１０上に保持されているワークの位置を算出する。

そして、算出されたワークの位置から、各教示点の補正量を求める。例えば図２８に示すように、ワークが傾いている場合の補正量の求め方の一例を説明する。例えば、図２８のアライメントマークの位置が、それぞれ基準値より±１ずれているとする。その時の各教示点の位置における基準値からずれている値をそれぞれ算出し、算出した値を基準値に加えて、各教示点の位置を補正する。具体的には、アライメントマークＡＭ１の基準の位置は、（０，０）であるべきところ、（−１，＋１）と検出され、アライメントマークＡＭ２は、（ｘ_ｍ，０）であるべきところ、（ｘ_ｍ−１，０−１）と検出されたとする。また、アライメントマークＡＭ３は、（０，ｙ_ｎ）であるべきところ、（１，ｙ_ｎ＋１）と検出され、アライメントマークＡＭ４は、（ｘ_ｍ，ｙ_ｎ）であるべきところ、（ｘ_ｍ＋１，ｙ_ｎ−１）と検出されたとする。その場合の、教示点の補正された位置は、例えば、Ｐ（１，０）（Ｐ（ｘ_１，０））は、Ｐ（ｘ_１−１，＋１−（（１−（−１）／ｎ）×１））となり、Ｐ（ｘ_ｍ−１，０）は、Ｐ（ｘ_ｍ−１−１，＋１−（（１−（−１）／ｎ）×（ｎ−１）））となる。

次に図１０における３サイクル目動作開始時刻ｔ３から４サイクル目動作開始時刻ｔ４の時刻についての、搬送台車１０及び加工装置９の詳細動作を図１、図７を参照しながら、図１２にて説明する。

図１２は各時刻における搬送台車１０、加工装置９のボンディングヘッド駆動台車６０の位置と、ボンディングヘッド７０の稼働状態を表している。１２１は搬送台車１０の位置であり、１２２はボンディングヘッド駆動台車６０の位置であり、１２３はボンディングヘッド７０の稼働状態を表す。なお、ここでの説明においては、ボンディングヘッド７０の稼働状態は、ボンディングヘッド７０とボンディングヘッドアクチュエータ７２の動作のことを表している。ボンディングヘッド７０の稼働状態１２３のボンディング中の状態については、ボンディングヘッドアクチュエータ７２が下降してワークに接触し、ボンディングヘッド７０がボンディングを行う。ボンディングが完了すると、ボンディングヘッドアクチュエータ７２が上昇して、元の位置に戻るまでの一連の動作について表している。以下、説明を簡単にするために、アライメントマークが基準位置からずれていなかった場合の動作について説明する。つまり、ワークの位置が基準通りの位置に台車に保持されている場合の動作について説明する。ワークの位置がずれてしまっている場合は、上述した教示点の補正位置に搬送台車を移動させて加工を行なうものとする。

３サイクル目開始時刻ｔ３に教示点ＴＰ２１に停止している搬送台車１０が教示点３１への移動を開始する。搬送台車１０が教示点ＴＰ３１に到着するのが、時刻ｔ３１である。搬送台車１０が教示点ＴＰ３１に到着すると、ボンディングヘッド７０と搬送台車１０上のワークの加工点Ｐ（１，０）の位置合わせが完了し、ボンディングヘッド７０がボンディングを開始する。

時刻ｔ３２に加工点Ｐ（１，０）のボンディングが完了すると、搬送台車１０が次の教示点への移動を開始し、次の教示点に到着すると、ボンディングヘッド７０がボンディングを開始する。これらの動作を加工点Ｐ（１，０）から加工点Ｐ（ｘ_ｍ−１，０）まで繰返し行う。加工点Ｐ（ｘ_ｍ−１，０）のボンディングが完了するのが、時刻ｔ３４である。

時刻ｔ３４に加工点Ｐ（ｘ_ｍ−１，０）のボンディングが完了すると、搬送台車１０が教示点ＴＰ３ｘ_ｍへの移動を開始し、ボンディングヘッド駆動台車６０が教示点ＴＰ８０から教示点ＴＰ８１への移動を開始する。時刻ｔ３５に搬送台車１０が教示点ＴＰ３ｘ_ｍに到着し、ボンディングヘッド駆動台車６０が教示点ＴＰ８１に到着すると、ボンディングヘッド７０と搬送台車１０上のワークの加工点Ｐ（ｘ_ｍ，１）の位置合わせが完了する。ここで、ボンディングヘッド７０がボンディングを開始する。

時刻ｔ３６に加工点Ｐ（ｘ_ｍ，１）のボンディングが完了すると、ボンディングヘッド駆動台車６０が次の教示点への移動を開始し、次の教示点に到着すると、ボンディングヘッド７０がボンディングを開始する。これらの動作を加工点Ｐ（ｘ_ｍ，１）から加工点Ｐ（ｘ_ｍ，ｙ_ｎ−１）まで繰返し行う。加工点Ｐ（ｘ_ｍ，ｙ_ｎ−１）のボンディングが完了するのが、時刻ｔ３８である。

時刻ｔ３８に加工点Ｐ（ｘ_ｍ，ｙ_ｎ−１）のボンディングが完了すると、搬送台車１０が教示点ＴＰ３ｘ_ｍ−１への移動を開始し、ボンディングヘッド駆動台車６０が教示点ＴＰ８ｙ_ｎ−１から教示点ＴＰ８ｙ_ｎへの移動を開始する。時刻ｔ３９に搬送台車１０が教示点ＴＰ３ｘ_ｍ−１に到着し、ボンディングヘッド駆動台車６０が教示点ＴＰ８ｙ_ｎに到着すると、ボンディングヘッド７０と搬送台車１０上のワークの加工点Ｐ（ｘ_ｍ−１，ｙ_ｎ）の位置合わせが完了する。そして、ボンディングヘッド７０がボンディングを開始する。

時刻ｔ３ａに加工点Ｐ（ｘ_ｍ−１，ｙ_ｎ）のボンディングが完了すると、搬送台車１０が次の教示点への移動を開始し、次の教示点に到着すると、ボンディングヘッド７０がボンディングを開始する。これらの動作を加工点Ｐ（ｘ_ｍ−１，ｙ_ｎ）から加工点Ｐ（１，ｙ_ｎ）まで繰返し行う。加工点Ｐ（１，ｙ_ｎ）のボンディングが完了するのが、時刻ｔ３ｃである。

時刻ｔ３ｃに加工点Ｐ（１，ｙ_ｎ）のボンディングが完了すると、搬送台車１０が教示点ＴＰ３０への移動を開始し、ボンディングヘッド駆動台車６０が教示点ＴＰ８ｙ_ｎから教示点ＴＰ８ｙ_ｎ−１への移動を開始する。時刻ｔ３ｄに搬送台車１０が教示点ＴＰ３０に到着し、ボンディングヘッド駆動台車６０が教示点ＴＰ８ｙ_ｎ−１に到着すると、ボンディングヘッド７０と搬送台車１０上のワークの加工点Ｐ（０，ｙ_ｎ−１）の位置合わせが完了する。そして、ボンディングヘッド７０がボンディングを開始する。

時刻ｔ３ｅに加工点Ｐ（０，ｙ_ｎ−１）のボンディングが完了すると、ボンディングヘッド駆動台車６０が次の教示点への移動を開始し、次の教示点に到着すると、ボンディングヘッド７０がボンディングを開始する。これらの動作を加工点Ｐ（０，ｙ_ｎ−１）から加工点Ｐ（０，１）まで繰返し行う。加工点Ｐ（０，１）のボンディングが完了するのが、時刻ｔ３ｇである。

加工点Ｐ（０，１）のボンディングが完了すると、ボンディングヘッド駆動台車６０が教示点ＴＰ８０への移動を開始する。ボンディングヘッド駆動台車６０が教示点ＴＰ８０に到着し、３サイクル目の作業を完了し、４サイクル目が開始するのが４サイクル目開始時刻ｔ４である。

上記で説明したように、搬送台車１０とボンディングヘッド駆動台車６０の動作の組合せによって、ワーク上の加工点Ｐとボンディングヘッド７０の位置合わせを行い、加工を行うことができる。

次に図１０における４サイクル目動作開始時刻ｔ４から５サイクル目動作開始時刻ｔ５の時刻についての、搬送台車１０及び加工後検査装置８の詳細動作を図１３にて説明する。

図１３は各時刻における搬送台車１０、加工後検査装置８のカメラ駆動アクチュエータ９２の位置と、カメラ９０の稼働状態を表している。１３１は搬送台車１０の位置であり、１３２はカメラ駆動アクチュータ９０２の位置であり、１３３はカメラ９０の稼働状態を表す。

４サイクル目開始時刻ｔ４に教示点ＴＰ３０に停止している搬送台車１０が教示点４０への移動を開始する。搬送台車１０が教示点ＴＰ４０に到着するのが、時刻ｔ４１である。搬送台車１０が教示点ＴＰ４０に到着すると、搬送台車１０は教示点ＴＰ４ｘ_ｍへの移動を開始し、あらかじめ設定した所定の加速時間にて加速した後に、一定速にて移動を行う。

搬送台車１０が教示点ＴＰ４１を通過するのが、時刻ｔ４２であり、カメラ９０がワーク上の加工点Ｐ（１，０）の検査が可能な位置を通過する。教示点ＴＰ４１を通過すると共に、カメラ９０に検査開始指令し、カメラ９０が検査を行う。同様に次の教示点を通過する際にも検査を行い、これらの検査を加工点Ｐ（１，０）から加工点Ｐ（ｘ_ｍ−１，０）まで繰返し行う。加工点Ｐ（ｘ_ｍ−１，０）の検査が完了した後、搬送台車が教示点ＴＰ４ｘ_ｍに到着するのが、時刻ｔ４４である。

時刻ｔ４４に搬送台車１０が教示点ＴＰ４ｘ_ｍに到着すると同時にカメラ駆動アクチュエータ９２が教示点ＴＰ９０から教示点ＴＰ９ｙ_ｎへの移動を開始する。カメラ駆動アクチュエータ９２はあらかじめ設定した所定の加速時間にて加速した後に、一定速にて移動を行う。

カメラ駆動アクチュエータ９２が教示点ＴＰ９１を通過するのが、時刻ｔ４５であり、カメラ９０がワーク上の加工点Ｐ（ｘ_ｍ，１）の検査が可能な位置を通過する。教示点ＴＰ９１を通過すると共に、カメラ９０に検査開始指令し、カメラ９０が検査を行う。同様に次の教示点を通過する際にも検査を行い、これらの検査を加工点Ｐ（ｘ_ｍ，１）から加工点Ｐ（ｘ_ｍ，ｙ_ｎ−１）まで繰返し行う。加工点Ｐ（ｘ_ｍ，ｙ_ｎ−１）の検査が完了した後、搬送台車が教示点ＴＰ４ｙ_ｎに到着するのが、時刻ｔ４７である。

時刻ｔ４７にカメラ駆動アクチュエータ９２が教示点ＴＰ４ｙ_ｎに到着すると同時に搬送台車１０が教示点ＴＰ４ｘ_ｍから教示点ＴＰ４０への移動を開始する。搬送台車１０はあらかじめ設定した所定の加速時間にて加速した後に、一定速にて移動を行う。

搬送台車１０が教示点ＴＰ４ｘ_ｍ−１を通過するのが、時刻ｔ４８であり、カメラ９０がワーク上の加工点Ｐ（ｘ_ｍ−１，ｙ_ｎ）の検査が可能な位置を通過する。教示点ＴＰ４ｘ_ｍ−１を通過すると共に、カメラ９０に検査開始指令し、カメラ９０が検査を行う。同様に次の教示点を通過する際にも検査を行い、これらの検査を加工点Ｐ（ｘ_ｍ−１，ｙ_ｎ）から加工点Ｐ（１，ｙ_ｎ）まで繰返し行う。加工点Ｐ（１，ｙ_ｎ）の検査が完了した後、搬送台車１０が教示点ＴＰ４０に到着するのが、時刻ｔ４ａである。

時刻ｔ４ａに搬送台車１０が教示点ＴＰ４０に到着すると同時にカメラ駆動アクチュエータ９２が教示点ＴＰ９ｙ_ｎから教示点ＴＰ９０への移動を開始する。カメラ駆動アクチュエータ９２はあらかじめ設定した所定の加速時間にて加速した後に、一定速にて移動を行う。

カメラ駆動アクチュエータ９２が教示点ＴＰ４ｙ_ｎ−１を通過するのが、時刻ｔ４ｂであり、カメラ９０がワーク上の加工点Ｐ（０，ｙ_ｎ−１）の検査が可能な位置を通過する。教示点ＴＰＴＰ４ｙ_ｎ−１を通過すると共に、カメラ９０に検査開始指令し、カメラ９０が検査を行う。同様に次の教示点を通過する際にも検査を行い、これらの検査を加工点Ｐ（０，ｙ_ｎ−１）から加工点Ｐ（０，１）まで繰返し行う。加工点Ｐ（０，１）の検査が完了した後、搬送台車１０が教示点ＴＰ９０に到着して、４サイクル目の作業を完了し、５サイクル目が開始するのが５サイクル目開始時刻ｔ５である。

上記で説明したとおり、搬送台車１０とカメラ駆動アクチュエータ９２の動作の組合せによって、ワーク上の加工点Ｐとボンディングヘッド７０の位置合わせを行い、検査を行うことができる。

また、その他の効果として、搬送台車または加工ツール駆動台車上に搭載されている移動体が軽量化される。よって、加速、減速、停止時に装置に与える振動の発生を抑えることができ、加工精度の向上や低剛性の装置架台上に設置することも可能となる。

また、搬送台車及び加工ツール駆動台車をコイル群から電磁力を受ける永久磁石または強磁性体によって動作するリニアアクチュエータとする。これにより、より高精度な動作や停止が可能となり、搬送台車上に永久磁石又は強磁性体を搭載することで、駆動部に電力等の供給が不要となり、配線レスな搬送装置とすることができる。配線レスな搬送装置とすることで、搬送台車の動作域が制限されることがなくなり循環動作等も可能となる。

これらの総合的な効果によって、装置全体が小型化されると共に、装置コストを抑えることができる。

（第二の実施形態）
第一の実施形態では、加工前検査装置（第一の検査装置）７、加工後検査装置（第二の検査装置）８、または加工装置９にＹ方向駆動アクチュエータを備える例を記載したが、搬送モジュールにＹ方向駆動アクチュエータを備えていてもよい。本実施形態では、搬送モジュールにＹ方向駆動アクチュエータを備える例を示す。本実施形態では、第一の実施形態と同じ作用を有する構成には同じ符号を付し、第一の実施形態と異なる部分について主に説明し、第一の実施形態と同じ作用を有する部分については説明を省略する場合がある。

本明細書においては、Ｙ方向駆動アクチュエータを備えた搬送モジュールを連動搬送モジュールと称する。この連動搬送モジュールの構成について図１４を用いて説明する。連動搬送モジュール２１は、搬送モジュール１１をＹ方向に動作可能なＹ方向駆動アクチュエータ２６を含む。

本実施形態ではＹ方向駆動アクチュエータ２６の構成として、搬送モジュール１１と同様のムービングマグネット型リニアモータを用いて説明するが、他の構成で駆動することも可能であり、これに限定されるものではない。

連動搬送モジュール２１は、連動搬送モジュールベース２５上面にＹ方向に沿って搬送モジュール駆動コイル２３が設置されている。搬送モジュール駆動コイル２３に対向するように永久磁石２７および永久磁石ブラケット２８が搬送モジュール１１の底面に設置されている。ガイドレール２４は連動搬送モジュールベース２５の上面に並列に２本設置されている。

永久磁石ブラケット２８は、搬送モジュール１１の底面の貫通穴を通じて、搬送モジュールに固定されている。永久磁石２７は永久磁石ブラケット２８に接着されている。

搬送モジュール駆動コイル２３には、下位コントローラ４３から電流が印加される。電流印可によって、複数の永久磁石２７と、搬送モジュール駆動コイル２３との間に、搬送モジュール１１をＹ方向に駆動する電磁力が発生する。電磁力により、連動搬送モジュール２１上の搬送モジュール１１は、搬送装置往路１または搬送装置復路２上をＹ方向ガイドレール２４に沿って駆動される。

エンコーダ２２はエンコーダブラケット２ｃを介して、連動搬送モジュールベース２５の上面に設置されている。スケール２９はスケールブラケット２ｃを介して、エンコーダ２２に対向するように搬送モジュール１１の底面に取り付けられている。連動搬送モジュール２１のエンコーダ２２は、スケール２９のパターンを読み取ることにより、連動搬送モジュール１１のＹ方向における位置を、エンコーダ２２からの相対位置として検出することができる。

下位コントローラ４３は、接続されたエンコーダ２２の出力及びそのエンコーダ２２が設置された位置に基づき、連動搬送モジュールベース２５上における搬送モジュール１１の位置を算出することができる。

さらに、エンコーダ２２が設置された位置と搬送台車１０の位置関係を用いて、連動搬送モジュールベース２５上における搬送台車１０のＹ方向位置を算出することができる。

下位コントローラ４３は、算出した搬送台車１０の位置等に応じて、台車駆動コイル１３および台車駆動コイル２３に印加される電流量を制御することができる。これにより、下位コントローラ４３は、連動搬送モジュール２１上の搬送台車１０のＸＹ方向の位置を、所定の位置まで所定の速度で搬送して停止させることができる。

第一の実施形態で説明した加工前検査装置７、加工後検査装置８、および加工装置９の少なくともいずれかの処理が可能な位置に位置している搬送モジュールにかえて、この連動搬送モジュールを配置することができる。

図１９では、加工前検査装置７および加工後検査装置８の処理が可能な位置に位置している搬送モジュールに、連動搬送モジュール配置した例を示す。

次に、図１９を用いて、搬送台車１０、ボンディングヘッド駆動台車６０、連動搬送モジュール２１の教示点について説明する。

まず、搬送台車１０の教示点について説明する。教示点ＴＰ１１は台車移載装置３上の教示点である。教示点ＴＰ１２はワーク投入装置３にてワーク投入をおこなうための教示点である。教示点ＴＰ５０はワーク排出装置６にてワーク排出を行うための教示点である。教示点５１は台車移載装置４上の教示点である。ＴＰ５２は搬送装置復路２上の台車移載装置４近傍の教示点である。

教示点ＴＰ２０は加工前検査装置７におけるワーク上のアライメントマークＡＭ１，ＡＭ３の検査を行うための教示位置であり、教示点ＴＰ２１は加工前検査装置７におけるワーク上のアライメントマークＡＭ２，ＡＭ４の検査を行うための教示位置である。

教示点ＴＰ３０は加工装置９におけるワーク上のＸ座標位置が０の位置に配置される加工点Ｐに加工を行うための教示位置である。教示点ＴＰ３１は加工装置９におけるワーク上のＸ座標位置が１の位置に配置される加工点Ｐに加工を行うための教示位置である。教示点ＴＰ３ｘ_ｍは加工装置９におけるワーク上のＸ座標位置がｘ_ｍの位置に配置される加工点Ｐに加工を行うための教示位置である。

教示点ＴＰ４０は加工後検査装置８におけるワーク上のＸ座標位置が０の位置に配置される加工点Ｐの検査を行うための教示位置である。教示点ＴＰ４１は加工後検査装置８におけるワーク上のＸ座標位置が１の位置に配置される加工点Ｐの検査を行うための教示位置である。教示点ＴＰ３ｘ_ｍは加工後検査装置８におけるワーク上のＸ座標位置がｘ_ｍの位置に配置される加工点Ｐの検査を行うための教示位置である。

上記の教示位置を順次移動することで搬送台車１０は搬送システム内を循環動作する。なお、搬送台車１０が複数の場合には、上記の教示点は複数の台車で共有され、それぞれの教示点を使用する搬送台車１０が順次切り替わる。

次に加工前検査装置７の連動搬送モジュール２１の教示点について説明する。教示点ＴＰ７０はワーク上のアライメントマークＡＭ１，ＡＭ２の検査を行うための教示点であり、教示点ＴＰ７１はワーク上のアライメントマークＡＭ３，ＡＭ４の検査を行うための教示点である。

次に加工装置９のボンディングヘッド駆動台車６０の教示点について説明する。本実施形態においては、説明を簡単にするために、アライメントマークが基準位置からずれていなかった場合の動作について説明する。つまり、ワークの位置が基準通りの位置に台車に保持されている場合の動作について説明する。ワークの位置がずれてしまっている場合は、第一の実施形態で説明したように、教示点の補正位置に搬送台車を移動させて加工を行なうものとする。

教示点ＴＰ８０は加工装置９におけるワーク上のＹ座標位置が０の位置に配置される加工点Ｐの加工を行うための教示位置である。教示点ＴＰ８１は加工装置９におけるワーク上のＹ座標位置が１の位置に配置される加工点Ｐの加工を行うための教示位置である。教示点ＴＰ８ｙ_ｎは加工装置９におけるワーク上のＹ標位置がＹ_ｎの位置に配置される加工点Ｐの加工を行うための教示点である。

次に加工後検査装置８の連動搬送モジュール２１の教示点について説明する。教示点ＴＰ９０は加工後検査装置８におけるワーク上のＹ座標位置が０の位置に配置される加工点Ｐの検査を行うための教示位置である。教示点ＴＰ９１は加工後検査装置８におけるワーク上のＹ座標位置が１の位置に配置される加工点Ｐの検査を行うための教示位置である。教示点ＴＰ９ｙ_ｎは加工後検査装置８におけるワーク上のＹ標位置がＹ_ｎの位置に配置される加工点Ｐの検査を行うための教示点である。

上記の搬送台車１０の教示点と連動搬送モジュール２１及びボンディングヘッド駆動台車６０の教示点の組合せによりワーク上の各加工点Ｐ及びアライメントマークＡＭの加工や検査が行われる。

なお、上記までに記載したそれぞれの教示点が搬送モジュール１１の境界に配置されることがないように、ワーク投入装置５、ワーク排出装置６、加工前検査装置７、加工後検査装置８、加工装置９をそれぞれ配置するのが望ましい。そのようにすることで、それぞれの装置における加工等のための搬送台車１０の動作による振動等の影響が他の搬送モジュールに伝搬することが防止できる。さらに搬送モジュール１１が搭載される架台０２を搬送モジュール１１毎に分割することでその効果はさらに期待できる。

次に搬送台車１０が搬送システム０１の循環経路上を１周する際の動作について図２０を用いて説明する。

図２０は各時刻における搬送台車１０、台車移載装置３、台車移載装置４の位置と、ワーク投入装置５、ワーク排出装置６の稼働状態を表しており、１０１は台車１０の位置であり、１０２は台車移載装置３の位置であり、１０３は台車移載装置４の位置である。また、１０４はワーク投入装置５の稼働状態を表し、１０５はワーク排出装置６の稼働状態を表す。

縦軸は台車１０、台車移載装置３、台車移載装置４については各教示点を表し、ワーク投入装置５、ワーク排出装置６については装置状態がワークの投入中及び排出中か待機中かを表している。

横軸は時間を表しており、ｔ０は初期時刻、ｔ１は１サイクル目開始時刻、ｔ２〜ｔ８はそれぞれ２サイクル目開始時刻〜８サイクル目開始時刻である。８サイクル目開始時刻ｔ８の時刻で、搬送台車１０は搬送システム０１上の循環搬送経路を１周し、１サイクル目開始時刻ｔ１と同様の位置に戻る。ＣＴはサイクルタイムである。

１サイクル目開始時刻ｔ１の時刻で台車移載装置３上の教示点ＴＰ１１に停止している搬送台車１０は移動を開始し、時刻ｔ１１には教示点ＴＰ１２に到着する。搬送台車１０が教示点ＴＰ１２に到着すると、ワーク投入装置５が投入中状態に移行し、搬送台車１０上にワークを投入する。ワーク投入装置５がワーク投入動作を完了し、待機状態に戻ることで１サイクル目の作業を完了し、２サイクル目が開始するのが２サイクル目開始時刻ｔ２である。

２サイクル目開始時刻ｔ２に教示点ＴＰ１２に停止している搬送台車１０が移動を開始し、時刻ｔ２１には教示点ＴＰ２０に到着する。教示点ＴＰ２０に到着すると、加工前検査装置７が検査を開始する。なお、加工前検査装置７での動作は後述する。加工前検査装置７が検査を完了することで２サイクル目の作業を完了し、３サイクル目が開始するのが３サイクル目開始時刻ｔ３である。

３サイクル目開始時刻ｔ３に教示点ＴＰ２１に停止している搬送台車１０が移動を開始し、時刻ｔ３１には教示点ＴＰ３０に到着する。教示点ＴＰ３０に到着すると、加工装置９が加工動作を開始する。なお、加工装置９での動作は後述する。加工装置９が加工動作を完了することで３サイクル目の作業を完了し、４サイクル目が開始するのが４サイクル目開始時刻ｔ４である。

４サイクル目開始時刻ｔ４に教示点ＴＰ３０に停止している搬送台車１０が移動を開始し、時刻ｔ４１には教示点ＴＰ４０に到着する。教示点ＴＰ４０に到着すると、加工後検査装置８が検査を開始する。なお、加工後検査装置８での動作は後述する。加工後検査装置８が検査を完了することで４サイクル目の作業を完了し、５サイクル目が開始するのが５サイクル目開始時刻ｔ５である。

５サイクル目開始時刻ｔ５に教示点ＴＰ４ｘ_ｍに停止している搬送台車１０が移動を開始し、時刻ｔ５１には教示点ＴＰ５０に到着する。搬送台車１０が教示点ＴＰ５０に到着すると、ワーク排出装置６が排出中状態に移行し、搬送台車１０上のワークを排出する。ワーク排出装置６がワーク排出動作を完了し、待機状態に戻ることで５サイクル目の作業を完了し、６サイクル目が開始するのが６サイクル目開始時刻ｔ６である。

６サイクル目開始時刻ｔ６に教示点ＴＰ５０に停止している搬送台車１０が移動を開始し、時刻ｔ６１に台車移載装置４上の教示点５１に到着する。搬送台車１０が教示点５１に到着すると、台車移載装置４が教示点ＴＰ６３から教示点ＴＰ６４への移動を開始する。時刻ｔ６２に台車移載装置４が教示点ＴＰ６４に到着すると、搬送台車１０は教示点ＴＰ５１から教示点ＴＰ５２への移動を開始する。時刻ｔ６３に搬送台車１０が教示点ＴＰ５２に到着すると、台車移載装置４は教示点ＴＰ６４から教示点ＴＰ６３への移動を開始する。台車移載装置４の移動が完了することで６サイクル目の作業を完了し、７サイクル目が開始するのが７サイクル目開始時刻ｔ７である。

７サイクル目開始時刻ｔ７に台車移載装置３上の教示点ＴＰ１１に停止している上記にて動作を説明している搬送台車１０とは別の搬送台車１０が移動を開始し、時刻ｔ７１に教示点１２に到着する。なお、この動作は１サイクル目の動作として１サイクル目開始時刻ｔ１から２サイクル目動作開始時刻ｔ２にて説明した動作と同様の動作である。

搬送台車１０が教示点１２に到着すると、台車移載装置３が教示点ＴＰ６１から教示点ＴＰ６２への移動を開始する。台車移載装置３が教示点ＴＰ６２に到着するのが時刻ｔ７２である。

一方、７サイクル目開始時刻ｔ７に教示点５２に停止していた搬送台車１０は台車移載装置３上の教示点ＴＰ１１への移動を開始する。搬送台車１０が搬送装置復路２上を移動している間に、時刻ｔ７２となり、台車移載装置３が教示点６２に到着する。その後、台車移載装置３が搬送装置復路２から台車移載装置３への乗継動作を行い、時刻ｔ７３に台車移載装置上の教示点１１に到着する。なお、この乗継動作については、搬送台車１０が教示点５２から教示点１１への移動の際に途中停止することなく行ってもよい。また、搬送装置復路２上の台車移載装置３近傍にて台車移載装置３が教示点ＴＰ６２への移動を完了するのを待つ為に他の教示点を設けても構わない。また、上記の説明では搬送装置１０が時刻ｔ６３から７サイクル目開始時刻ｔ７までの間に教示点５２にて停止しているが、停止することなく、教示点ＴＰ１１への移動を行ってもよいし、搬送装置復路２上の任意の点に別の教示点を設けても構わない。

時刻ｔ７３に搬送台車１０が教示点１１への移動を完了すると、台車移載装置３が教示点ＴＰ６２から教示点ＴＰ６１への移動を開始する。台車移載装置３が教示点ＴＰ６１に到着するのが８サイクル目開始時刻ｔ８であり、搬送台車１０が搬送システム０１の循環経路上を１周し、初期時刻ｔ０の位置に戻ってくる。

次に図２０における２サイクル目動作開始時刻ｔ２から３サイクル目動作開始時刻ｔ３の時刻についての、搬送台車１０及び加工前検査装置７、連動搬送モジュール２１の詳細動作を図２１にて説明する。

図２１は各時刻における搬送台車１０、加工前検査装置７の連動搬送モジュール２１の位置と、カメラ９０の稼働状態を表しており、１１１は搬送台車１０の位置であり、１１２は連動搬送モジュール２１の位置であり、１１３はカメラ９０の稼働状態を表す。

２サイクル目開始時刻ｔ２に教示点ＴＰ１２に停止している搬送台車１０が教示点２０への移動を開始する。搬送台車１０が教示点ＴＰ２０に到着するのが、時刻ｔ２１である。搬送台車１０が教示点２０に到着すると、カメラ９０と搬送台車１０上のワークのアライメントマークＡＭ１の位置合わせが完了し、カメラ９０が検査を開始する。

時刻ｔ２２にカメラ９０の検査が完了すると、搬送台車１０が教示点ＴＰ２１への移動を開始する。搬送台車１０が教示点ＴＰ２１に到着するのが時刻ｔ２３である。搬送台車１０が教示点ＴＰ２１に到着すると、カメラ９０と搬送台車１０上のワークのアライメントマークＡＭ２の位置合わせが完了し、カメラ９０が検査を開始する。

時刻ｔ２４にカメラ９０の検査が完了すると、搬送台車１０が教示点ＴＰ２０への移動を開始する。搬送台車１０の移動と共に連動搬送モジュール２１が教示点ＴＰ７０から教示点ＴＰ７１への移動を開始する。搬送台車１０が教示点ＴＰ２０に到着し、且つ連動搬送モジュール２１がＴＰ７１に到着するのが時刻ｔ２５である。搬送台車１０が教示点ＴＰ２１に到着し、連動搬送モジュール２１が教示点ＴＰ７１に到着すると、カメラ９０と搬送台車１０上のワークのアライメントマークＡＭ３の位置合わせが完了し、カメラ９０が検査を開始する。

時刻ｔ２６にカメラ９０の検査が完了すると、搬送台車１０が教示点ＴＰ２１への移動を開始する。搬送台車１０が教示点ＴＰ２１に到着するのが時刻ｔ２７である。搬送台車１０が教示点ＴＰ２１に到着すると、カメラ９０と搬送台車１０上のワークのアライメントマークＡＭ４の位置合わせが完了し、カメラ９０が検査を開始する。

時刻ｔ２８にカメラ９０の検査が完了すると、カ連動搬送モジュール２１が教示点ＴＰ７０への移動を開始する。連動搬送モジュール２１が教示点ＴＰ７０に到着し、２サイクル目の作業を完了し、３サイクル目が開始するのが３サイクル目開始時刻ｔ３である。

上記により、アライメントマークＡＭ１、ＡＭ２、ＡＭ３、ＡＭ４の検査が完了し、検査結果から搬送台車１０上に保持されているワークの位置を算出する
次に図２０における３サイクル目動作開始時刻ｔ３から４サイクル目動作開始時刻ｔ４の時刻についての、搬送台車１０及び加工装置９の詳細動作を図２２にて説明する。

図２２は各時刻における搬送台車１０、加工装置９のボンディングヘッド駆動台車６０の位置と、ボンディングヘッド７０の稼働状態を表している。１２１は搬送台車１０の位置であり、１２２はボンディングヘッド駆動台車６０の位置であり、１２３はボンディングヘッド７０の稼働状態を表す。なお、ここでの説明においては、ボンディングヘッド７０の稼働状態は、ボンディングヘッド７０とボンディングヘッドアクチュエータ７２の動作のことを表している。ボンディングヘッド７０の稼働状態１２３のボンディング中の状態については、ボンディングヘッドアクチュエータ７２が下降してワークに接触し、ボンディングヘッド７０がボンディングを行う。ボンディングが完了すると、ボンディングヘッドアクチュエータ７２が上昇して、元の位置に戻るまでの一連の動作について表している。

３サイクル目開始時刻ｔ３に教示点ＴＰ２１に停止している搬送台車１０が教示点３１への移動を開始する。搬送台車１０が教示点ＴＰ３１に到着するのが、時刻ｔ３１である。搬送台車１０が教示点ＴＰ３１に到着すると、ボンディングヘッド７０と搬送台車１０上のワークの加工点Ｐ（１、０）の位置合わせが完了し、ボンディングヘッド７０がボンディングを開始する。

時刻ｔ３２に加工点Ｐ（１、０）のボンディングが完了すると、搬送台車１０が次の教示点への移動を開始し、次の教示点に到着すると、ボンディングヘッド７０がボンディングを開始する。これらの動作を加工点Ｐ（１、０）から加工点Ｐ（ｘ_ｍ−１、０）まで繰返し行う。加工点Ｐ（ｘ_ｍ−１、０）のボンディングが完了するのが、時刻ｔ３４である。

時刻ｔ３４に加工点Ｐ（ｘ_ｍ−１、０）のボンディングが完了すると、搬送台車１０が教示点ＴＰ３ｘ_ｍへの移動を開始し、ボンディングヘッド駆動台車６０が教示点ＴＰ８０から教示点ＴＰ８１への移動を開始する。時刻ｔ３５に搬送台車１０が教示点ＴＰ３ｘ_ｍに到着し、ボンディングヘッド駆動台車６０が教示点ＴＰ８１に到着すると、ボンディングヘッド７０と搬送台車１０上のワークの加工点Ｐ（ｘ_ｍ、１）の位置合わせが完了する。ここで、ボンディングヘッド７０がボンディングを開始する。

時刻ｔ３６に加工点Ｐ（ｘ_ｍ、１）のボンディングが完了すると、ボンディングヘッド駆動台車６０が次の教示点への移動を開始し、次の教示点に到着すると、ボンディングヘッド７０がボンディングを開始する。これらの動作を加工点Ｐ（ｘ_ｍ、１）から加工点Ｐ（ｘ_ｍ、ｙ_ｎ−１）まで繰返し行う。加工点Ｐ（ｘ_ｍ、ｙ_ｎ−１）のボンディングが完了するのが、時刻ｔ３８である。

時刻ｔ３８に加工点Ｐ（ｘ_ｍ、ｙ_ｎ−１）のボンディングが完了すると、搬送台車１０が教示点ＴＰ３ｘ_ｍ−１への移動を開始し、ボンディングヘッド駆動台車６０が教示点ＴＰ８ｙ_ｎ−１から教示点ＴＰ８ｙ_ｎへの移動を開始する。時刻ｔ３９に搬送台車１０が教示点ＴＰ３ｘ_ｍ−１に到着し、ボンディングヘッド駆動台車６０が教示点ＴＰ８ｙ_ｎに到着すると、ボンディングヘッド７０と搬送台車１０上のワークの加工点Ｐ（ｘ_ｍ−１、ｙ_ｎ）の位置合わせが完了する。ここで、ボンディングヘッド７０がボンディングを開始する。

時刻ｔ３ａに加工点Ｐ（ｘ_ｍ−１、ｙ_ｎ）のボンディングが完了すると、搬送台車１０が次の教示点への移動を開始し、次の教示点に到着すると、ボンディングヘッド７０がボンディングを開始する。これらの動作を加工点Ｐ（ｘ_ｍ−１、ｙ_ｎ）から加工点Ｐ（１、ｙ_ｎ）まで繰返し行う。加工点Ｐ（１、ｙ_ｎ）のボンディングが完了するのが、時刻ｔ３ｃである。

時刻ｔ３ｃに加工点Ｐ（１、ｙ_ｎ）のボンディングが完了すると、搬送台車１０が教示点ＴＰ３０への移動を開始し、ボンディングヘッド駆動台車６０が教示点ＴＰ８ｙ_ｎから教示点ＴＰ８ｙ_ｎ−１への移動を開始する。時刻ｔ３ｄに搬送台車１０が教示点ＴＰ３０に到着し、ボンディングヘッド駆動台車６０が教示点ＴＰ８ｙ_ｎ−１に到着すると、ボンディングヘッド７０と搬送台車１０上のワークの加工点Ｐ（０、ｙ_ｎ−１）の位置合わせが完了する。ここで、ボンディングヘッド７０がボンディングを開始する。

時刻ｔ３ｅに加工点Ｐ（０、ｙ_ｎ−１）のボンディングが完了すると、ボンディングヘッド駆動台車６０が次の教示点への移動を開始し、次の教示点に到着すると、ボンディングヘッド７０がボンディングを開始する。これらの動作を加工点Ｐ（０、ｙ_ｎ−１）から加工点Ｐ（０、１）まで繰返し行う。加工点Ｐ（０、１）のボンディングが完了するのが、時刻ｔ３ｇである。

加工点Ｐ（０、１）のボンディングが完了すると、ボンディングヘッド駆動台車６０が教示点ＴＰ８０への移動を開始する。ボンディングヘッド駆動台車６０が教示点ＴＰ８０に到着し、３サイクル目の作業を完了し、４サイクル目が開始するのが４サイクル目開始時刻ｔ４である。

上記で説明したように、搬送台車１０とボンディングヘッド駆動台車６０の動作の組合せによって、ワーク上の加工点Ｐとボンディングヘッド７０の位置合わせを行い、加工を行うことができる。

次に図２０における４サイクル目動作開始時刻ｔ４から５サイクル目動作開始時刻ｔ５の時刻についての、搬送台車１０及び加工後検査装置８の詳細動作を図２３にて説明する。

図２３は各時刻における搬送台車１０、加工後検査装置８の連動搬送モジュール２１の位置と、カメラ９０の稼働状態を表している。１３１は搬送台車１０の位置であり、１３２は連動搬送モジュール２１の位置であり、１３３はカメラ９０の稼働状態を表す。

４サイクル目開始時刻ｔ４に教示点ＴＰ３０に停止している搬送台車１０が教示点４０への移動を開始する。搬送台車１０が教示点ＴＰ４０に到着するのが、時刻ｔ４１である。搬送台車１０が教示点ＴＰ４０に到着すると、搬送台車１０は教示点ＴＰ４ｘ_ｍへの移動を開始し、あらかじめ設定した所定の加速時間にて加速した後に、一定速にて移動を行う。

搬送台車１０が教示点ＴＰ４１を通過するのが、時刻ｔ４２であり、カメラ９０がワーク上の加工点Ｐ（１，０）の検査が可能な位置を通過する。教示点ＴＰ４１を通過すると共に、カメラ９０に検査開始指令し、カメラ９０が検査を行う。同様に次の教示点を通過する際にも検査を行い、これらの検査を加工点Ｐ（１，０）から加工点Ｐ（ｘ_ｍ−１，０）まで繰返し行う。加工点Ｐ（ｘ_ｍ−１，０）の検査が完了した後、搬送台車が教示点ＴＰ４ｘ_ｍに到着するのが、時刻ｔ４４である。

時刻ｔ４４に搬送台車１０が教示点ＴＰ４ｘ_ｍに到着すると同時に連動搬送モジュール２１が教示点ＴＰ９０から教示点ＴＰ９ｙ_ｎへの移動を開始する。連動搬送モジュール２１はあらかじめ設定した所定の加速時間にて加速した後に、一定速にて移動を行う。

連動搬送モジュール２１が教示点ＴＰ９１を通過するのが、時刻ｔ４５であり、カメラ９０がワーク上の加工点Ｐ（ｘ_ｍ，１）の検査が可能な位置を通過する。教示点ＴＰ９１を通過すると共に、カメラ９０に検査開始指令し、カメラ９０が検査を行う。同様に次の教示点を通過する際にも検査を行い、これらの検査を加工点Ｐ（ｘ_ｍ，１）から加工点Ｐ（ｘ_ｍ，ｙ_ｎ−１）まで繰返し行う。加工点Ｐ（ｘ_ｍ，ｙ_ｎ−１）の検査が完了した後、搬送台車が教示点ＴＰ４ｙ_ｎに到着するのが、時刻ｔ４７である。

時刻ｔ４７に連動搬送モジュール２１が教示点ＴＰ４ｙ_ｎに到着すると同時に搬送台車１０が教示点ＴＰ４ｘ_ｍから教示点ＴＰ４０への移動を開始する。搬送台車１０はあらかじめ設定した所定の加速時間にて加速した後に、一定速にて移動を行う。

搬送台車１０が教示点ＴＰ４ｘ_ｍ−１を通過するのが、時刻ｔ４８であり、カメラ９０がワーク上の加工点Ｐ（ｘ_ｍ−１，ｙ_ｎ）の検査が可能な位置を通過する。教示点ＴＰ４ｘ_ｍ−１を通過すると共に、カメラ９０に検査開始指令し、カメラ９０が検査を行う。同様に次の教示点を通過する際にも検査を行い、これらの検査を加工点Ｐ（ｘ_ｍ−１，ｙ_ｎ）から加工点Ｐ（１，ｙ_ｎ）まで繰返し行う。加工点Ｐ（１，ｙ_ｎ）の検査が完了した後、搬送台車１０が教示点ＴＰ４０に到着するのが、時刻ｔ４ａである。

時刻ｔ４ａに搬送台車１０が教示点ＴＰ４０に到着すると同時に連動搬送モジュール２１が教示点ＴＰ９ｙ_ｎから教示点ＴＰ９０への移動を開始する。連動搬送モジュール２１はあらかじめ設定した所定の加速時間にて加速した後に、一定速にて移動を行う。

連動搬送モジュール２１が教示点ＴＰ４ｙ_ｎ−１を通過するのが、時刻ｔ４ｂであり、カメラ９０がワーク上の加工点Ｐ（０，ｙ_ｎ−１）の検査が可能な位置を通過する。教示点ＴＰＴＰ４ｙ_ｎ−１を通過すると共に、カメラ９０に検査開始指令し、カメラ９０が検査を行う。同様に次の教示点を通過する際にも検査を行い、これらの検査を加工点Ｐ（０，ｙ_ｎ−１）から加工点Ｐ（０，１）まで繰返し行う。加工点Ｐ（０，１）の検査が完了した後、搬送台車１０が教示点ＴＰ９０に到着して、４サイクル目の作業を完了し、５サイクル目が開始するのが５サイクル目開始時刻ｔ５である。

本実施形態によれば、搬送モジュール１１と連動搬送モジュール２１により搬送台車１０をＸＹに移動させることができる。そのため、加工前検査装置７および加工後検査装置８をＸＹ方向に駆動させることなく検査を行うことが可能となる。その結果、検査ツール側の支持部材を低剛性な構造にすることができ、装置サイズやコストを低減することができる。

（第三の実施形態）
次に、加工装置システム００における搬送装置往路１、搬送装置復路２、台車移載装置３、４、ワーク投入装置５、ワーク排出装置６、加工前検査装置７、加工装置９の構成の第三の実施形態の概略について、図２４、図２５を用いて説明する。第二の実施形態では、第一の実施形態における加工前検査装置７および加工後検査装置８の処理が可能な位置に位置している搬送モジュールに、連動搬送モジュールを配置する例を示した。本実施形態では、台車移載装置３および台車移載装置４を連動搬送モジュールとする例を示す。そして、Ｙ方向駆動アクチュエータによって処理が可能な位置に加工前検査装置７を配置し、台車移載装置４のＹ方向駆動アクチュエータによって処理が可能な位置に加工後検査装置８を配置する例を示す。本実施形態では、第一の実施形態と同じ作用を有する構成には同じ符号を付し、第一の実施形態、第二の実施形態と異なる部分について主に説明し、第一の実施形態、第二の実施形態と同じ作用を有する部分については説明を省略する場合がある。

図２４は、加工システム００の全体構成および教示点を示す概略図である。ワーク投入装置５およびワーク排出装置６は搬送装置復路２に沿って配置されている。加工装置９は搬送装置往路１に沿って配置されている。加工前検査装置７は、台車移載装置３の下流側に、搬送装置往路１に沿って配置されている。加工後検査装置８は、台車移載装置４の上流側に、搬送装置往路１に沿って配置されている。

図２５は各時刻における搬送台車１０、台車移載装置３、台車移載装置４の位置と、ワーク投入装置５、ワーク排出装置６の稼働状態を表しており、２０１は台車１０の位置であり、２０２は台車移載装置３の位置であり、２０３は台車移載装置４の位置である。また、２０４はワーク投入装置５の稼働状態を表し、２０５はワーク排出装置６の稼働状態を表す。

縦軸は台車１０、台車移載装置３、台車移載装置４については各教示点を表し、ワーク投入装置５、ワーク排出装置６については装置状態がワークの投入中及び排出中か待機中かを表している。

横軸は時間を表しており、ｔ０は初期時刻、ｔ１は１サイクル目開始時刻、ｔ２〜ｔ６はそれぞれ２サイクル目開始時刻〜６サイクル目開始時刻である。６サイクル目開始時刻ｔ６の時刻で、搬送台車１０は搬送システム０１上の循環搬送経路を１周し、１サイクル目開始時刻ｔ１と同様の位置に戻る。ＣＴはサイクルタイムである。

１サイクル目開始時刻ｔ１の時刻で搬送装置復路２上の教示点ＴＰ１３に停止している搬送台車１０は移動を開始し、時刻ｔ１１には教示点ＴＰ１２に到着する。搬送台車１０が教示点ＴＰ１２に到着すると、ワーク投入装置５が投入中状態に移行し、搬送台車１０上にワークを投入する。ワーク投入装置５がワーク投入動作を完了し、待機状態に戻ることで１サイクル目の作業を完了し、２サイクル目が開始するのが２サイクル目開始時刻ｔ２である。

２サイクル目開始時刻ｔ２に教示点ＴＰ１２に停止している搬送台車１０が移動を開始し、時刻ｔ２１に教示点ＴＰ１１に到着する。次に、台車移載装置３が教示点ＴＰ６２から移動を開始し、時刻ｔ２２に教示点ＴＰ６１へ到着する。そして、搬送台車１０が教示点ＴＰ１１から移動を開始し、時刻ｔ２３に教示点ＴＰ２０へ到着する。教示点ＴＰ２０に到着すると、加工前検査装置７が検査を開始する。

加工前検査は、時刻ｔ２３に開始され、時刻ｔ２ｃまでの間に完了する。本実施形態における時刻ｔ２３〜ｔ２ｃまでの動作は、第二の実施形態における図２１に記載の時刻ｔ２１〜ｔ３までの動作と同様である。

時刻ｔ２ｃに加工前検査を完了すると、搬送台車は移動を開始し、時刻ｔ２ｄに教示点ＴＰ２２へ到着する。次に台車移載装置３は時刻ｔ２ｄに教示点ＴＰ６２へ移動を開始する。台車移載装置が教示点ＴＰ６２への移動が完了することで、２サイクル目の作業を完了し、３サイクル目が開始するのが３サイクル目開始時刻ｔ３である。

３サイクル目開始時刻ｔ３に教示点ＴＰ２２に停止している搬送台車１０が移動を開始し、時刻ｔ３１には教示点ＴＰ３０に到着する。教示点ＴＰ３０に到着すると、加工装置９が加工動作を開始する。なお、本実施形態における加工装置９での動作は、第二の実施形態における図２２に記載の動作と同様である。加工装置９が加工動作を完了することで３サイクル目の作業を完了し、４サイクル目が開始するのが４サイクル目開始時刻ｔ４である。

４サイクル目開始時刻ｔ４に教示点ＴＰ３０に停止している搬送台車１０が移動を開始し、時刻ｔ４１には教示点ＴＰ４０に到着する。教示点ＴＰ４０に到着すると、加工後検査装置８が検査を開始し、時刻ｔ４ｄに検査を完了する。なお、本実施形態における時刻ｔ４〜時刻ｔ４ｄまでの動作は、第一の実施形態における図２３に記載の時刻ｔ４〜ｔ５までの動作と同様である。

時刻ｔ４ｄに搬送台車１０は移動を開始し、時刻ｔ４ｅに教示点ＴＰ５１に到着する。次に、台車移載装置４が移動を開始し、時刻ｔ４ｆに教示点ＴＰ６４に到着する。そして、搬送台車１０が時刻ｔ４ｆに移動を開始し、時刻ｔ４ｇに教示点ＴＰ５２へ到着する。最後に、台車移載装置４が時刻ｔ４ｇに教示点ＴＰ６３に移動を開始する。台車移載装置４が教示点ＴＰ６３に到着することで４サイクル目の作業を完了し、５サイクル目が開始するのが５サイクル目開始時刻ｔ５である。

５サイクル目開始時刻ｔ５に教示点ＴＰ５２に停止している搬送台車１０が移動を開始し、時刻ｔ５１には教示点ＴＰ５０に到着する。搬送台車１０が教示点ＴＰ５０に到着すると、ワーク排出装置６が排出中状態に移行し、搬送台車１０上のワークを排出する。時刻ｔ５２にワーク排出装置６がワーク排出動作を完了し、待機状態に戻ると、搬送台車１０は教示点ＴＰ１３へ移動を開始する。搬送台車１０が教示点ＴＰ１３へ到着することで５サイクル目の作業を完了し、６サイクル目が開始するのが６サイクル目開始時刻ｔ６である。時刻ｔ６をもって、搬送台車１０が搬送システム０１の循環経路上を１周し、初期時刻ｔ０の位置に戻ってくる。

本実施形態によれば、台車移載装置３および台車移載装置４を用いて搬送台車１０をＸＹに移動させることで、加工前検査や加工後検査を行うことができる。そのため、加工装置システム００内のＹ方向駆動アクチュエータの数を減らすことができる。

さらに、ワーク投入装置５およびワーク排出装置６を搬送装置復路２に配置することで、搬送路に沿って配置される加工装置および検査装置を、搬送装置往路１と搬送装置復路２に分散することができる。その結果として、搬送装置往路１および搬送装置復路２の全長を短縮することができ、加工装置システム００のサイズをさらに小さくすることができる。

以上のことから、本実施形態によれば、加工装置システムをより狭小なスペースに配置することが可能となる。

（第四の実施形態）
次に、加工装置システム００における搬送装置往路１、搬送装置復路２、台車移載装置３、４、ワーク投入装置５、ワーク排出装置６、加工前検査装置７、加工装置９の構成の第四の実施形態の概略について、図２６、図２７を用いて説明する。第二の実施形態では、第一の実施形態における加工前検査装置７および加工後検査装置８の処理が可能な位置に位置している搬送モジュールに、連動搬送モジュールを配置する例を示した。本実施形態では、それに加えて、加工装置９の処理が可能な位置に位置している搬送モジュールに連動搬送モジュールを配置する例を示す。本実施形態では、第一の実施形態と同じ作用を有する構成には同じ符号を付し、第一の実施形態、第二の実施形態、第三実施形態と異なる部分について主に説明する。そして、第一の実施形態、第二の実施形態、第三実施形態と同じ作用を有する部分については説明を省略する場合がある。

図２６は、加工システム００の全体構成および教示点を示す概略図である。図２６における加工システム００の全体構成では、加工装置９は連動搬送モジュール２１を含む搬送モジュール１０に沿った位置に配置されている。また、加工装置９にはＹ方向駆動アクチュエータが搭載されていない。

図２６における加工システム００の教示点配置では、加工装置９が配置された搬送モジュール１１は、搬送台車１０に対して複数の教示点ＴＰ３０、ＴＰ３１、…ＴＰ３ｘ_ｍを持つ。また、加工装置９が配置された連動搬送モジュール２１は複数の教示点ＴＰ８０、ＴＰ８１、…ＴＰ８ｙ_ｍを持つ。これらの教示点の組み合わせによってワーク上の任意の加工点Ｐを加工装置９が加工可能な位置まで搬送することができる。

なお、本実施形態の全体構成および教示点は、図２６に関する上記の表記を除いて、第二の実施形態と同様である。

また、本実施形態における搬送台車１０が搬送システム０１の循環経路上を１周する際の動作については、第二の実施形態における図２０の３サイクル目動作開始時刻ｔ３から４サイクル目動作開始時刻ｔ４のまでの動作を除いて、第二の実施形態と同様である。

本実施形態における３サイクル目動作開始時刻ｔ３から４サイクル目動作開始時刻ｔ４のまでの動作を、図２７を用いて説明する。図２７は本実施形態における３サイクル目動作開始時刻ｔ３から４サイクル目動作開始時刻ｔ４のまでの加工動作の詳細図である。図２７は各時刻における搬送台車１０、加工装置９の連動搬送モジュール２１、およびボンディングヘッド７０の稼働状態を表している。３２１は搬送台車１０の位置であり、３２２は連動搬送モジュール２１の位置であり、３２３はボンディングヘッド７０の稼働状態を表す。

なお、ここでの説明においては、ボンディングヘッド７０の稼働状態は、ボンディングヘッド７０とボンディングヘッドアクチュエータ７２の動作のことを表している。ボンディングヘッド７０の稼働状態３２３のボンディング中の状態については、ボンディングヘッドアクチュエータ７２が下降してワークに接触し、ボンディングヘッド７０がボンディングを行う。ボンディングが完了すると、ボンディングヘッドアクチュエータ７２が上昇して、元の位置に戻るまでの一連の動作について表している。

３サイクル目開始時刻ｔ３に教示点ＴＰ２１に停止している搬送台車１０が教示点３１への移動を開始する。搬送台車１０が教示点ＴＰ３１に到着するのが、時刻ｔ３１である。搬送台車１０が教示点ＴＰ３１に到着すると、連動搬送モジュール２１と搬送台車１０上のワークの加工点Ｐ（１、０）の位置合わせが完了し、ボンディングヘッド７０がボンディングを開始する。

時刻ｔ３２に加工点Ｐ（１、０）のボンディングが完了すると、搬送台車１０が次の教示点への移動を開始し、次の教示点に到着すると、ボンディングヘッド７０がボンディングを開始する。これらの動作を加工点Ｐ（１、０）から加工点Ｐ（ｘｍ−１、０）まで繰返し行う。加工点Ｐ（ｘｍ−１、０）のボンディングが完了するのが、時刻ｔ３４である。

時刻ｔ３４に加工点Ｐ（ｘｍ−１、０）のボンディングが完了すると、搬送台車１０が教示点ＴＰ３ｘｍへの移動を開始し、連動搬送モジュール２１が教示点ＴＰ８０から教示点ＴＰ８１への移動を開始する。時刻ｔ３５に搬送台車１０が教示点ＴＰ３ｘｍに到着し、連動搬送モジュール２１が教示点ＴＰ８１に到着すると、ボンディングヘッド７０と搬送台車１０上のワークの加工点Ｐ（ｘｍ、１）の位置合わせが完了する。ここで、ボンディングヘッド７０がボンディングを開始する。

時刻ｔ３６に加工点Ｐ（ｘｍ、１）のボンディングが完了すると、連動搬送モジュール２１が次の教示点への移動を開始し、次の教示点に到着すると、ボンディングヘッド７０がボンディングを開始する。これらの動作を加工点Ｐ（ｘｍ、１）から加工点Ｐ（ｘｍ、ｙｎ−１）まで繰返し行う。加工点Ｐ（ｘｍ、ｙｎ−１）のボンディングが完了するのが、時刻ｔ３８である。

時刻ｔ３８に加工点Ｐ（ｘｍ、ｙｎ−１）のボンディングが完了すると、搬送台車１０が教示点ＴＰ３ｘｍ−１への移動を開始し、連動搬送モジュール２１が教示点ＴＰ８ｙｎ−１から教示点ＴＰ８ｙｎへの移動を開始する。時刻ｔ３９に搬送台車１０が教示点ＴＰ３ｘｍ−１に到着し、ボンディングヘッド駆動台車６０が教示点ＴＰ８ｙｎに到着すると、ボンディングヘッド７０と搬送台車１０上のワークの加工点Ｐ（ｘｍ−１、ｙｎ）の位置合わせが完了する。ここで、ボンディングヘッド７０がボンディングを開始する。

時刻ｔ３ａに加工点Ｐ（ｘｍ−１、ｙｎ）のボンディングが完了すると、搬送台車１０が次の教示点への移動を開始し、次の教示点に到着すると、ボンディングヘッド７０がボンディングを開始する。これらの動作を加工点Ｐ（ｘｍ−１、ｙｎ）から加工点Ｐ（１、ｙｎ）まで繰返し行う。加工点Ｐ（１、ｙｎ）のボンディングが完了するのが、時刻ｔ３ｃである。

時刻ｔ３ｃに加工点Ｐ（１、ｙｎ）のボンディングが完了すると、搬送台車１０が教示点ＴＰ３０への移動を開始し、連動搬送モジュール２１が教示点ＴＰ８ｙｎから教示点ＴＰ８ｙｎ−１への移動を開始する。時刻ｔ３ｄに搬送台車１０が教示点ＴＰ３０に到着し、連動搬送モジュール２１が教示点ＴＰ８ｙｎ−１に到着すると、ボンディングヘッド７０と搬送台車１０上のワークの加工点Ｐ（０、ｙｎ−１）の位置合わせが完了する。ここで、ボンディングヘッド７０がボンディングを開始する。

時刻ｔ３ｅに加工点Ｐ（０、ｙｎ−１）のボンディングが完了すると、連動搬送モジュール２１が次の教示点への移動を開始し、次の教示点に到着すると、ボンディングヘッド７０がボンディングを開始する。これらの動作を加工点Ｐ（０、ｙｎ−１）から加工点Ｐ（０、１）まで繰返し行う。加工点Ｐ（０、１）のボンディングが完了するのが、時刻ｔ３ｇである。

加工点Ｐ（０、１）のボンディングが完了すると、連動搬送モジュール２１が教示点ＴＰ８０への移動を開始する。連動搬送モジュール２１が教示点ＴＰ８０に到着し、３サイクル目の作業を完了し、４サイクル目が開始するのが４サイクル目開始時刻ｔ４である。

上記で説明したように、搬送台車１０と連動搬送モジュール２１の動作の組合せによって、ワーク上の加工点Ｐとボンディングヘッド７０の位置合わせを行い、加工を行うことができる。

本実施形態によれば、搬送モジュール１１と連動搬送モジュール２１により搬送台車１０をＸＹに移動させることができる。そのため、加工装置９をＹ方向に駆動させることなく加工を行うことが可能となる。その結果、加工ツール側の支持部材を低剛性な構造にすることができ、装置サイズやコストを低減することができる。

（第五の実施形態）
次に、第五の実施形態の概略について、図１５、図１６を用いて説明する。

図１５は、加工システムの全体構成を示す概略図である。ワーク投入装置５、ワーク排出装置６、加工前検査装置７、加工装置９は、搬送装置往路１、搬送装置復路２、台車移載装置３、４、で形成された循環搬送路に沿って配設されている。そして、前記循環搬送路において、投入装置、加工装置、排出装置、検査装置の順に配設されている。

図１６は各時刻におけるワーク投入装置５、ワーク排出装置６、加工前検査装置７、加工装置９の稼働状態および搬送台車１０の位置を表したものである。ワーク投入装置５、ワーク排出装置６については装置状態がワークの投入中及び排出中か待機中かを表している。加工前検査装置７については装置状態がワークの検査中か待機中かを表している。なお、加工前検査装置７については加工後の検査も行えるものとして、動作は加工前検査に限定しない。加工装置９についてはワークの加工中か待機中かを示している。

図１５に示すようにワーク投入装置５、ワーク排出装置６、加工前検査装置７、加工装置９を循環搬送路に沿って配設することで、一台の加工前検査装置で加工前検査と加工後検査を行うことができる。これにより複数の検査装置を設置することなく一台の検査装置で加工前検査と加工後検査を実施することができる。

さらに、ワーク投入装置５、ワーク排出装置６、加工前検査装置７、加工装置９の動作完了待ちをすることなくワーク投入装置５、ワーク排出装置６、加工前検査装置７、加工装置９の間を搬送台車１０が移動することができる。よって、サイクルタイムの短縮を実現することができる。

（第六の実施形態）
次に、加工装置システム００における搬送装置往路１、搬送装置復路２、台車移載装置３、４、ワーク投入装置５、ワーク排出装置６、加工前検査装置７、加工装置９の構成の第三の実施形態の概略について、図１７を用いて説明する。

図１７は、加工システムの全体構成を示す概略図である。ワーク投入装置５、ワーク排出装置６、加工前検査装置７、加工装置９は、搬送装置往路１、搬送装置復路２、台車移載装置３、４、で形成された循環搬送路に沿って配設されている。前記循環搬送路において、投入装置、加工装置、排出装置、検査装置の順に配設されている。ここで投入装置、加工装置、排出装置は前記循環搬送路を形成する搬送装置往路１に沿って、検査装置は搬送装置復路２に沿って配置されている。

図１７に示すようにワーク投入装置５、ワーク排出装置６、加工前検査装置７、加工装置９を循環搬送路に沿って配設することで、一台の加工前検査装置で加工前検査と加工後検査を行うことができる。これにより複数の検査装置を設置することなく一台の検査装置で加工前検査と加工後検査を実施することができる。

さらに、ワーク投入装置５、ワーク排出装置６、加工前検査装置７、加工装置９の動作完了待ちをすることなくワーク投入装置５、ワーク排出装置６、加工前検査装置７、加工装置９の間を搬送台車１０が移動することができる。よって、サイクルタイムの短縮を実現することができる。

さらに、加工前検査装置７による加工後検査の結果が不合格であり、加工装置９での再加工や修正加工が必要である場合に、加工前検査装置７による加工後検査を終えたワークを移動する搬送台車１０が再度、加工装置９にワークを再度移動することができる。再度加工装置９に移動したワークには所定の再加工や修正加工を行うことができる。

００ 加工システム
０１ 搬送システム
０２ 架台
１ 搬送装置往路
２ 搬送装置復路
３ 台車移搭載装置
４ 台車移搭載装置
５ ワーク投入装置
６ ワーク排出装置
７ 加工前検査装置
８ 加工後検査装置
９ 加工装置
１０ 搬送台車

Claims (25)

1. 台車を搬送する複数の搬送モジュールを配列することによって前記台車を複数位置へと搬送可能な搬送路と、
   前記台車に搭載されたワークに対して、加工を行う加工装置と、
   前記複数の搬送モジュールと、前記加工装置を制御する制御部とを備え、
   前記制御部は、前記ワークの複数の位置に前記加工装置によって加工を行う際、前記複数の位置の移動を、前記搬送モジュールにより前記台車を移動させることによって行なうことを特徴とする加工システム。
2. 前記搬送路はコイル群を有し、前記台車は前記コイル群から電磁力を受ける永久磁石又は強磁性体を有し、前記永久磁石又は前記強磁性体が前記コイル群から受ける前記電磁力により移動することを特徴とする請求項１に記載の加工システム。
3. 前記加工装置は、前記台車の移動方向とは交差する方向に移動させるための移動手段によって移動可能であることを特徴とする請求項１または２に記載の加工システム。
4. 前記加工装置は、加工ツール、加工ツール駆動台車、および加工ツール搬送路を含み、
   前記加工ツールは前記加工ツール駆動台車によって移動可能であり、
   前記加工ツール搬送路はコイル群を有し、前記加工ツール駆動台車は前記加工ツール搬送路のコイル群から電磁力を受ける永久磁石又は強磁性体を有し、前記永久磁石又は前記強磁性体が前記加工ツール搬送路のコイル群から受ける前記電磁力により移動することを特徴とする請求項１乃至３いずれか一項に記載の加工システム。
5. 前記加工ツール駆動台車の重心は、前記電磁力の作用線上に配置されていることを特徴とする請求項４に記載の加工システム。
6. 前記加工ツール搬送路にはエンコーダが設置され、前記加工ツール駆動台車にはスケールが取り付けられ、前記スケールは、前記エンコーダが検出可能であって前記加工ツール移動台車の重心の高さと一致する位置に取り付けられていることを特徴とする請求項４または５に記載の加工システム。
7. 前記複数の位置は、あらかじめ設定された教示点の位置であることを特徴とする請求項１乃至６いずれか一項に記載の加工システム。
8. 前記台車に搭載されたワークの位置を検出する手段をさらに有することを特徴とする請求項１乃至７いずれか一項に記載の加工システム。
9. 前記教示点は、前記ワークの位置を検出する手段に基づいて補正されていることを特徴とする請求項８に記載の加工システム。
10. 前記複数の搬送モジュールのうちの少なくとも一つは、前記台車移動手段の移動方向とは交差する方向に移動させるための移動手段を有する連動搬送モジュールであることを特徴とする請求項１乃至９いずれか一項に記載の加工システム。
11. 前記加工装置を用いて加工した前記ワークの加工状態を検査する手段をさらに有することを特徴とする請求項１乃至１０いずれか一項に記載の加工システム。
12. 前記ワークの加工状態を検出する手段は、前記加工装置を用いて加工した前記ワークの加工状態を検査することを特徴とする請求項１１に記載の加工システム。
13. 前記加工は、ボンディングであることを特徴とする請求項１乃至１２いずれか一項に記載の加工システム。
14. 前記台車にワークを搭載するためのワーク投入装置を有することを特徴とする請求項１乃至１３いずれか一項に記載の加工システム。
15. 前記台車からワークを取り出すためのワーク排出装置を有することを特徴とする請求項１乃至１４いずれか一項に記載の加工システム。
16. 台車を搬送する複数の搬送モジュールを配列することによって前記台車を複数位置へと搬送可能な搬送路と、
    前記台車にワークを搭載するためのワーク投入装置と、
    前記台車に搭載されたワークを検査する検査装置と、
    前記ワークに対して、所定の加工作業を行う加工装置と、
    前記ワークを取り出すためのワーク排出装置と、
    前記複数の搬送モジュールと、前記加工装置を制御する制御部と、を備え、
    前記制御部は、前記ワークの複数の位置に前記加工装置によって加工を行う際、前記複数の位置の制御を前記搬送モジュールにより前記台車を移動させることによって行なうことを特徴とする加工システム。
17. 前記搬送路は、搬送装置往路、搬送装置復路、前記搬送装置復路から前記搬送装置往路へ前記台車を搬送する第一の台車移載装置、および前記搬送装置往路から前記搬送装置復路へ前記台車を搬送する第二の台車移載装置を有することを特徴とする請求項１６に記載の加工システム。
18. 前記ワーク投入装置、前記検査装置、および前記ワーク排出装置は、前記搬送装置復路に隣接する所定の位置に配され、前記加工装置は、前記搬送装置往路に隣接する所定の位置に配されていることを特徴とする請求項１７に記載の加工システム。
19. 前記ワーク投入装置および前記ワーク排出装置は、前記搬送装置復路に隣接する所定の位置に配され、前記加工装置は、前記搬送装置往路に隣接する所定の位置に配されていることを特徴とする請求項１７に記載の加工システム。
20. 前記検査装置は、前記台車に搭載されたワークの位置を検出する装置および前記加工装置を用いて加工した前記ワークの加工状態を検査する装置であることを特徴とする請求項１６乃至１９いずれか一項に記載の加工システム。
21. 前記台車に搭載されたワークの位置を検出する装置は、前記第一の台車移載装置に隣接する位置に配され、前記ワークの加工状態を検査する装置は、前記第二の台車移載装置に隣接する位置に配されていることを特徴とする請求項２０に記載の加工システム。
22. 前記複数の搬送モジュールのうちの少なくとも一つは、前記台車移動手段の移動方向とは交差する方向に移動させるための移動手段を有する連動搬送モジュールであることを特徴とする請求項１６乃至２１いずれか一項に記載の加工システム。
23. 前記検査装置は、前記連動搬送モジュールに隣接する位置に配されていることを特徴とする請求項２２に記載の加工システム。
24. 前記加工装置は、前記連動搬送モジュールに隣接する位置に配されていることを特徴とする請求項２２または２３に記載の加工システム。
25. 請求項１乃至２４いずれか一項に記載の加工システムを用いて、ワークを搬送しながら前記ワークに複数の加工を行ない、物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。

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